KR20010044721A - 에어나이프 건조장치 - Google Patents
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Abstract
에어나이프 건조장치는 상단 에어나이프와 하단 에어나이프로 이루어지고, 상기 상하단 에어나이프는 서로 V자형의 대칭 구조를 띠고 있으며, 각각은 본체의 일측에 형성되어 에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통한 에어를 배출하는 배출구 및 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부를 포함하여 이루어진 것다.
에어나이프의 위치 구성에 따라 유리기판 상에 잔존하는 순수 등의 세정액을 유리기판의 중앙 또는 양 모서리로 유도하여 제거할 수 있다.
Description
본 발명은 유리기판 건조용 에어나이프 건조장치에 관한 것으로, 특히 평판 디스플레이 제조용 유리기판의 세정공정 후 기판 상에 잔존하는 순수(純水)와 같은 세정액을 효과적으로 제거하기 위한 브이자형 에어나이프 건조장치에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display)로 대표되는 평판디스플레이 등의 제조에 사용되는 유리기판은 세정공정을 필수로 하는 바, 이는 기판 위의 이물질 및 입자들을 제거하는 공정으로서 박막트랜지스터 등의 소자 손실을 최소화하여 수율을 향상시키는데 그 목적이 있다.
이러한 세정공정에서는 일반적으로 순수(純水) 등의 세정액을 사용하여 유리기판 위에 형성된 유기물이나 무기물을 제거하거나 분해한다.
순수(純水)는 소위 D.I수(De Ionized Water 또는 Semiconductor grade Water)라 불리우는 것으로서 이온이 함유되지 않은 물이란 뜻으로, 유리기판의 세정 및 절단시 용수로 사용되는 것으로서 유리기판의 세정 후에는 반드시 기판 위에 잔존하는 순수를 제거하여야 한다.
도 1은 일반적인 유리기판의 세정 및 건조공정의 동작원리를 나타내는 도면으로서, 도시하는 바와 같이, 유리기판(10)은 세정기(11)의 세정유닛 상에서 브러시, M/S(진동가속도), 및/또는 고압 샤워에 의해 세정된 후 건조유닛 상에서 에어나이프(13)에 의해 건조된 후 후속 공정으로 진입한다.
상기한 에어나이프(13)는, 비록 도면으로 나타내지는 않았지만, 본체의 일측에 형성되어 에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통한 에어를 배출하는 배출구 및 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부 등을 포함하여 이루어진다.
도 2는 종래 에어나이프 건조장치의 일례를 나타내는 도면으로서, 먼저, 유리기판(10)은 로더(도시하지 않음)에 의해 실선화살표 방향으로 이동한다. 이어서, (a)와 같이 유리기판(10)의 단축과 평행하게 또는 (b)와 같이 장축 방향에 대해 일정한 경사를 이루도록 배치된 상하단 에어나이프(13a, 13b)는 에어를 배출하여 점선 화살표 방향으로 유리기판(10) 상에 잔존하는 순수의 흐름을 유도한다. 이러한 일련의 동작에 의해 유리기판(10) 상에 남아있던 순수와 같은 세정액이 기판으로부터 분리되므로써 유리기판(10)이 건조된다.
그러나, 상기한 구성에서 챔버 상부의 배기와 건조를 위해 배출되는 에어 사이의 압력/유량과의 균형이 불안할 경우, 기류 불안에 의한 유리기판(10)과 에어나이프(13) 사이의 앞단과 후면에 와류 현상이 발생하여 세정액이 유리기판(10) 위에 남게 되고, 이러한 순수와 같은 잔존 세정액에 의해 기판(10)의 표면에는 얼룩이 형성되는데, 이러한 얼룩은 표시품위를 저하시키는 원인이 된다.
또한, 챔버 내의 먼지가 와류에 의해 유리기판(10)의 표면에 재부착하게 되므로 완전한 세정 효과를 기대할 수 없게 되고, 더욱, 상기한 구조의 건조장치는 대면적 유리기판에 적용하기가 곤란하고, 이 경우 기류의 불안정은 한층 더 심화된다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유리기판 상에 잔존하는 순수 등의 세정액을 효과적으로 제거하기 위하여 그 중앙에 유리기판의 삽입이 가능하도록 한쌍의 대칭 구조로 형성된 V자형 에어나이프 건조장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 V자형 에어나이프 건조장치의 분사구를 좁게 형성하여 유체를 좁은 분사구를 통해 분사하여 와류를 형성하지 않고 유리기판을 건조하므로써 물얼룩 등과 같은 건조 불량을 방지하는 것이다.
도 1은 일반적인 유리기판의 세정 및 건조공정의 동작원리를 나타내는 도면.
도 2는 종래 에어나이프 건조장치의 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 V자형 에어나이프 건조장치의 개략도.
도 4는 본 발명에 따른 V자형 에어나이프 건조장치를 이용한 건조공정의 수행을 설명하기 위한 도면.
〈도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명〉
100 ----- V자형 에어나이프 110 ----- 세정기
110a ----- 로더 200 ----- 유리기판
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 V자형 에어나이프 건조장치의 개략도이다.
본 발명에 따른 V자형 에어나이프(100)는 상단 에어나이프(100a)와 하단 에어나이프(100b)로 이루어지고, 상기 상하단 에어나이프(100a, 100b)는 서로 V자형의 대칭 구조를 띠고 있으며, 비록 도면으로 나타내지는 않았지만, 각각은 본체의 일측에 형성되어 에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통한 에어를 배출하는 배출구 및 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부 등을 포함하여 이루어진다.
도면에서 (a)는 유리기판(200)의 진행 방향(실선 화살표)에 대해 V자형 에어나이프(100)의 V자 돌출부가 같은 방향을 따르도록 구성되어, 유리기판(200) 상에 잔존하는 순수 등의 세정액을 유리기판(200)의 중앙으로(점선 화살표) 유도하여 제거하는 방식을 나타낸다.
이에 반하여, (b)는 유리기판(200)의 진행 방향(실선 화살표)에 대해 V자형 에어나이프(100)의 V자 돌출부가 반대 방향을 따르도록 구성되어, 유리기판(200) 상에 잔존하는 순수 등의 세정액을 유리기판(200)의 양 모서리로(점선 화살표) 유도하여 제거하는 방식을 나타낸다.
상기한 (a), (b) 방식에서 각 에어나이프(100)의 동작은 동일하나 순수 등의 세정액을 유도하는 형태만이 서로 상반된다 할 수 있다.
도면에서 실선 화살표는 상기 에어나이프(100)가 정지한 상태에서 유리기판(200)이 이동하는 방향을 나타내고 있으나, 유리기판(200)이 정지한 상태에서 상기 에어나이프(100)를 이동하는 것도 가능하다.
도 4는 본 발명에 따른 V자형 에어나이프 건조장치를 이용한 건조공정의 수행을 설명하기 위한 도면이다.
도시하는 바와 같이, 본 발명에 따른 V자형 에어나이프 건조장치(100)를 이용한 건조공정은 먼저, 세정기(110) 상의 로더(110a)에 의해 유리기판(200)을 실선화살표 방향으로 이동시킨다. 이어서, 본 발명의 에어나이프(100)는 에어를 분출하여 유리기판(200) 상에 잔존하는 순수와 같은 세정액을 유리기판(200)의 진행 방향과 반대방향으로 즉, 점선 화살표 방향으로 유도하여 제거한다.
그 결과, 유리기판(200) 상에 남아있던 순수와 같은 세정액이 유리기판(200)으로부터 분리됨으로써 유리기판(200)은 물얼룩 등이 존재하지 않는 청결 상태를 유지하게 된다.
도면에서 본 발명의 V자형 에어나이프(100)는 도 3의 (a)방식을 취하고 있으므로 유리기판(200) 상에 잔존하는 순수와 같은 세정액은 유리기판(200)의 중앙으로 유도되어 제거된다.
비록 도면으로 나타내지는 않았지만, 도 3의 (b)방식을 취하여 상기와 같은 공정을 수행하는 것도 물론 가능하다.
본 발명의 V자형 에어나이프 건조장치는 그 중앙에 유리기판의 삽입이 가능하도록 한쌍의 대칭 구조로 형성함으로써, 유리기판 상에 잔존하는 순수와 같은 세정액을 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 본 발명의 V자형 에어나이프 건조장치는 유리기판의 전면적에 대하여 효과적으로 건조공정을 수행할 수 있으므로 장비의 설치 면적을 줄일 수 있고, 따라서 대면적 유리기판에 이를 적용하는 것이 가능하다.
Claims (3)
- 유리기판을 건조하기 위한 에어나이프 건조장치에 있어서,상기 에어나이프 건조장치가 상단 에어나이프와 하단 에어나이프로 이루어지고, 상기 상하단 에어나이프는 서로 V자형의 대칭 구조를 띠고 있으며, 각각은 본체의 일측에 형성되어 에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통한 에어를 배출하는 배출구 및 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 에어나이프 건조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 에어나이프의 V자 돌출부가 상기 유리기판의 진행 방향과 같은 방향을 따르도록 구성되어, 상기 유리기판 상에 잔존하는 세정액을 유리기판의 중앙으로 유도하여 제거하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 건조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 에어나이프의 V자 돌출부가 상기 유리기판의 진행 방향과 반대 방향을 따르도록 구성되어, 상기 유리기판 상에 잔존하는 세정액을 유리기판의 양 모서리로 유도하여 제거하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 건조장치.
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