KR20010067433A

KR20010067433A - 전동 장치

Info

Publication number: KR20010067433A
Application number: KR1020000078464A
Authority: KR
Inventors: 도요타히로시
Original assignee: 타카미츄 무토; 고요 세이코 가부시키가이샤
Priority date: 1999-12-20
Filing date: 2000-12-19
Publication date: 2001-07-12
Also published as: EP1113181A2; DE60018152T2; EP1113181A3; JP2001173667A; EP1113181B1; US6450692B2; US20010004409A1; DE60018152D1; KR100718516B1

Abstract

구름 베어링의 구성요소들인 롤링 부재들의 표면과 내외측 링들의 궤도 홈들을 위한 각각의 러프니스들(roughnesses)이 형성되고, 이들의 접촉 조건들이 제어되는 장치가 개시되며, 이 장치에서는 최소량의 윤활유가 강한 결합력으로 점착되며, 이에 의해 윤활유가 내외측 링들, 롤링 부재들, 그리고 케이지의 상호 접촉 부분들에 연속적으로 삽입되어 양호한 미끄럼 특성과 분진 발생의 현저한 제한을 가능하게 하는 조건이 달성된다.

Description

롤링 장치{ROLLING DEVICE}

본 발명은 동심으로 배치된 2개의 내외측 부재들을 복수의 롤링 요소들을 통해 상대적으로 변위시킬 수 있는 롤링 장치에 관한 것이다. 이 롤링 장치는 가령 구름 베어링, 직동형 베어링, 또는 볼 스크류 장치로 구성될 수 있다.

그러한 롤링 장치들 가운데, 반도체들의 제조 장치에 배치되는 반송계에서와 같이 고진공 환경에서 사용되는 장치들은 낮은 분진 발생 특성, 부드러운 작동, 또는 높은 내구성과 같은 특히 엄격한 사양을 제공하도록 요구된다.

종래의 롤링 장치의 경우, 베이스 오일로서 플루오르 오일을 이용하는 그리스(grease)가 실링되거나, 롤링 부재들이 롤링 접촉하는 부분에 플루오르 오일이 도포된다. 그러한 플루오르 오일은 그 분자 구조 내에 작용기들을 포함하고 있지 않다.

그러한 그리스를 이용하는 경우, 실링되는 그리스의 양을 감소시켜 외부 분산에 대처하지만, 그러한 조치는 윤활 작용의 부족 또는 내구성의 저하에 이를 수 있다.

플루오르 오일을 사용하는 경우, 하중 또는 회전 속도를 고려한 조건들이 악화되는 경우에 윤활 작용의 부족 또는 내구성의 저하가 유사하게 발생한다.

플루오르 고분자 고체 윤활유로 코팅하는 것이 이미 안출되었지만, 그와 같은 조치는 축방향 하중이 상대적으로 크게 인가되는 조건들에서는 마모로 인한 박리, 결락(缺落), 분진 발생의 증가를 유발하여 내구성을 불충분하게 하는 것으로 여겨진다.

본 발명의 주된 목적은 낮은 분진 발생 특성, 작동 원활성, 내구성의 향상을 달성하기 위한 요구 조건을 만족시킬 수 있는 롤링 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 설명으로부터 명백하게 될 것이다.

요약하면, 동심으로 배치된 2개의 내외측 부재들은 복수의 롤링 부재들을 통해 상대적으로 변위할 수 있게 된다.

롤링 부재 각각의 표면 러프니스는 이들 롤링 부재가 서로에 대해 접촉하는 궤도면의 표면 러프니스 보다 더 작도록 설정된다.

분자 구조에 작용기를 포함하는 플루오르 윤활유는 궤도면의 각각의 러프니스 부분들을 채워서 마루(crest) 부분들에서 골(trough) 부분들까지 연장하는 방식으로 적어도 궤도면 상에 점착된다.

본 발명에 있어서, 유동성을 제공하는 필요한 윤활유의 최소량은 종래의 고체 윤활유에서의 경우와 같은 박리, 결락 또는 마모를 유발하지 않으며, 특정 러프니스를 가지도록 형성되는 궤도면에 점착되며, 이 경우 궤도면들의 표면들 상에는 원자 체인들과 윤활유 내의 작용기와의 결합을 통해 강력한 흡착이 달성된다.

이러한 장치에 따르면, 금속들은 롤링 부재들의 롤링 작동중에 서로 직접 접촉하는 것이 방지되고, 윤활유 부족이 일어나지 않는 상태가 연속적으로 유지되어 안정한 윤활 작용을 지속한다.

본 발명은 2개의 롤링 부재들의 궤도면들의 표면 러프니스 및 이들 롤링 부재들의 표면 러프니스가 형성되고, 그들의 접촉 조건들도 종래의 고체 윤활유로 제조된 코팅 필름들에서의 경우와 같은 박리, 결락 또는 마모를 유발하지 않는 유동성을 제공하는 필요한 윤활유의 최소량이 강력한 결합력을 통해 궤도면 상에 점착된다.

이러한 장치에 따르면, 접촉 부재들은 윤활 작용없는 금속들처럼 서로 접촉되는 일이 없고, 이들 부재들 사이에 윤활유가 삽입된 상태로 서로 연속적으로 접촉한다. 따라서, 발생 분진의 양을 현저하게 줄이면서 윤활 특성을 현저하게 향상시키며, 그 결과 작동의 원활성 및 내구성의 향상에 기여할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구름 베어링의 상반부의 종방향 단면도이며,

도 2는 구름 베어링의 내외측 링들의 궤도면 및 롤링 부재들의 표면에 대한 윤활유의 점착 상태를 예시하는 확대 단면도이며,

도 3은 분진 발생 시험의 결과들을 표시하는 도표이며,

도 4는 토오크 시험의 결과들을 표시하는 도표이며,

도 5는 토오크 수명 시험의 결과들을 표시하는 도표이며,

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 직동형 베어링의 상반부의 종방향 단면도이며,

도 7은 도 6의 직동형 베어링의 사시도이며,

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 볼 스크류 장치의 상반부의 종방향 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

A : 구름 베어링 B : 직동형 베어링

1 : 내측 링 2 : 외측 링

3 : 롤링 부재 4 : 케이지

5 : 윤활유 11 : 레일

12 : 슬라이더 13 : 롤링 부재

21 : 스크류 샤프트 22 : 너트 부재

23 : 롤링 부재 24 : 순환 튜브

본 발명의 이들 목적과 다른 목적 및 장점들은 첨부한 도면을 참조로 하여 후술하는 본 발명의 바람직한 실시예들에 의해 명백하게 될 것이다.

모든 도면에서, 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호로 표시되어 있다.

이제, 본 발명의 바람직한 실시예들이 도면들을 참조로 하여 이하에서 설명될 것이다.

도 1과 도 2를 참조하면, A는 디프-그루브 타입의 롤 베어링과 같은 구름 베어링 전체를 예시하며, 여기에서 1은 내측 링을 표시하고, 2는 외측 링을 표시하고, 3은 구형 롤링 부재를 표시하고, 4는 파형부를 가진 가압 성형된 케이지를 표시하고, 5는 윤활유를 표시한다.

보다 구체적으로는, 내측 링(1), 외측 링(2), 롤링 부재(3) 및 케이지(4)는 베어링들로서의 일반적인 용도를 가진 금속 재료, 또는 예컨대 내식성을 가진 금속 재료로 제조될 수 있다.

내식성을 가진 금속 재료는 예컨대 JIS 규격 SUS440C와 같은 마르텐사이트 스테인레스강, 또는 JIS 규격 SUS630C와 같은 석출 경화형 스테인레스강에 적절한 열경화 처리를 실시한 금속 재료일 수 있다. 또한, 인가 하중량이 적은 용도로 사용하는 경우에, JIS 규격 SUS304와 같은 오스테나이트 스테인레스강을 사용할 수도 있다.

케이지(4)용의 재료는 상기 금속 재료들, 황동 및 티타늄 재료들로부터 적절하게 선택된다.

또한, 케이지(4)는 합성 수지로 제조될 수도 있다.

그러한 합성 수지의 예들로서, 예건대 폴리테트라플루오로에틸렌(이하, PTFE로 약칭함) 또는 에틸렌테트라플루오로에틸렌(ETFE)와 같은 플루오르 수지, 또는 폴리에테르 에테르케톤(PEEK), 폴리페닐렌 설파이드(PPS), 폴리에테르 설폰(PES) 또는 나일론 46과 같은 엔지니어링 플라스틱들이 될 수 있다.

이 수지에는 유리 섬유와 같은 강화 섬유가 첨가될 수도 있다.

케이지(4)의 모양은 파형 외에도 크라운형 또는 머시닝된 형태(machined form)로 될 수 있다.

윤활유(5)는 내측 링(1)과 외측 링(2)의 궤도 홈들 뿐만 아니라, 롤링 부재(3)의 표면에도 점착된다.

윤활유(5)를 점착하기 위한 형태에 특징이 있기 때문에, 그것에 대한 상세한 설명은 이하에서 이루어질 것이다.

내측 링(1)과 외측 링(2)의 궤도 홈들 모두의 표면 러프니스(roughness)는 10-스코어 평균 러프니스[Rz]의 단위로서 0.1 ∼ 0.2㎛로 설정되고, 롤링 부재(3)의 표면 러프니스는 10-스코어 평균 러프니스[Rz]의 단위로서 0.01 ∼ 0.02㎛로 설정된다.

도 2에 예시된 바와 같이, 윤활유(5)는 내측 링(1)과 외측 링(2)의 궤도 홈들 모두 및 롤링 부재(3)의 표면의 러프니스를 채워서 마루(crest) 부분들에서 골(trough) 부분들까지 연장하는 방식으로 점착된다.

윤활유(5)는 그 분자 구조 내에 작용기를 포함하는 플루오르 오일로 구성되고, 소위 겔의 형태를 취한다.

보다 구체적으로는, 적합한 바인더와 함께 배합된 플루오로폴리에테르 폴리머 또는 폴리플루오로알킬 폴리머는, 분자 구조 내에 작용기를 가진, 윤활유(5)의 베이스 오일로서 이용된다. 베이스 오일에 배합되는 플루오로폴리에테르 폴리머는 1,000 ∼ 50, 000의 평균 분자량을 가진 일반식 -Ｃ_xＦ_2x-Ｏ-(여기에서, x는 1∼4의 정수)로 표시되는 주요 구조 단위를 가진 폴리머로 될 수 있다.

폴리플루오로알킬 폴리머의 예들은 화학식 1에 작성되어 있다.

적합하게 사용되는 작용기는 에폭시기, 아미노기, 카르복실기, 수산기, 머캅토기, 설폰기 또는 에테르기와 같이 금속에 대해 높은 친화도를 가진 것일 수도 있고, 그것의 예들은 아래의 화학식 2 및 3에 작성되어 있다.

세부적으로는, 적합하게 사용되는 윤활유(5)는 퍼플루오로폴리에테르(PFPE) 또는 그 유도체와의 혼합물로부터 선택될 수 있으며, 보다 구체적으로는 몬테카니(Montecatini)사에 의해 제조된 상업적으로 입수가능한 제품들로서, FONBLIN Y Standard, FONBLIN Emulsion(FE20, EM04, 등등) 또는 FONBLIN Z 유도체들(FONBLIN Z DEAL, FONBLIN Z DIAC, FONBLIN Z DISOC, FONBLIN Z DOL, FONBLIN ZDOLTX2000, FONBLIN Z TETRAOL, 등등)이 적합하게 사용될 수 있다. 상기에 작성된 제품들 모두는 높은 밀도를 가지기 때문에, 그것들을 적합한 희석 용제와 후술하는 방식으로 희석해서 사용하는 것이 바람직하다. 상기에 작성된 FONBLIN Z 유도체들은 진공 조건들에서 사용될 때 진공 통풍 시스템들을 손상시키는 경향이 있기 때문에, 그것들의 사용 환경들을 고려하는 것이 바람직하다는 점을 유의해야 한다.

이제, 상기 윤활유(5)를 점착하기 위한 일례가 설명될 것이다.

내측 링(1), 외측 링(2), 롤링 부재(3) 및 케이지(4)를 각각 조립해서 구름 베어링(A)을 완성한다. 완성된 상태에서, 제조된 윤활유(5)의 필요량을 롤링 부재(3)가 안치(安置)되는 내외측 링들(1, 2) 사이의 공간에 피펫(pipette) 등을 이용하여 삽입하고, 롤링 부재를 여러번 회전시킬 때, 윤활유(5)는 내외측 링들(1,2), 롤링 부재 뿐만 아니라 케이지(4)의 롤링 및 슬라이딩 부재들에 도포된다.

윤활유(5)의 공급은 선택적으로 윤활유(5)용 저장 탱크 속으로 스프레잉(spraying) 또는 침지(immersion)를 통해 수행된다. 제조된 윤활유(5)를 예컨대 FONBLIN 밀도 0.25 중량%에 이를 때까지 FONBLIN Emulsion FE 20(FONBLIN 밀도 20 중량%)을 적합한 희석 용제와 희석하여 얻을 수 있다. 이 희석 용제는 메탄올 용제, 알코올 용제 또는 물과 같은 휘발성 타입으로 될 수 있음을 유의해야 한다.

이후, 윤활유(5)로 도포된 전체 구름 베어링(A)은 윤활유(5)에 포함된 희석 용제를 제거하기 위해 40 ∼50℃의 온도에서 약 3분 동안 가열된다.

지금까지 설명된 바와 같이, 내외측 링들(1,2)의 궤도면들의 표면 러프니스 및 롤링 부재(3)의 표면 러프니스를 형성해서 그들의 접촉 조건들을 제어할 경우에, 필요한 윤활유의 최소량은 그것들에 점착하도록 정해진다. 단지 필요한 윤활유의 최소량만이 내외측 링들(1,2), 롤링 부재(3) 및 케이지(4) 사이의 서로간의 접촉 부분들에서 윤활 작용에 기여하기 때문에, 과잉 윤활유의 분산 또는 다른 인자들로 인한 분진의 발생 및 방출 가스의 발생이 현저하게 감소될 것이다. 게다가, 윤활 작용을 제공하기 위해 그리스를 채용하는 경우와 비교하여 회전 저항이 현저하게 감소되기 때문에, 고정밀도의 회전을 수행할 수 있다.

윤활유를 도포할 때 윤활유의 최소량이 표면 러프니스의 마루 부분들에서 골 부분까지 채워지기 때문에, 상술한 최소량을 초과하는 양의 윤활유가 점착되는 경우에, 분산, 방출 가스의 증가량, 및 회전 토오크의 증가에 이를 수 있으며, 다른 한편으로 상술한 최소량 보다 적은 양의 윤활유가 점착되는 경우, 표면 러프니스의 마루 부분들이 완전하게 노출되어 대향 측면의 오일층을 긁어내게 되며, 이로 인해 경계 윤활 조건들을 유발시켜 부분적인 베이킹(baking)에 이를 수 있다.

분진 발생 특성, 토오크 및 내구성을 고려한 시험들이, 윤활유의 점착에 대한 전술한 형태를 위해 수행되었고, 그 설명이 따를 것이다.

분진 발생 특성 시험용으로 이용된 비교예가 플루오르 고체 윤활유를 코팅함으로써 마련되었고, 토오크 시험용으로 이용된 비교예가 베이스 오일로서 플루오르 오일을 사용하는 플루오르 그리스를 도포함으로서 마련되었다. 전술한 플루오르 고체 윤활 필름은 특히 어떠한 작용기를 가지지 않은 플루오르 함유폴리머(FONBLIN Z-60)를, 이소시안네이트의 작용기를 말단에 가진 플루오르 함유 폴리머(FONBLIN Z DISOC)에 첨가함으로써 얻어졌다는 점을 유의해야 한다.

시험들용으로 사용된 베어링은 608의 베어링 개수를 가졌고, 시험 조건들은 200 rpm의 회전속도, 50 N 또는 100 N의 하중으로 설정되었다. 예시된 실시예에서는, 내외측 링들(1,2)의 궤도면들의 표면 러프니스는 10-스코어 평균 러프니스[Rz]의 단위로서 각각 0.2㎛로 설정되었고, 롤링 부재(3)의 표면 러프니스는 10-스코어 평균 러프니스[Rz]의 단위로서 각각 0.02㎛로 설정되었고, 윤활유(5)는 상술한 바와 같은 방식으로 도포되었다.

도 3에 예시된 바와 같이, 분진 발생 특성 시험의 결과들은 본 발명에 따른 발생 분진량이 비교예의 그것의 ½또는 그 이하이고, 따라서 현저하게 낮은 수준이었다는 것을 나타냈다.

도 4에 예시된 바와 같이, 토오크 시험의 결과들은 본 발명에 따른 토오크 값이 비교예의 그것의 약 ⅓ 이었고, 따라서 장기간에 걸쳐 유지될 수 있는 현저하게 낮은 토오크 값이었다는 것을 나타냈다.

도 5에 예시된 바와 같이, 토오크 수명 시험의 결과들은 비교예의 토오크 값은 시험의 개시부터 수십시간을 경과했을 때에 현저하게 증가했던 반면에, 본 발명의 토오크 값은 심지어 1,000 시간의 경과 후에도 작았고, 거의 어떠한 변화에도 지속될 수 있다는 것을 나타냈다.

본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고, 이의 다양한 응용물들 또는 변형물들도 상정될 수 있다는 점을 유의해야 한다.

예컨대, 상기 실시예에서 사용된 베어링은 디프-그루브 타입의 구름 베어링이지만, 본 발명은 또한 다른 타입의 구름 베어링에도 적용될 수 있다.

본 발명은 구름 베어링(A)에 대한 적용 외에도, 도 6 및 7에 예시된 바와 같은 직동형 베어링 또는 도 8에 예시된 바와 같은 볼 스크류 장치에도 유사하게 적용될 수 있다.

보다 세부적으로는, 도 6 및 7에 예시된 바와 같은 직동형 베어링(B)은 외측면 상에 선형 궤도 홈들을 가진 레일(11)과, 이 레일(11)에 끼워맞춤되어 레일(11)의 궤도 홈들과 평행한 궤도 홈들과 함께 형성되는 관상의 슬라이더(12)와, 레일(11)의 궤도 홈들과 관상의 슬라이더(12)의 궤도 홈들 사이에 자유롭게 롤링하는 상태로 끼워지는 복수의 롤링 부재(13)을 구비하며, 여기에서 관상의 슬라이더(12)는 레일(11)을 따라 선형으로 미끄러진다. 롤링 부재(13)는 레일(11)의 궤도 홈들과 관상의 슬라이더(12)의 궤도 홈들 사이에서 롤링할 때, 관상의 슬라이더(12)의 내부에 형성되어 있는 이동 경로(14)를 통해 롤링함으로써 순환되도록 배열되어 있다는 것을 유의해야 한다.

그와 같은 직동형 베어링(B)의 레일(11)의 궤도 홈들과 관상의 슬라이더(12)의 궤도 홈들은 전술한 실시예의 구름 베어링(A)의 내외측 링들(1,2)의 궤도 홈들에 대응하고, 직동형 베어링(B)의 롤링 부재(13)는 전술한 실시예의 구름 베어링(A)의 롤링 부재(3)에 대응한다. 따라서, 레일(11)의 표면 러프니스, 관상의 슬라이더(12)와 롤링 부재(13) 사이의 관계와 윤활유(5)를 점착하기 위한 형태는 전술한 실시예의 설명을 만족시키도록 유사하게 설정될 것이다.

도 8에 예시된 바와 같은 볼 스크류 장치(C)는 외주면 상에 형성된 나선형 궤도 홈을 가진 스크류 샤프트(21)와, 내주면 상에 나선형 궤도 홈을 가진 너트 부재(22)와, 상기 2개의 궤도 홈들 사이에 자유롭게 롤링하는 방식으로 끼워지는 복수의 롤링 부재(23)를 구비하며, 여기에서 스크류 샤프트(21)과 너트 부재(22)중 어느 하나의 회전 운동을 통해, 어느 하나의 부재가 스크류 샤프트(21)의 축방향으로 선형으로 움직인다. 롤링 부재(23)들은 스크류 샤프트(21)의 궤도 홈과 너트 부재(22)의 궤도 홈 사이에서 회전할 때 너트 부재(22)에 마련되어 있는 순환 튜브(24)를 통해 롤링함으로써 미끄럽게 된다는 것을 유의해야만 한다.

그와 같은 볼 스크류 베어링(C)의 스크류 샤프트(21)의 궤도 홈들과 너트 부재(22)의 궤도 홈들은 전술한 실시예의 구름 베어링(A)의 내외측 링들(1,2)의 궤도 홈들에 대응하고, 볼 스크류 베어링(C)의 롤링 부재(23)는 전술한 실시예의 구름 베어링(A)의 롤링 부재(3)에 대응한다. 따라서, 스크류 샤프트(21)의 표면 러프니스, 너트 부재(22)와 롤링 부재(23) 사이의 관계와 윤활유(5)를 점착하기 위한 형태는 전술한 실시예의 설명을 만족시키도록 유사하게 설정될 것이다.

비록 직동형 베어링(B) 및 볼 스크류 장치(C)중 어느 것도 윤활유(5)를 점착하는 것으로는 예시되어 있지 않을지라도, 이들 베어링들은 도 2에 예시된 바와 같은 조건과 유사할 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예들이라고 현재 간주된 것이 설명되었지만, 다양한 변형예들이 본 발명에서 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이고, 첨부된 청구범위에서는 그와 같은 모든 변형예들을 포함하여 본 발명의 사상과 범위 내에 속하는것으로 되어 있다.

본 발명에 따르면, 금속들은 롤링 부재들의 롤링 작동중에 서로 직접 접촉하는 것이 방지되고, 윤활유의 부족이 일어나지 않는 상태가 연속적으로 유지되어 안정한 윤활 작용을 지속한다.

또한, 본 발명에 따르면, 접촉 부재들은 윤활 작용없는 금속들처럼 서로 접촉되는 일이 없고, 이들 부재들 사이에 윤활유가 삽입된 상태로 서로 연속적으로 접촉한다. 따라서, 발생 분진의 양을 현저하게 줄이고, 윤활 특성을 현저하게 향상시키고, 그 결과 작동의 원활성 및 내구성의 향상에 기여할 수 있게 된다.

Claims

상대적으로 변위 가능하도록 편심으로 배치되는 2개의 내외측 부재들과,

상기 2개의 부재들의 궤도면들 사이에 배치되고, 이 궤도면들의 표면 러프니스보다 더 작은 표면 러프니스를 가진 복수의 롤링 부재들을 구비하며,

상기 표면 러프니스를 채워서 마루 부분들에서 골 부분들까지 연장하는 방식으로 적어도 상기 각각의 부재의 궤도면들에, 분자 구조 내에 작용기를 포함하는 플루오르 윤활유가 점착되는 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
제1항에 있어서, 상기 플루오르 윤활유는 그것의 베이스 오일로서 그것의 분자 구조에 작용기가 혼재되어 있는, 적합한 바인더와 함께 배합된 플루오로폴리에테르 폴리머인 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
제2항에 있어서, 상기 플루오로폴리에테르 폴리머는 1,000 ∼ 50,000의 평균 분자량을 가진 일반식 -Ｃ_xＦ_2x-Ｏ-(여기에서, x는 1∼4의 정수)로 표시되는 주요 구조 단위를 가진 폴리머인 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
제1항에 있어서, 상기 플루오르 윤활유는 그것의 베이스 오일로서 그것의 분자 구조에 작용기가 혼재되어 있는, 적합한 바인더와 함께 배합된 폴리플루오로알킬 폴리머인 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
제4항에 있어서, 상기 폴리플루오로알킬 폴리머는 이하의 화학식,

으로 표시되는 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
제1항에 있어서, 상기 각각의 부재의 궤도 홈들의 표면 러프니스는 10-스코어 평균 러프니스[Rz]의 단위로서 0.1 ∼ 0.2㎛로 설정되고, 상기 롤링 부재의 표면 러프니스는 10-스코어 평균 러프니스[Rz]의 단위로서 0.01 ∼ 0.02㎛로 설정되는 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
내측 링과,

상기 내측 링에 대하여 동심으로 배치되는 외측 링과,

상기 내외측 링들 사이에 삽입되고, 상기 내외측 링들의 각각의 궤도면들의 표면 러프니스 보다 더 작은 표면 러프니스를 가진 복수의 롤링 부재들을 구비하며,

상기 표면 러프니스를 채워서 마루 부분들에서 골 부분들까지 연장하는 방식으로 적어도 상기 내외측 링들의 궤도면들에, 분자 구조 내에 작용기를 포함하는플루오르 윤활유가 점착되는 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
궤도 홈들을 포함하는 레일과,

상기 레일에 끼워맞춰지고, 상기 레일의 궤도 홈들과 평행한 궤도 홈들을 포함하는 관상의 슬라이더와,

상기 레일의 궤도 홈들과 상기 관상의 슬라이더의 궤도 홈들 사이에 자유롭게 롤링하는 상태로 삽입되고, 상기 각각의 궤도 홈들의 표면 러프니스 보다 더 작은 표면 러프니스를 가지는 복수의 롤링 부재들을 구비하며,

상기 표면 러프니스를 채워서 마루 부분들에서 골 부분들까지 연장하는 방식으로 적어도 상기 내외측 링들의 궤도면들에, 분자 구조 내에 작용기를 포함하는 플루오르 윤활유가 점착되는 것을 특징으로 하는 롤링 장치.
외주면에 나선형 궤도 홈들이 형성되어 있는 스크류 샤프트와,

내주면에 나선형 그루브들이 형성되어 있는 너트 부재와,

상기 스크류 샤프트의 궤도 홈들과 상기 너트 부재의 궤도 홈들 사이에 자유롭게 롤링하는 상태로 삽입되고, 상기 2개의 궤도 홈들의 표면 러프니스 보다 더 작은 표면 러프니스를 가지는 복수의 롤링 부재들을 구비하며,

상기 표면 러프니스를 채워서 마루 부분들에서 골 부분들까지 연장하는 방식으로 적어도 상기 내외측 링들의 궤도면들에, 분자 구조 내에 작용기를 포함하는 플루오르 윤활유가 점착되는 것을 특징으로 하는 롤링 장치.