KR20010094957A

KR20010094957A - 액정 표시 장치 및 그 검사 방법

Info

Publication number: KR20010094957A
Application number: KR1020010011670A
Authority: KR
Inventors: 다카스기신지; 하야시가츠로
Original assignee: 포만 제프리 엘; 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
Priority date: 2000-03-30
Filing date: 2001-03-07
Publication date: 2001-11-03
Also published as: JP2001281689A; US20010030728A1; JP3504576B2; KR100397019B1; TW472227B

Abstract

본 발명은 패드와 트랜스퍼의 전기적 접속을 보증하면서, 트랜스퍼의 접속 상태를 검사할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 검사 방법을 얻는 것을 목적으로 한다.

2개의 기판을 전기적으로 접속하는 트랜스퍼의 도전성 패드(1008)에 ITO를 이용하여 광투과부(1102)를 형성한다. 이 광투과부를 통해 반대측에 접속된 트랜스퍼(1003)의 접속 상태를 시각적으로 확인할 수 있다. 패드의 둘레 방향에 인접하는 광투과부는 거의 직각으로, 90°각도로 배치되고, 반경 방향으로 서로 대향하는 2개의 투과부는 거의 평행하게 배치되어 있다. 도전성 패드에 ITO로 광투과부가 형성되어 있기 때문에, 어레이 기판측에서 트랜스퍼의 접속 상태를 검사할 수 있어, 도전성도 확보된다.

Description

액정 표시 장치 및 그 검사 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND INSPECTION METHOD THEREOF}

본 발명은 액정 표시 장치 및 그 검사 방법에 관한 것으로서, 특히 도전체부의 접속 단자나 광투과부를 갖는 액정 표시 장치 및 그 검사 방법에 관한 것이다.

도 1은 관련 기술에 있어서의 액정 셀의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도면에서 101은 TFT를 구비하는 복수의 부화소부(副畵素部)를 갖는 TFT 어레이 기판, 102는 RGB의 컬러 필터를 구비하는 컬러 필터 기판, 103은 부화소부에서 형성되어 실제의 화상 표시를 하는 표시 영역의 표시 영역단, 104는 화상 표시에 기여하지 않는 외주 영역, 105는 편광판단, 106은 컬러 필터 기판단, 107은 2개의 기판을 전기적으로 접속하는 기판간 접속부, 108은 외주 영역(104)에 설치된 도전선인 둘레선이다. 110은 액정 주입구이며, 에폭시계 수지로 밀봉되어 있다. 그리고, 2장의 기판 사이에는 액정이 봉입되어 있다. 실제의 화상 표시는 구동 회로(도시 생략)로부터 출력된 화상 신호를 부화소부에 입력하고, 양 기판 사이의 액정에 인가되는 전계를 제어함으로써 수행한다.

도 2는 외주 영역(104)의 단면을 나타내는 개략도이다. 도면에서, 201은 투과광의 초기 편광 방향을 결정하는 편광판, 202는 블랙 매트릭스라고 불리며 크롬으로 형성된 차광부, 203은 컬러 필터, 204는 ITO 투명 전극, 205는 TFT을 구비하는 화소 구동 회로, 206은 액정, 207은 액정을 봉입하는 시일부, 208은 트랜스퍼라고 불리는 도전성 페이스트, 209는 접속 단자로서의 패드이다. 도전성 페이스트(208)와 패드(209)로 기판간 접속부(107)를 구성한다. 외주부의 폭은 대략 2.2 mm이며, 기판간 거리는 대략 5μm이다.

구동 IC (도시 생략)가 둘레선(108)을 통해 패드(209)에 접속되어, 트랜스퍼(208)를 통해 공통 전위를 컬러 필터 기판(102)상의 ITO 공통 전극에 인가한다. 도전성 페이스트는 예컨대, 초산 에틸렌글리콜·모노부틸·에테르와 벤질알콜의 혼합물에 은립(銀粒)을 넣은 것으로, 셀 조립 후의 가열시에 유기 용제는 증발하고, 달라 붙어 굳어진 은립만이 남는다.

액정 표시 장치의 제조에 있어서, 2개의 기판을 겹쳐서 액정 셀을 제조한 후에, 트랜스퍼(208)의 부착 위치 및 형상을 검사한다. 이는 트랜스퍼(208)가 원하는 위치·형상으로 형성되어 있지 않으면, 접촉 불량, 또는 양 기판간 갭의 오차가 생기기 때문이다. 특히, 트랜스퍼(208)가 패드 밖으로 나와 있으면, 상기 불량을 일으킬 가능성이 크다. 이 검사는 광학 현미경을 사용하여 시각적으로 행해진다.

종래 기술에서의 트랜스퍼(208)의 검사 방법에 관해서 설명한다. 도 3은 종래의 검사 방법에서 사용되는 검사용 마크(301)를 나타내는 도면이다. 도면에서, 301은 차광부(202)와 같은 재료로 형성된 검사용 마크이며, 컬러 필터 기판(102)의 어레이 기판 대향면측에 형성되어 있다. 302는 컬러 필터측 차광층, 303은 어레이 기판(101)상의 패드 금속이다.

검사용 마크(301)는 직경 750μm 정도의 원형이며, 내측에 개구부가 마련되어 있다. 이 개구부로부터 컬러 필터 기판(102)의 반대측을 시각적으로 볼 수 있다. 따라서, 컬러 필터 기판(102)으로부터 상기 개구부를 통하여 트랜스퍼(208)의 상태를 시각적으로 검사할 수 있다.

도 4는 종래 기술에서의 기판간 접속부(107)의 구성을 나타내는 단면도이다. 401은 게이트선층, 402는 신호선층이다. 각 층의 두께는 대략 2000Å이며, 패드(209)의 직경은 대략 750μm이다. 게이트선층(401)은 MoW 합금, 신호선은 Mo-Al-Mo의 3층 금속, 절연막(403)은 SiO₂로 구성되어 있다. 트랜스퍼(208)의 검사는 컬러 필터 기판(102)의 외측에서 시각적으로 행해진다.

다음에, 종래 기술에서의 도전성 패드(209)의 제조 방법을 도 5∼도 8을 참조 하여 개략적으로 설명한다. 우선, 어레이 기판(102)상에 게이트 배선층을 적층하고, 포트리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 약 750μm의 칼럼을 형성한다(도 5). 계속해서, SiO₂절연막(402)을 어레이 기판(102)상에 부착하고(도 6), 포트리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 게이트선층(401)의 SiO₂절연막을 제거한다(도 7). 또한, 신호선층(402)을 어레이 기판(102) 상에 적층하고, 포트리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 게이트선층(401)의 위 이외의 외주 영역으로부터 신호선층을 제거하고, 게이트 배선(401)과 신호선층(402)으로 패드(209)를 형성한다. 또한, 포트리쏘그래피 처리와 에칭 처리에 대해서는 주지의 기술이므로 상세한 설명은 하지 않는다.

이상과 같이, 종래의 검사 방법에서는, 컬러 필터 기판에 블랙 매트릭스와 동일한 재료로 검사 마크를 붙이는 것에 의해 검사를 하고 있었다. 그러나 최근, 액정 표시 디스플레이의 크기에 대해 표시 영역을 가능한 한 크게 하기 위해서 외주 영역 폭(화상 표시부단에서 기판단까지의 거리)이 작아지고, 제조상 필요한 차광층과 기판단의 거리가 작아졌기 때문에, 컬러 필터 기판에 검사 마크로서의 위치 측정 패턴을 배치하는 것이 어려워지고 있다. 이 문제를 해결하는 방법으로서, 일본 특개평3-58024호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 컬러 필터 기판상의 차광층에 개구부를 마련하여 도전성 페이스트를 컬러 필터 기판측으로부터 보이도록 하는 것을 생각할 수 있다. 그러나 이 방법은 표시 영역의 차광층에 개구부를 마련하기때문에, 빛이 상기 개구부로부터 표시 영역에 침입하여 빛 누설의 원인이 되므로 바람직하지 못하다.

본 발명은 상기 종래 기술에서의 문제를 해결하는 것을 하나의 목적으로 하여, 효과적으로 도전체부의 접속 상태를 검사할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 검사 방법을 얻는 것이다. 다른 목적은 패드와 트랜스퍼의 전기적 접속을 보증하면서, 트랜스퍼의 접속 상태를 검사할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 검사 방법을 얻는 것 이다. 또 다른 목적은 효과적으로 도전체부의 접속 상태를 검사할 수 있고, 용이하게 제조할 수 있는 액정 표시 장치를 얻는 것이다. 또 다른 목적은 가능한 한 적은 개구부로 트랜스퍼의 접속 상태를 검사할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 검사 방법을 얻는 것이다.

도 1은 종래의 액정 셀의 구성을 나타내는 개략도이다.

도 2는 종래의 외주 영역의 구성을 나타내는 개략도이다.

도 3은 종래의 도전성 패드의 구조를 나타내는 개략도이다.

도 4는 종래의 기판간 접속부의 구성을 나타내는 개략도이다.

도 5는 종래의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 6은 종래의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 7은 종래의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 8은 종래의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 9는 실시예에 있어서의 액정 셀의 구성을 나타내는 개략도이다.

도 10은 실시예에 있어서의 기판간 접속부의 구성을 나타내는 개략도이다.

도 11은 실시예에 있어서의 도전성 패드의 구조를 나타내는 개략도이다.

도 12는 실시예에 있어서의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 13은 실시예에 있어서의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 14는 실시예에 있어서의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 15는 실시예에 있어서의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

도 16은 실시예에 있어서의 도전성 패드의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

10l : TFT 어레이 기판

102 : 컬러 필터 기판

103, 903 : 표시 영역단

104, 904 : 외주 영역

105, 905 : 편광판단

106, 906 : 컬러 필터 기판단(CF 기판단)

107, 907 : 기판간 접속부

108, 908 : 둘레선

110, 910 : 액정 주입구 및 밀봉재

201 : 편광판

202 : 차광부

203 : 컬러 필터(RGB)

204, 1002 : ITO 투명 전극

205 : 화소 구동 회로

206 : 액정

207 : 시일부

208, 1003 : 트랜스퍼(도전성 페이스트)

209, 1008 : 패드

401 : 게이트선층

402, 1004 : 신호선층

403 : 절연막

901 : TFT 어레이 기판

902 : 컬러 필터 기판

1001 : 차광막

1005 : 투명 전극층

1006 : 절연층

1007 : 게이트 배선층

본 발명은 액정 표시 장치에서 그 외주 영역에 광투과부가 마련된 접속 단자와, 이 접속 단자에 접합된 도전체부를 포함하고, 이 도전체부는 2개의 기판간의 전기적 접속을 제공한다. 상기 외주 영역은 화상 표시를 하는 표시 영역의 외측 영역으로서, 화상 표시에는 직접 기여하지 않는다. 바람직하게는, 상기 도전체부는 트랜스퍼이며, 접속 단자는 트랜스퍼인 접속 패드이다.

접속 단자는 빛을 투과하는 광투과부를 포함하며, 이 투과부로부터 반대측을 시각적으로 볼 수 있다. 바람직하게는, 상기 광투과부는 광투과성의 도전성 부재로 구성되고, 더욱 바람직하게는, 투명 전극과 동일한 재료로 형성된다. 투명 전극의재료는 ITO(indium titan oxide)나 IZO(indium zinc oxide)를 생각할 수 있다. 또, 접속 단자의 일부가 빛을 투과하지 않는 재료로 형성될 경우, 상기 광불투과부는 바람직하게는, 부화소부 내의 배선 재료로 형성된다.

바람직하게는, 상기 접속 단자는 분리된 복수의 광투과부를 포함하며, 각 광투과부는 패드의 둘레 방향에 거의 90°각도로 배치된다. 상기 광투과부는 통상 위치인 트랜스퍼의 단부가 겹쳐지는 위치에 배치된다. 상기 광투과부는 분리된 복수의 광투과부의 열을 배치하여 형성하는 것도 가능하다. 이러한 배치에 의해, 1열의 광투과부는 슬릿형으로 형성된다. 이 때, 광투과부는 도전성 부재로 채우지 않고, 개구부로서 두는 것도 가능하다.

본 발명은 상기한 액정 표시 장치를 검사하는 방법을 포함한다. 이 방법은 상기 액정 표시 장치를 광학 현미경에 세트하고, 접속 단자에 형성된 광투과부를 통해 도전체부와 접속 단자의 접속 상태를 시각적으로 검사하는 것이다. 바람직하게는, 상기 접속 단자는 어레이 기판 상에 형성된 접속 패드이며, 도전체부는 어레이 기판과 대향 기판을 전기적으로 접속하는 트랜스퍼이다. 검사는 어레이 기판의 외측으로부터 시각적으로 수행한다. 바람직하게는, 상기 광투과부는 투명 전극과 동일한 재료로 구성되어, 상기 패드의 둘레 방향에 거의 직각으로 배치된 4개의 투과부를 구비한다. 이 투과부로부터 트랜스퍼 단부의 위치를 확인하는 것으로써 검사를 한다. 또한, 액정 표시 장치란 액정 셀, 액정 모듈, 액정 모니터를 포함하는 개념이다.

본 발명의 한가지 실시예를 설명한다. 이하의 설명에서 동일 부호를 붙인 것은 동일 또는 상당부이며, 재차 설명하지 않는다. 도 9는 본 실시예에 있어서의 액정 셀을 개략적으로 나타내는 구성도이다. 도면에서, 901은 TFT를 구비하는 복수의 부화소부를 갖는 TFT 어레이 기판, 902는 RGB의 컬러 필터를 구비하는 컬러 필터 기판, 903은 부화소부로부터 형성되고 실제 화상 표시를 하는 표시 영역의 단부인 표시 영역단, 904는 표시 영역의 외측에 형성된 외주 영역이다. 화상 표시에 기여하지 않는 외주 영역(904)은 표시 영역단(903)과 어레이 기판단 사이에 형성되어 있다. 또한, 부화소부는 각각 TFT와 1색의 컬러 필터를 가지며, RGB 3개의 부화소부에 의해, 1개의 화소부가 구성된다.

905는 편광판단, 906은 컬러 필터 기판단, 907은 2개의 기판을 전기적으로 접속하는 기판간 접속부, 908은 외주 영역(904)에 설치된 도전선인 둘레선이다. 910은 액정 주입구이며, 에폭시계 수지로 밀봉되어 있다. 또, 2장의 기판 사이에는 액정이 봉입되어 있다. 실제의 화상 표시는 구동 회로(도시 생략)로부터 출력된 화상 신호를 부화소부에 입력하고, 양 기판 사이의 액정에 인가되는 전계를 제어함으로써 수행한다.

2개의 기판은 유리 기판이며, 투명성을 갖는다. 또한, 기판으로서 수지 기판을 사용하는 것도 가능하다. 기판간 접속부(907)는 액정 셀의 대향하는 2측에 형성되고, 각 측에 5개씩 형성되어 있다. 이것은 ITO 막이 어느 정도 높은 저항을 갖기 때문에, ITO 막으로의 공통 전위의 공급을 확실하게 행하기 위해서이다. 도 9에서 외주 영역(904)의 좌측과 상측에 구동 IC (도시 생략)가 부착된다. 이 IC로부터 둘레선(908)을 통해 기판간 접속부(907)에 공통 전위가 인가되고, 컬러 필터기판(902)의 투명 전극에 보내진다.

도 10은 외주 영역(904)의 개략적인 구성을 나타내는 단면도이며, 도 11의 A선을 따라 취한 단면도이다. 도면에서, 1001은 컬러 필터 기판(902)에 형성된 블랙 매트릭스라고 불리는 차광막으로서, 컬러 필터 기판(902)이 어레이 기판(901)에 대향하는 면에 형성되어 있다. 차광막(1001)은 크롬 등의 금속 또는 검은 안료를 혼입한 아크릴 수지 등의 수지로 형성된다. 1002는 컬러 필터 기판(902)에 형성된 ITO(indium titan oxide) 투명 전극, 1003은 도전성 페이스트(트랜스퍼)이다. 1004는 신호선층, 1005는 투명 전극층, 1006은 절연층, 1007은 게이트 배선층이며, 각 층의 두께는 대략 2000 Å이다. 신호선층(1004)은 부화소부 내(표시 영역 내)의 신호 배선과 동시에 형성된다. 부화소부의 신호 배선은 부화소부에 형성되는 TFT의 소스에 화상 신호를 보내는 배선이다. 투명 전극층(1005)은 부화소부에 형성되는 투명 전극과 동시에 형성된다.

투명 전극은 액정에 전계를 인가하기 위한 전극이다. 절연층(1006)은 부화소부 내의 게이트 절연층과 동시에 형성된다. 게이트 배선층(1007)은 부화소부 내의 TFT의 게이트 배선과 동시에 형성된다. 게이트 배선은 TFT의 게이트 전위를 제어하는 배선이다. 신호선층은 A1을 사용한 금속이며, 구체적으로는, Mo-Al-Mo의 3층 구조를 갖는다. 게이트 배선층은 MoW 등의 Mo 합금이다. 절연층은 SiO₂이며, 광 투과성을 갖는다. 투명 전극층(1005)은 어레이 기판 상의 부화소 내의 투명 전극과 동일한 재료인 ITO이다.

트랜스퍼(1003)는 도전성 패드(1008)와 컬러 필터 기판(902)측의 투명 전극층(1002)에 접속되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 트랜스퍼(1003)는 투명 전극층(1002)에 직접 접속되어 있지만, 다른 도전성 부재를 통해 양자를 전기적으로 접속하는 것도 물론 가능하다. 도전성 패드(1008)는 둘레선(908)에 전기적으로 접속되어, 트랜스퍼(1003)를 통해 컬러 필터 기판(902)측의 투명 전극층에 공통 전위를 공급한다. 둘레선(908)은 게이트 배선층 및 신호선층과 동일한 재료로 형성된다.

신호선층(1004), 투명 전극층(1005), 절연층(1006) 및 게이트 배선층(1007)에 의해 접속 단자로서 도전성 패드(1008)가 형성된다. 또한, 실제는 도전성 패드(1008)의 표시 영역측에 시일부가 형성되지만, 설명 때문에 생략한다. 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, 차광막(902)은 트랜스퍼(1003)와 겹쳐져 트랜스퍼(1003)의 중심부에 이르는 곳까지 형성되어 있다. 이 때문에, 컬러 필터 기판(902)의 외측으로부터 트랜스퍼의 접속 상태를 검사할 수 없다. 기판간 거리는 대략 5μm이다. 도전성 패드(1008)의 직경은 대략 750μm이다. 그리고, 패드(1008)의 형상은 원형으로 한정되지 않으며, 사각형 등의 다른 형상이라도 좋다.

액정 셀을 제조할 때의 2개의 기판을 겹치는 방법에 관해서 설명한다. 원하는 부화소부의 구성이 형성된 어레이 기판(901) 상에 도전성 페이스트(1003)를 부착한다. 그 다음, 시일부를 형성하여 위치를 맞추면서 양 기판을 겹치게 한다. 더욱 미세한 위치를 맞추고(미세 조정), 양 기판을 가압하면서 180℃ 정도로 가열하여 시일부와 도전성 페이스트(1003)를 경화시킨다. 이러한 과정으로 액정 셀을 제조한 후에, 트랜스퍼(1003)의 접속 상태의 검사를 한다. 그리고, 도전체부는 재료의 관점에서는 도전성 페이스트라고 불리고, 그 기능의 관점에서는 트랜스퍼라고 불린다.

도 11은 도전성 패드(1008)를 TFT 어레이의 외측으로부터 본 도면이다. 도면에서, 1102는 화소 전극인 투명 전극이 형성되어 있는 광투과부이다. 이 광투과부를 통해, 반대측에 접속된 트랜스퍼(1003)의 접속 상태를 시각적으로 확인할 수 있다. 1105는 패드와 둘레선을 접속하는 배선이다. 4개로 분리하여 획정된 광투과부를 갖고 있다. 패드의 둘레 방향에 인접하는 광투과부는 거의 직각으로, 90°각도로 배치되고, 반경 방향으로 서로 대향하는 2개의 투과부는 거의 평행하게 배치되어 있다.

이와 같이 광투과부를 형성하고 배치함으로써, 가장 적은 면적으로 효과적으로 트랜스퍼의 접속 상태를 확인할 수 있다. 물론, 더 많은 투과부를 형성하여 시야 특성을 향상시키는 것도 생각할 수 있다. 광투과부의 면적은 시야 특성과 트랜스퍼 패드간의 도전성의 밸런스를 고려하여 결정된다. 광투과부의 둘레 방향의 폭은 도전성의 관점에서는 가능한 한 작은 것이 좋고, 광학 현미경의 해상도가 허용하는 범위에서 가장 작은 폭으로 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 광투과부는 트랜스퍼의 하측면 단부가 보이면 충분하므로, 본 실시예와 같이 반경 방향으로 투과부를 길게 할 것 없이 설계상 트랜스퍼의 단부가 형성되는 위치에 반경 방향으로 짧은 변을 갖는 광투과부를 배치하는 것도 가능하다. 또, 광투과부의 도전성 부재로서는 ITO에 한정되지 않고, 광투과성을 갖는 도전성 부재라면 다른 것이라도 좋다. 예컨대, IZO(indium zinc oxid)나 금속 입자를포함하는 투명 수지 등을 생각할 수 있다. 또, 본 실시예에서는 광투과부가 ITO로 채워져 있지만, 도 11의 아래에 도시한 바와 같이, 신호선층 및 데이터 배선층에 작은 개구부가 연속하여 배치된 슬릿형의 개구부열을 마련하고, 거기에는 아무것도 채우지 않는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이와 같이, 연속한 개구부열을 형성함으로써, 개구부에 도전성 재료를 채우지 않더라도, 패드-트랜스퍼간의 필요한 도전성을 확보할 수 있다. 또한, 본 실시예는 4개의 분리된 개구부가 형성되어 있지만, 예컨대, 3개의 분리된 개구부를 패드의 둘레 방향에 거의 120°각도로 형성하는 것도 가능하다.

본 실시예에서 트랜스퍼의 접속 상태의 검사는 액정 셀을 광학 현미경에 세트하여 행한다. TFT 어레이의 외측으로부터 시각적으로 액정 셀의 검사를 한다. 패드(1008)에 광투과부(1103)가 ITO로 형성되어 있고, 그것을 통해 패드 반대측 트랜스퍼의 접속 상태를 확인할 수 있다. 어레이 기판과 패드의 광투과부를 통해, 트랜스퍼의 단부가 소정의 위치에 있는 것을 확인함으로써 트랜스퍼의 접속 상태를 검사한다. 특히, 4개의 광투과부가 설치되어 있기 때문에, 트랜스퍼가 타원형 등 원형이 아닌 경우에도, 4개의 광투과부로부터 확인되는 트랜스퍼 단부의 위치에서 트랜스퍼의 접속 위치를 확인할 수 있다.

다음에, 도 12∼도 16을 이용하여 패드(1008)의 제조 방법에 관해서 설명한다. 패드(1008)의 형성은 표시 영역 내의 배선 구조와 동시에 형성된다. 우선, TFT 어레이 기판에 게이트 배선층을 부착하여 포토리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 소정 부분을 제거한다. 패드에 상당하는 부분의 게이트 배선층에는 4개의 개구부가형성된다(도 12). 다음에, 어레이 기판에 절연층을 부착한다(도 13). 그 후, 투명 전극층을 어레이 기판 상에 적층하고, 포토리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 소정 부분을 제거한다. 패드의 구성부에서는 데이터 배선층의 개구부상에 투명 전극층이 형성되도록 패턴을 형성한다(도 14). 또한, 게이트 배선층상에 부착된 절연막을 포토리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 제거한다(도 15).

계속해서, 신호 배선층을 어레이 기판 상에 적층하고, 포토리쏘그래피 처리와 에칭 처리를 하여 소정 부분을 제거한다. 패드의 구성부에서는 투명 전극층의 위에 부착된 신호 배선층을 제거함으로써, 광투과부를 형성한다(도 16). 이상과 같은 처리는 포토레지스트의 마스크 패턴을 변경함으로써, 어레이 기판 상의 부화소부 내의 전극이나 배선과 동시에 형성하는 것이 가능하고, 패드를 형성하기 위한 부가적인 공정을 필요로 하지 않는다. 또한, 포토리소그래피 처리와 에칭 처리에 대해서는 주지의 기술이므로 여기서는 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 실시예에서는, 게이트 배선-절연층-투명 전극층-신호선층의 순서로 적층 제거 처리를 하였지만, 표시 영역 내의 배선 구조에 따라 그 순서를 변경하는 것도 물론 가능하다. 순서가 바뀐 경우에는 그에 따라 체적층의 상하 순서도 변경된다.

이상과 같이, 본 실시예에서는 트랜스퍼가 접속되는 도전성 패드에 광투과부를 설치했기 때문에, 그 투과부를 통해 TFT 어레이 기판측으로부터 트랜스퍼의 접속 상태를 확인하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 가장자리가 좁아지는 현상이 진행되는 액정 표시 장치에 있어서, 컬러 필터측의 차광층이 트랜스퍼에 겹쳐지는 것이라도 장치의 특성을 저하시키는 일없이 검사를 하는 것이 가능해진다.

본 발명에 따른 액정 표시 장치 및 그 검사 방법은 도전체부의 접속 상태를 효과적으로 검사할 수 있게 해주고, 패드와 트랜스퍼의 전기적 접속을 보증하면서, 트랜스퍼의 접속 상태를 검사할 수 있게 해준다. 또한, 도전체부의 접속 상태를 효과적으로 검사할 수 있게 해준다.

Claims

제1 기판과, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판과, 상기 제1 및 제2 기판 사이에 봉입된 액정을 포함하는 액정 표시 장치에 있어서,

상기 제1 기판은 복수의 부화소부로 구성되어 화상 표시를 하는 표시 영역과, 상기 표시 영역의 외측에 형성된 외주 영역과, 상기 외주 영역에 형성되고 광투과부를 구비하는 접속 단자와, 상기 접속 단자에 접합된 도전체부를 구비하고,

상기 제2 기판은 도전성층을 구비하며,

상기 도전체부는 상기 도전성층과 전기적으로 접속되는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 광투과부는 빛을 투과하는 도전성 부재로 구성되는 액정 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 광투과 도전성 부재는 ITO인 액정 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 접속 단자는 상기 부화소부 내의 배선 재료로 형성된 광불투과부와, 상기 부화소부 내의 투명 전극의 재료로 형성된 광투과부로 구성되는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 접속 단자는 분리하여 획정된 복수의 광투과부를 포함하며, 상기 각 광투과부는 상기 도전체부의 단부와 겹쳐져 있는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 접속 단자는 분리하여 획정된 4개의 광투과부를 포함하며, 상기 각 광투과부는 상기 접속 단자의 둘레 방향에 거의 90°각도로 배치되는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 광투과부는 분리하여 획정된 복수의 광투과부가 연속하는 열로 이루어지는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 기판은 어레이형으로 배치된 복수의 박막 트랜지스터를 갖는 어레이 기판이며,

상기 제2 기판은 컬러 필터를 갖는 컬러 필터 기판이고,

상기 도전성층은 상기 액정에 전계를 인가하는 투명 전극이며,

상기 접속 단자는 상기 부화소부 내의 배선 재료와 투명 전극 재료로 구성되고,

상기 도전성 부재는 도전성 페이스트를 열경화한 트랜스퍼이며,

상기 트랜스퍼는 상기 컬러 필터 기판 상의 투명 전극에 전기적으로 접속되는 액정 표시 장치.
액정 표시 장치의 검사 방법에 있어서,

상기 액정 표시 장치는 매트릭스형으로 배치된 스위칭 소자를 갖는 어레이 기판과, 상기 어레이 기판에 대향하는 대향 기판과, 상기 어레이 기판 상에 형성되고 광투과부를 갖는 접속 단자와, 상기 접속 단자에 접합되고 상기 대향 기판 상의 전극과 전기적으로 접속된 트랜스퍼를 구비하는 상기 액정 표시 장치를 광학 현미경에 세트하는 단계와,

상기 광학 현미경에 세트된 상기 액정 표시 장치를 시각적으로 확인하는 단계와,

상기 어레이 기판측으로부터 상기 접속 단자의 광투과부를 통해 상기 트랜스퍼의 접속 상태를 시각적으로 확인하는 단계

를 포함하는 액정 표시 장치의 검사 방법.