KR100316806B1 - 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히, 핸들러의 프리 히터부에서 테스트를 하기 위해 이송된 테스트 트레이를 연속적으로 공급하여 공급시간을 단축하고, 작업효율을 상승시킬 수 있는 프리 히터부에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.

상기 본 발명은 바디 플레이트의 일측에 설치된 서포트 플레이트와; 상기 서포트 플레이트의 전부에 고정된 센서 브라켓의 상부에 설치된 센서와; 상기 센서의 하부에 고정수단에 의해 스텝 샤프트에 고정된 스프링 브라켓의 하부에 설치된 스프링과; 상기 스프링의 전부에 탄력적으로 동작되도록 일단부가 연결된 래치와; 상기 래치의 하단부가 힌지핀에 의해 스텝 샤프트에 고정 설치됨과 동시에 삽입 설치되는 하우징으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치{Test Tray Feeding System of Handler Pre-Heater}

본 발명은 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히, 핸들러의 프리 히터부에서 테스트를 하기 위해 이송된 테스트 트레이를 연속적으로 공급하여 공급시간을 단축하고, 작업효율을 상승시킬 수 있는 프리 히터부에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 대량으로 생산되는 반도체 소자는 제품을 출하하기 전에 그 반도체 소자가 가지고 있는 성능을 테스트하고, 그 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하게 된다.

이때, 상기 반도체 소자를 분류하기 위해 사용하는 장비가 핸들러(handler)이다.

핸들러는 크게 가열챔버, 테스트 사이트 그리고 냉각챔버로 구성되어 있고, 반도체 소자를 공급하거나 배출하기 위한 로딩/언로딩 유닛과 반도체 소자를 테스트할 수 있는 위치에 공급하는 로봇 어세이와 다수의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 적재하는 테스트 트레이 등으로 구성되어 있다.

상기 가열챔버, 테스트 사이트 그리고 냉각챔버에서는 상기 테스트 트레이에 적재된 반도체 소자의 특성을 테스트하기 위해 테스트 트레이를 이송하는 장치가 각각 설치되어 있다.

우선, 다수의 반도체 소자가 소팅 적재된 테스트 트레이를 가열챔버내로 공급시키고, 일정시간, 일정온도로 가열한 후, 상기 테스트 사이트로 이송하여 반도체 소자의 특성을 테스트한다.

상기와 같이 가열챔버로 공급된 테스트 트레이는 갑작스럽게 온도를 올릴수가 없으므로 일정한 온도로 먼저 예열(PRE - HEAT)을 하게 되는데 상기 가열챔버에서 이루어진다. 이때 상기 가열챔버를 프리 히터라고도 한다.

테스트 트레이에 수용된 소자는 프리 히터에서 열을 받아 테스트가 이루어지는 온도로 상승하게 되면, 상기 테스트 트레이를 테스트 트레이로 이송시킴으로써 테스트 사이트에서의 테스트 트레이에 수용된 소자의 성능 테스트가 이루어진다.

좀 더 구체적으로 설명하면, 도 1에서 보여주는 바와 같이 캐리어 모듈에 매달린 소자를 테스트하는 테스트 사이트(1)가 수평방향으로 설치되어 있고, 제 1챔버(2)에서 테스트에 적합한 온도로 소자가 히팅된 상태에서 테스트 트레이가 테스트 사이트(1)로 이송되어 오면 테스트 트레이(3)를 하향 구동시키는 수직 드라이브(4)가 하강하여 테스터 고정장치(5)에 의해 각 소자의 테스트 신호를 중앙처리장치(CPU)에 제공하게 되므로 소켓을 통해 결과 신호가 출력되고, 이에 따라 테스터(도시안됨)에 의해 소자의 성능이 감지된다.

이와 같이 소자의 성능을 테스트하고 나면 테스트 트레이(3)를 언로딩부로 이송시켜 테스트 결과에 따라 소자를 분류 적재부에 위치된 커스터머 트레이내에 분류하여 담게 된다.

그러나, 이러한 종래의 장치는 테스트 트레이(3)를 테스트 사이트(1)로 수평이송시킬 때, 상기 프리 히터에 공급된 테스트 트레이가 상부에 공급되고, 하부에 테스트 사이트로 공급되기 위한 테스트 트레이가 공급되어 상하부에 가각 테스트 트레이가 걸려 있으면, 상기 하부에 공급된 테스트 트레이에 의해 상부에 에열시키기 위해 공급되는 테스트 트레이가 1개 밖에 공급이 안되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점은 소자의 성능 테스트시 작업시간이 오래 걸리는 문제점을 야기시킴으로써 생산성을 저하시키는 문제점이 발생하였다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 프리 히터부에 공급되는 테스트 트레이를 연속적으로 공급할 수 있도록 하기 위한 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

도 1은 종래의 수평식 핸들러의 구성을 나타낸 단면도,

도 2는 본 발명의 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치를 보여주는 평면도이다.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ***

10 : 바디 플레이트 12 : 서포트 플레이트

14 : 센서 16 : 센서 브라켓

18 : 스프링 브라켓 20 : 스토퍼 스프링

22 : 하우징 24 : 스텝 샤프트

26 : 힌지핀 28 : 래치

30 : 고정수단 32 : 고정턱

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 바디 플레이트의 일측에 설치된 서포트 플레이트와; 상기 서포트 플레이트의 전부에 고정된 센서 브라켓의 상부에 설치된 센서와; 상기 센서의 하부에 고정수단에 의해 스텝 샤프트에 고정된 스프링 브라켓의 하부에 설치된 스프링과; 상기 스프링의 전부에 탄력적으로 동작되도록 일단부가 연결된 래치와; 상기 래치의 하단부가 힌지핀에 의해 스텝 샤프트에 고정 설치됨과 동시에 삽입 설치되는 하우징으로 구성되는 것을 특징으로 하는 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치를 제공한다.

또한 상기 래치는 일측부에 고정턱이 형성되는 것을 특징으로 하는 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치를 제공한다.

(실시예)

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치를 설명하기로 한다.

첨부된 도 2는 본 발명의 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치를 보여주는 평면도이다.

먼저 본 발명에 따른 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치는 바디플레이트(10)의 일측에 설치된 서포트 플레이트(12)와; 상기 서포트 플레이트(12)의 전부에 고정된 센서 브라켓(16)의 상부에 설치된 센서(14)와; 상기 센서(14)의 하부에 고정수단(30)에 의해 스텝 샤프트(24)에 고정된 스프링 브라켓(18)의 하부에 설치된 스프링(20)과; 상기 스프링(20)의 전부에 탄력적으로 동작되도록 일단부가 연결된 래치(28)와; 상기 래치(28)의 하단부가 힌지핀(26)에 의해 스텝 샤프트(24)에 고정 설치됨과 동시에 삽입 설치되는 하우징(22)으로 구성되고, 상기 래치(28)는 일측부에 고정턱(32)이 형성되어 상부 테스트 트레이(미도시됨)가 연속적으로 공급될 수 있도록 하부 테스트 트레이(미도시됨)의 밑면을 받쳐준다.

도 2 를 참조하여 좀 더 구체적으로 본 발명의 프리 히터부에서의 테스트 트레이 이송장치를 설명하면 다음과 같다.

우선, 세로 방향으로 세워져 설치된 바디 플레이트(10)의 전부에 서포트 플레이트(12)가 가로 방향으로 설치되어 있고, 이때 상기 서포트 플레이트(12)의 전부에는 하우징(22)이 하부 플레이트(34)의 상부에 설치되어 있고, 스텝 샤프트(24)가 상기 하우징(22)에 세로 방향으로 삽입 설치되어 있다.

상기 스텝 샤프트(24)의 중단에는 힌지핀(26)에 의해 하단부가 고정된 래치(28)가 설치되어 있고, 상기 래치(28)의 상단 좌측부에는 스프링(20)이 설치되어 있고, 상기 래치(28)의 일측에는 고정턱(32)이 형성되어 하부에 공급된 테스트 트레이를 고정할 수 있으며, 상기 스프링(20)의 타측에는 스프링 브라켓(18)에 고정되어 있으며, 상기 스프링 브라켓(18)은 고정수단(30)에 의해 스텝 샤프트(24)에 고정되어 있다.

또한, 상기 서포트 플레이트(12)의 전부에 설치된 스텝 샤프트(24)의 일측에는 센서 브라켓(16)이 설치되어 있고, 상기 센서 브라켓(16)의 상단부에는 센서(14)가 설치되어 있어, 테스트 트레이가 프리 히터부에 공급되는 경우 상하부에 각각의 테스트 트레이가 걸려 있어도 하부 트레이가 상기 래치(20)의 고정턱(32)에 걸리게 되므로 상부에서는 연속적으로 테스트 트레이가 공급될 수 있는 장점이 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 테스트 트레이가 프리 히터부에 공급되면 상하부에 각각의 테스트 트레이가 걸려 있어도 연속적으로 테스트 트레이를 공급할 수 있는 효과가 있다.

따라서, 테스트 트레이가 연속적으로 공급됨에 따라 소자의 성능 테스트 작업이 원할하고 빠르게 이루어지게 되므로 작업 효율이 향상되는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 삭제
2. 서포트 플레이트의 상부에 직립 설치됨과 아울러 테스트 트레이가 적재되는 바디 플레이트와, 상기 서포트 플레이트에 직립 설치됨과 아울러 승강 가능하게 설치되어 테스트 트레이 각각을 핀으로 지지하여 승강시키는 스텝 샤프트와, 상기한 스텝 샤프트의 저면에 설치됨과 아울러 최하부와 그 상면의 테스트 트레이를 감지하는 센서를 포함하는 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송 장치에 있어서,

   상기한 스텝 샤프트에 한지핀으로 설치됨과 아울러 최하부의 테스트 트레이를 지지하고 스텝 샤프트가 하강할 때 스텝 샤프트 내부로 수납되도록 쐐기형태의 고정턱이 형성된 래치와,

   상기한 래치의 고정턱 배면에서 지지하도록 설치된 스프링을 포함함을 특징으로 하는 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송 장치.