KR20010021432A - 두께 확장 진동 모드 압전 공진자, 사다리형 필터 및 압전공진부품 - Google Patents

두께 확장 진동 모드 압전 공진자, 사다리형 필터 및 압전공진부품 Download PDF

Info

Publication number
KR20010021432A
KR20010021432A KR1020000049878A KR20000049878A KR20010021432A KR 20010021432 A KR20010021432 A KR 20010021432A KR 1020000049878 A KR1020000049878 A KR 1020000049878A KR 20000049878 A KR20000049878 A KR 20000049878A KR 20010021432 A KR20010021432 A KR 20010021432A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piezoelectric
thickness
resonator
vibration mode
piezoelectric resonator
Prior art date
Application number
KR1020000049878A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100397724B1 (ko
Inventor
니시무라도시오
Original Assignee
무라타 야스타카
가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라타 야스타카, 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 filed Critical 무라타 야스타카
Publication of KR20010021432A publication Critical patent/KR20010021432A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100397724B1 publication Critical patent/KR100397724B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
    • H03H9/02062—Details relating to the vibration mode
    • H03H9/0207—Details relating to the vibration mode the vibration mode being harmonic
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/58—Multiple crystal filters
    • H03H9/60—Electric coupling means therefor
    • H03H9/605—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

본 발명의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자는 복수개의 압전체층을 가지고 있는 압전체, 및 상기 압전체내에 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있다. 내부전극들 사이에 위치된 압전체층에 두께 방향으로 역극성(opposite polarity)의 전계가 교대로 인가된다. 두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤1.00, N = 4에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족한다.

Description

두께 확장 진동 모드 압전 공진자, 사다리형 필터 및 압전 공진부품{Thickness Extensional Vibration Mode Piezoelectric Resonator, Ladder-Type Filter and Piezoelectric Resonator Component}
본 발명은 두께 확장 진동 모드의 고조파(harmonics)를 이용하는 두께 확장 압전 공진자에 관한 것으로, 보다 상세히하면, 사다리형 필터(ladder-type filter)에서 직렬암(sesries-arm) 공진자와 병렬암 공진자로서 사용하는 두께 확장 압전 공진자, 이러한 압전 공진자를 포함하는 사다리형 필터 및 압전 공진부품에 관한 것이다.
압전 공진자는 압전 발진기, 판별기, 압전 필터 등의 각종의 압전 공진부품에 사용된다. 이러한 종류의 공지된 압전 공진자는 사용 주파수에 따라서 각종의 압전 진동 모드를 이용한다.
일본특허출원공보 63-40491호에는 두께 확장 진동 모드의 고차 모드를 이용하는 에너지 트랩형(energy-trap) 압전 공진자가 개시되어 있다.
즉, 압전 세라믹 재료로 구성된 압전체층에 의해 떨어져 있고, 이 압전체층과 서로 적층하여 배치된 복수개의 내부전극을 가지고 있으며, 내부전극들 사이의 압전체층이 두께 방향으로 교대로 상호 역방향으로 분극되는 두께 확장 압전 공진자가 공지되어 있다.
그러나, 상술한 선행 기술이 압전체 내에 복수개의 내부전극을 배치함으로써 두께 확장 압전 공진자의 고조파를 이용하더라도, 내부전극의 형성 위치의 물음에 관한 몇 가지 예만이 기술되어 있다. 즉, 상술한 선행 기술에서는, 3차 두께 확장 진동 모드를 이용하는 압전 공진자로서, 인접해 있는 내부전극들이 서로로부터 73㎛의 간격을 두고 떨어져 있고, 압전체의 전체 두께는 259㎛ 또는 257㎛가 되는 구현예들만을 보여주고 있다.
상술한 두께 확장 진동 모드의 고조파를 이용하는 두께 확장 압전 공진자는 마더 압전기판을 사용하여 제작된다. 그 다음에, 마더 압전기판에 뒤틀림(warping) 또는 다른 변형이 발생하므로, 표면 연마가 종종 실시된다. 이 연마때문에, 압전기판 내에서 내부전극의 위치가 두께 방향으로 변화되므로, 주파수에 변동이 생긴다. 특히, 두께 확장 압전 공진자가 사용하는 주파수가 높으면 높을수록 압전 공진자에 나타나는 주파수의 변동이 커진다. 이러한 사실은 고주파용 두께 확장 압전 공진자를 사용하는데에 장애가 된다.
지금까지는, 대역필터로서 직렬암 공진자 및 병렬암 공진자를 가지고 있는 사다리형 필터가 광범위하게 사용되었다. 직렬암 공진자 및 병렬암 공진자가 에너지 트랩형 두께 확장 압전 공진자로 구성되는 사다리형 필터에서, 패키지(package) 구조가 간단해질 수 있다. 그러나, 상술한 두께 확장 진동 모드의 고조파를 이용하는 압전 공진자를 사용하는 경우에는, 상술한 바와 같이 공진 주파수와 반공진 주파수의 정확도가 충분하지 않기 때문에, 우수한 필터 특성을 얻는 것이 어렵다.
상술한 문제점들을 극복하기 위해서, 본 발명의 바람직한 구현예들은 두께 확장 진동 모드의 고조파를 이용하여, 주파수의 정확도가 대폭 높아지고, 매우 높은 고주파에서도 작동하는 에너지 트랩형 두께 확장 압전 공진자; 사다리형 필터의 직렬암 공진자와 병렬암 공진자를 구성하는 두께 확장 압전 공진자; 및 압전 공진부품을 제공한다.
본 발명의 그 외의 바람직한 구현예들은 직렬암 공진자 또는 병렬암 공진자를 우수한 필터 특성을 이루고, 고주파화에서도 사용가능도록 구성된 본 발명의 다른 바람직한 구현예들에 따른 두께 확장 압전 공진자로 구성하는 사다리형 필터를 제공한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제 1 구현예에 따른 사다리형 필터의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 사다리형 필터의 외형을 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 사다리형 필터의 회로 구성을 도시한다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드의 제 3 고조파를 이용하는 두께 확장 압전 공진자의 사시도 및 단면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 압전체를 구성하는데 사용하는 내부전극의 구성을 설명하는 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 내부전극의 변위로 인해, 제 1 및 제 2 압전체층의 두께가 이상적인 상태로부터 벗어나는 경우를 설명하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 제 3 구현예에 따른 제 2 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제 4 구현예에 따른 제 4 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 제 5 구현예에 따른 제 2 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 제 6 구현예에 따른 제 3 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 제 7 구현예에 따른 제 4 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 단면도이다.
도 12는 본 발명의 바람직한 한 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 내부전극의 다른 구성예를 설명하는 분해 사시도이다.
도 13은 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 14는 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 15는 제 3 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 16은 제 3 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 17은 제 4 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 18은 제 4 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 19는 도 13에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 20은 도 14에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 21은 도 15에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 22는 도 16에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 23은 도 17에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 24는 도 18에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 25는 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 2 고조파의 비대역폭과 스퓨리어스 모드의 비대역폭을 설명한다.
도 26은 제 3 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 3 고조파의 비대역폭과 스퓨리어스 모드의 비대역폭을 설명한다.
도 27은 제 4 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 4 고조파의 비대역폭과 스퓨리어스 모드의 비대역폭을 설명한다.
도 28은 제 2 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 29는 제 2 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 30은 제 3 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 31은 제 3 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 32는 제 4 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 33은 제 4 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서 최외측 압전체층의 두께가 변화될 때에, 내부전극의 변위량과 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 34는 도 28에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 35는 도 29에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 36은 도 30에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 37은 도 31에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 38은 도 32에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 39는 도 33에 도시된 결과를 재작성한 것으로, 최외측 압전체층의 두께와 반공진 주파수의 변화율과의 관계를 설명한다.
도 40은 제 2 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 2 고조파의 비대역폭과 스퓨리어스 모드의 비대역폭을 설명한다.
도 41은 제 3 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 3 고조파의 비대역폭과 스퓨리어스 모드의 비대역폭을 설명한다.
도 42는 제 4 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 4 고조파의 비대역폭과 스퓨리어스 모드의 비대역폭을 설명한다.
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>
1, 11, 21, 31, 51 두께 확장 진동 모드 압전 공진자
2 압전체
2c, 2d 제 1 및 제 2 압전체층
3∼6 내부전극
7, 8 외부전극
61 사다리형 필터
62 케이스 기판
65 금속 캡
본 발명의 제 1 특징은, 사다리형 필터의 직렬암 공진자로서, 두께 방향으로 균일하게 분극되는 압전체; 및 상기 압전체내에서 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 제공한다. 상기 내부전극들 사이의 압전체층에 두께 방향으로 역극성(opposite polarity)의 전계를 교대로 인가함으로써 발생되는 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드를 이용한다. 두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤1.00, N = 4에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족하는 특징이 있다.
본 발명의 제 2 특징은, 사다리형 필터의 병렬암 공진자로서, 두께 방향으로 균일하게 분극되는 압전체; 및 상기 압전체내에서 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 제공한다. 상기 내부전극들 사이의 압전체층에 두께 방향으로 역극성의 전계를 교대로 인가함으로써 발생되는 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드를 이용한다. 두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.80, N = 4에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.50, N = 5에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.45을 만족하는 특징이 있다.
본 발명의 제 3 특징은, 사다리형 필터의 직렬암 공진자로서, 압전체; 및 상기 압전체내에서 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 제공한다. 상기 내부전극들 사이의 압전체층은 두께 방향으로 교대로 역방향으로 분극되고, 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드를 이용한다. 두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.60≤(D1+ D2)/2D≤1.10, N = 4에서 0.65≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.60≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족하는 특징이 있다.
본 발명의 제 4 특징은, 사다리형 필터의 병렬암 공진자로서, 압전체; 및 상기 압전체내에서 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 제공한다. 상기 내부전극들 사이의 압전체층은 두께 방향으로 교대로 역방향으로 분극되고, 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드를 이용한다. 두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤1.10, N = 4에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족하는 특징이 있다.
본 발명의 상술한 특징들 중의 한 특징에 따른 사다리형 필터는 직렬암 공진자 및 병렬암 공진자를 포함하고 있다. 직렬암 공진자는 본 발명의 제 1 또는 제 3 특징에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 포함하고 있다.
본 발명의 상술한 특징들 중의 또 다른 특징에 따른 사다리형 필터는 직렬암 공진자 및 병렬암 공진자를 포함하고 있다. 병렬암 공진자는 본 발명의 제 2 또는 제 4 특징에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 포함하고 있다.
본 발명의 제 1 내지 제 4 특징에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 복수개의 내부전극은 바람직하게 선형상 전극(linear electrode)을 포함하고 있고, 압전체층을 통해서 서로 교차하고 있으며, 이 교차 부분은 에너지 트랩형 압전 진동부를 구성한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따른 압전 공진부품은 본 발명의 제 1 내지 제 4 특징들 중의 임의의 한 특징에 따른 적어도 1개의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자; 상기 압전 공진자의 진동을 가능하게 하는 공간을 두고 상기 압전 공진자에 접합되는 케이스 기판; 및 상기 압전 공진자를 둘러싸도록 상기 케이스 기판에 접합되는 도전성 캡(conductive cap)을 포함하고 있다.
본 발명의 그 외의 특징, 소자, 특성 및 이점은 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 구현예들의 하기의 상세한 기술을 통해서 보다 명확해질 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예에 따른 사다리형 필터를 설명하는 분해 사시도, 및 이 사다리형 필터의 외형을 도시하는 사시도이다.
사다리형 필터 61은 바람직하게, 케이스 기판 62 및 금속 캡 65를 포함하고 있는 패키지 구조를 가지고 있다. 케이스 기판 62는 바람직하게 알루미나 등의 절연성 세라믹 재료 또는 합성수지 등의 적당한 절연성 재료 등으로 구성된다. 케이스 기판 62의 상면에는 전극 63a∼63e가 형성되어 있다. 전극 63a∼63e는 후술할 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에 전기적으로 접속되고, 아울러 전극 63a∼63e 중의 일부 전극은 케이스 기판 62의 측면에서 연장되어 외부 단독 부품과의 전기적 접속을 행하는 단자전극으로서 기능이 있다.
케이스 기판 62의 상면에는, 대략 사각형의 프레임(frame) 형상을 가지고 있는 절연막 64가 형성되어 있다. 이 절연막 64는, 금속 캡 65가 케이스 기판 62에 접합될 때에, 금속 캡 65와 전극 63a∼63e 등이 전기적으로 절연되도록 배치된다.
금속 캡 65는 하향으로 면하는 개구부를 가지고 있고, 케이스 기판 62에 절연성 접착제(설명되지 않음) 또는 그 외의 적당한 접합제 또는 접합 방법에 의해 접합된다. 이러한 방법으로, 내부 공간이 밀봉되는 패키지 구조를 얻을 수 있다. 도전성 캡을 형성하기 위해서, 금속 캡 65 대신에 표면이 도전성 재료로 도포된 절연성 재료의 캡을 사용하여도 된다.
또한, 상술한 내부 공간에는, 4개의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 66∼69가 도전성 접착제 또는 땜납 등의 도전성 접합제 또는 적당한 커넥터(connector) 등을 통해서 전극 63a∼63e에 바람직하게 접속된다.
두께 확장 진동 모드 압전 공진자 66∼69 중에서, 압전 공진자 68, 69는 직렬암 공진자를 구성하고 압전 공진자 66, 67은 병렬암 공진자를 구성하도록, 압전 공진자 66∼69는 전극 63a∼63e에 의해 상호 전기적으로 접속된다. 즉, 본 바람직한 구현예에 따른 사다리형 필터 61은 도 3에 도시된 사다리형 회로를 구성한다.
본 바람직한 구현예의 사다리형 필터 61은, 압전 공진자 68, 69, 즉 직렬암 공진자가 후술할 본 발명의 바람직한 제 1 및 제 3 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 포함하고 있고, 압전 공진자 66, 67, 즉 병렬암 공진자가 후술할 본 발명의 바람직한 제 2 및 제 4 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 포함하고 있다는 특징이 있다. 이러한 신규한 구성의 결과, 주파수 정확도에서 변동이 최소화되고, 우수한 필터 특성을 얻게 된다.
본 발명의 바람직한 제 2 구현예로서, 본 발명의 바람직한 제 1 및 제 2 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 설명한다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 설명하는 사시도 및 단면도이다.
두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1은 티탄산지르콘산납계 세라믹 등의 압전 세라믹 재료 또는 수정과 탄탈산리튬 등의 압전 단결정으로 구성된 대략 사각형 형상의 압전체 2를 가지고 있다. 압전체 2의 내부에는, 복수개의 내부전극 3∼6이 그들 사이에 배치된 압전체층과 서로 적층되게 배치되어 있다.
압전체 2는 두께 방향으로 화살표 P로 나타낸 바와 같이 균일하게 분극된다.
내부전극 3, 5는 압전체 2의 한쪽 단면 2a에 연장되고, 내부전극 4, 6은 단면 2a와 대면하는 반대측 단면 2b에 연장된다.
단면 2a, 2b를 피복함으로써, 외부전극 7, 8이 형성된다. 외부전극 7, 8은 도전 페이스트의 도포·경화에 의해, 또는 금속 재료의 스퍼터링, 증착 또는 도금 등의 공정에 의해 형성된다.
외부전극 7은 내부전극 3, 5에 전기적으로 접속된다. 외부전극 8은 내부전극 4, 6에 전기적으로 접속된다.
두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1에서, 외부전극 7, 8 사이에 교류 전압을 인가할 때에, 내부전극 3, 4 사이의 압전체층과 내부전극 4, 5 사이의 압전체층에 역극성의 전계가 인가된다. 유사하게, 내부전극 4, 5 사이의 압전체층과 내부전극 5, 6 사이의 압전체층에 교대로 역극성의 전계가 인가된다. 그러므로, 내부전극 3∼6이 두께 방향으로 중첩되는 부분이 공진하고, 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서의 기능이 있다. 이 경우, 내부전극의 적층수가 4장이기 때문에, 상기 압전 공진자는 두께 확장 진동 모드의 제 3 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서의 기능이 있다.
이하, 압전체가 균일하게 분극되고, 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층에 두께 방향으로 교대로 역극성의 전계가 인가되는 방식의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서 구성된다.
본 바람직한 구현예의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1에 관해서, 압전체 2는 공지의 세라믹 재료의 일체 소성 기술 또는 그 외의 적당한 공정에 의해 얻을 수 있다.
예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 주성분으로서 압전 세라믹 재료를 함유하고 있는 복수개의 그린시트 9a∼9e를 준비하고, 그린시트 9b∼9c 상에 직선 형상의 내부전극 3∼6을 도전 페이스트의 스크린 인쇄에 의해 형성한다. 그 다음에, 세라믹 그린시트 9a∼9e를 적층하고, 두께 방향으로 그린시트를 가압한 후에, 그린시트를 소결함으로써 압전체 2를 얻을 수 있다.
본 바람직한 구현예에서는, 내부전극 3∼6이 그린시트의 가장자리에 연장하는 연장부를 제외하고 대략 직선 형상을 가지고 있다. 그러므로, 내부전극 3∼6이 두께 방향으로 중첩하는 부분은 대략 직선 형상의 전극들이 교차하는 부분을 포함하고 있다. 따라서, 에너지 트랩형의 압전 진동부의 면적은 내부전극 3∼6의 교차 영역을 조정함으로써 용이하게 조정될 수 있고, 아울러 정확하게 조정될 수 있다. 그러므로, 고주파화에 대처하기 위해서, 면적이 매우 작은 에너지 트랩형 압전 진동부를 용이하게 형성한다.
다음으로, 본 바람직한 구현예의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1의 특성을 설명한다.
본 바람직한 구현예의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1에서, 복수개의 내부전극 3∼6이 중첩하는 부분의 외측, 즉 최외측의 내부전극 3 또는 6의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께를 D1, D2라고 하고, 두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들의 사이, 예를 들면 내부전극 3, 4의 사이의 압전체층의 두께를 D라고 할 때에, 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께는 하기 식 (1A) 또는 (1B)를 만족하도록 선택된다.
본 바람직한 구현예의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께가 상기 식 (1A) 또는 (1B)를 만족하기 때문에, 공진 주파수와 반공진 주파수의 변동을 효과적으로 저하시킬 수 있다. 이하, 이 효과를 설명한다.
두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1의 제작에서, 압전체 2의 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께가 이상적으로 동일하다. 즉, D1=D2의 조건을 만족하도록, 내부전극 3∼6이 배치되는 것이 바람직하다.
그러나, 압전체 2는 통상 마더 압전기판을 절단함으로써 얻을 수 있다. 그러면, 마더 압전기판에서 약간의 뒤틀림이 발생하는 경우가 있고, 기판의 편평성(flatness)을 높이기 위해서, 마더 압전기판의 상면 또는 하면을 표면 연마하는 것이 보통이다.
상기 마더 압전기판의 뒤틀림 변동과 마더 압전기판의 표면 연마와 동시에 상면 또는 하면의 연마량의 변동때문에, 내부전극 3∼6이 적층되는 부분은 상술한 이상적인 조건으로부터 벗어날 가능성이 있었다.
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 내부전극 3, 4 사이의 압전체층, 내부전극 4, 5 사이의 압전체층 및 내부전극 5, 6 사이의 압전체층의 각 두께 D는 준비한 그린시트의 두께에 거의 대응하므로, 두께 D는 일정할 수 있다. 그러나, 압전기판으로부터 압전체 2를 얻을 때에, 상면과 하면의 연마량의 변동 및 압전기판의 뒤틀림의 변동때문에 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께 D1, D2가 변화될 가능성이 있다. 여기에서, 도 6의 파선 A는 내부전극 3∼6의 이상적인 위치를 도시한다. 내부전극 3∼6의 이상적인 위치로부터의 변동량은 dD라 한다.
본원 발명자는, 상기 내부전극 3∼6이 두께 방향으로 그들의 이상적인 위치로부터 변위될 때에, 공진 주파수, 반공진 주파수 및 그 외의 특성이 변화하고, 이 변화의 정도(degree)가 최외측 압전체층의 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께에 의존한다는 것을 발견하였다.
즉, 본원 발명자는, 압전체 2가 상술한 바와 같이 4개의 내부전극 3∼6을 가지고 있고 제 3 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 경우에, 상기 식 (1A) 또는 (1B)를 만족하는 압전체층 2c, 2d를 형성하는 것이 충분하다는 것을 발견하였다.
또한, 본원 발명자는, 내부전극의 적층수를 변화시키고, 이에 대한 성능을 확인한 다음에, 도 7에 도시된 바람직한 제 3 구현예에 따른 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11에서, 하기 식 (2A) 또는 (2B)를 만족하도록 압전체층 2c, 2d가 형성될 때에, 공진 주파수 또는 반공진 주파수의 변동이 대폭 줄어든다는 것을 발견하였다.
아울러, 도 8의 단면도에 도시된 바람직한 제 4 구현예에 따른 제 4 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 21에서, 하기 식 (3A) 또는 (3B)를 만족하도록 최외측 압전체층 2c, 2d의 두께를 조절할 때에, 공진 주파수와 반공진 주파수의 변동이 최소화된다는 것을 발견하였다.
도 7에 도시된 제 2 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11에서, 3개의 내부전극 12∼14는 그들 사이에 배치된 압전체층을 통해 서로 적층하여 배치된다.
도 8에 도시된 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 21에서, 5개의 내부전극 22∼26은 그들 사이에 배치된 압전체층을 통해 서로 적층하여 배치된다.
두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11, 21에서, 압전체 2는 공진자가 병렬 접속형이기 때문에, 화살표 P의 방향으로 균일하게 분극된다.
두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11, 21은 내부전극의 적층수 및 이용하는 고차 모드가 다르다는 것을 제외하고는, 바람직한 제 1 구현예의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1과 동일하게 구성된다.
다음으로, 실험예를 구체적으로 설명한다.
제 2 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11, 제 3 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1 및 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 21에 대해서는, 압전체가 PT계(티탄산납계) 세라믹 재료로 구성되었고, 내부전극의 교차부분의 면적, 즉 에너지 트랩형의 진동부의 면적은 약 0.025㎟ 이었고, 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께는 약 40㎛ 이었고, 최외층으로서 제 1 및 제 2 압전체층의 두께 D1, D2(D1, D2를 각각 D'이라 하였다)는 실질적으로 동일하였다. 그 다음에, D'/D가 다양하게 변화될 때에, 공진 주파수 Fr의 변화율 dFr/Fr 및 반공진 주파수 Fa의 변화율 dFa/Fa를 측정하였다. 그 결과를 도 13∼도 18에 도시한다.
도 13 및 도 14는 제 2 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11의 결과를 도시히고, 도 15 및 도 16은 제 3 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1의 결과를 도시하며, 도 17 및 도 18은 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 21의 결과를 도시한다.
도 13에서, 횡축은 내부전극들 사이에 끼어있는 1개의 압전체층의 두께 D에 대한 내부전극의 두께 방향으로 변동량 dD의 비율(백분율)을 나타낸다. dD는 도 6에 도시된 내부전극의 변동량에 해당한다. 도 13의 종축은 공진 주파수 Fr에 대한 공진 주파수의 변화량 dFr을 나타낸다. 이상적인 주파수를 Fr로 표현할 때에, 공진 주파수의 변화율은 (실측치-Fr = dFr)로 나타낸다.
도 14의 횡축은 도 13과 동일하며, 종축은 반공진 주파수 Fa에 대한 반공진 주파수의 변화량 dFa(=반공진 주파수의 실측치-Fa)의 비율(백분율)을 나타낸다.
도 13 및 도 14에서, 실선 A는 D'/D=1.2의 경우의 결과를 나타내고, 일점쇄선 B는 D'/D=1.0의 경우의 결과를 나타내며, 이점쇄선 C는 D'/D=0.8의 경우의 결과를 나타내고, 삼점쇄선 D는 D'/D=0.6의 경우의 결과를 나타내며, 파선 E는 D'/D=0.4의 경우의 결과를 나타내고, 파선 F는 D'/D=0.2의 경우의 결과를 나타낸다.
도 13 및 도 14의 결과를 두께 D에 대한 최외층으로서 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께 D'의 비율(D'/D)를 횡축에 나타내도록 변형한 것을, 도 19 및 도 20에 각각 도시한다.
또한, 도 19 및 도 20에서, 종축의 공진 주파수 또는 반공진 주파수의 변화율을 dD/D로 규격화한다.
도 19 및 도 20으로 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 최외층으로서 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께 D'을 적당하게 선택함으로써, 공진 주파수의 변화율 및 반공진 주파수의 변화율이 대폭 줄어든다. 사다리형 필터에서는, 직렬암 공진자의 공진 주파수 Fr과 병렬암 공진자의 반공진 주파수 Fa가 서로 일치하며, 일치하는 주파수는 중심 주파수이다. 그러므로, 사다리형 필터의 주파수의 정확도를 높이기 위해서는, 직렬암 공진자의 공진 주파수 Fr 및 병렬암 공진자의 반공진 주파수 Fa를 정밀하게 설정하는 것이 바람직하다. 또한, 사다리형 필터의 중심 주파수의 초기 교차는 약 ±0.3％의 범위의 정확도를 가지고 있을 필요가 있다.
따라서, 제 2 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11를 직렬암 공진자로서 사용하는 경우에, 도 19로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 공진 주파수의 변화율을 약 ±0.3％의 범위에서 얻기 위해서는, D'/D 또는 (D1+D2)/2D를 약 0.50 이상으로 설정하는 것이 바람직하다. 동일한 방법으로, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11를 병렬암 공진자로서 사용하는 경우에, 반공진 주파수의 변화율을 약 ±0.2％의 범위에서 얻기 위해서는, D'/D 또는 (D1+D2)/2D를 0.10∼0.80으로 설정하는 것이 바람직하다.
그러나, 직렬암 공진자를 구성하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서는, 상기 식 (2A)에 나타난 바와 같이, D'/D의 상한치가 약 1.0 이다. 이 이유를 도 25를 참조하여 설명한다.
도 25는 두께 D에 대한 두께 D'의 비율(D'/D)과 비대역폭 dF/Fa와의 관계를 도시한다. 도 25에서, 종축은 비대역폭 dF/Fa(％)를 나타낸다. 또한, 실선은 이용될 진동 모드로서의 제 2 고조파의 특성을 나타내고, 파선은 스퓨리어스 진동으로서의 제 4 고조파의 특성을 나타낸다. 도 25로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, D'/D가 약 1.0을 초과할 때에, 제 4 고조파의 비대역이 제 2 고조파 보다 크고, 그 다음에는 필터로서 작동하지 않는다. 그러므로, D'/D 또는 (D1+D2)/2D가 약 1.0 이하가 될 필요가 있다. 따라서, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 11을 직렬암 공진자로서 사용하는 경우에, 식 (2A)에 나타난 바와 같이, (D1+D2)/2D는 약 0.50∼약 1.00의 범위 내에 있을 필요가 있다.
제 3 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1에서, 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 다양하게 변화시킬 때의 결과를 도 15 및 도 16에 도시한다. 도 15 및 도 16에서, 실선 A, 일점쇄선 B, 이점쇄선 C, 삼점쇄선 D, 파선 E 및 파선 F는 각각 D'/D의 대략 1.2, 1.0, 0.8, 0.6, 0.4 및 0.2의 값에 해당한다. 도 21 및 도 22는 도 15 및 도 16의 결과를 재작성한 것으로, 제 2 고조파의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 도 19 및 도 20과 동등하다.
제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 21에서, 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 다양하게 변화시킬 때의 결과를 도 17 및 도 18에 도시한다. 도 17 및 도 18에서, 실선 A, 일점쇄선 B, 이점쇄선 C, 삼점쇄선 D, 파선 E 및 파선 F는 각각 D'/D의 대략 1.2, 1.0, 0.8, 0.6, 0.4 및 0.2의 값에 해당한다. 도 23 및 도 24는 도 17 및 도 18의 결과를 변형한 것으로, 제 2 고조파의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 도 19 및 도 20과 동등하다.
도 21 및 도 23으로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 제 3 및 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1, 21를 직렬암 공진자로서 사용하는 경우에, 최외층으로서의 제 1 및 제 2 압전체층 2c, 2d의 두께를 (D1+D2)/2D가 약 0.50 이상이 되도록 조절한다면, 공진 주파수는 약 ±0.3％의 범위에 있다.
상기 식 (1A) 및 (3A)에서, (D1+D2)/2D의 상한치가 각각 약 0.90 및 0.80이 되는 것이 바람직하다. 이 이유를 도 26 및 도 27을 참조하여 설명한다.
도 25에서와 마찬가지로, 도 26 및 도 27은 (D'/D) 또는 (D1+D2)/2D과 비대역폭 dF/Fa와의 관계를 도시한다. 도 26 및 도 27에서, 실선은 제 3 및 제 4 고조파의 특성을 각각 나타내고, 파선은 스퓨리어스 진동으로서의 제 5 및 제 6 고조파의 특성을 각각 나타낸다. 도 26 및 도 27로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1, 21에서, D'/D 또는 (D1+D2)/2D가 각각 약 0.90 및 약 0.80을 초과할 때에, 스퓨리어스 진동의 비대역폭이 커진다. 그러므로, 상기 식 (1A) 및 (3A)에서, 제 3 및 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1, 21의 (D1+D2)/2D의 상한치는 각각 약 0.90 및 약 0.80 이다.
도 22 및 도 24로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 제 3 및 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1, 21를 병렬암 공진자로서 사용하는 경우에, 상기 식 (1B) 및 (3B)에 나타난 바와 같이, dD/D 또는 (D1+D2)/2D를 약 0.10∼약 0.50 및 약 0.10∼약 0.45로 각각 설정함으로써, 반공진 주파수는 약 ±0.3％의 범위에 있을 수 있다.
고주파 용도에서는, 내부전극들 사이에 끼여 있는 한 압전체층의 두께 D가 줄어든다. 그러므로, 공정 조건이 동일한 경우에, dD/D의 비율이 커지고, 주파수의 정확도는 악화된다. 그러나, 본 바람직한 구현예들에 따르면, 최외측 압전체층 2c, 2d의 두께를 상술한 특정 범위로 설정함으로써, 내부전극의 위치 변동으로 인한 공진 주파수와 반공진 주파수의 변화가 받는 악영향이 최소화된다.
상술한 본 바람직한 구현예들에서, 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 1, 11, 21에 대해서 설명하였지만, 본 발명의 제 3 및 제 4 구현예에서는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 사용한다. 이를 도 9 내지 도 11에 도시한다. 도 9 내지 도 11에서는 외부전극이 도시되지 않았지만, 도 4b의 외부전극 7, 8과 동일한 방식으로 압전체 2의 단면 2a, 2b를 피복하도록 한 쌍의 외부전극이 형성된다.
도 9에 도시된 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31에서, 압전체 2의 내부에는 3장의 내부전극 32∼34가 그들 사이에 배치된 압전체층과 서로 적층되게 배치되어 있다. 중간의 내부전극 33은 비접속형의 전극이다. 내부전극 32는 압전체 2의 한쪽 단면 2a에 연장되고, 내부전극 34는 단면 2a와 대면하는 반대측 단면 2b에 연장된다. 압전체 2에서, 내부전극 32와 내부전극 33 사이의 압전체층과 내부전극 33과 내부전극 34 사이의 압전체층은 두께 방향으로 서로 역방향으로 분극된다.
그러므로, 한 쌍의 외부전극이 내부전극 32, 34에 전기적으로 접속되도록 단면 2a, 2b에 배치되고, 이 외부전극에 교류 전계가 인가될 때에, 압전 공진자 31은 제 2 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서의 기능이 있다.
유사하게, 도 10에 도시된 바람직한 제 6 구현에에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 41에서, 압전체 2의 내부에는 4장의 내부전극 42∼45가 형성되어 있다. 내부전극 42와 45 사이에 교류 전계를 인가할 때에, 압전 공진자 41은 제 3 고조파를 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서의 기능이 있다.
도 11에 도시된 바람직한 제 7 구현에에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 51에서, 압전체 2의 내부에는 5장의 내부전극 52∼56이 그들 사이에 배치된 압전체층과 서로 적층되게 배치되어 있다. 내부전극 52와 56 사이에 교류 전계를 인가함으로써, 압전 공진자 51은 두께 확장 진동 모드의 제 4 고조파를 이용하는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서의 기능이 있다.
상술한 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, 병렬 접속형의 경우와 동일한 방법으로, 최외측 압전체층 2c, 2d의 두께가 하기 식 (4A), (5A), (6A)를 각각 만족하도록 설정함으로써, 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자의 경우와 동일하게 공진 주파수의 변동이 최소화되고 스퓨리어스 진동으로서의 (N+1)차 모드 진동이 효과적으로 억제된다.
또한, 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, 병렬 접속형의 경우와 동일한 방법으로, 최외측 압전체층 2c, 2d의 두께가 하기 식 (4B), (5B), (6B)를 각각 만족하도록 설정함으로써, 반공진 주파수의 변동이 효과적으로 저하되고 스퓨리어스 진동으로서의 (N+1)차 모드 진동이 효과적으로 억제된다.
도 28 내지 도 42를 참조하면, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 상기 식 (4A)∼(6B)를 만족하도록 구성함으로써, 공진 주파수 또는 반공진 주피수의 변동이 최소화되고, (N+1)차 모드의 스퓨리어스 진동이 억제되는 것이 설명되어 있다.
도 28, 도 30 및 도 32는 각각 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, 두께의 D'/D 또는 (D1+D2)/2D를 변화시켰을 때의 dD/D와 공진 주파수의 변화율 dFr/Fr간의 관계를 도시하고, 상기 도면들은 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 설명하는 도 13에 해당한다.
도 28, 도 31 및 도 33은 각각 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, 두께의 D'/D를 변화시켰을 때의 dD/D와 반공진 주파수의 변화율 dFa/Fa간의 관계를 도시하고, 상기 도면들은 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 설명하는 도 14에 해당한다.
도 28 내지 도 33에서, 실선 A, 일점쇄선 B, 이점쇄선 C, 삼점쇄선 D, 파선 E 및 파선 F의 의미는 도 13의 경우와 동일하다.
도 34, 도 36 및 도 38은 각각 제 2 고조파, 제 3 고조파 및 제 4 고조파를 각각 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, D'/D 또는 (D1+D2)/2D와 공진 주파수 변화율의 규격화 값과의 관계를 도시하고, 상기 도면들은 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 설명하는 도 19에 해당한다.
도 35, 도 37 및 도 39는 각각 제 2 고조파, 제 3 고조파 및 제 4 고조파를 각각 이용하는 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, D'/D 또는 (D1+D2)/2D와 반공진 주파수 변화율의 규격화 값과의 관계를 도시하고, 상기 도면들은 제 2 고조파를 이용하는 병렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 설명하는 도 20에 해당한다.
도 34, 도 36 및 도 38로부터 확실하게 알 수 있는 바와 같이, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51에서, D'/D 또는 (D1+D2)/2D는 각각 약 0.60 이상, 약 0.65 이상 및 약 0.60 이상이고, 공진 주파수의 변화율은 약 ±0.3%의 범위 내에 있다.
도 40 내지 도 42는 메인 모드(main mode)의 비대역폭과 스퓨리어스 모드로서의 (N+1)차 모드의 비대역폭을 도시한다. 따라서, 도 40 내지 도 42로부터 확실하게 알 수 있는 바와 같이, 스퓨리어스 모드로서의 (N+1)차 모드의 비대역폭을 줄이기 위해서, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51의 D'/D 또는 (D1+D2)/2D의 상한치는 각각 약 1.10, 약 0.90 및 약 0.80으로 설정하는 것이 바람직하다.
그러므로, 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51를 사다리형 필터의 직렬암 공진자로서 사용하는 경우에, 상기 결과들을 토대로하여 상기 식 (4A)∼(6A)를 만족하도록 (D1+D2)/2D를 각각 조절함으로써, 공진 주파수의 변화가 효과적으로 억제되고, 스퓨리어스 모드로서의 (N+1)차 모드의 응답이 억제되어, 우수한 공진 특성을 얻게 된다.
도 35, 도 37 및 도 39로부터 확실하게 알 수 있는 바와 같이, 직렬 접속형의 두께 확장 진동 모드 압전 공진자 31∼51를 사다리형 필터의 병렬암 공진자로서 사용하는 경우에, D'/D 또는 (D1+D2)/2D를 상기 식 (4B)∼(6B)를 각각 만족하도록 설정함으로써, 반공진 주파수의 변화율은 약 ±0.3% 이내에 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 구현예들에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 직렬암 공진자 또는 병렬암 공진자로서 사용함으로써, 공진 주파수 또는 반공진 주파수의 변동이 효과적으로 억제된다. 따라서, 필터 특성이 우수한 사다리형 필터를 얻게 된다.
이제까지 상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제 1 구현예에 따르면, 압전체 내에 N장의 내부전극을 가지고 있고 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차 모드를 이용하는 병렬 접속형의 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 압전 공진자는 N = 3에서 식 (2A)를, N = 4에서 식 (1A)를, N = 5에서 식 (3A)를 만족하도록 구성되므로, 공진 주파수의 변동이 대폭 억제되고, 고차 스퓨리어스 모드의 비대역폭이 대폭 협소해져서, 이에 의해 우수한 공진 특성이 달성된다. 그러므로, 본 발명의 바람직한 제 1 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 사다리형 필터의 직렬암 공진자를 구성하는데에 사용함으로써, 중심 주파수의 정밀도가 높고, 우수한 필터 특성을 가지고 있는 사다리형 필터를 제공하는 것이 가능하다.
본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따르면, 압전체 내에 N장의 내부전극을 가지고 있고 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차 모드를 이용하는 병렬 접속형의 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 압전 공진자는 N = 3에서 식 (2B)를, N = 4에서 식 (1B)를, N = 5에서 식 (3B)를 만족하도록 구성되므로, 반공진 주파수의 변동이 최소화된다. 그러므로, 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 사다리형 필터의 병렬암 공진자를 구성하는데에 사용함으로써, 중심 주파수의 정밀도가 높고, 우수한 필터 특성을 가지고 있는 사다리형 필터를 제공하는 것이 가능하다.
본 발명의 바람직한 제 3 구현예에 따르면, 압전체 내에 N장의 내부전극을 가지고 있고 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차 모드를 이용하는 직렬 접속형의 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 압전 공진자는 N = 3에서 식 (4A)를, N = 4에서 식 (5A)를, N = 5에서 식 (6A)를 만족하도록 구성되므로, 공진 주파수의 변동이 대폭 억제되고, 고차 스퓨리어스 모드의 비대역폭이 협소해져서, 이에 의해 우수한 공진 특성이 달성된다. 그러므로, 본 발명의 바람직한 제 3 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 사다리형 필터의 직렬암 공진자를 구성하는데에 사용함으로써, 중심 주파수의 정밀도가 높고, 우수한 필터 특성을 가지고 있는 사다리형 필터를 제공하는 것이 가능하다.
본 발명의 바람직한 제 4 구현예에 따르면, 압전체 내에 N장의 내부전극을 가지고 있고 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차 모드를 이용하는 직렬 접속형의 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에서, 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 압전 공진자는 N = 3에서 식 (4B)를, N = 4에서 식 (5B)를, N = 5에서 식 (6B)를 만족하도록 구성되므로, 반공진 주파수의 변동이 최소화된다. 그러므로, 본 발명의 바람직한 제 4 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 사다리형 필터의 병렬암 공진자를 구성하는데에 사용함으로써, 중심 주파수의 정밀도가 높고, 우수한 필터 특성을 가지고 있는 사다리형 필터를 제공하는 것이 가능하다.
본 발명의 바람직한 제 5 구현예에 따른 사다리형 필터에서, 직렬암 공진자가 본 발명의 바람직한 제 1 또는 제 3 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 포함하고, 본 발명의 바람직한 제 6 구현예에 따른 사다리형 필터에서, 병렬암 공진자는 본 발명의 바람직한 제 2 또는 제 4 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 포함하므로, 직렬암 공진자의 공진 주파수 및 병렬암 공진자의 반공진 주파수의 정밀도가 대폭 높아진다. 그러므로, 필터 특성의 변동이 극히 작은 사다리형 필터를 제공하는 곳이 가능하다.
실질적인 선형상 전극으로 구성된 복수개의 내부전극이 압전체층을 통해서 서로 교차하고, 이 교차 부분은 에너지 트랩형 압전 진동부를 구성할 때에, 선형상 전극의 교차 부분의 영역을 조절함으로써, 고주파 활용에 적합한 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 구성하는 것이 용이하다.
본 발명의 바람직한 구현예들에 따른 압전 공진부품에서는, 본 발명의 바람직한 제 1 내지 제 4 구현예에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자에 압전 공진자의 진동을 가능하게 하는 공간을 두고 케이스 기판이 접합되므로, 압전 공진자를 둘러싸도록 도전성 캡이 압전 공진자에 결합되고, 병렬암 공진자와 직렬암 공진자로서 사용되는 두께 확장 진동 모드 압전 공진자가 밀봉된 칩형 압전 공진부품으로서 사다리형 필터를 구성할 수 있다.
이제까지 상술한 바와 같이, 본 발명에는 바람직한 구현예들에 대해서 도시되고 기술되어 있지만, 하기에서 청구하는 특허청구범위를 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명의 원리를 수행하는 모드로 다양하게 변형, 변화될 수 있다.

Claims (16)

  1. 복수개의 압전체층을 가지고 있고, 두께 방향으로 균일하게 분극되는 압전체; 및
    상기 압전체내에서 상기 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서,
    상기 압전체는 상기 내부전극들 사이의 압전체층에 두께 방향으로 역극성(opposite polarity)의 전계를 교대로 인가함으로써 발생되는 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드에서 진동하고,
    두께 방향으로 인접해 있는 상기 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤1.00, N = 4에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.50≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 내부전극은 실질적인 선형상 전극(linear electrode)을 포함하고 있고, 상기 압전체층을 통해서 서로 교차하고 있으며; 상기 교차 부분은 에너지 트랩형 압전 진동부를 구성하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  3. 복수개의 압전체층을 가지고 있고, 두께 방향으로 균일하게 분극되는 압전체; 및
    상기 압전체내에서 상기 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서,
    상기 압전체는 상기 내부전극들 사이의 압전체층에 두께 방향으로 역극성의 전계를 교대로 인가함으로써 발생되는 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드에서 진동하고,
    두께 방향으로 인접해 있는 상기 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.80, N = 4에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.50, N = 5에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.45을 만족하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 N개의 내부전극은 실질적인 선형상 전극을 포함하고 있고, 상기 압전체층을 통해서 서로 교차하고 있으며; 상기 교차 부분은 에너지 트랩형 압전 진동부를 구성하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  5. 복수개의 압전체층을 가지고 있는 압전체; 및
    상기 압전체내에서 상기 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서,
    상기 압전체는 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드에서 진동하고, 상기 내부전극들 사이에 위치된 상기 압전체층은 두께 방향으로 교대로 역방향으로 분극되며,
    두께 방향으로 인접해 있는 상기 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.60≤(D1+ D2)/2D≤1.10, N = 4에서 0.65≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.60≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 N개의 내부전극은 실질적인 선형상 전극을 포함하고 있고, 상기 압전체층을 통해서 서로 교차하고 있으며; 상기 교차 부분은 에너지 트랩형 압전 진동부를 구성하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  7. 복수개의 압전체층을 가지고 있는 압전체; 및
    상기 압전체내에서 상기 압전체층을 사이에 두고 서로 적층하여 배치되는 N(여기에서, N은 3∼5의 정수)개의 내부전극을 포함하고 있는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자로서,
    상기 압전체는 두께 확장 진동 모드의 (N-1)차의 고차 모드에서 진동하고, 상기 내부전극들 사이에 위치된 상기 압전체층은 두께 방향으로 교대로 역방향으로 분극되며,
    두께 방향으로 인접해 있는 내부전극들 사이의 압전체층의 두께를 D, 두께 방향으로 최외측 내부전극의 외측의 제 1 및 제 2 압전체층의 두께를 D1, D2라고 할 때에, 다음의 방정식: N = 3에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤1.10, N = 4에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.90, N = 5에서 0.10≤(D1+ D2)/2D≤0.80을 만족하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 N개의 내부전극은 실질적인 선형상 전극을 포함하고 있고, 상기 압전체층을 통해서 서로 교차하고 있으며; 상기 교차 부분은 에너지 트랩형 압전 진동부를 구성하는 것을 특징으로 하는 에너지 트랩형 두께 확장 진동 모드 압전 공진자.
  9. 청구항 1에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 가지고 있는 직렬암 공진자; 및
    병렬암 공진자를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 사다리형 필터.
  10. 청구항 5에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 가지고 있는 직렬암 공진자; 및
    병렬암 공진자를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 사다리형 필터.
  11. 청구항 3에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 가지고 있는 병렬암 공진자; 및
    직렬암 공진자를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 사다리형 필터.
  12. 청구항 7에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자를 가지고 있는 병렬암 공진자; 및
    직렬암 공진자를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 사다리형 필터.
  13. 청구항 1에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자;
    상기 압전 공진자의 진동을 가능하게 하는 공간을 형성하도록 상기 압전 공진자에 접합되는 케이스 기판; 및
    상기 압전 공진자를 둘러싸도록 상기 케이스 기판에 접합되는 도전성 캡(conductive cap)을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진부품.
  14. 청구항 3에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자;
    상기 압전 공진자의 진동을 가능하게 하는 공간을 형성하도록 상기 압전 공진자에 접합되는 케이스 기판; 및
    상기 압전 공진자를 둘러싸도록 상기 케이스 기판에 접합되는 도전성 캡을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진부품.
  15. 청구항 5에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자;
    상기 압전 공진자의 진동을 가능하게 하는 공간을 형성하도록 상기 압전 공진자에 접합되는 케이스 기판; 및
    상기 압전 공진자를 둘러싸도록 상기 케이스 기판에 접합되는 도전성 캡을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진부품.
  16. 청구항 7에 따른 두께 확장 진동 모드 압전 공진자;
    상기 압전 공진자의 진동을 가능하게 하는 공간을 형성하도록 상기 압전 공진자에 접합되는 케이스 기판; 및
    상기 압전 공진자를 둘러싸도록 상기 케이스 기판에 접합되는 도전성 캡을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 압전 공진부품.
KR10-2000-0049878A 1999-08-26 2000-08-26 두께 확장 진동 모드 압전 공진자, 사다리형 필터 및 압전공진부품 KR100397724B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11-240113 1999-08-26
JP24011399A JP2001068961A (ja) 1999-08-26 1999-08-26 厚み縦圧電共振子、ラダー型フィルタ及び圧電共振部品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010021432A true KR20010021432A (ko) 2001-03-15
KR100397724B1 KR100397724B1 (ko) 2003-09-13

Family

ID=17054692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0049878A KR100397724B1 (ko) 1999-08-26 2000-08-26 두께 확장 진동 모드 압전 공진자, 사다리형 필터 및 압전공진부품

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6621193B1 (ko)
JP (1) JP2001068961A (ko)
KR (1) KR100397724B1 (ko)
CN (1) CN1140053C (ko)
DE (1) DE10041502B4 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100807316B1 (ko) * 2006-11-14 2008-02-28 주식회사 삼전 전류-전압 발생용 적층형 압전소자의 구조
KR100852162B1 (ko) * 2006-08-23 2008-08-13 주식회사 이노칩테크놀로지 압전 진동 소자
KR100890289B1 (ko) * 2006-09-01 2009-03-26 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 탄성파 디바이스, 필터 및 분파기

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100413111C (zh) * 2002-09-27 2008-08-20 英诺晶片科技股份有限公司 压电振动器以及其制造方法
JP6543109B2 (ja) * 2015-06-30 2019-07-10 株式会社日立パワーソリューションズ 超音波探触子および超音波検査装置
CN111917392A (zh) * 2020-04-14 2020-11-10 诺思(天津)微系统有限责任公司 压电滤波器及其带外抑制改善方法、多工器、通信设备

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5714315A (en) 1980-07-02 1982-01-25 Nishida Kk Drying hanger fixed only by hanging
JPS57147315A (en) * 1981-03-06 1982-09-11 Nec Corp Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator
JPH0666630B2 (ja) 1984-09-06 1994-08-24 日本電気株式会社 エネルギー閉じ込め形振動子
JPS6340491A (ja) 1986-08-06 1988-02-20 Canon Inc 色バランス調整方法
JPS6412711A (en) * 1987-07-07 1989-01-17 Murata Manufacturing Co Chip type resonator
JP2790180B2 (ja) * 1987-12-29 1998-08-27 株式会社村田製作所 電歪共振装置
JPH0691411B2 (ja) 1988-01-27 1994-11-14 株式会社村田製作所 電歪共振装置
US5045744A (en) * 1988-12-23 1991-09-03 Murata Mfg. Co. Energy-trapping-by-frequency-lowering-type piezoelectric-resonance device
US5084647A (en) 1989-07-19 1992-01-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric filter
JP3129908B2 (ja) * 1993-04-07 2001-01-31 コマツ電子金属株式会社 大量生産型単結晶引き上げシステム
JPH08154032A (ja) 1994-11-29 1996-06-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電共振子
JPH1065485A (ja) 1996-08-13 1998-03-06 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子
JPH1127083A (ja) 1997-05-09 1999-01-29 Murata Mfg Co Ltd 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
EP0877480A3 (en) * 1997-05-09 2000-03-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Thickness extensional vibration mode piezoelectric resonator and piezoelectric resonator component
JP3695615B2 (ja) * 1997-06-12 2005-09-14 株式会社村田製作所 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
JPH114133A (ja) 1997-06-12 1999-01-06 Murata Mfg Co Ltd 厚み縦圧電共振子
JP3322169B2 (ja) 1997-06-12 2002-09-09 株式会社村田製作所 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
JPH11186869A (ja) * 1997-12-24 1999-07-09 Murata Mfg Co Ltd 積層型厚み縦圧電共振子

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100852162B1 (ko) * 2006-08-23 2008-08-13 주식회사 이노칩테크놀로지 압전 진동 소자
KR100890289B1 (ko) * 2006-09-01 2009-03-26 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 탄성파 디바이스, 필터 및 분파기
KR100807316B1 (ko) * 2006-11-14 2008-02-28 주식회사 삼전 전류-전압 발생용 적층형 압전소자의 구조

Also Published As

Publication number Publication date
CN1286528A (zh) 2001-03-07
DE10041502A1 (de) 2001-04-12
DE10041502B4 (de) 2010-04-29
KR100397724B1 (ko) 2003-09-13
CN1140053C (zh) 2004-02-25
US6621193B1 (en) 2003-09-16
JP2001068961A (ja) 2001-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5648746A (en) Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator
JPH08288785A (ja) 幅モードを利用した共振子及び共振部品
JP3303777B2 (ja) 圧電共振子
US5925970A (en) Piezoelectric resonator and electronic component containing same
US8766515B2 (en) Flexural vibrating reed, flexural vibrator, and piezoelectric device
US6198200B1 (en) Thickness extensional vibration piezoelectric resonator and piezoelectric resonance apparatus
US5084647A (en) Piezoelectric filter
JP2002368577A (ja) 二重モードフィルタ
US4287493A (en) Piezoelectric filter
JP2000138554A (ja) エネルギー閉じ込め型圧電共振子
KR100397724B1 (ko) 두께 확장 진동 모드 압전 공진자, 사다리형 필터 및 압전공진부품
JPH1084244A (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
US6201337B1 (en) Thickness extensional vibration piezoelectric resonator and piezoelectric resonance device
US6842087B2 (en) Three-terminal filter using area flexural vibration mode
US5274293A (en) Piezoelectric filter
JPH104330A (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3271538B2 (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
EP0800268B1 (en) Piezoelectric resonator
JPH10215140A (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3473613B2 (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
JP3077517B2 (ja) 圧電共振子
JPH05299970A (ja) 圧電ラダーフィルタ
JPH07147526A (ja) 幅拡がりモードを利用した振動体、共振子及び共振部品
JP3077535B2 (ja) チップ型圧電共振部品
JPH07273596A (ja) 圧電フィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080825

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee