KR20010042057A - 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치 - Google Patents

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KR20010042057A
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Abstract

본 발명은 저장 매체의 하나 이상의 트랙에서 광학적으로 정보를 읽고 기록하는 장치에 이용하기 위한, 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 광학 스캐닝 장치를 제공하는 것인데, 이 장치는 전자적 보상 수단 없이, 공진 피크(resonance peaks)를 거의(very largely) 피하면서 개선된 응답 특성을 갖는다. 본 발명에 따라, 상기 목적은 지지 소자를 통해 상기 스캐닝 장치의 대물 렌즈를 지지하고, 대물 렌즈 홀더를 위한 지지 소자를 지탱하는 면에 마운팅 포인트를 분리시키는 하나 이상의 차단부(cutout)를 갖는 유지 플레이트를 이용하여 달성된다. 본 발명의 응용 분야는, CD, DVD, 기록될 수 있는 CD나 DVD는 같은 광학 저장 매체 또는 예컨대 다른 자기 광학 저장 매체에 정보를 읽고 기록하는 장비에 이용하기 위한 개선된 응답 특성을 구비한 광학 스캐닝 장치들이다.

Description

개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치{OPTICAL SCANNING DEVICE HAVING AN IMPROVED RESPONSE CHARACTERISTIC}
광학 기록 매체를 위한 스캐닝 장치는 일반적으로 공지되어 있다. 소위 광학 픽업이라 하는 광학 스캐닝 장치의 제작과 가동은 전자 구성 성분과 응용(Electronic Components ＆ Application), 제 6 권, No. 4, 1984년 판 209쪽에서 215쪽에 기술되어 있다. 이런 스캐닝 장치는 대물 렌즈가 배치된 액추에이터라 일컬어지는 것을 구비하는데, 이 액추에이터는 광빔이나 레이저빔을 광학 저장 매체에 트래킹하고 초점을 맞추기 위해 제공된다. 대체로, 광학 스캐닝 장치는 대물 렌즈가 장착된 것에 따라 구별될 수 있다. 예를 들어, 공지된 판 스프링 액추에이터의 경우에 있어, 대물 렌즈 홀더는 프레임에 있는 4개의 평행 판 스프링으로 고정되는데, 유럽 특허(EP-A 0 178 077)를 참고한다. 이와 같은 스프링 배치는 진동하는 바람직하지 못한 경향이 있고 고 레벨의 어셈블리 복잡도를 포함하는, 이롭지 못한 점이 있다. 대물 렌즈 홀더의 평행 가이던스 또한 유럽 특허(EP -B 0 563 034)로 공지된 조인트 형태나 힌지 형태(hinged type)로 달성된다. 평행 가이던스가 있는 액추에이터는 홀더가 편향 중에(during deflection) 대물 렌즈의 기울어짐에 대하여 상대적으로 안정적인 것으로 알려져 왔지만, 접속부(joints)에 의해 가이드 되는 여러 이동 방향에 대하여 정확히 정렬될 필요가 있기 때문에, 상기 액추에이터는 고 레벨의 조정 복잡도를 포함한다.
다른 형태의 대물 렌즈 홀더는 대물 렌즈 홀더를 액추에이터 베이스 플레이트에 연결시키는 지지 소자(bearing elements)로써 4개의 와이어를 사용한다. 소위 말하는 와이어 픽업은 판 스프링이나 접합부를 구비한 광학 스캐닝 장치보다 비용 면에서 더 효율적으로 만들어 질 수 있다. 하지만, 가이던스 특성들과 대물 렌즈의 기울어짐에 있어, 상기 픽업은 다른 평행 가이드들과 비교하여 불리하다는 것이 발견됐다.
본 발명은 저장 매체(예를 들어, CD로 알려진 콤팩트디스크, DVD로 알려진 디지털 다목적 디스크, 기록 가능한 CD 나 DVD, 또는 다른 자기 광학 저장 매체)의 하나 이상의 트랙에서 광학적으로 정보를 읽고 기록하는 장치에 이용하기 위한, 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치에 관한 것이다.
도 1은 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치의 유지 플레이트에 대한 개략도.
도2는 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치의 측면 개략도.
도 3은 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치의 평면 개략도.
도 4는 제한 수단을 구비한 광학 스캐닝 장치의 제 2 유지 플레이트에 대한 평면 개략도.
도 5는 제한 수단을 구비한 광학 스캐닝 장치의 제 2 유지 플레이트에 대한 정면 개략도.
도 6은 제한 수단을 구비한 광학 스캐닝 장치의 제 2 유지 플레이트에 대한 측면 개략도.
도 7은 초점 조정 방향의, 공지된 유지 플레이트를 구비한 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답 및 위상도.
도 8은 초점 조정 방향의, 본 발명에 따른 유지 플레이트를 구비한 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답 및 위상도.
도 9는 트래킹 방향의, 공지된 유지 플레이트를 구비한 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답 및 위상도.
도 10은 트래킹 방향의, 본 발명에 따른 유지 플레이트를 구비한 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답 및 위상도.
도 11은 공지된 유지 플레이트에 와이어로 고정된 대물 렌즈 홀더의 개략도.
도 12는 액추에이터를 형성하기 위하여 공지된 유지 플레이트에 와이어로 고정된 대물 렌즈 홀더 어셈블리에 관한 개략도.
도 13은 공지된 유지 플레이트를 구비한 광학 스캐닝 장치의 전도체 면에 대한 개략도.
광학 스캐닝 장치의 한가지 품질 기준은 이 장치의 응답 특성인데, 이 경우에 있어 '응답 특성(response characteristic)'이라는 용어는 제어 신호에 대한 광학 스캐닝 장치의 반응을 의미하고, 이 반응에 의해 이 스캐닝 장치는 트래킹 하거나 초점을 맞추기 위해 편향되는데, 이는 저장 매체에 있는 특정 지점을 스캐닝 하거나 저장 매체의 움직임을 따르도록 하기 위함이다. 광학 스캐닝 장치의 움직임은 인가되는 제어 신호를 매우 정확하게 따라가도록 의도된다. 그러나, 일반적으로 기계 시스템의 자극은 공진 주파수 범위에서 공조 진동과, 그리고 제어 신호에 대한 반응과 응답 특성에 대하여 부정적인 영향을 끼치는, 소위 공진 피크를 일으킨다. 이 공진 주파수는 종종 가청 주파수 범위에 있기 때문에, 이러한 영향은 '울부짖는 소리' 같은 부정적 방법으로 더 명백히 나타난다. 미국 특허 4,477,755에는, 기계적 공진이나 울부짖음 같은 소리를 피하기 위하여 초점 맞춤 제어 루프(focusing control loop)나 트래킹 제어 루프(tracking control loop)에서의 광학적, 기계적 불안정성에 대한 전자적 보상 회로 배치의 용례가 이미 기술되어 있다. 이 회로 배치는 기계적 시스템 모델을 포함하는데, 이것에 의해 제어 신호에 대한 스캐닝 장치의 반응은 모니터 되고, 미리 설정된 임계값을 초과하면 스캐닝 장치의 움직임은 정지한다. 이런 목적으로, 이 회로는, 기계적 공진이 나타나는 주파수 범위에서 선택된 주파수에서 제어 신호 보상 성분을 생성하기 위하여 필터나 가변 이득 증폭기를 포함한다.
본 발명의 목적은 전자적인 보상 수단 없이, 공진 피크(resonance peaks)를 거의(very largely) 피하고 개선된 응답 특성을 갖는 광학 스캐닝 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은 독립된 청구항에 구체화된, 본 발명의 특성에 의해 달성된다. 본 발명의 유리한 향상 내용들은 독립된 청구항에 구체화되어 있다.
본 발명의 한가지 관점은, 아무런 공진 피크를 발생시키지 않고 가능한 일정하게 인가된 제어 신호를 따라가는 상기 방식으로 광학 스캐닝 장치를 설계하는 것이다.
공진 현상은 대물 렌즈 홀더를 지지하기 위한 수단이 고정되어 있는 유지 플레이트의 특성에 따라 크게 영향을 받는다는 것이 밝혀졌다. 탄력적 방식으로 지지되는 대물 렌즈 홀더를 지지하기 위한 수단에 의해 불리한 공진 피크를 피할 수 있다는 것이 밝혀졌다. 다른 한편으로, 유지 플레이트의 진동 감소 재료를 선택하기 위한 옵션은 제한되는데, 한편으로 유지 플레이트가 대물 렌즈와 대물 렌즈 홀더의 무게를 견뎌야 하고, 다른 한편으로 액추에이터가 편향된 후에 원 위치로 되돌아가는 것을 반드시 보장해야 하기 때문이다. 이것은 유지 플레이트가 힘이나 온도의 영향으로 변형되어서는 안 된다는 것을 의미한다. 큰 탄성과 높은 강도의 상반된 요구 조건은, 대물 렌즈 홀더 지지 소자를 지탱하는 유지 플레이트에 있는 마운팅 포인트들이 매우 크게 기계적으로 분리되는 유지 플레이트에 의해 충족된다. 대물 렌즈 홀더를 위한 지지 소자를 지탱하는 유지 플레이트에 있는 상기 포인트들의 기계적 분리는, 대물 렌즈 홀더를 위한 지지 소자를 지탱하는 면에 노치(notches)또는 차단부(cutouts)를 갖는 유지 플레이트에 의해 달성된다. 이들 노치는, 한편으로, 지지 소자를 지탱하는 표면의 직선 에지(straight edges)가 슬롯 형태의 노치나 개구부에 의해 인터럽트되고, 다른 한편으로, 대물 렌즈의 지지 소자를 위한 마운팅 포인트 사이의 유효 면적을 감소시키기 위하여 차단부가 표면의 내부에 제공되는 방식으로, 제공된다. 본 발명의 한 방식(version)에 있어, 마운팅 포인트들은 이 포인트들을 지지하는 면에 조여서 연결된 아일랜드 면(island surface)으로 설계된다. 유지 플레이트에 대한 이러한 형태의 구성은 광학 스캐닝 장치의 응답 특성을 현저히 개선시키며 공진 피크를 피하게 된다. 특히, '응답 특성'이라는 용어는, 주파수 응답과 상대 위상, 그리고 광학 스캐닝 시스템에 대한 제어 신호의 변환 함수(transfer function)에서 반영된, 제어 신호에 대한 광학 스캐닝 장치의 반응을 의미한다. 공진 피크는 전자적인 보상 수단 없이 거의 대부분 피하게 된다. 이 효과는 비교적 더 높게 솟아오른 표면(more highly sprung surface)에 있는 대물 렌즈의 지지 소자를 받치는 것은 증가된 공진 피크를 초래할 것이라고 가정됐기 때문에 오히려 놀라운 것이다.
상기 유지 플레이트는 유지 시스템을 형성하기 위하여 제 2 유지 플레이트와 조합하여 사용하는 것이 바람직한데, 이 경우에 제 2 유지 플레이트는, 제 1 유지 플레이트를 더 얇게 설계하고, 낮은 주파수 범위에서 추가적인 진동 감소를 보장하고, 그리고 더 나아가 액추에이터의 최대 편향을 제한하는 유리한 방식으로 상기 시스템 형성을 가능하게 한다. 와이어 픽업으로 제공되는 구성의 일 예에 있어, 지지 소자로 제공되는 와이어들은 제 2 유지 플레이트의 개구부를 관통하고, 제 1 유지 플레이트에, 예를 들어 납땜 처리로 고정된다. 그리고 나서, 제 2 유지 플레이트의 와이어 개구부에 남아 있는 중간 공간을 충전재로 채운다. 낮은 주파수 영역에서 발생하는 공진 피크를 완화시키기 위하여 주로 실리콘을 충전재로 사용한다. 제 2 유지 플레이트 내에서 실리콘에 지지 소자로 이용되는 와이어를 깊이 삽입함으로써 공진 피크를 현저히 완화시킬 것이라고 가정되어야 한다 할지라도, 그러나 이것은 불충분한 정도로 완화시킨다는 것이 밝혀졌다. 바람직한 응답 특성은 본 발명에 의한 제 1 유지 플레이트와의 조합으로만 성취될 수 있다.
본 발명은 다음의 참고 도면과 함께 예시적인 실시예들을 사용하여 뒤에 좀더 자세히 기술된다.
같은 참조 기호는 모든 도면에서 같이 사용된다. 도 11은 공지된 대물렌즈 홀더(OH)에 관한 개략도인데, 이 홀더는 공지된 유지 플레이트(HP)에 와이어(W)로 고정된다. 유지 플레이트(HP)에 고정된 4개의 와이어(W)는 대물 렌즈 홀더(OH)를 지지하는데, 이 홀더에는 광학 기록 매체에 광빔이나 레이저빔의 초점을 맞추고 트래킹하기 위하여 제공된 대물 렌즈(O)와 대물 렌즈를 편향하기 위한 코일(SP)이 배치되어 있다. 지지 소자로 사용되는 와이어(W)들은 이 경우에 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 탄력적 지지대를 형성하고, 동시에 대물 렌즈 홀더(OH)에 배열된 코일(SP)에 전력을 공급하는데 사용된다. 4개의 와이어(W)로 지지되는 대물 렌즈 홀더가 있는 이 유지 플레이트(HP)는 도 12에 도시되어 있는 바와 같이 사각형 표면으로 형성되고, 이 표면은 베이스 플레이트(G)의 웹(Web)(S)에 연결되는데, 이 웹(S)은 베이스 플레이트(G)에 수직이다. 결과적으로, 도 12에 따라, 대물렌즈 홀더(OH)의 리세스(recess)에 있는 코일(SP)은 마그넷 웹(MS1, MS2)과 상호 작용이 가능한 위치로 움직인다. 마그넷 웹(MS1, MS2)은 베이스 플레이트(G)에 대하여 수직이고 유지 플레이트(HP)가 고정되는 웹(S)과는 평행이고, 코일(SP)에 의해 생성된 자기장과 상호 작용하여 대물 렌즈(O)가 정지 위치(rest position)에서 원하는 방식으로 편향되도록 하는 자기장을 형성한다. 마그넷 웹(MS1, MS2)으로 인해 생성된 자기장은 적어도 하나의 영구 자석(M)으로 바람직하게 생성되는데, 상기 자석은 마그넷 웹(MS1)으로 고정된다. 앞에서 언급한 바와 같이, 대물 렌즈 홀더(OH)를 유지 플레이트(HP)에 고정시키는 방법으로 와이어(W)를 통해 대물 렌즈 홀더(OH)에 있는 코일(SP)에 전력이 공급된다. 와이어(W)를 고정시키기 위하여, 도 13에 도시된 유지 플레이트는, 인쇄 회로 기판으로 설계된 유지 플레이트(HP)에 구멍으로 제공되는 납땜 포인트(solder points)(LP1, LP2, LP3 및 LP4)를 갖는다. 와이어는 이 구멍을 통과하고, 구멍이 있는 부위에 연결시키기 위한 납땜 랜드(solder land)가 있는 유지 플레이트(HP)와 납땜으로 연결된다. 이 납땜 랜드 또는 납땜 포인트(LP1, LP2, LP3 및 LP4)는 전도체 트랙을 통해 접속 포인트(AP)에 접속되는데, 이 포인트로 대물렌즈(O)를 편향하기 위한 제어 신호가 공급된다. 또한, 핀 개구부(DO1, DO2)가 유지 플레이트에 제공되는데, 이는 웹(S)에 유지 플레이트(HP)를 정렬하기 위함이고, 장착 개구부(BMO)는 유지 플레이트(HP)의 장착을 위해 제공된다.
측정값으로 결정된 바와 같이, 이런 광학 스캐닝 장치는 인가된 제어 신호를 무조건 따라가지 못하는 불리한 점이 있다. 대물 렌즈(O)와 코일(SP)이 있는 대물 렌즈 홀더(OH)의 편향은 기계적 자극을 나타내고, 임계 주파수 범위에서 소위 말하는 공진 피크를 초래하는데, 이는 가능한 한 일정한 프로파일(profile)과의 응답 특성 편차로 도 7 및 도 9에 원칙적으로 도시되어 있는 바와 같다. 이런 공진 피크는, 광학 스캐닝 장치의 제어 특성 또는 조정 특성에 불리한 영향을 미칠 뿐 아니라, 가청 주파수 범위의 진동으로 인해 바람직하지 못한, 울부짖음 같은 소리를 유발한다. 예를 들어, 주파수 응답의 선형화에 대한 균등화로 성취될 수 있는 바와 같이, 일반적으로, 공진 피크의 억제는 제어 신호의 공급시 추가적인 측정값을 필요로 한다. 이롭지 못한 특성을 피하고 광학 스캐닝 장치를 구동하기 위한 추가적인 수단을 사용하지 않기 위하여, 제안되는 광학 스캐닝 장치는 개선된 응답 특성을 갖는다. 이것은 도 1에 도시된 바와 같은 유지 플레이트(HP1)를 특징으로 하는데, 이 유지 플레이트는 납땜 포인트(LP1, LP2, LP3 및 LP4)에서 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 지지 소자를 지탱하는 표면에 차단부를 구비하고, 이 차단부는 마운팅 포인트 또는 납땜 포인트(LP1, LP2, LP3 및 LP4)를 서로 분리시킨다. 이 마운팅 포인트 또는 납땜 포인트(LP1, LP2, LP3 및 LP4)는 아일랜드 면으로 설계되는데, 이 포인트들은 이들을 지지하는 표면에 조여서(constrictions to the surface) 연결된다. 상기와 같은 방법으로 설계된 유지 플레이트(HP1)에 의해 공진 피크를 피할 수 있다는 것은, 본 발명에 따른 광학 스캐닝 시스템의 경우에 있어서, 도2 및 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 제 1 유지 플레이트(HP1)와 제 2 유지 플레이트(HP2)를 포함하는 유지 시스템을 이용하여, 의도된 효과를 발견하는 것 또한 가능하기 때문에 오히려 놀라운 것이다.
도 2 및 도 3에 도시된 광학 스캐닝 장치는 제 1 유지 플레이트(HP1)와 제 2 유지 플레이트(HP2)를 구비하는데, 이 유지 플레이트에 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 지지 소자로 사용되는 와이어(W)가 제공된다. 이 경우에 와이어(W)는 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 탄력적 지지대를 형성하는데, 이 홀더에는 대물 렌즈(O), 초점 코일(F) 및 트래킹 코일(T)이 배치되어 있다. 제어 신호는, 초점 코일(F) 그리고/또는 트래킹 코일(T)에 인가되고 이 코일에 자기장을 형성하는데, 대물 렌즈(O)가 정지 위치에서 편향되도록 하기 위하여, 이 자기장은 두 개의 영구 자석(M1, M2)에 의해 생성된 자기장과 상호 작용한다. 지지 소자로 이용되는 와이어(W)는, 제어 신호를 초점 코일(F)과 트래킹 코일(T)에 공급하기 위하여 이용되고, 납땜 패드(solder pad)(L)에서 대물 렌즈 홀더(OH)와 제 1 유지 플레이트(HP1)로 연결된다. 영구 자석(M1, M2)은 베이스 플레이트(G)에 수직인 마그넷 웹(MS1, MS2)에 고정되고, 제 1 유지 플레이트(HP1)와 제 2 유지 플레이트(HP2)는 고정 수단(BM)을 통해 웹(S)에 연결되는데, 마찬가지로 이 웹(S)은 베이스 플레이트(G)에 수직이다. 이 경우에, 제 1 유지 플레이트(HP1)는 제 1 유지 플레이트(HP1)에 있는 핀 개구부(DO1, DO2)에 의하여 제 2 유지 플레이트(HP2)의 대응 핀(D)에 정렬된다.
제 1 유지 플레이트(HP1)와 제 2 유지 플레이트(HP2)를 포함하는 유지 시스템에 대물 렌즈 홀더(OH)를 조립하기 위하여, 베이스 플레이트(G)와 대물 렌즈 홀더(OH)는 지그에서 고정되고, 유지 시스템을 대물 렌즈 홀더(OH)에 연결하는 와이어(W)는 바람직하게 프리스트레스된 와이어(W)를 이용하여, 납땜 패드(L)에서 대물 렌즈 홀더(OH)와 제 1 유지 플레이트(HP1)에 납땜으로 연결된다. 이렇게 하기 위하여, 와이어(W)는 대물렌즈 홀더(OH)의 납땜 패드(L)에 위치하고, 제 2 유지 플레이트(HP2)에 있는 구멍(B)을 관통한다. 도 4 내지 도 6은 제 2 유지 플레이트(HP2)에 대한 3가지 도면을 각각 도시한다. 구멍(B)은 도 4 및 도 5에 도시되어 있고, 도 5에서 이것에 대응하는 측면 개구부(SO)를 구비한다. 이 측면 개구부(SO)는, 와이어(W)를 통과시키고 난 후에 와이어(W)와 제 2 유지 플레이트(HP2)사이의 중간 공간에 실리콘으로 채우기 위하여 제공된다. 이 경우에, 와이어(W)와 제 2 유지 플레이트(HP2) 사이의 중간 공간을 채우는 실리콘은 공진 현상을 상쇄하기 위하여 진동 감소재로 작용한다. 도 5에 도시되어 있고, 제 1 유지 플레이트(HP1)의 제 1 마운팅 개구부(mounting opening)(BMO1)에 대응하는 제 2 마운팅 개구부(BMO2)는 제 2 유지 플레이트(HP2)를 베이스 플레이트(G)의 웹(S)에 고정시키기 위하여 제 2 유지 플레이트(HP2)에 제공된다. 제 1 유지 플레이트(HP1)는 조립되는 동안 도 4에 도시된 핀(D)에 의해 제 2 유지 플레이트(HP2)에 정렬된다. 더 나아가, 제 2 유지 플레이트(HP2)는 도 4 및 도 6에 도시되어 있고, 대물 렌즈 홀더(OH) 위로 편향되는 것을 유리한 방식으로 제한하는 고정 웹(BS)을 구비한다. 대물 렌즈 홀더(OH)는 단지 4개의 와이어(W)로 유지 시스템에 연결되어 있어, 예를 들어, 상기 홀더가 하강(drop)할 때 발생하는 힘 같은, 큰 가속력의 작용으로 인한 허용 범위 이상의 편향을 막을 수 있는데, 허용 불허 범위가 되면 시스템의 초과 탄성 한도로 인해 원래의 기준 위치에 자동으로 돌아오지 못하게 된다. 따라서, 제 2 유지 플레이트(HP2)는 제 1 유지 플레이트(HP1)의 지지, 와이어(W)의 진동 감소, 그리고 대물 렌즈 홀더(OH)의 편향을 제한하는 것을 포함한 다수의 기능을 수행한다.
대물 렌즈 홀더(OH)와 와이어(W)의 진동이 와이어(W)와 제 2 유지 플레이트(HP2)사이 중간 공간에 삽입된 실리콘에 의해 실제로 감소되더라도, 광학 스캐닝 장치의 응답 특성은 제 1 유지 플레이트(HP1)에 의해 상당히 영향을 받는 것이 밝혀졌다. 이것은 측정된 값에 의해 명확해지며, 이 결과는 도 7 내지 도 10에 나타나있다. 도 7은 초점 방향에 공지된 유지 플레이트(HP)를 구비한 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답과 위상 다이어그램을 도시하는데,0(Deg)단위의 위상 각(Phase)뿐 아니라 데시벨(dB) 단위의 응답 감도(FREQRESP)가 5 kHz까지의 범위에서 헤르츠(Hz)단위의 주파수(F)에 대한 대수값(Log)으로 그려진 것을 도시한다. 이에 수반된 주파수 응답과 위상 다이어그램은 같은 스케일(scale)을 사용한다. 도 7에 도시된, 공지된 유지 플레이트(HP)를 구비한 광학 스캐닝 장치에 대한 다이어그램은, 응답 감도(FREQRESP)와 위상 각(Phase) 모두에 있어 800 Hz와 900 Hz사이의 범위에서 일정한 프로파일에서 상당히 어긋나는 것을 도시한다. 이들 공진 피크는 본 발명에 따른 광학 스캐닝 장치에 부합하는 구조의 광학 스캐닝 장치에서 발견되고, 도 2와 도 3에 도시되어 있지만, 상기 장치는 공지된 유지 플레이트(HP)가 유지 플레이트(HP1)로서 이용된다는 차이가 있다. 도 8에 도시된, 본 발명에 따른 유지 플레이트(HP1)를 구비한 광학 스캐닝 장치의 다이어그램과 비교해 보면, 같은 조건에서 유지 플레이트(HP1)를 사용하여 응답 감도(FREQRESP)와 위상 각(Phase)에 대한 불리한 특성들을 피할 수 있는 놀라운 효과가 나타난다. 주파수 응답과 위상 응답이 일정한 프로파일을 갖고 공진 피크가 일어나지 않기 때문에, 본 발명에 따른 (도 8에 도시된)특성들을 갖는 스캐닝 장치는 개선된 응답 특성을 갖는다. 상기 효과는, 그 다음의 도 9와 도 10에 명백히 도시된 바와 같이, 초점 방향에서 뿐 아니라 트래킹 방향에서도 발생한다. 도 9는 트래킹 방향에 대한, 공지된 유지 플레이트(HP)를 구비하는 도 2와 도 3에 도시된 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답과 위상 다이어그램을 도시하고, 도 10은 트래킹 방향에 대한, 본 발명에 따라 유지 플레이트(HP1)를 구비하는 동일한 광학 스캐닝 장치의 주파수 응답과 위상 다이어그램을 도시한다. 제 2 유지 플레이트(HP2)에서 와이어(W)를 실리콘에 깊이 삽입함으로써 공진 피크를 피할 수 있다는 것을 가정해야 했지만, 본 발명에 따른 제 1 유지 플레이트(HP1)는 본 발명의 구성만이 바람직한 결과(desired success)를 초래한다는 것을 나타냈기 때문에, 상기 가정은 충분치 못한 범위(inadequate extent)에서만 적합하다는 것이 밝혀졌다.
본 발명은 본 명세서에서 기술한 광학 스캐닝 장치의 방식(version)에 국한되는 것이 아니라, 지지 소자를 이용하여 유지 플레이트(HP)에서 광학 스캐닝 장치에 있는 대물 렌즈 홀더(OH)가 지지되는 광학 스캐닝 장치들에 일반적으로 적용한다.

Claims (6)

  1. 유지 플레이트(HP)의 표면에 있는 마운팅 포인트에서 지지 소자로 지지되는 대물 렌즈 홀더(OH)를 포함하는, 개선된 응답 특성을 구비하는 광학 스캐닝 장치에 있어서,
    상기 마운팅 포인트들을 분리시키는 하나 이상의 차단부(cutout)가 상기 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 상기 지지 소자를 지탱하는 상기 표면에 제공되는 것을 특징으로 하는, 광학 스캐닝 장치.
  2. 유지 플레이트(HP)의 표면에 있는 마운팅 포인트에서 지지 소자로 지지되는 대물 렌즈 홀더(OH)를 포함하는, 개선된 응답 특성을 구비하는 광학 스캐닝 장치에 있어서,
    공진 피크를 피하기 위하여, 유지 플레이트(HP1)가 상기 마운팅 포인트들을 분리시키는 하나 이상의 차단부를 구비하고, 상기 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 상기 지지 소자를 지탱하는 상기 표면에 제공되는 것을 특징으로 하는, 광학 스캐닝 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 대물 렌즈 홀더(OH)의 상기 지지 소자는, 납땜 포인트(LP1 내지 LP4)에서 상기 유지 플레이트(HP1)에 접속되고, 납땜 패드(L)에서 상기 대물 렌즈 홀더(OH)에 접속된 와이어(W)인 것을 특징으로 하는, 광학 스캐닝 장치.
  4. 유지 플레이트(HP)의 표면에 있는 마운팅 포인트에 지지 소자로 지지되는 대물 렌즈 홀더(OH)를 포함하는, 개선된 응답 특성을 구비하는 광학 스캐닝 장치에 있어서,
    상기 유지 플레이트(HP)는 제 1 유지 플레이트(HP1)와 제 2 유지 플레이트(HP2)로 형성되는 유지 시스템인 것을 특징으로 하는데, 공진 피크를 피하기 위하여, 상기 제 1 유지 플레이트(HP1)는 상기 대물 렌즈 홀더(OH)를 위한 상기 지지 소자를 지탱하는 상기 표면에 마운팅 포인트들을 분리시키는 하나 이상의 차단부를 구비하는, 광학 스캐닝 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제 2 유지 플레이트(HP2)는 상기 대물 렌즈 홀더(OH)의 모든 편향을 제한하기 위하여 제한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 광학 스캐닝 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 대물 렌즈 홀더(OH)의 임의의 편향을 제한하기 위한 상기 제한 수단이 상기 제 2 유지 플레이트(HP2)의 제한 웹(limiting webs)(BS)인 것을 특징으로 하는, 광학 스캐닝 장치.
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