KR200240959Y1 - 반도체제조장비의웨이퍼보트 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트(wafer boat)에 관한 것으로, 반도체 제조장비 중 다량의 웨이퍼를 적재하여 공정을 진행하는 열 확산로에서의 작업에 적당하도록 상판 및 하판과 복수개의 보트 슬롯(boat slot)이 형성된 복수개의 보트 바를 구비하는 웨이퍼 보트에 있어서, 상판 및 하판에 일체되게 웨이퍼 형상으로 가공형성된 적어도 하나이상의 더미 웨이퍼를 가지는 것이 특징이다.

Description

반도체 제조장비의 웨이퍼 보트

제1도는 종래의 웨이퍼 보트를 예시한 사시도.

제2도는 본 고안에 따른 웨이퍼 보트 실시예의 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10,20 : 웨이퍼 보트 11,21 : 보트 바

12,22 : 상판 13,23 : 하판

14,24 : 보트 슬롯 25 : 더미 웨이퍼

본 고안은 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트(wafer boat)에 관한 것으로, 반도체 제조장비 중 다량의 웨이퍼를 적재하여 공정을 진행하는 열 확산로에서의 작업에 적당하도록 한 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트에 관한 것이다.

종래의 반도체 제조장비 중 웨이퍼 열처리, 산화막 형성, 증착막 형성등을 수행하는 열 확산로에 사용되는 웨이퍼 보트(10)는 제1도와 같이, 복수개(4개)의 보트 바(boat bar)(11)와 각 보트바(11) 양단에 설치결합된 상판(12) 및 하판(13)으로 이루어지며, 각 보트 바(11)는 웨이퍼가 안착되기 용이하도록 슬릿형홈(이하 "보트 슬롯(boat slot)"이라 한다.)(14)이 복수개 형성되어진 구조를 가지고 있다.

이와 같은, 웨이퍼 보트(10)에는 반응로에서 작업을 요하는 복수개의 웨이퍼를 수작업이나 이재기를 사용하여 안착한다. 이 때, 수직형 또는 수평형 반응로 장비에 있어서, 웨이퍼 보트의 상판 및 하판에 가까이 적재되는 웨이퍼의 경우에는 반응가스가 균일하게 공급되지 못하거나 열 손실이 커서, 기대하는 작업 효과를 얻을 수 없었다. 따라서, 공정진행시, 웨이퍼 보트 상판(12) 및 하판(13) 가까이에는 실재 공정진행을 요하는 웨이퍼가 아닌 일반 웨이퍼를 적어도 하나 이상씩 적재한다. 이러한 웨이퍼를 더미 웨이퍼라고 하는데, 더미 웨이퍼는 반응공정을 수행할 때마다 적재하고 꺼내는 작업을 하지 않고, 한번 적재한 후 일정기간 동안 계속 사용한 후, 꺼내어 폐기하고 있다.

따라서, 더미 웨이퍼는 반응로 내의 공정진행시, 실재 공정진행을 요구하는 웨이퍼가 반응이 용이하도록 열 손실을 방지하고, 반응 가스의 균일한 흐름을 유지하도록 도우는 역할을 한다.

그런데, 종래의 경우와 같이, 더미 웨이퍼를 사용할 경우에는 더미 웨이퍼에 반응이 계속되면서 막이 두껍게 증착되고, 또한 계속되는 열충격으로 인하여 이물이 발생되어서 반응로 내부환경을 오염시키는 원인이 되기도 하고, 심할 경우에는 반응중 더미 웨이퍼 자체가 휘거나 깨어져서 반응로 내에서 공정진행중인 웨이퍼들을 손상시키는 경우도 있었다. 그리고, 이로 인한 물적 인적 자원의 낭비가 있었다.

그래서, 본 고안은 열확산로 등에서의 공정진행시, 더미 웨이퍼의 관리가 용이하며, 단열효과가 뛰어난 웨이퍼 보트를 제공하고자 안출되었다.

본 고안은 반도체 제조장비 중 열 확산로에서 다수개 웨이퍼를 적재하여 사용할 수 있도록, 상판 및 하판과 복수개의 슬릿형 홈(보트 슬롯)이 형성된 복수개의 보트 바를 구비하는 웨이퍼 보트에 있어서, 상판 및 하판에 일체되게 웨이퍼 형상으로 가공형성된 적어도 하나 이상의 더미 웨이퍼를 가지는 것이 특징인 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트이다.

제2도는 본 고안에 따른 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트의 구조를 예시한 사시도이다.

제2도와 같이, 본 고안에 따른 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트(20)는 먼저, 3장의 더미 웨이퍼(25)가 상판(22) 및 하판(23)에 일체적으로 가공형성되어 있는데, 그 모양은 웨이퍼와 같으나, 일반적인 실리콘 웨이퍼 보다는 두께를 두껍게 형성하여 상판(22) 및 하판(23)의 역할의 하나인 단열효과를 높일 수 있다. 또한, 각 더미 웨이퍼간 및 더미 웨이퍼와 상판 및 하판간에는 일정한 간극이 형성되어 있는데, 이 공간은 열확산로 등의 반도체 제조장비 내에서 반응가스들이 원활하게 유통될수 있도록 하기 위해서이다.

더미 웨이퍼(25)가 형성된 상판(22) 및 하판(23)을 서로 연결하며, 복수개의 웨이퍼가 안착될수 있도록 서로 마주하는 안쪽 방향으로 다수개의 보트 슬롯(24)이 형성된 4개의 보트 바(21)가 있다.

더미 웨이퍼(25)가 형성된 상판(22) 및 하판(23)은 보트 바(21)와 서로 분리 및 부착이 가능하도록 형성되어있는데, 따라서, 도면에는 도시되지 않았지만, 보트 슬롯이 형성되지 않은 보트 바 양단에 상판 및 하판의 부착이 용이하도록 긴 안착부를 형성할 수 있다.

한편, 더미 웨이퍼(25)가 형성된 상판(22)과 하판(23)은 보트 바(21)와 동일재질로 형성할 수 있다. 또한, 실리콘과 탄소의 화합물로 형성하거나, 폴리실리콘으로 형성하는데, 이경우, 종래에 실리콘 웨이퍼를 더미 웨이퍼로 사용하는 경우에 비하여 열용량이 커서, 효과적인 단열을 기대할 수 있고, 더미 웨이퍼(25)가 형성된 상판(22)과 하판(23)을 보트 바(21)와 같이, 규칙적인 세정을 하면 이물 발생의 위험도 없다.

이러한 본 고안의 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트는 이물 발생의 위험을 배제하는 동시에 더미 웨이퍼를 별도로 관리하지 않아도 되므로, 그로 인한 물적인적 자원을 절감할 수 있으며, 종래와 같이, 작업중 더미 웨이퍼가 손상되어 반응진행중인 웨이퍼를 손상시키는 문제점을 해결할 수 있다.

Claims (2)

1. 반도체 제조장비 중 열 확산로에서 다수개 웨이퍼를 적재하여 사용할 수 있도록, 상판 및 하판과, 상기 상판 및 하판을 연결하며 복수개의 보트 슬롯이 형성된 복수개의 보트 바를 구비하는 웨이퍼 보트에 있어서, 상기 상판 및 하판에 일체되게 웨이퍼 형상으로 가공 형성되고 다결정 실리콘 또는 실리콘과 탄소의 화합물 중 하나로 형성된 다수개의 더미 웨이퍼를 가지는 것이 특징인 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트.
2. 제1항에 있어서, 상기 더미 웨이퍼와 일체로 형성된 상판 및 하판이 상기 보트 바와 분리 및 부착 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 보트.