KR20010001875A - 핸들러 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히, 핸들러의 테스트 사이트에서 테스트를 하기 위해 이송된 테스트 트레이를 정확하고 빠르게 이송하여 이송시간을 단축할 수 있는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.

상기 본 발명은 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 상부에 평행하게 설치된 가이드 플레이트와; 상기 가이드 플레이트에 일정거리로 이격되어 각각 고정된 다수의 브라켓에 설치되고 상기 가이드 플레이트의 가운데 이송된 테스트 트레이의 양측면에 접하도록 설치된 다수의 기어와; 상기 테스트 트레이를 이송시킬 수 있도록 기어를 밀착시키기 위한 어져스트 바아 및 조절 스크류로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

핸들러 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송장치{Test Tray Feeding System of Handler Test Site}

본 발명은 핸들러 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히, 핸들러의 테스트 사이트에서 테스트를 하기 위해 이송된 테스트 트레이를 정확하고 빠르게 이송하여 이송시간을 단축할 수 있는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 대량으로 생산되는 반도체 소자는 제품을 출하하기 전에 그 반도체 소자가 가지고 있는 성능을 테스트하고, 그 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하게 된다.

이때, 상기 반도체 소자를 분류하기 위해 사용하는 장비가 핸들러(handler)이다.

핸들러는 크게 가열챔버, 테스트 사이트 그리고 냉각챔버로 구성되어 있고, 반도체 소자를 공급하거나 배출하기 위한 로딩/언로딩 유닛과 반도체 소자를 테스트할 수 있는 위치에 공급하는 로봇 어세이와 다수의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 적재하는 테스트 트레이 등으로 구성되어 있다.

상기 가열챔버, 테스트 사이트 그리고 냉각챔버에서는 상기 테스트 트레이에 적재된 반도체 소자의 특성을 테스트하기 위해 테스트 트레이를 이송하는 장치가 각각 설치되어 있다.

우선, 다수의 반도체 소자가 소팅 적재된 테스트 트레이를 가열챔버내로 공급시키고, 일정시간, 일정온도로 가열한 후, 상기 테스트 사이트로 이송하여 반도체 소자의 특성을 테스트한다.

이때, 상기 테스트 사이트에서 테스트 트레이가 정확하게 이송되어야 테스트 트레이에 수용된 소자의 성능이 정확하게 테스트가 이루어진다.

좀 더 구체적으로 설명하면, 도 1에서 보여주는 바와 같이 캐리어 모듈에 매달린 소자를 테스트하는 테스트 사이트(1)가 수평방향으로 설치되어 있고, 제 1챔버(2)에서 테스트에 적합한 온도로 소자가 히팅된 상태에서 테스트 트레이가 테스트 사이트(1)로 이송되어 오면 테스트 트레이(3)를 하향 구동시키는 수직 드라이브(4)가 하강하여 테스터 고정장치(5)에 의해 각 소자의 테스트 신호를 중앙처리장치(CPU)에 제공하게 되므로 소켓을 통해 결과 신호가 출력되고, 이에 따라 테스터(도시안됨)에 의해 소자의 성능이 감지된다.

이와 같이 소자의 성능을 테스트하고 나면 테스트 트레이(3)를 언로딩부로 이송시켜 테스트 결과에 따라 소자를 분류 적재부에 위치된 커스터머 트레이내에 분류하여 담게 된다.

그러나, 이러한 종래의 장치는 테스트 트레이(3)를 테스트 사이트(1)로 수평이송시켜 수직드라이브(4)의 구동에 따라 소자의 리드를 테스터 고정장치에 전기적으로 콘택트시키게 되므로 인해 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 테스트 사이트의 하방에 테스터 고정장치를 설치하므로 인해 테스터 고정장치의 크기에 구애를 받게 된다.

둘째, 테스트 사이트의 공간부상(테스트 사이트의 하방)에 설치된 테스터 고정장치의 교체작업 및 유지보수시 착탈이 번거롭다.

즉, 유지 보수작업시 테스터 고정장치를 하강시킨 다음 외부르 인출하여 작업을 실시하므로 인해 유지 보수작업이 번거롭다.

그리고, 상기 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송시 벨트를 이용하여 이송시킴에 따라 벨트의 전달력이 미치지 못하여 테스트 트레이 이송시 오차가 자주 발생하였으며, 정확한 이송이 불가능하여 소자의 성능 테스트시 에러가 많이 발생하는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 핸들러의 테스트 사이트에서 반도체 소자를 테스트하고자 할 때 테스트 트레이의 이송시간을 빠르고 정확하게 하여 성능 테스트 시간을 단축시킬 수 있는 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 테스트 사이트에서의 테스트 트레이의 이송시간을 효율적으로 관리함으로써 반도체 소자의 제품 생산성을 높이는 데 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 테스트 트레이 이송장치의 수명을 연장하고 장비의 신뢰성을 향상시키기 위한 것을 그 목적으로 한다.

도 1은 종래의 수평식 핸들러의 구성을 나타낸 단면도,

도 2는 본 발명의 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치를 보여주는 평면도,

도 3은 본 발명의 핸들러 테스트 사이트의 테슨트 트레이 이송장치를 보여주는 측면도이다.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ***

10 : 베이스 플레이트 12 : 가이드 플레이트

14,16,20 : 브라켓 18 : 고정 플레이트

22 : 기어 24 : 어져스트 바아

26 : 조절 스크류 28 : 스프링

30 : 삽입홈 32 : 고정 바아

34,36 : 고정볼트 100: 테스트 트레이

102 : 바디

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 핸들러 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송장치는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 상부에 평행하게 설치된 가이드 플레이트와; 상기 가이드 플레이트에 일정거리로 이격되어 각각 고정된 다수의 브라켓에 설치되고 상기 가이드 플레이트의 가운데 이송된 테스트 트레이의 양측면에 접하도록 설치된 다수의 기어와; 상기 테스트 트레이를 이송시킬 수 있도록 기어를 밀착시키기 위한 어져스트 바아 및 조절 스크류로 구성되는 것을 특징으로 하는 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치를 제공한다.

또한 상기 기어는 베벨기어를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치를 제공한다.

(실시예)

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치를 설명하기로 한다.

첨부된 도 2는 본 발명의 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치를 보여주는 평면도이고, 도 3은 본 발명의 측면도이다.

먼저 본 발명에 따른 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치는 베이스 플레이트(10)와, 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에 평행하게 설치된 가이드 플레이트(12)와, 상기 가이드 플레이트(12)에 일정거리로 이격되어 각각 고정된 다수의 브라켓(14,16)에 설치되고 상기 가이드 플레이트(12)의 가운데 이송된 테스트 트레이(100)의 양측면에 접하도록 설치된 다수의 기어(22)와; 상기 테스트 트레이(100)를 이송시킬 수 있도록 기어(22)를 밀착시키기 위한 어져스트 바아 (24,25)및 조절 스크류(26)로 구성되고, 이때 상기 기어(22)는 베벨기어를 사용한다.

도 2 및 도 3을 참조하여 좀 더 구체적으로 본 발명의 테스트 사이트에서의 테스트 트레이 이송장치를 설명하면 다음과 같다.

우선, 테스트 사이트의 저면을 형성하는 베이스 플레이트(10)의 상면에 한 쌍의 가이드 플레이트(12)가 일정거리를 유지하여 평행하게 설치되어 있고, 그 바깥쪽으로 고정 플레이트(18)가 일정한 거리를 유지하여 설치되어 있으며, 상기 가이드 플레이트(12)와 고정 플레이트(18)에는 다수의 브라켓(14,16,20)이 각각 고정볼트(34)에 의하여 고정되어 있다.

그리고, 기어(22)가 상기 브라켓(14,16)에 각각 고정됨과 동시에 상기 가이드 플레이트(12)의 중간에 이송된 테스트 트레이(100)의 양측면과 접하도록 설치되어 있다.

또한, 상기 가이드 플레이트(12)의 좌우측에는 가이드 플레이트(12)의 거리를 조절할 수 있도록 어져스트 바아(24,25)가 대응하여 각각 설치되고, 그 어져스트 바아(24,25)의 중간에 조절 스크류(26)가 끼움 설치되어 상기 가이드 플레이트(12)의 거리를 미세 조절할 수 있도록 설치되어 있으며, 일측의 어져스트 바아(25)의 단부에는 고정 바아(32)가 설치되어 있다.

계속해서, 상기 이송되는 테스트 트레이(100)의 일측면에는 삽입홈(30)에 스프링(28)이 삽입되어 테스트 트레이(100)의 이탈을 방지함과 동시에 기어(22)와의 접촉이 일정한 힘으로 가압될 수 있도록 설치되어 있다.

상기와 같은 테스트 트레이 이송장치는 바디(102)의 상부에 테스트 트레이 이송장치의 가이드 플레이트(10)가 고정볼트(36)에 의해 고정되어 있고, 그 상부에 브라켓(14,16)에 의해 기어(22)가 설치되어 테스트 트레이(100)를 이송시키도록 설치되어 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 테스트 트레이의 이송이 빠르게 진행되므로 소자의 성능 테스팅 작업이 원할하고 빠르게 이루어지게 되므로 작업 효율이 향상되는 효과가 있다.

또한, 테스트 트레이의 이송시 트레이의 기어에 의해 위치제어가 정확하게 이루어지므로 그로 인하여 장비의 수명이 연장되고 신뢰성이 향상되는 효과를 가져온다.

Claims (2)

1. 베이스 플레이트와;

   상기 베이스 플레이트의 상부에 평행하게 설치된 가이드 플레이트와; 상기 가이드 플레이트에 일정거리로 이격되어 각각 고정된 다수의 브라켓에 설치되고 상기 가이드 플레이트의 가운데 이송된 테스트 트레이의 양측면에 접하도록 설치된 다수의 기어와; 상기 테스트 트레이를 이송시킬 수 있도록 기어를 밀착시키기 위한 어져스트 바아 및 조절 스크류로 구성되는 것을 특징으로 하는 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 기어는 베벨기어를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들러 테스트 사이트의 테스트 트레이 이송장치.