KR20010098680A - 자체 기준 마크의 독립 정렬 센서 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (30)
- 정렬 조사 광원;상기 정렬 조사 광원에 의해 조사된 대칭 정렬 마크로부터 전자기 방사를 수신하는 이미지 회전 간섭계; 및상기 이미지 회전 간섭계로부터 전자기 방사를 수신하는 검출기를 포함하며,그에 의해 상기 대칭 정렬 마크의 중심의 위치가 결정되는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제1항에 있어서,상기 이미지 회전 간섭계는 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제1항에 있어서,상기 정렬 조사 광원은 코히런트한 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제1항에 있어서,상기 이미지 회전 간섭계는 상기 대칭 정렬 마크의 제1 이미지와 상기 대칭 정렬 마크의 회전된 제2 이미지를 일으키며 또한 상기 제1 및 제2 이미지를 재결합하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제1항에 있어서,상기 대칭 정렬 마크는 180도 대칭을 갖는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제5항에 있어서,상기 대칭 정렬 마크는 동일한 간격의 라인과 스페이스를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제6항에 있어서,상기 대칭 정렬 마크는 격자인 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제6항에 있어서,상기 대칭 정렬 마크는 체커보드인 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제6항에 있어서,상기 대칭 정렬 마크는 그리드인것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 전자기 방사 광원;상기 전자기 방사 광원으로 부터 전자기 방사를 수신하며 또한 상기 전자기 방사를 정렬마크로 보내는 빔 스플리터;상기 정렬 마크로부터 전자기 방사를 수신하기위해 위치되며 또한 상기 정렬 마크의 제1 이미지와 상기 정렬 마크의 제2 회전된 이미지를 형성하며, 또한 상기 제1 및 제2 이미지를 간섭계적으로 재결합하는 광학 요소;상기 광학 요소로부터 상기 전자기 방사를 수신하기 위해 위치된 검출기; 및상기 검출기에 결합되며 또한 상기 검출기로부터 신호에 기초한 정렬 타겟의 대칭 중심을 결정하는 신호 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제10항에 있어서,상기 정렬 조사 광원은 코히런트한 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제10항에 있어서,상기 광학 요소는 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제10항에 있어서,상기 정렬 마크는 180도 대칭인 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 정렬 마크를 검출하는 방법에 있어서,전자기 방사에 의해 정렬 마크를 조사하는 단계;상기 정렬 마크의 제1 이미지를 일으키는 단계;상기 제1 이미지와 관련하여 회전된 상기 정렬 마크의 제2 이미지를 일으키는 단계; 및상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 재결합하는 단계를 포함하며,그에 의해 상기 정렬 마크의 위치가 정확히 결정되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서,상기 전자기 방사는 코히런트한 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서,상기 제1 이미지는 상기 제2 이미지에 관하여 180도 회전되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서,상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지는 간섭계적으로 재결합되는 것을 특징으로하는 방법.
- 제14항에 있어서,상기 정렬 마크의 중심을 계산하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서,상기 정렬 마크는 180도 대칭인 것을 특징으로 하는 방법.
- 이미지를 제1 및 제2 이미지로 분할하는 빔 스플리터;상기 제1 이미지가 회전되도록 상기 제1 이미지를 수신하는 제1 회전 광학 요소;상기 제2 이미지가 회전되도록 상기 제2 이미지를 수신하는 제2 회전 광학 요소; 및상기 제1 및 제2 이미지가 결합되도록 상기 제1 및 제2 이미지를 수신하는 결합 광학 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 회전 간섭계.
- 제20항에 있어서,상기 제1 회전 광학 요소와 상기 제2 회전 광학 요소는 프리즘인 것을 특징으로하는 이미지 회전 간섭계.
- 제20항에 있어서,상기 빔 스플리터와 상기 결합 광학 요소사이의 상기 제1 회전 광학 요소를 통해 전자기 방사에 의해 진행되는 제1 광학 경로 거리는 상기 빔 스플리터와 상기 결합 광학 요소사이의 상기 제2 회전 광학 요소를 통해 전자기 방사에 의해 진행되는 제2 광학 경로 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 이미지 회전 간섭계.
- 주사 포토리소그래피 디바이스용 정렬 센서 시스템에 있어서,기판을 유지시키며 또한 대칭 중심을 가진 대칭 정렬 마크를 지니는 주사 스테이지;상기 대칭 정렬 마크가 상기 주사 스테이지에 의해 조사 필드를 가로질러 조사되도록 상기 대칭 정렬 마크를 조사하는 조사 필드를 제공하는 코히런트 전자기 방사 광원;상기 코히런트 정렬 조사광원에 의해 조사되는 대칭 정렬 마크로부터 전자기 방사를 수신하며 또한 상기 정렬 마크의 제1 이미지와 상기 정렬 마크의 제2 회전된 이미지를 제공하며, 또한 상기 제1 및 제2 이미지를 간섭계적으로 재결합하는 이미지 회전 간섭계;상기 이미지 회전 간섭계로 부터 전자기 방사를 수신하는 검출기;상기 검출기에 결합되며, 또한 상기 정렬 마크의 대칭 중심이 결정되도록 상기 검출기로부터 정현파 신호를 수신하는 신호 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서 시스템.
- 두 방향으로 정렬을 검출하기위해 정렬 축을 지닌 정렬 센서에 있어서,중심을 가진 대칭 정렬 마크로부터 전자기 방사를 수신하며 또한 정렬 조사 광원에 의해 조사되는 이미지 회전 간섭계;제1 방향에서 정렬 정보를 제공하는 상기 대칭 정렬 마크로부터 수신된 상기이미지 회전 간섭계로부터 전자기 방사를 수신하는 제1 검출기;제2 방향에서 정렬 정보를 제공하는 상기 대칭 정렬 마크로부터 수신된 상기 이미지 회전 간섭계로부터 전자기 방사를 수신하는 제2 검출기; 및상기 제1 및 제2 검출기에 결합되며, 또한 상기 정렬 센서의 정렬 축 일치와 상기 대칭 정렬 마크의 중심을 결정하는 신호 분석기를 포함하며,그에 의해 상기 대칭 정렬 마크의 중심의 위치가 결정되는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제24항에 있어서,적어도 3개의 서로 다른 파장을 가진 코히런트 조사광을 제공하는 조사 광원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제24항에 있어서,상기 정렬 센서의 정렬 축에 수직한 파면을 가진 공간적으로 코히런트한 평행광의 전자기 방사를 제공하는 조사 광원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제24항에 있어서,상기 이미지 회전 간섭계는 다수의 프리즘으로 이루어진 고체 유리 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제27항에 있어서,상기 고체 유리 어셈블리는 빔 스플리터 표면에 결합된 2개 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제24항에 있어서,상기 이미지 회전 간섭계는 진폭 간섭계를 제공하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
- 제24항에 있어서,상기 이미지 회전 간섭계는 편광 상태 간섭을 제공하는 것을 특징으로 하는 정렬 센서.
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