KR20030010500A - 완충메카니즘을 갖는 반도체 제조장치 및 반도체 웨이퍼의완충방법 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 139
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 52
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 title claims description 33
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title description 174
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 90
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 29
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Claims (13)
- 반응기 내부에 대기하고 있는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘에 있어서,상기 반응기 내에 마련된 서셉터 주변에 적치되며 수평방향으로 회전하고, 상기 반도체 웨이퍼를 지지하기 위한 적어도 두 개의 지지수단;각각의 지지수단을 수직방향으로 지지하기 위한 각각의 하나의 샤프트수단;상기 샤프트수단에 연결된 각각의 지지수단을 회전시키기 위한 회전메카니즘; 및각각의 샤프트수단을 상하로 이동시키는 승강메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 제1항에 있어서,각각의 지지수단은 상기 반도체 웨이퍼의 하면과 라인접촉하도록 상기 반도체 웨이퍼의 외주면을 따라 만곡된 내부 가장자리부를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 제1항에 있어서,상기 회전메카니즘은 전기적으로 또는 공기압에 의해 작동되는 회전식 엑츄에이터인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 제1항에 있어서,상기 승강메카니즘은 전기적으로 또는 공기압에 의해 작동되는 실린더메카니즘인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 제1항에 있어서,벨로우를 더 포함하며, 상기 샤프트는 상기 벨로우와 함께 마련되고 상기 승강메카니즘에 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 제1항에 있어서,O-링을 더 포함하며, 상기 샤프트는 상기 회전메카니즘에 연결되고 상기 O-링에 의해 봉합되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 제6항에 있어서,상기 O-링은 합성수지 봉합을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 완충메카니즘.
- 단일 웨이퍼 처리 반응기에 있어서,상하로 구동 가능하며, 반도체 웨이퍼를 그 위에 적치하기 위한 서셉터;상기 반응기의 내부로 연장되고 복귀되는 이송아암이 관통하는 게이트밸브;상기 이송아암의 구동을 방해하지 않는 위치에서 상기 서셉터 내에 마련되며, 상기 서셉터의 구동을 개별적으로 상하 구동가능하게 하고, 상기 반도체 웨이퍼를 승강시키기 위한 승강핀; 및제1항의 상기 완충메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 웨이퍼 처리 반응기.
- 반도체 제조장치에 있어서,제1항의 상기 반응기;상기 게이트밸브를 관통하여 상기 반응기에 연결된 로드록챔버; 및상기 게이트밸브를 관통하여 상기 반응기와 상기 로드록챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송하기 위한 이송아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
- 로딩위치에서 반응기로 로드되거나 언로드되는 반도체 웨이퍼를 완충시키는 방법에 있어서,상기 반응기 내에 마련된 서셉터 내에 마련된 웨이퍼 승강핀 상에 제1웨이퍼를 지지시키는 단계;상기 서셉터 주변에 마련된 지지수단을 상기 서셉터와 상기 웨이퍼 승강핀상의 상기 제1웨이퍼 사이에 적치시키는 단계;상기 지지수단을 상기 서셉터의 내부방향으로 회전시키는 단계;상기 로딩위치보다 높은 대기위치에서 상기 제1웨이퍼를 지지하도록 상기 지지수단을 승강시키는 단계;상기 제1웨이퍼가 상기 대기위치에 있는 동안 상기 서셉터 상에 제2웨이퍼를 로딩시키는 단계;상기 제1웨이퍼가 하강하도록 상기 웨이퍼 승강핀을 하강시키는 단계; 및상기 반응기로부터 상기 제1웨이퍼를 언로딩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 완충방법.
- 서셉터가 초기위치에 있는 동안 이송위치에서 반도체 웨이퍼가 상기 반응기의 내외로 이송되며, 처리위치에서 반도체 웨이퍼가 처리되는 반응기에서 처리된 반도체 웨이퍼를 완충시키는 방법에 있어서,처리가 완료된 후에 웨이퍼 승강핀이 상기 웨이퍼 승강핀 상에 처리된 반도체 웨이퍼를 지지하도록 승강되어 있는 동안 상기 서셉터를 상기 처리위치에서 상기 초기위치로 하강시키는 단계;상기 서셉터 주변에 마련된 적어도 두 개의 지지수단을 상기 서셉터와 상기 웨이퍼 승강핀 상의 반도체 웨이퍼 사이에 적치시키는 단계;상기 지지수단을 상기 서셉터의 내부방향으로 회전시키는 단계;상기 이송위치보다 높은 대기위치에서 상기 반도체 웨이퍼를 지지하도록 상기 지지수단을 승강시키는 단계;상기 웨이퍼 승강핀을 상기 이송위치보다 낮은 위치까지 하강시키는 단계;이송아암에 의해 미처리된 반도체 웨이퍼를 로드록챔버에서 상기 서셉터 상의 이송위치까지 이송시키는 단계;상기 이송아암으로부터 분리된 상기 미처리된 반도체 웨이퍼를 지지하도록 상기 웨이퍼 승강핀을 승강시키는 단계;상기 이송아암을 상기 로드록챔버 내부로 복귀시키는 단계;상기 미처리된 반도체 웨이퍼가 상기 이송위치 아래로 하강하도록 상기 웨이퍼 승강핀을 하강시키는 단계;상기 이송아암을 상기 반응기 내로 연장시키는 단계;상기 처리된 반도체 웨이퍼를 상기 이송아암 상에 적치하도록 상기 처리된 반도체 웨이퍼를 지지하는 상기 지지수단을 하강시키는 단계;상기 이송아암을 상기 로드록챔버 내부로 복귀시키는 단계;상기 지지수단을 상기 서셉터의 외부방향으로 회전시키는 단계; 및상기 미처리된 반도체 웨이퍼가 적치된 상기 서셉터를 상기 처리위치까지 승강시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리된 반도체 웨이퍼의 완충방법.
- 웨이퍼가 로딩위치에서 반응기에 로드되거나 언로드되는 반응기에서 반도체 웨이퍼를 완충시키는 방법에 있어서,상기 반응기 내에 마련된 서셉터 상에 적치된 제2웨이퍼 위의 상기 로딩위치에서 제1웨이퍼를 지지하는 단계;상기 서셉터 주변에 마련된 지지수단을 상기 서셉터와 상기 로딩위치에서의 상기 제1웨이퍼 사이에 적치시키는 단계;상기 지지수단을 상기 서셉터의 내부방향으로 회전시키는 단계;상기 로딩위치보다 높은 대기위치에서 상기 제1웨이퍼를 지지하도록 상기 지지수단을 승강시키는 단계; 및상기 반응기로부터 상기 제2웨이퍼를 언로딩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 완충방법.
- 서셉터가 초기위치에 있는 동안 이송위치에서 반도체 웨이퍼가 상기 반응기의 내외로 이송되며, 처리위치에서 반도체 웨이퍼가 처리되는 반응기 내에서 미처리된 반도체 웨이퍼를 완충시키는 방법에 있어서,처리가 완료된 후에 상기 초기위치에서 웨이퍼 승강핀과 함께 서셉터를 하강시켜 처리된 반도체 웨이퍼가 적치되는 단계;상기 이송위치에서 상기 이송아암에 의해 미처리된 반도체 웨이퍼를 로드록챔버에서 상기 반응기로 이송시키는 단계;상기 서셉터와 상기 이송아암 상의 미처리된 반도체 웨이퍼 사이에 적치되며, 서셉터 주변에 마련된 지지수단을 상기 서셉터의 내부방향으로 회전시키는 단계;상기 이송위치보다 높은 대기위치에서 상기 미처리된 반도체 웨이퍼를 지지하도록 상기 지지수단을 승강시키는 단계;상기 이송아암을 상기 로드록챔버 내부로 복귀시는 단계;상기 이송위치에서 상기 처리된 반도체 웨이퍼를 승강시키도록 상기 웨이퍼 승강핀을 승강시키는 단계;상기 이송아암을 상기 웨이퍼 승강핀 상에 지지된 상기 처리된 반도체 웨이퍼 아래의 반응기 내로 연장시키는 단계;상기 처리된 반도체 웨이퍼를 상기 이송아암 상에 적치하도록 상기 웨이퍼 승강핀을 하강시키는 단계;상기 이송아암을 상기 로드록챔버로 복귀시키는 단계;상기 대기위치에서 상기 미처리된 반도체 웨이퍼를 수용하도록 상기 웨이퍼 승강핀을 승강시키는 단계;상기 미처리된 반도체 웨이퍼를 분리하도록 상기 지지수단을 하강시키는 단계;상기 지지수단을 상기 서셉터의 외부방향으로 회전시키는 단계; 및상기 미처리된 반도체 웨이퍼를 처리하도록 상기 서셉터를 상기 처리위치까지 승강시키는 것을 특징으로 하는 미처리된 반도체 웨이퍼의 완충방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2001-00222962 | 2001-07-24 | ||
JP2001222962A JP2003037146A (ja) | 2001-07-24 | 2001-07-24 | バッファ機構を有する半導体製造装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030010500A true KR20030010500A (ko) | 2003-02-05 |
KR100873967B1 KR100873967B1 (ko) | 2008-12-12 |
Family
ID=19056367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020020043319A KR100873967B1 (ko) | 2001-07-24 | 2002-07-23 | 완충메카니즘을 갖는 반도체 제조장치 및 반도체 웨이퍼의완충방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6860711B2 (ko) |
EP (1) | EP1280187A3 (ko) |
JP (1) | JP2003037146A (ko) |
KR (1) | KR100873967B1 (ko) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4417669B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2010-02-17 | 日本エー・エス・エム株式会社 | 半導体処理装置および半導体ウエハーの導入方法 |
US7477956B2 (en) * | 2004-07-12 | 2009-01-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for enhancing electronic device manufacturing throughput |
US20070077134A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Dickinson Colin J | Vacuum handler systems and processes for flexible automation of semiconductor fabrication |
US7690881B2 (en) * | 2006-08-30 | 2010-04-06 | Asm Japan K.K. | Substrate-processing apparatus with buffer mechanism and substrate-transferring apparatus |
US8870512B2 (en) * | 2007-10-27 | 2014-10-28 | Applied Materials, Inc. | Sealed substrate carriers and systems and methods for transporting substrates |
US20090162170A1 (en) * | 2007-12-19 | 2009-06-25 | Asm Japan K.K. | Tandem type semiconductor-processing apparatus |
JP5675416B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2015-02-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送方法及び被処理体処理装置 |
JP7030416B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2022-03-07 | キヤノン株式会社 | 基板保持装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法 |
US11569102B2 (en) | 2020-02-14 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Oxidation inhibiting gas in a manufacturing system |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5643366A (en) * | 1994-01-31 | 1997-07-01 | Applied Materials, Inc. | Wafer handling within a vacuum chamber using vacuum |
US5730801A (en) * | 1994-08-23 | 1998-03-24 | Applied Materials, Inc. | Compartnetalized substrate processing chamber |
US6102164A (en) * | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
US5848670A (en) * | 1996-12-04 | 1998-12-15 | Applied Materials, Inc. | Lift pin guidance apparatus |
US6575737B1 (en) * | 1997-06-04 | 2003-06-10 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for improved substrate handling |
JP3661138B2 (ja) * | 1998-04-04 | 2005-06-15 | 東京エレクトロン株式会社 | アライメント高速処理機構 |
JPH11288995A (ja) * | 1998-04-04 | 1999-10-19 | Tokyo Electron Ltd | 搬送システム及び処理装置 |
JP2000040728A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Nippon Asm Kk | ウェハ搬送機構 |
US6168668B1 (en) * | 1998-11-25 | 2001-01-02 | Applied Materials, Inc. | Shadow ring and guide for supporting the shadow ring in a chamber |
KR100551806B1 (ko) * | 1999-09-06 | 2006-02-13 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체 처리용 반송 장치 및 수용 장치와, 반도체 처리시스템 |
JP4607301B2 (ja) * | 1999-09-06 | 2011-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体処理用の搬送装置及び半導体処理システム |
US6630053B2 (en) * | 2000-08-22 | 2003-10-07 | Asm Japan K.K. | Semiconductor processing module and apparatus |
US6485248B1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-11-26 | Applied Materials, Inc. | Multiple wafer lift apparatus and associated method |
-
2001
- 2001-07-24 JP JP2001222962A patent/JP2003037146A/ja active Pending
-
2002
- 2002-07-01 US US10/187,670 patent/US6860711B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-23 EP EP02255157A patent/EP1280187A3/en not_active Withdrawn
- 2002-07-23 KR KR1020020043319A patent/KR100873967B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100873967B1 (ko) | 2008-12-12 |
EP1280187A2 (en) | 2003-01-29 |
JP2003037146A (ja) | 2003-02-07 |
EP1280187A3 (en) | 2007-01-24 |
US20030021657A1 (en) | 2003-01-30 |
US6860711B2 (en) | 2005-03-01 |
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