KR20020040630A - 캐리어 반송장치, 캐리어 반송방법 및 반송장치 - Google Patents

Abstract

캐리어 반송장치는 캐리어 상에 탑재된 측정장치를 위한 항온조로 구성되고, 캐리어는 항온조 상에 형성된 개구부를 통하여 항온조로부터 반출된다.

셔터는 개구부를 개폐시키기 위해 구비되고, 캐리어 가이드는 셔터와 일체로 형성되어 있다.

측정부로부터 캐리어를 반출하기 위해 셔터가 개방되므로서, 캐리어 가이드는 캐리어의 반출에 방해되지 않는 대기위치로 이동한다.

캐리어가 반출된 후 셔터가 폐쇄되므로서, 캐리어 가이드는 캐리어가 항온조로부터 반출되는 방향과 직교하는 방향으로 캐리어 가이드가 캐리어를 안내하는 안내위치로 이동한다.

그후, 캐리어 가이드는 캐리어가 직교방향으로 반송되도록 캐리어를 안내한다.

Description

캐리어 반송장치, 캐리어 반송방법 및 반송장치{CARRIER TRANSPORTING APPARATUS, METHOD OF TRANSPORTING A CARRIER AND TRANSPORTING APPARATUS}

본 발명은 집적회로(이후, 단순히 "IC"라 한다)와 같은 피측정장치를 탑재한 캐리어를 반송하는 캐리어의 반송장치 및 캐리어의 반송방법에 관한 것이다.

예로서, 그러한 캐리어 반송장치는 오토핸들러(automatic handler)에 적용하기에 유용하다.

오토핸들러는 측정부로 자동적으로 피측정장치를 공급하기 위해, 캐리어 상에 조립이 완료된 피측정장치를 탑재시킨다.

그후, 오토핸들러는 캐리어로부터 피측정장치를 빼내고, 측정결과에 따라 장치를 자동적으로 분류하고, 수납시킨다.

먼저, 종래기술에서 캐리어 반송장치에 적용되는 오토핸들러를 사용하는 캐리어 반송방법을 개략적으로 설명한다.

도 1은 오토핸들러를 이용한 캐리어 반송방법을 설명하기 위한 평면도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, IC와 같은 다수의 조립된 피측정장치가 탑재부(2)의 공급용 트레이(1)상에 배치되어 있다.

피측정장치는 공급용 트레이(1)로부터 공급용 핸드(5)의 흡착과 흡착해제동작에 의해 공급부(3)(도 4참조)의 캐리어(4)상으로 이동된다.

캐리어(4)는 평판상이며, IC를 수용하기 위한 다수의 오목부를 갖고 있다.

캐리어(4)상에 IC를 이동시킨 후, 항온조(15)의 입구셔터(13)가 개방되고, 캐리어(4)는 개방된 입구셔터(13)를 통하여 항온조(15)내의 예열부(5)로 반송된다.

그리고, 입구셔터(13)는 반입 후 폐쇄된다.

캐리어(4)에 탑재된 IC는 예열부(5)에서 소정의 온도로 가열 혹은 냉각된다.

예열 후, 캐리어(4)는 항온조(15)내의 측정부(6)로 반송되고, 캐리어(4)에 탑재된 각 IC들은 소정의 온도상태 조건하에서 IC테스터(도시생략)에 의해 측정된다.

측정된 IC와 캐리어(4)는, 항온조(15)내의 건조실(7)로 반송되고, 그후 가열 및 건조된다.

이 건조동작은, 캐리어(4)가 냉각되었을 때, 캐리어(4)와 IC가 항온조(15) 외부에서 결로하는 것을 방지하기 위한 것이다.

가열로서 건조시킨 후, 항온조(15)의 출구셔터(14)는 개방되고, 건조된 캐리어(4)는 항온조(15)로부터 버퍼부(8)로 반출된다.

반출 후, 출구셔터(14)는 폐쇄된다.

버퍼부(8)에 있어서, 캐리어(4)의 반송방향은, 캐리어(4)가 수납부(9)로 반송되도록, 공급부(3)의 방향으로 캐리어(4)가 항온조(15)로부터 반출되는 반출방향과 직교하는 방향으로 변경된다.

수납부(9)에서, 캐리어(4)상의 IC 들은 항온조(15)에서의 측정결과에 따라,수납핸드(10)의 흡착과 흡착해제 동작에 의해 비탑재부(11)에서 수납트레이(12) 상에 분류되고 수납된다.

다음에, 빈 캐리어(4)는 공급부(3)로 반송된다.

상기 각 수순을 반복하므로서, 순차적으로 IC들을 측정하여, 측정결과에 따라 분류되고 수납된다.

캐리어(4)가 항온조(15)로부터 반출되어 수납부(9)나 공급부(3)로 반송되는단계에서, 캐리어(4)의 반송방향은 버퍼부(8)에서 반출방향과 직교하는 방향으로 변환할 필요가 있다.

이하, 도 7a, 7b를 참조하여, 종래의 캐리어 반송장치의 주요부의 구성과, 반송방향의 변환 방법에 대하여 설명한다.

도 7a, 7b에 나타내는 바와 같이, 종래의 캐리어 반송장치는 반출방향 가이드(19)와 직교방향 가이드(18)로 구성되어 있다.

반출방향 가이드(19)는, 캐리어(4)가 항온조(15)로부터 반출될 때 캐리어(4)의 반출방향을 안내한다.

캐리어(4)가 반출방향 가이드(19)에 의해 안내되고, 버퍼부(8)로 반송된 후, 캐리어(4)가 직교방향으로 반송되는 때에, 직교방향 가이드(18)는 반출방향과 직교하는 방향인 직교방향으로 캐리어(4)를 안내한다.

반출방향 가이드(18)와 직교방향 가이드(19)는, 실린더(23)에 의해 상하로 각각 승강하도록 구성되어 있다.

캐리어(4)가 반출될 때, 직교방향 가이드(18)가 캐리어(4)의 이동에 방해되지 않도록 소정의 위치에서 대기하도록 하강 이동하는 한편, 반출방향 가이드(19)는 다른 소정위치(도 7a참조)에서 대기하도록 미리 상승 이동한다.

이에 의해, 반출방향 가이드(19)는, 항온조(15)로부터 반출되는 캐리어(4)를 수평으로 유지한 상태로 수납시킬 수가 있다.

이 상태에서, 캐리어(4)는, 반출방향 가이드(19)에 안내되면서 버퍼부(8)까지 수평으로 유지되어 반출되어, 도 7a에 나타내는 상태로 된다.

그후, 캐리어(4)를 연속적으로 직교방향으로 반송하기 위해, 반출방향 가이드(19)는 소정위치로 하강하고, 직교방향 가이드(18)는 미리 다른 소정위치로 상승한다.

실제적으로, 캐리어(4)는 도중까지 반출방향 가이드(19)와 함께 하강하고, 반출방향 가이드(19)가 소정위치에 도달하기 전에 직교방향 가이드(18)에 의해 수납된다.

반출방향 가이드(19)는, 직교방향 반송시에 캐리어(4)를 방해하지 않도록 계속적으로 소정의 위치로 하강 이동한다(도 7b 참조).

캐리어(4)가 반출방향 가이드(19)로부터 직교방향 가이드(18)로 이동하면, 직교방향 가이드(18)는 캐리어(4)를 유지가이드부(18a)에 유지한다.

이와 같이하여, 캐리어(4)가 직교방향 가이드(18)로 이동한 후에, 캐리어(4)가 직교방향 가이드(18)의 유지가이드부(18a)에 의해 안내되면서 직교방향으로 반송된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 캐리어의 반송장치에서는, 캐리어(4)를 반출방향 가이드(19)로부터 직교방향 가이드(18)로 수납 교환시키기 위해, 캐리어 가이드부를 상하 이동시키는 실린더(23) 등의 승강기구가 필요하게 되고, 또한 그러한 승강기구를 위한 공간이 필요하게 된다.

또한, 반출방향 가이드(19)가 캐리어(4)를 수납하기 위한 위치까지 상승 이동하는 수순과, 직교방향 가이드(18)가 캐리어(4)를 방해하지 않는 위치까지 직교방향 가이드(18)를 하강 이동하는 수순이 완료될 때까지 캐리어(4)를 항온조(15)로부터 반출시킬 수가 없기 때문에, 결과적으로 캐리어(4)를 반출하는데 상당한 시간이 걸린다.

부가하여, 반출방향 가이드(19)를 하강시키는 한편 직교방향 가이드(18)를 상승시키므로서 캐리어(4)를 수납 교환하는 수순과, 캐리어(4)가 직교방향으로 이동할 때 방해되지 않는 위치까지 반출방향 가이드(18)가 하강하는 수순이 완료되기까지, 캐리어(4)를 직교방향으로 반송할 수가 없기 때문에, 결과적으로 캐리어(4)를 반출하는데 상당한 시간이 걸린다.

본 발명의 목적은, 캐리어 및 캐리어 가이드부의 상하 동작과, 이 상하 동작을 위한 시스템을 필요로 하지 않는 간단한 구성을 구비하고, 또한 동작을 줄이는 것에 의해 캐리어의 반송시간을 단축 가능한 캐리어 반송장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 그러한 캐리어 반송장치를 이용한 캐리어 반송방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 가공물과 가이드부의 상하 동작과, 그러한 동작시스템이 불필요한 간단한 구조로 가공물을 반송하는 반송장치를 제공하는데 있다.

도 1은, 캐리어 반송장치가 적용된 오토핸들러의 개략을 나타내는 평면도.

도 2a 및 도 2b는, 측정부와 주위의 출구의 주요부를 개략적으로 나타내는 측면단면도.

도 3a 내지 도 6b는, 캐리어 반송장치 상의 캐리어의 반송의 수순을 설명하기 위한 도면로서, 도 3a, 4a, 5a 및 도 6a는 캐리어 반송장치를 나타내는 평면도, 도 3b, 4b, 5b 및 도 6b는 측정부와 주위의 출구의 주요부를 개략적으로 나타내는 측면단면도.

도 7a 및 도 7b는, 종래의 캐리어 반송장치의 측정부와 주위의 출구의 주요부를 개략적으로 나타내는 측면단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

4. 캐리어 7. 건조실

8. 버퍼부 9. 수납부

14. 셔터15. 항온조

16. 실린더17. 캐리어 가이드

20. 압출핸드21. 인입핸드

30. 개구부41. 가이드 스토퍼

42. 반출방향 가이드50. 캐리어 반송장치

100. 오토핸들러

본 발명의 한 형태에 따르면, 캐리어 상에 탑재된 피측정장치가 측정되고, 캐리어가 반출될 수 있도록 개구부가 형성되어 있는 측정부와; 상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 측정부 상에 구비되어 있는 셔터와; 상기 캐리어가 상기 측정부로부터 반출되는 반출방향과 직교하는 방향으로, 상기 캐리어를 안내하기 위한 캐리어 가이드를 구비한 캐리어 반송장치이다.

또한, 캐리어 가이드부는 셔터와 일체로 형성되어 있다.

이후, 측정부로부터 캐리어가 반출되는 방향을 반출방향이라 하고, 반출방향과 직교하는 방향을 직교방향이라 한다.

또한, 셔터가 개방되므로서, 캐리어가 측정부로부터 반출될 때, 캐리어 가이드부가 캐리어를 방해하지 않는 대기위치로 이동하고, 셔터가 폐쇄되므로서, 캐리어 가이드부가 캐리어를 직교방향으로 안내하는 안내위치로 이동한다.

이 캐리어 반송장치에 따르면, 캐리어 가이드부와 셔터가 일체로 구성되기 때문에, 캐리어가 측정부로부터 반출되는 때에 셔터를 개방하는 공정과 캐리어 가이드부를 대기위치로 이동시키는 동작이 동시에 수행되므로, 캐리어를 반출하는데 필요한 시간을 단축하는 것이 가능해진다.

부가적으로, 캐리어 가이드부를 대기위치로 이동시키기 위한 특별한 구동기구가 필요하지 않고, 그러한 구동기구를 위한 공간이 또한 필요하지 않다.

또한, 측정부로부터 캐리어를 반출한 후, 셔터를 폐쇄하는 공정과, 캐리어가이드부를 안내위치로 이동시키는 공정이 동시에 수행되므로, 캐리어를 반송하는데 필요한 시간의 단축이 가능해진다.

또, 캐리어를 반출하는 경우와 마찬가지로, 캐리어 가이드부를 대기위치로 이동시키기 위한 특별한 구동기구가 필요하지 않고, 그러한 구동기구를 위한 공간이 또한 필요하지 않다.

또한, 측정부로부터 캐리어를 반출한 후에는 셔터를 폐쇄하는 공정과, 안내위치로 캐리어 가이드부를 이동시키는 공정이 동시에 수행되므로, 캐리어를 반송하는데 필요한 시간을 단축하는 것이 가능해진다.

추가적으로 안내위치로 캐리어 가이드부를 이동시키는데 필요한 특별한 구동기구를 필요로 하지 않아, 캐리어를 반출하는 경우와 마찬가지로, 그러한 구동기구를 위한 공간이 또한 필요하지 않다.

또한, 측정부로부터 캐리어가 직교방향으로 반송되는 반송경로는 평탄하게 설정된다.

반송경로가 평탄하면, 캐리어를 승강시키는 기구가 필요하지 않으며, 또한 그러한 기구를 위한 공간이 필요하지 않고, 캐리어를 승강시키는 시간도 필요 없게 된다.

셔터는 개구부를 개방하기 위해 상승동작하고, 개구부를 폐쇄하기 위해 하강동작하며, 캐리어 가이드부는 셔터의 하부로부터 수평으로 돌출되어 있다.

이와 같은 구조에 의해, 상술한 본 발명에 따른 캐리어 반송장치는 바람직하게 실현된다.

캐리어 반송장치는 또한 가이드 스토퍼를 구비하고 있다.

이 경우, 캐리어의 반출 완료시에는, 가이드 스토퍼는 캐리어의 전면부에 접촉하게 되고, 전면부는 캐리어의 반출방향을 향해서 측면부이다.

결과적으로, 가이드 스토퍼는 캐리어를 직교방향으로 반송하는 동안에 캐리어의 이동을 규제하고, 캐리어를 안내한다.

또한, 캐리어 가이드부와 가이드 스토퍼는 캐리어가 직교방향으로 반송되는 동안에, 캐리어의 양 측면부를 안내하도록 협력 동작한다.

그러한 가이드 스토퍼를 구비한 캐리어 반송장치에 따르면, 캐리어의 반출이 완료된 때, 가이드 스토퍼는 캐리어를 정지시키기 위해 캐리어의 전면부에 접촉하게 된다.

캐리어 가이드부가 캐리어의 후면부를 안내하도록, 캐리어를 반출한 후 셔터가 하강하므로서 캐리어 가이드부는 대기위치로 이동하게 된다.

후면부는 캐리어 스토퍼에 의해 안내된 전면부의 반대측이다.

결과적으로, 캐리어는 캐리어 가이드부와 캐리어 스토퍼 사이에 있게 된다.

그러므로, 캐리어가 직교방향으로 반송되고 있는 동안에, 가이드 스토퍼와 캐리어 가이드부는 캐리어의 양 측면부를 안내하도록 협력 동작한다.

캐리어 가이드부의 선단은 캐리어를 안내하기 위해 캐리어에 접촉하고, 선단은 수직 평탄면을 갖는 형상이다.

이와 같이, 캐리어 가이드부가 선단으로 캐리어를 안내하고, 전면단말이 수직 평탄면을 갖는 형상이기 때문에, 선단이 캐리어와 접촉하는 영역은 넓은 폭이된다.

그러므로 캐리어 가이드부가 대기위치로부터 안내위치로 정확히 위치하지 않더라도, 캐리어에 접촉하는 선단 영역은 캐리어를 적당히 안내하기에 충분한 넓이가 된다.

또, 측정부는 항온조로서의 기능을 가질 수가 있다.

또한, 캐리어 반송장치는 오토핸들러에 적용할 수가 있다.

본 발명의 다른 형태에 의하면, 피측정장치를 측정한 후, 측정부로부터 캐리어를 반출하기 위해 셔터가 개방되는 것에 수반하여, 상기 캐리어가 상기 측정부로부터 반출되는 때에 상기 캐리어 가이드가 상기 캐리어의 반출에 방해되지 않는 대기위치로 이동하는 단계와 ; 상기 캐리어가 반출된 후, 상기 셔터가 폐쇄되는 것에 수반하여, 상기 캐리어 가이드가 상기 캐리어를 직교방향으로 안내하는 안내위치로 상기 캐리어 가이드가 이동하는 단계와 ; 상기 캐리어가 직교방향으로 반송되도록 상기 캐리어 가이드에 의해 상기 캐리어를 안내하는 단계로 구성된 캐리어 반송장치의 캐리어 반송방법이다.

본 발명의 다른 형태에 의하면, 캐리어가 반송되도록 개구부가 형성되어 있는 한편 캐리어 상에 탑재된 피측정장치가 측정되는 측정부로 구성되고, 개구부를 개폐하기 위해 측정부에 구비된 셔터와, 직교방향으로 캐리어를 안내하기 위한 캐리어 가이드부로 구성된 캐리어 반송장치로서, 셔터가 개방되므로서 캐리어가 측정부로부터 반출되는 때에, 캐리어 가이드부가 캐리어의 반출에 방해되지 않는 대기위치로 캐리어 가이드부가 이동하도록 셔터와 캐리어 가이드는 일체로 형성되어 있다.

또한, 캐리어 가이드부는, 셔터가 폐쇄되므로서 캐리어를 직교방향으로 안내하는 안내위치로 이동한다.

상술한 캐리어의 전송방법에 따르면, 캐리어를 전송하고 반출하기 위한 시간을 단축시키는 것이 가능해진다.

또, 그러한 방법의 캐리어 전송장치의 구조는 캐리어 가이드부를 대기위치와 안내위치로 캐리어 가이드부를 이동시키기 위한 특별한 구동기구 없이 간소화할 수 있고, 또한, 그러한 구동기구를 위한 공간을 절약할 수가 있다.

또, 본 발명의 다른 형태에 의하면, 반송장치는 챔버로부터 가공물을 반출될 수 있도록 개구부가 형성된 가공물을 수납시키는 챔버와, 개구부를 개폐하기 위한 챔버상에 구비된 셔터와, 챔버로부터 가공물이 반출되는 반출방향과 직교하는 직교방향으로, 가공물을 안내하는 가이드부로 구성되어 있다.

또한, 셔터가 개방되므로서, 챔버로부터 캐리어가 반출되는 때에 가공물에 방해되지 않는 대기위치로 가이드부가 이동하도록, 또한 셔터가 폐쇄되므로서, 가이드부가 가공물을 직교부로 안내하는 안내위치로 가이드부가 이동하도록 가이드부는 셔터와 일체로 형성되어 있다.

(실시예)

이하, 도 1 내지 도 7b를 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

본 실시형태에서는, 고저온형의 오토핸들러(100)에, 본 발명에 관계하는 캐리어 반송장치(50)를 적용한 예에 대하여 설명한다.

오토핸들러(100)는 도시하지 않은 IC테스터 등을 구비하고 있다.

또한, 본 발명에 관계하는 캐리어의 반송장치(50)의 구성요소 중, 앞서 설명한 종래의 캐리어의 반송장치와 동일한 구성요소에는 동일한 부호를 부여하고, 각별한 필요가 없는 경우에는, 그 설명을 생략한다.

먼저, 본 발명에 관한 캐리어 반송장치(50)의 구성에 대하여 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 캐리어 반송장치(50)는, IC 등의 피측정장치(도시생략)를 탑재한 캐리어(4)를 피측정 디바이스의 측정시에 수납하는 항온조(15)를 구비하고 있다.

항온조(15)에는, 피측정장치의 측정후, 항온조(15)의 건조실(7)로부터 버퍼부(8)로 향하여 캐리어(4)를 반출할 때에 캐리어(4)가 통과하는 개구부(30)와, 개구부(30)를 개폐하기 위한 셔터(14)가 설치되어 있다.

도 2a 및 도 2b에 나타내는 바와 같이, 개구부(30)는 항온조(15)의 외벽을 수평방향으로 관통하도록 설치되어 있다.

셔터(14)는 개구부(30)의 외측에 배치되어 있다.

개구부(30)는, 예를 들면, 실린더(16)와 같은 구동수단으로 셔터를 승강 동작시키므로서 개폐될 수가 있다.

도 3a에 나타내는 바와 같이, 건조실(7)에는 압출핸드(20)가 구비되어 있다.

압출핸드(20)는, 압출핸드(20)가 캐리어(4)의 후면부와 접촉하는 동안 반출방향으로 이동한다.

후면부는 반출방향에 대향하는 측면부와 반대의 측면부이다.

결과적으로, 압출핸드(20)는 건조실(7)의 외측으로 캐리어(4)를 압출한다.

인입핸드(21)는 버퍼부(8)의 측면부에 배치되어 있다.

압출핸드(20)에 의해 건조실(7)의 바깥쪽으로 압출된 캐리어(4)는, 인입핸드(21)에 의해 버퍼부(8)에 인입된다.

도 2a 및 도 2b에 나타내는 바와 같이, 셔터(14)에는, 본 발명에 관계하는 캐리어 가이드(17)가 셔터(14)의 하부로부터 수평방향으로 뻗도록 하여 일체적으로 설치되어 있다.

캐리어(4)가 개구부(30)를 통하여 항온조(15)로부터 버퍼부(8)로 반출된 후, 그 반출방향과 직교방향으로 되는 수납부(9)로 향하여, 캐리어 가이드(17)는 캐리어(4)를 안내한다.

캐리어 가이드(17)는 셔터(14)와 일체적으로 설치되어 있으므로, 셔터(14)의 개폐동작에 수반하여 이동한다.

캐리어 가이드(17)는 도 2a에 나타내는 바와 같이, 셔터(14)가 개방 동작한 상태에서는, 캐리어(4)의 반출에 방해되지 않는 대기위치에 위치하는 한편, 도 2b에 나타내는 바와 같이, 셔터(14)가 폐쇄 동작한 상태에서는, 상기 직교방향으로 캐리어(4)를 안내하는 위치로 이동한다.

구체적으로는, 캐리어 가이드(17)는 선단에 가이드부(17a)를 구비하고 있으며, 가이드부(17a)는 캐리어(4)의 후면부를 안내한다.

가이드부(17a)는, 대략 평면 형상이며, 캐리어 가이드(17)를 셔터(14)에 설치한 상태에서는 수평방향이 된다.

도 2a, 2b, 및 도 3a 내지 도 6b에 나타내는 바와 같이, 캐리어 반송장치(50)는, 캐리어(4)가 항온조(15)로부터 반출되는 때에, 반출방향에서, 캐리어(4)를 안내하는 반출방향 가이드부(42)를 구비하고 있다.

반출방향 가이드부(42)는 반출방향에 직교하는 두 측면으로부터 캐리어(4)를 안내한다.

또한, 캐리어 반송장치(50)는, 반출완료시에 캐리어(4)의 반출방향측의 측부가 맞접하므로서 캐리어(4)의 이동을 규제하는 가이드 스토퍼(41)를 구비하고 있다.

가이드 스토퍼(41)는, 또한 직교방향에서, 캐리어(4)가 버퍼부(8)로부터 수납부(9)로 반송되는 때에, 캐리어(4)의 전면부를 안내하는 기능도 갖고 있다.

직교방향으로의 캐리어(4)의 반송은, 가이드 스토퍼(41)의 측면에 구비된 반송핸드(22)에 의해 수행된다.

버퍼부(8)를 통하여 건조실(7)로부터 수납부(9)로 캐리어(4)가 반출되는 반출경로는, 평탄하고 수평으로 형성되어 있다.

다음에, 캐리어(4)의 반송 수순을 설명한다.

수납부(9)로부터 공급부(3)와 예열부(5) 및 측정부(6)를 통하여 건조실(7)로의 피측정장치의 이동과, IC와 같은 피측정장치의 측정을 위한 캐리어(4)의 반송은, 앞서 설명한 종래기술과 같은 방법으로 수행되므로 그들의 설명은 생략한다.

먼저, 건조실(7)에서 캐리어(4)가 가열된 후, 셔터(14)는 개방된다.

도 2a에 나타내는 바와 같이, 셔터가 상승하면, 캐리어(4)가 항온조(15)로부터 반출될 때, 캐리어 가이드(17)는 캐리어(4)를 방해하지 않는 대기위치로 상승한다.

이 경우, 도 3a, 3b 및 도 4a, 4b에 나타내는 바와 같이, 캐리어(4)는 압출핸드(20)에 의해 건조실(7)의 외부로 압출되고, 그후, 도 5a, 5b 및 도 6a, 6b에 나타내는 바와 같이, 인입핸드(21)에 의해 버퍼부(8)로 인입된다.

이와 같은 수순의 동작에 의해, 건조실(7)로부터 버퍼부(8)로의 캐리어(4)의 반출이 완료된다.

이와 같은 수순 동안에, 반출방향 가이드부(42)는 캐리어(4)를 반출방향으로 안내한다.

캐리어(4)의 반출이 완료되면, 도 5a, 5b(및 도 2a)에 나타내는 바와 같이, 캐리어(4)의 반출방향의 전면부가 가이드 스토퍼(41)에 맞접하여, 반출방향으로의 동작규제가 이루어진다.

상술한 바와 같이 캐리어(4)가 반출된 후, 도 2b에 나타내는 바와 같이, 항온조(15)내의 온도저하를 방지하기 위해 셔터(14)가 폐쇄된다.

셔터(14)가 폐쇄되므로서, 캐리어 가이드(17)는, 셔터(14)가 폐쇄됨에 수반하여 하강하고, 상기 직교방향으로의 반송시에 캐리어(4)를 안내하는 위치로 이동한다.

결과적으로, 캐리어(4)는 캐리어 가이드(17)와 가이드 스토퍼(41)간에 존재하게 된다.

그후, 도 5a, 5b 및 도 6a, 6b에 나타내는 바와 같이, 캐리어(4)를, 반송핸드(22)에 의해 버퍼부(8)로부터 수용부(9)로 향하여, 상기 직교방향으로 반송한다.

이 반송하는 동안, 가이드 스토퍼(41)와 캐리어 가이드(17)는, 반출방향측의 전면부와 그 반대측의 후면부인 캐리어(4)의 양 측면부를 안내한다.

상술한 본 발명의 캐리어 반송장치(50)에 의하면, 캐리어 가이드(17)가 셔터(14)와 일체적으로 설치되어 있으므로, 항온조(15)의 건조실(7)로부터 캐리어(4)를 반출하기 위해 셔터(14)를 개방하는 동작과, 캐리어(4)의 반출에 방해가 되지 않는 대기위치로 캐리어 가이드(17)가 이동하는 동작이 동시에 행해져, 반출의 시간을 단축할 수 있다.

또, 캐리어 가이드(17)를 대기위치로 이동시키는데 특별한 구동기구가 필요하지 않게 됨과 동시에, 그러한 구동기구를 배치하기 위한 공간도 필요하지 않다.

또한, 캐리어(4)의 반출 후에 셔터(14)를 폐쇄하는 동작과, 캐리어(4)를 직교방향으로 반송할 때에 캐리어(4)를 안내하는 위치로 캐리어 가이드(17)가 이동하는 동작이 동시에 행해지므로, 반송 시간을 단축할 수 있다.

또, 캐리어(4)의 반출방법과 마찬가지로, 캐리어 가이드(17)를 안내위치로 이동시키기 위한 특별한 구동기구가 필요하지 않음과 동시에 그러한 구동기구를 위한 공간이 필요하지 않다.

또한, 반송경로가 평탄하기 때문에, 캐리어(4)를 승강시키기 위한 특별한 기구가 필요하지 않고, 그러한 기구를 위한 공간이 필요하지 않음과 동시에, 캐리어(4)를 승강시키기 위한 시간도 필요하지 않다.

또, 가이드 스토퍼(41)를 구비하고 있으므로, 캐리어(4)의 반출완료시에는,캐리어(4)의 반출방향측의 측부가 가이드 스토퍼(41)에 맞접하고, 이에 의해 캐리어(4)를 동작 규제할 수 있다.

캐리어(4)의 반출 후에 셔터(14)가 폐쇄되므로서, 캐리어 가이드(17)는 캐리어(4)의 후면부를 안내하기 위해 안내위치로 하강한다.

결과적으로, 캐리어(4)는 캐리어 가이드(17)와 가이드 스토퍼(41)간에 있게 되고, 캐리어(4)의 양 측면부를 안내 가능한 상태로 된다.

따라서, 캐리어(4)가 직교방향으로 반송되는 때에는, 캐리어 가이드(17)와 가이드 스토퍼(41)의 협력 동작으로 캐리어(4)의 양 측면부를 바람직하게 안내할 수 있다.

캐리어 가이드(17)는 캐리어 가이드부(17a)로서 캐리어(4)를 안내한다.

캐리어 가이드부(17a)는, 캐리어(4)와 접촉하는 캐리어 가이드부(17a)의 영역이 넓게 되도록 수직 평탄면을 갖는 형상을 하고 있다.

그러므로, 만일 캐리어 가이드(17)가 대기위치로부터 이동한 후 안내위치에 정확하게 위치하지 않더라도, 캐리어 가이드부(17a)가 캐리어(4)에 접촉하는 면적이 캐리어(4)를 적정히 안내하는데 충분한 넓이로 된다.

캐리어(4)가 캐리어 가이드부(17a)의 단말로 반송된 후, 도 6a, 6b에 나타내는 바와 같이, 캐리어(4)는 가이드 스토퍼(41)와 직교방향 가이드(18)에 의해 안내된다.

직교방향 가이드(18)는, 직교방향 가이드(18)의 표면이 캐리어(4)와 접촉하고, 캐리어 가이드부(17a)의 표면이 캐리어에 접촉되어 평면을 이루도록 나란히 되어, 그 평면이 캐리어(4)를 원활히 안내할 수 있도록 되어 있다.

결과적으로, 캐리어(4)는 캐리어 가이드부(17a)로부터 직교방향 가이드(18)로 원활히 이동될 수가 있다.

또한, 직교방향 가이드(18)는, 캐리어(4)가 직교방향 가이드(18)와 캐리어 가이드부(17a)간에 있도록 구비되어 있다.

결과적으로, 직교방향에서, 캐리어(4)의 반송시, 캐리어(4)는 캐리어 가이드부(17a)와 가이드 스토퍼(41)에 의해 안내되고, 그후 직교방향 가이드(18)와 가이드 스토퍼(41)에 의해 연속적으로 안내된다.

또한, 상기한 실시예에 따르면, 캐리어(4)의 반송경로는 시계방향으로 되어 있지만, 본 발명에 따른 반송경로는 반시계방향으로 할 수도 있다.

본 발명에 따르면, 직교방향은 소정의 각도로 반출방향과 직교 가능하고, 바람직하게는 반출방향에 수직이다.

본 실시예에 따르면, 본 발명의 캐리어 반송장치(50)는 오토핸들러(100)에 적용한 예에 대하여 설명하였지만, 그 외의 장치에 적용하여도 된다.

본 발명에 의하면, 캐리어 및 캐리어 가이드부의 상하 동작과, 이 상하 동작을 위한 시스템을 필요로 하지 않는 간단한 구성을 구비하고, 또한 동작을 줄이는 것에 의해 캐리어의 반송시간을 단축 가능한 캐리어의 반송장치 및 그러한 캐리어 반송장치를 이용한 캐리어 반송방법이 제공된다.

Claims (9)

1. 캐리어 상에 탑재된 피측정장치가 측정되고, 캐리어가 반출될 수 있도록 개구부가 형성되어 있는 측정부와;

   상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 측정부 상에 구비되어 있는 셔터와;

   상기 캐리어가 상기 측정부로부터 반출되는 반출방향과 직교하는 방향으로, 상기 캐리어를 안내하기 위한 캐리어 가이드를 구비한 캐리어 반송장치로서,

   상기 셔터가 개방 동작하는 데에 수반하여, 상기 캐리어가 상기 측정부로부터 반출되는 때, 상기 캐리어의 반출이 방해되지 않는 대기위치로 상기 캐리어 가이드가 이동하고,

   상기 셔터가 폐쇄 동작하는 데에 수반하여, 상기 캐리어를 상기 직교하는 방향으로 안내하는 위치로 상기 캐리어 가이드가 이동하도록, 상기 캐리어 가이드와 상기 셔터가 일체로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 측정부로부터 반출되고 상기 직교방향으로 반송되는 상기 캐리어의 반송경로가, 평탄하게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 셔터는, 상승 동작에 의해 상기 개구부를 개구상태로 하는 한편, 하강동작에 의해 상기 개구부를 폐쇄상태로 하고,

   상기 캐리어 가이드는, 상기 셔터의 하부로부터 수평방향으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 캐리어의 반출완료시에, 상기 캐리어의 측부가 접촉하므로서 상기 캐리어의 동작을 규제하는 기능과 상기 직교방향으로의 반송시에 상기 캐리어를 안내하는 기능을 겸하여 가지며, 상기 측부가 상기 반출방향과 면하고 있는 가이드 스토퍼를 추가로 구비하고,

   상기 직교방향으로 캐리어를 반송할 때, 상기 캐리어 가이드와 상기 가이드 스토퍼가 협동하여, 상기 캐리어의 양 측부를 안내하는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 캐리어 가이드의 선단이 상기 캐리어를 안내하기 위해 캐리어와 접촉하고, 상기 선단은 수직 평탄면을 갖는 형상인 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 측정부가 항온조로서의 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
7. 제1항에 있어서,

   오토핸들러에 적용된 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.
8. 캐리어 상에 탑재된 피측정장치가 측정되고, 상기 캐리어가 반출될 수 있도록 개구부가 형성되어 있는 측정부와; 상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 측정부 상에 구비되어 있는 셔터와; 상기 캐리어가 상기 측정부로부터 반출되는 반출방향과 직교하는 방향으로, 상기 캐리어를 안내하기 위한 캐리어 가이드를 구비하고 있으며,

   상기 셔터가 개방 동작하는 데에 수반하여 상기 캐리어의 반출이 방해되지 않는 대기위치로 상기 캐리어 가이드가 이동하고, 상기 셔터가 폐쇄 동작하는 데에 수반하여 상기 캐리어를 상기 직교하는 방향으로 안내하는 위치로 상기 캐리어 가이드가 이동하도록, 상기 캐리어 가이드와 상기 셔터가 일체로 배치되어 있는 캐리어 반송장치에 있어서,

   그 캐리어 반송방법은,

   상기 피측정장치를 측정한 후, 상기 측정부로부터 상기 캐리어를 반출하기 위해 상기 셔터가 개방되는 것에 수반하여, 상기 캐리어가 상기 측정부로부터 반출되는 때에 상기 캐리어 가이드가 상기 캐리어의 반출에 방해되지 않는 대기위치로 이동하는 단계와 ;

   상기 캐리어가 반출된 후, 상기 셔터가 폐쇄되는 것에 수반하여, 상기 캐리어 가이드가 상기 캐리어를 직교방향으로 안내하는 안내위치로 이동하는 단계와 ;

   상기 캐리어가 직교방향으로 반송되도록 상기 캐리어 가이드에 의해 상기 캐리어를 안내하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치에 있어서의 캐리어 반송방법.
9. 가공물이 수납되고, 상기 가공물이 반출될 수 있도록 개구부가 형성되어 있는 챔버와;

   상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 챔버 상에 구비되어 있는 셔터와;

   상기 가공물이 상기 챔버로부터 반출되는 반출방향과 직교하는 방향으로, 상기 가공물을 안내하기 위한 가이드를 구비한 반송장치로서,

   상기 셔터가 개방 동작하는 데에 수반하여, 상기 챔버로부터 상기 가공물이 상기 챔버로부터 반출되는 때, 상기 가공물의 반출이 방해되지 않는 대기위치로 상기 가이드가 이동하고,

   상기 셔터가 폐쇄 동작하는 데에 수반하여, 상기 가공물을 상기 직교하는 방향으로 안내하는 위치로 상기 가이드가 이동하도록, 상기 가이드와 상기 셔터가 일체로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송장치.