JPH03119524A - 光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズの傾き調整装置及び方法 - Google Patents

光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズの傾き調整装置及び方法

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JPH03119524A
JPH03119524A JP1258119A JP25811989A JPH03119524A JP H03119524 A JPH03119524 A JP H03119524A JP 1258119 A JP1258119 A JP 1258119A JP 25811989 A JP25811989 A JP 25811989A JP H03119524 A JPH03119524 A JP H03119524A
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objective lens
optical
optical system
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inclination
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Masahiro Ono
大野 政博
Takeshi Ito
毅 伊藤
Isao Okuda
功 奥田
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザダイオード等から出射されたレーザ光
束を利用して光磁気ディスク等の記憶媒体に対して情報
の記録及び再生等を行う光学式情報記録再生装置用光学
系の対物レンズの傾き調整装置及び方法に関する。
光学式情報記録再生装置用光学系において、記憶媒体か
ら情報の読み出しや書き込みを正確に行うためには、レ
ーザ光束を記憶媒体上にできるだけ小さく集束させなけ
ればならない。
しかし、記憶媒体の表面に集束するレーザ光束の光軸が
記憶媒体に対して垂直でないとコマ収差が発生して、レ
ーザ光束を小さく集束させることができない。
したがって、コマ収差はできるだけ除去しなければなら
ず、そのためには、レーザ光束の光軸が記憶媒体に対し
て正確に垂直になるように、光学式情報記録再生装置用
光学系の対物レンズの傾きを調整する必要がある。
〔従来の技術〕
従来、光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズの
記憶媒体に対する傾きを調整するためには、例えばHe
−Neレーザビームを光ディスクに垂直に対物レンズに
入射させ、対物レンズを構成するレンズ表面からの反射
によるリング状の干渉縞をスクリーンに映し、その状態
から対物レンズの傾きを判定して、調整を行っていた。
〔発明か解決しようとする課題〕
しかし、」二連のような従来の装置では、対物レンズを
構成する各レンズ表面からの反射光か干渉縞にすべて表
れてくるので、各レンズ間の芯ずれや傾きなどが影響し
て、高精度で対物レンズの傾きを測定することができな
かった。(しかも、対物レンズの傾き調整だけのために
1−1 e −N eレーザ装置などを準備しなければ
ならないため、はなはだコスト高なものとなっていた。
) また、例えば市販のZYGO8100(サイゴ社)等の
干渉計を用いて干渉縞をコンピューター処理にて解析す
れば高精度でコマ収差を検出することができるが、これ
もコスト高となるだけでなく、検出値を実時間で得るこ
とができないため、検出値を見ながら対物レンズの傾き
調整作業を行うのは極めて困難であった。
本発明は、そのような従来の欠点を解消し、コマ収差を
高精度に検出しながら対物レンズの傾きを調整すること
ができ、しかも装置にコストがかからない光学式情報記
録再生装置用光学系の対物レンズの傾き調整装置及び方
法を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的を達成するため、本発明の光学式情報記録再
生装置用光学系の対物レンズの傾き調整装置は、光学式
情報記録再生装置用光学系の対物レンズを通過して集束
するコヒーレントな光束を平行光束に変換する手段と、
上記平行光束を複数に分けるためのビームスプリッタと
、上記ビームスプリッタで分けられた光束を相対的に光
軸まわりに略180度回転させる像回転手段と、上記回
転された光束を互いに干渉させて干渉縞を発生させる干
渉縞発生手段と、上記対物レンズを上記光束の集束点を
中心に任意の方向に傾けてその状態を維持させることが
できる傾き調整機構とを設けたことを特徴とする。
また本発明の光学式情報記録再生装置用光学系の対物レ
ンズの傾き調整方法は、光学式情報記録再生装置用光学
系の対物レンズを通過して集束するコヒーレントな光束
を平行光束にして、その平行光束をビームスプリッタで
複数に分け、その分けられた各光束を相対的に光軸まわ
りに略180度回転させた後に干渉させて干渉縞を発生
させ、その干渉縞によって、上記対物レンズを通過した
光束のコマ収差の程度を検出しながら上記対物レンズの
傾きを調整することを特徴とする。
〔作用〕
ビームスプリッタで分けられた複数の光束を相対的に光
軸まわりに180度回転させることにより、180度方
向に存在する光軸に非対象な成分の波面収差のみが干渉
縞として検出される。したがって、デフォーカスや非点
収差などの有無の影響なく、コマ収差だけが干渉縞に現
れる。
この干渉縞を見ながら、例えば干渉縞のまがり量が最も
少なくなるように対物レンズの傾きを調整すれば、対物
レンズに含まれるコマ収差分も含めてコマ収差を最小に
調整することができる。
〔実施例〕
図面を参照して実施例を説明する。
第1図は、光学式情報記録再生装置用光学系の対物レン
ズ1の傾きを調整するための調整装置を示している。図
中1は、光学式情報記録再生装置の光学系本体ユニット
3等に設けられた対物レンズであり、光ディスクなどの
記憶媒体にコヒーレントなレーザ光束を照射して情報の
読み出しあるいは書き込みを行うために、レーザダイオ
ード(図示せず)から出射されたレーザ光束を1μm程
度の直径に集束させるためのものである。
100は傾き調整装置の対物レンズであり、光学式情報
記録再生装置用光学系の対物レンズ1から出射されて集
束した後傾き調整装置に入射するレーザ光束を平行光束
に変換する。119は、対物レンズ100の取付面であ
ると同時に傾き調整装置の基準面であり、傾き調整装置
の入射光軸に対して垂直に形成されている。101は、
光ディスク又は光ディスクなどに相当する厚みを有する
透明な調整用マスターガラス板である。
104は、傾き調整装置内へ入射するレーザ光束の開口
であり、対物1ノンズ100の射出瞳の位置にある。1
02及び103は、レーザ光束の偏光状態と偏光面を所
定の状態に調整するために、互いに独立して軸中心に回
転自在に設けられた4分の1波長板及び2分の1波長板
である。
105は入射光束を分割するだめのビームスプリッタで
あり、このビームスプリッタ105により、対物レンズ
lから入射するレーザ光束は、まっすぐに透過する光束
と、直角に反射される光束の2光束に分けられる。
106.107は、ビームスプリッタ105で分けられ
た2光束を、光軸中心に相対的に回転させるためのイメ
ージローテータであり、本実施例では2つのダブプリズ
ムを使用しており、互いに光軸まわりに相対的に略90
度ずれて設置されている。そして、この2つのイメージ
ローテータ106.107によって2つの光束が相対的
に略180度回転させられる。この2つのイメージロー
テータ106.107は、ビームスプリッタ105で分
けられた2光束の光路長を同じにして干渉性を良くする
ために、同じ形状、材質を有するものが用いられる。
なお、2つの光束が相対的に略180度回転させられる
ならば、2つのイメージローテータ106.107のど
ちらを光軸中心に回転させてもよく、また良好な干渉性
が確保できれば、イメージローテータは一方だけ設けて
もよい。
108.1.09は、イメージローテータ106゜10
7を通過した光束を180度反転した方向に平行に反射
させるための第1及び第2直角プリズムであり、光路長
を同じにして干渉性を良くするために、全く同じ形状、
材質を有するものが用いられ、さらに少なくとも一方の
直角プリズム108.109は光軸方向に移動自在とな
っている。
2つの直角プリズム108,109により反射された光
束はそれぞれ第1及び第2補正板120゜121を通る
。このうち、第2補正板121は2枚の光学楔であり、
相対的に光軸まわりに回転させることによって、ビーム
スプリッタ105を透過した光束を傾ける作用をもち、
コマ収差を調整しやすくするために、観測される干渉縞
に任意のティルト量を与えることができる。
また、第1補正板120は、第2補正板121と同じ材
質、厚さを有するガラス板であり、ビームスプリッタ1
05で分けられた2つの光路の光路長を同じにするため
に、第1直角プリズム108を通る光路上に固定的に設
けられている。
こうして第1及び第2補正板120,121を通った2
つの光束は、ビームスプリッタ105によって重ね合わ
されて、ビームスプリッタ105から出射したのち、反
射鏡110によって方向が変えられる。
111は結像レンズであり、例えば固体撮像素子の撮像
面112上に開口104の像を結像するように配置され
ている。そして、CRTモニタ(図示せず)等によって
、開口104位置における波面収差を干渉縞として観測
することができる。
また、結像レンズ111と撮像面112との間の光路上
には、互いに独立して軸中心に回転自在な偏光フィルタ
113が2枚配置されており、偏光フィルタ113を回
転することによって撮像面112に入射するレーザ光束
の強度を調整することができる。なお、偏光フィルタは
1枚であっても、強度調整をある程度行うことができる
。また、NDフィルタを使用してもよい。
152は、各イメージローテータ106,1.07を通
過してビームスプリッタ105によって分けられた一部
のレーザ光束の方向を変えるための反射プリズムである
。この反射プリズム152で反射されたレーザ光束は、
第2図に示される反射鏡156によって方向を変えられ
て、アライメント用の補助TV右カメラ59に入射する
この補助TV右カメラ59は、ビームスプリッタ105
によって分けられた2光束が同光軸に重ね合わされるよ
うに調整するアライメントを行うためのものであり、反
射鏡156によって方向を変えられた2光束が、アライ
メント用集束レンズ157によって補助TV右カメラ5
9の撮像面159aに集束される。
158は、互いに独立して軸中心に回転自在に設けられ
た2枚の偏光フィルタであり、一方又は双方の偏光フィ
ルタ158を回転することによって撮像面159に入射
するレーザ光束の強度を調整することができる。
第3図は、光学式情報記録再生装置用光学系の対物レン
ズ1の傾きを調整するための傾き調整機構の一例を示し
ている。
図中IOは光学式情報記録再生装置のキャリッジであり
、上下方向に貫通して穿設された光路孔12中を下から
上へ矢印14方向にレーザの平行光束が通過する。
16は、対物レンズ枠18を支持する対物レンズ支持体
であり、光路孔12の上側口元に形成された球面座20
においてキャリッジlOに載せられている。この球面座
20の曲率中心は、光ディスク又は調整用マスターガラ
ス101の上面上にあり、対物レンズ1によるレーザ光
束の集束点22と略一致している。したがって、支持体
16の1 姿勢をどのように変化させても、レーザ光束の集束点2
2の位置は変化しない。
24及び26は、対物レンズ支持体16をキャリッジ1
0に固定するための基準ねじと調整ねじてあり、基準ね
じ24側には圧縮コイルバネ28が介装されていて、対
物レンズ支持体16が常にキャリッジ10に押し付けら
れるようになっている。一方、調整ねじ26は、抜は止
め用リング30によってキャリッジ10から抜は出さな
いようにされて、対物レンズ支持体16に螺合している
本実施例には、このような基準ねじ24と調整ねじ26
とが、90度異なる断面にも一対設けられている。
したがって調整ねじ26を回転させることによって、対
物レンズ支持体16は基準ねじ24側の位置を中心とし
て球面座20に沿って回動し、対物レンズ1の傾きを任
意の方向に任意の角度に自由に調整することができる。
ただし上述したようにレーザ光束の集束点22の位置は
変化しない。
そして調整ねじ26を回転させなければそのと2 きの状態が維持され、調整ねじ26を接着等すれば、そ
の状態が完全に固定される。
次に、光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズ1
の傾き調整方法について説明する。
まず、光ディスクを光学式情報記録再生装置光学系に取
付けるかあるいは調整用マスターガラス板101を傾き
調整装置に取付ける。この時、光ディスク又は調整用マ
スターガラス101は傾き調整装置の基準面119と平
行になるように取付ける。
そして、光学系本体ユニット3のレーザダイオード(図
示せず)からレーザ光束を出射させて、対物レンズlに
よって集束させると、そのレーザ光束は集束点から光デ
ィスク又は調整用マスターガラス板101を通過し、傾
き調整装置の対物レンズ100によって平行光束になっ
て傾き調整装置内に入射する。
そこで、まず補助TV右カメラ95に集束した2光束の
集束点の位置が一致するように光学系本体ユニット3の
取付位置を調整して、対物レンズ100から入射してビ
ームスプリッタ105によって分けられた2光束が、同
軸に重ね合わされるようにする。
傾き調整装置内に入射したレーザ光束は、4分の1波長
板102及び2分の1波長板】03によって偏光状態及
び偏光面の方向を調整されて、ビームスプリッタ105
によって2光束に分割される。
そして2光束に分割されたレーザ光束は、イメージロー
テータ106.107によって相対的に光軸中心に略1
80度回転され、各直角プリズム1.08,109によ
ってビームスプリッタ105の半透面の方向に反射され
てビームスプリッタ105の半透面で重なり合って干渉
する。この重なり合って干渉しているレーザ光束は、反
射鏡110によって方向が変えられ、結像レンズ111
によって撮像面112上に導かれ、CRTモニタ(図示
せず)等によって実時間で干渉縞が観測される。
このようにして観測される干渉縞は、2つに分けられた
光束の波面を、イメージローテータ106.107によ
って光軸中心に相対的に略180度回転させてその差を
とった成分である。したがって、ビームスプリッタ10
5で分割された光束の波面形状の差として検出される波
面収差のうち、光軸に対して180度非対称な成分であ
るコマ収差は干渉縞として検出されるが、光軸に対して
180度対称であるデフォーカス成分や光軸に対し。
て90度非対称な成分である非点収差成分などは、互い
に打消しあって全く検出されない。
即ち、第4A図の実線は入射先高に対するコマ収差成分
を示し、破線は、実線成分を光軸まわりに180度回転
した成分を示している。したがって、それらの差をとっ
た一点鎖線で示される成分は、 △W3=△Wl −ΔW2 一ΔW、−(−ΔW1) ;2△WI となり、実線成分の2倍の大きさとして検出される。
5 第4B図は光軸回りの回転角度に対するコマ収差の検出
感度を示しており、このように、2つの光束の波面を相
対的に略180度回転させることにより、光軸に180
度非対称なコマ収差成分は略2倍の感度で干渉縞に表れ
る。
なお、非点収差は、光軸を中心に略90度回転した断面
間で正負反転した成分を有する収差なので、イメージロ
ーテータ106,107による像回転角度を略90度に
すれば、この装置によって非点収差を検出することがで
きる。
このようにしてコマ収差が検出されたら、干渉縞を観測
しながら、干渉縞の数が最も少なくなるように、例えば
第3図に示される傾き調整機構の調整ねじ26を回転さ
せて光学ヘッド対物レンズ1の傾きを調整する。これに
よって、対物レンズlの光軸を光ディスク又は調整用マ
スターガラス板101に対して垂直にして、対物レンズ
1に含まれるコマ収差分も含めてコマ収差を最小にする
ことができる。
6 〔発明の効果〕 本発明によれば、デフォーカスなど他の収差の有無に全
く影響されずに、対物レンズに含まれるコマ収差分も含
めてコマ収差成分だけを高精度に検出して、対物レンズ
の傾きを正確に調整することができ、しかもそのコマ収
差検出を実時間で行うことができるので、調整作業が非
常に容易である。
また、像回転手段の回転角度を90度にすれば非点収差
を検出することができるので他の収差の測定にも兼用で
きるなどコスト面でも非常に有利である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の光学式情報記録再生装置用光
学系の対物レンズの傾き調整装置の略示図、 第2図はその実施例の装置の部分略示図、第3図はその
実施例の対物レンズの傾き調整機構の側面断面図、 第4A図及び第4B図はコマ収差の特性を示す線図であ
る。 1・・・光学式情報記録再生装置光学系の対物レンズ、
100・・・傾き調整装置の対物レンズ、105・・・
ビームスプリッタ、106,107・・・イメージロー
テータ、108・・・第1直角プリズム、109・・・
第2直角プリズム、111・・・結像レンズ、112・
・・撮像面。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズを
    通過して集束するコヒーレントな光束を平行光束に変換
    する手段と、 上記平行光束を複数に分けるためのビームスプリッタと
    、 上記ビームスプリッタで分けられた光束を相対的に光軸
    まわりに略180度回転させる像回転手段と、 上記回転された光束を互いに干渉させて干渉縞を発生さ
    せる干渉縞発生手段と、 上記対物レンズを上記光束の集束点を中心に任意の方向
    に傾けてその状態を維持させることができる傾き調整機
    構とを設けたことを 特徴とする光学式情報記録再生装置用光学系の対物レン
    ズの傾き調整装置。
  2. (2)光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズを
    通過して集束するコヒーレントな光束を平行光束にして
    、その平行光束をビームスプリッタで複数に分け、その
    分けられた各光束を相対的に光軸まわりに略180度回
    転させた後に干渉させて干渉縞を発生させ、その干渉縞
    によって、上記対物レンズを通過した光束のコマ収差の
    程度を検出しながら上記対物レンズの傾きを調整するこ
    とを特徴とする光学式情報記録再生装置用光学系の対物
    レンズの傾き調整方法。
JP1258119A 1989-08-29 1989-10-02 光学式情報記録再生装置用光学系の対物レンズの傾き調整装置及び方法 Pending JPH03119524A (ja)

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US07/574,071 US5157459A (en) 1989-08-29 1990-08-29 Wave front aberration measuring apparatus
US07/920,924 US5317144A (en) 1989-08-29 1992-07-28 Wave front aberration measuring apparatus having means for adjusting position of collimator lens
US08/142,047 US5410532A (en) 1989-08-29 1993-10-28 Method for a adjusting a beam splitter in an optical recording and reproducing apparatus
US08/370,656 US5557598A (en) 1989-08-29 1995-01-10 Beam splitter inspection apparatus and method

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