KR101046983B1 - 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치 - Google Patents

테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테스트 핸들러에 있어서, 이송 대상체인 반도체 부재를 흡입하기 위한 흡입장치에서 에어 실린더 내부를 진공상태를 만들기 위한 진공이젝터와, 공기가 유입되어 공압이 발생된 에어 실린더의 공압방향을 제어함으로써 에어 실린더가 반도체 부재와 흡착 또는 분리되도록 하는 솔레노이드 밸브가 외부에 설치되도록 구성하고, 에어 실린더 전면에 피치 스톱퍼를 작동하여 다수의 에어 실린더 상호간의 간격을 사용자의 선택 또는 이송 대상체의 길이에 따라 조절가능토록 하되, 다수의 에어 실린더 후면에 링크를 설치하여, 다수의 에어 실린더 중 일부 복수개의 에어 실린더 상호간의 간격만을 조절해도 모든 에어 실린더의 간격이 동시에 동일한 간격으로 조절가능토록 한 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치에 관한 것이다.

Description

테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치{Up and Down Transfer Apparatus of Semiconductor Unit for Test Handler}
본 발명은 테스트 핸들러에서 진공이젝터와 솔레노이드 밸브를 외부에 분리설치하여, 다양한 반도체 부재를 진공흡입하여 이송시키는 작동을 반복할 수 있도록 하되, 이송 대상체의 길이에 따라 다수의 에어 실린더 간격을 동시에 동일한 간격으로 조절가능토록 한 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 제조가 완료된 반도체 패키지는 불량상태를 검사하는 테스트 공정을 진행하게 되며, 이렇게 테스트공정을 수행하기 위한 테스트 장치에는 반도체 패키지를 이송하여 공급시켜 주는 장치인 테스트 핸들러를 구비하고 있다.
상기 테스트 핸들러는 테스트할 패키지를 테스트 장치의 테스팅 부분으로 이송시키고, 테스트가 완료된 패키지를 테스트로부터 꺼내는 역할을 한다.
이와 같은 테스트 핸들러는 공압을 이용한 장치로서 다수의 반도체 패키지를 흡착시키기 위한 진공노즐을 구비한 다수의 픽커를 구비하고 있다.
하지만, 종래의 이러한 테스트 핸들러의 경우, 공압 방향을 제어하여 흡착이 가능토록 하는 솔레노이드 밸브와, 이송 대상체에 해당되는 반도체 부재를 흡입하기 위한 이젝터가 흡입부의 상단에 일체형으로 구성되어 있기에, 테스트 핸들러 장치의 단가를 상승시키는 큰 요인으로 작용하였다.
또한, 상기의 솔레노이드 밸브가 이젝터 내에 함께 구비되어 있는 관계로, 흡착을 위한 다수의 이젝터 간의 간격조절이 어렵다는 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 진공흡입을 위한 진공이젝터와 솔레노이드 밸브를 분리하여 장치의 외측에 설치함으로써, 반도체 부재를 흡착하여 이송시키는 다수의 에어 실린더 상호간의 이격거리가 안정적으로 벌어져 조절될 수 있도록 하며, 다수의 에어 실린더 저면 상호간의 이격거리를 조절하기 위해 회전되는 조절체를 설치하여, 이송 대상체의 길이에 맞춰 선택된 조절체의 조절편 길이만큼 에어 실린더 상호간의 간격을 조절하되, 다수의 에어 실린더의 후면을 모두 연결하는 링크를 설치하여, 다수의 에어 실린더 중 일부 에어 실린더 간격을 조절함으로써 다수의 에어 실린더 모두가 동시에 동일한 간격으로 이격거리가 조절가능토록 한 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서, 반도체 부재를 진공흡입하여 이동시키는 작동을 반복하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치에 있어서, 하우징(1) 내에서 이격되며 연속배열되는 다수개의 에어 실린더(10); 상기 각 에어 실린더(10)의 하단에서 상, 하 승강운동이 가능토록 설치되는 승강 흡입체(20); 상기 하우징(1) 내에서 다수의 에어 실린더(10)가 수평 슬라이딩 운동을 할 수 있도록 가이드하는 LM가이드(30); 상기 다수개의 승강 흡입체(20)가 반도체 부재와 흡착되거나 또는 분리되도록 하는 진공이젝터(40); 상기 하우징(1)의 전, 후면에 설치되며, 상기 에어 실린더(10)로 유입되는 공압의 방향을 제어함으로써 상기 승강 흡입체(20)를 승, 하강시키는 솔레노이드 밸브(50); 상기 다수개 에어 실린더(10)의 전면 중앙에 설치되어, 상기 다수개 에어 실린더(10) 상호간의 간격(P)을 조절하는 피치 스톱퍼(60); 상기 다수개 에어 실린더(10)의 후면이 고정설치되어, 다수개 에어 실린더(10) 상호간이 동일한 간격으로 동시에 움직일 수 있도록 하는 링크부재(70); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 진공이젝터와 솔레노이드 밸브를 외부에 분리설치함으로써, 테스트 핸들러 장비의 단가를 낮출 수 있음과 동시에, 반도체 부재를 흡착하는 다수의 에어 실린더 상호간의 간격을 안정적으로 조절할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 다수의 에어 실린더 전면에 설치된 피치 스톱퍼를 사용자가 회전조절함으로써, 다수의 에어 실린더 간격이 손쉽게 조절가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 에어 실린더 다수를 링크에 일체로 고정함으로써, 다수의 에어 실린더 중 일부의 간격을 조절해도, 모든 에어 실린더의 간격이 동시에 동일한 간격으로 조절되는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 다수의 에어 실린더를 개별적으로 업/다운(UP/DOWN)하여 제어할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치를 나타낸 일실시예의 정면도.
도 2는 도 1의 양측면도.
도 3은 본 발명에 따른 피치 스톱퍼를 나타낸 일실시예의 도면.
도 4는 본 발명에 따른 피치 스톱퍼의 작동을 나타낸 일실시예의 정면도.
도 5는 본 발명에 따른 피치 스톱퍼와 에어 실린더의 작동관계를 나타낸 일실시예의 작동도.
도 6은 도 5와 함께 작동되는 링크부재의 작동관계를 나타낸 일실시예의 후면도.
본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치(100)를 상세히 설명하도록 한다.
이에 따른 본 발명의 일실시예는
반도체 부재를 진공흡입하여 이동시키는 작동을 반복하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치에 있어서, 하우징(1) 내에서 이격되며 연속배열되는 다수개의 에어 실린더(10); 상기 각 에어 실린더(10)의 하단에서 상, 하 승강운동이 가능토록 설치되는 승강 흡입체(20); 상기 하우징(1) 내에서 다수의 에어 실린더(10)가 수평 슬라이딩 운동을 할 수 있도록 가이드하는 LM가이드(30); 상기 다수개의 승강 흡입체(20)가 반도체 부재와 흡착되거나 또는 분리되도록 하는 진공이젝터(40); 상기 하우징(1)의 전, 후면에 설치되며, 상기 에어 실린더(10)로 유입되는 공압의 방향을 제어함으로써 상기 승강 흡입체(20)를 승, 하강시키는 솔레노이드 밸브(50); 상기 다수개 에어 실린더(10)의 전면 중앙에 설치되어, 상기 다수개 에어 실린더(10) 상호간의 간격(P)을 조절하는 피치 스톱퍼(60); 상기 다수개 에어 실린더(10)의 후면이 고정설치되어, 다수개 에어 실린더(10) 상호간이 동일한 간격으로 동시에 움직일 수 있도록 하는 링크부재(70); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 피치 스톱퍼(60)는 상기 다수개 에어 실린더(10) 중 중심에 위치되는 복수개의 에어 실린더(10) 사이 전면에 설치되는 기준축(61), 상기 기준축(61)의 길이방향을 향해 다수개가 관통설치되되, 상호간 길이가 상이하며 회전가능한 다수의 피치조절편(62)으로 구성되는 조절체(63); 상기 다수개의 에어 실린더(10) 정면에서, 상기 조절체(63)의 양측에 각각 고정설치되는 복수개의 실린더부재(65); 상기 복수개의 에어 실린더(10)에 인접한 에어 실린더(10)에 일단이 고정된 채로, 상기 조절체(63)를 향해 실린더부재(65)에 내입 또는 토출되는 피스톤부재(66); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 조절체(63)는 수직방향으로 관통설치된 다수의 피치조절편(62) 중 하나를 수평방향으로 회전시키고, 복수개의 피스톤부재(66)를 피치조절편(62)을 향해 토출시킴으로써, 다수의 에어 실린더(10) 간격(P)이 피치조절편(62)의 돌출길이만큼 좁혀지거나 넓혀지도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 솔레노이드 밸브(50)는 상기 반도체 부재를 이송하지 않는 경우에는 상기 승강 흡입체(20)가 상승된 상태가 되도록 작동되고, 반도체 부재를 이송 시에는 상기 승강 흡입체(20)가 하강되도록 작동되어, 하강된 승강 흡입체(20)가 진공이젝터(40)의 진공흡입을 통해 반도체 부재를 흡착할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강 흡입체(20)는 상기 솔레노이드 밸브(50)의 작동에 의해 승, 하강되는 승하강체(21); 상기 에어 실린더(10)와 승하강체(21)의 내부를 관통하여, 상기 승하강체(21)의 하단에 돌출형성되되, 상기 반도체 부재를 진공흡착할 수 있도록 상기 진공이젝터(40)에 의해 내부가 진공상태가 되는 픽커(22); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하우징(1)에는 상기 승강 흡입체(20)의 일부분과 대응접촉되는 리미트 스톱퍼(80)를 설치하여, 상기 승강 흡입체(20)의 위치를 단속하되, 상기 리미트 스톱퍼(80)는 복수개가 2단의 계단형상으로 형성되어, 상기 승강 흡입체(20)의 하강깊이에 따라 리미트 스톱퍼(80)를 전, 후 이동시켜 사용할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치(100)는 에어 실린더(10), 승강 흡입체(20), LM가이드(30), 진공이젝터(40), 솔레노이드 밸브(50), 피치 스톱퍼(60), 링크부재(70)를 포함한다.
이를 더욱 자세히 살펴보면,
상기 에어 실린더(10)는 내부가 비어있으며, 전, 후, 상, 하, 좌, 우가 개구된 하우징(1)(사용자의 실시예에 따라 그 형상은 변경이 가능함은 당연하다.) 내에 설치되는 것으로서, 상기 하우징(1) 내에서 지면과 수직을 이루는 형태로 설치되되, 다수개가 하우징(1)의 길이방향을 향해 상호간 이격배치되도록 수직으로 연속배열되는 형태를 가지도록 한다.
이러한 다수의 에어 실린더(10) 각각은 하우징(1)의 저면 및 후면에 설치되는 다수의 솔레노이드 밸브(50)와 복수개의 연결라인(ex: 연결호스 등, N)으로 각각 연결되고, 상기 하우징(1)의 상부에 설치되는 후술될 진공이젝터(40)와도 각각 연결라인으로 연결되도록 한다. 상기 다수의 에어 실린더(10)는 각각 개별적으로 작동이 가능하므로, 사용자의 실시예에 따라 다수개의 에어 실린더(10)를 동시에 사용하거나 또는 일부만 국부적으로 사용하는 등 다양한 실시예가 존재할 수 있음이다.
상기 승강 흡입체(20)는 다수의 에어 실린더(10) 각 하부에 설치되는 것으로, 상기 에어 실린더(10) 하부에서 상, 하로 승강운동을 하는 것이다.
이러한, 상기 승강 흡입체(20)는 에어 실린더(10)의 하부에서 피스톤 작동을 하며 하부로 하강되거나 또는 상부로 상승하여 에어 실린더(10)의 본체와 접촉되는 형태를 가지는 것으로, 상기 승강 흡입체(20)가 에어 실린더(10)의 본체의 하단에서 승, 하강 되는 이러한 작동은 후술될 솔레노이드 밸브(50)의 공압 방향 제어에 따라 이루어진다.
이러한, 상기 승강 흡입체(20)는 피스톤 등의 작동을 하며 후술될 솔레노이드 밸브(50)의 제어에 따라 본체 하단에서 승, 하강되는 승하강체(21)와, 상기 에어 실린더(10)의 본체에서부터 승하강체(21)의 길이방향으로 연장되되, 상기 승하강체(21)의 하단에서 돌출되며 후술될 진공이젝터(40)에 의해 내부가 진공상태가 되는 픽커(Picker, 22)로 이루어진다.
상기 진공이젝터(40)는 전술된 하우징(1)의 상부에 설치되는 것으로서, 하우징(1) 내에서 상호간 이격되며 다수 배열설치된 다수의 에어 실린더(10)와 연결라인에 의해 연결되어, 상기 픽커(22) 내부를 진공상태로 만드는 역할을 한다.
즉, 이송 대상체(반도체 부재, 3)를 이송시, 상기 승강 흡입체(20)는 이송 대상체를 향해 하강하고, 하강시, 상기 진공이젝터(40)는 픽커(22) 내부를 진공상태로 만들어, 이송 대상체가 픽커(22)에 진공흡입되어 흡착될 수 있도록 하는 것이다.
이후, 본 발명의 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치(100)가 사용자가 원하는 이송 위치에 이송되면, 상기 진공이젝터(40)의 작동을 중단하여, 픽커(22) 내부의 진공상태를 해지함으로써, 이송 대상체가 픽커(22)에서 분리되어 이송위치에 놓여질 수 있도록 하는 것이다.
상기 솔레노이드 밸브(50)는 전술된 하우징(1)의 전면과 후면에 각각 다수개가 설치되는 것으로, 본 발명에서는 그 일실시예로 하우징(1)의 내부에 8개의 에어 실린더(10)를 설치하였고(상기 에어 실린더(10)의 설치개수는 사용자에 실시예에 의해 변경이 가능하다.), 하우징(1)의 전면에는 상호간 이격되며 고정설치되는 솔레노이드 밸브(50)를 4개 설치하고, 하우징(1)의 후면에도 상호간 이격되며 고정설치되는 솔레노이드 밸브(50)를 4개 더 설치하였다.
즉, 상기 하우징(1)의 전면과 후면에 설치되는 솔레노이드 밸브(50)의 총 합산 개수는 하우징(1) 내부에 설치된 에어 실린더(10)의 개수와 동일하도록 하여, 상기 다수의 에어 실린더(10) 각각에 솔레노이드 밸브(50)가 하나씩 복수개의 연결라인으로 연결되도록 하는 것이다. 다시 말해, 복수개의 연결라인 각각은 솔레노이드 밸브(50)와 연결되어 에어 실린더(10) 내부에 유입되는 공기의 방향(공압방향)을 제어하는 것으로,(공기유입을 위한 장치는 별도로 구비되어야 함은 당연하다.) 평상시(이송 대상체를 이송시키지 않는 경우)에는 상기 승강 흡입체(20)가 상승되어 에어 실린더(10) 본체의 하단에 접촉되어 있도록 작동되고, 작동시(이송 대상체를 이송시키는 경우)에는 승강 흡입체(20)가 하강되도록 공압방향으로 제어함으로써, 에어 실린더(10) 하단에 위치되어 있는 이송 대상체에 승강 흡입체(20)가 접촉하게 되고, 이 순간 진공이젝터(40)를 작동하여 픽커(22)를 통한 진공흡입으로 이송 대상체가 흡입되어져 픽커(22)에 흡착되도록 한다.
즉, 상기 솔레노이드 밸브(50)는 다수의 에어 실린더(10)에 각각 연결되어 있는 구성이기에, 상기 다수개의 에어 실린더(10)는 개별적으로 동작이 가능하다.
상기 피치 스톱퍼(60)는 하우징(1) 내에 연속배열되는 다수의 에어 실린더(10) 전면 중앙에 설치되는 것으로, 상기 전면 중앙이라 함은 에어 실린더(10)가 본 발명에서처럼 일실시예로 8개(①, ②, ③, ④, ⑤, ⑥, ⑦, ⑧, 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 첫번째 에어 실린더(10)는 ①, 두번째 에어 실린더(10)는 ②…라 칭한다.) 설치되어 있는 경우, 4번째와 5번째 에어 실린더(④, ⑤) 사이의 전면을 의미한다. (ex: 에어 실린더(10)가 10개인 경우, 5번째와 6번째 설치된 에어 실린더(⑤, ⑥) 사이의 전면이 이에 해당된다.) 즉, 상기 피치 스톱퍼(60)는 에어 실린더(10)가 몇개 설치되든 설치된 개수에서 중심에 위치되는 에어 실린더(10)의 전면 중앙에 설치되도록 한다. (이하에서는 설명의 편의를 위하여, 본 발명에서의 일실시예에서처럼 에어 실린더(10)가 8개 설치되어 있음으로 하여 설명하도록 한다.)
이러한, 상기 피치 스톱퍼(60)는 상기 다수개 에어 실린더(10) 중 중심에 위치되는 복수개의 에어 실린더(4번째와 5번째 에어 실린더(④, ⑤)) 전면에 사이에 설치되는 기준축(61)과, 상기 기준축(61)에 중앙이 관통되어 끼워져 연속설치되되, 상호간 길이(L)가 상이하며 기준축(61)에서 회전이 가능한 다수의 피치조절편(62)(본 발명에서는 크기가 상이한 조절체(63)를 'A'부터 'D'까지 4개 형성하였다. 상기 4개의 조절체(63) 상호간의 크기는 A<B<C<D의 순이 되도록 하였다.)으로 이루어지는 조절체(63)와, 상기 조절체(63)의 양측에 각각 지면과 수평을 이루도록 하우징(1)의 전면에 고정설치되는 복수개의 실린더부재(65)와, 상기 복수개의 실린더부재(65) 일단에 돌출형성되어, 실린더부재(65) 내부로 내입되거나 또는 조절체(63)를 향해 토출되되, 돌출형성된 일단을 전술된 복수개의 에어 실린더(4번째와 5번째 에어 실린더(④, ⑤))에 인접한 에어 실린더(4번째 에어 실린더(④)와 인접된 것은 3번째 에어 실린더(③), 5번째 에어 실린더(⑤)와 인접된 것은 6번째 에어 실린더(⑥))에 일단이 고정되는 피스톤부재(66)로 이루어진다.(상기 실린더부재(65) 내에 공기유입을 위한 장치는 별도로 구비되어야 함은 당연하며, 상기 기준축(61)의 외주연에 끼워지는 각각의 피치조절편(62) 관통부위(H) 내주연에는 자성부재(64)(ex: 자석 등)를 설치하여(피치조절편(62)이 수직으로 세워져 기준축(61)에 끼워지는 경우를 예로 들면, 상기 피치조절편(62)의 관통부위 내주연 상, 하단에 자성부재(64)가 각각 설치되고, 상기 피치조절편(62)이 수평으로 회전되면, 상기 복수개의 자성부재(64)는 관통부위 내주연 좌, 우측에 위치되는 것이다.), 다수의 피치조절편(62) 중 어느 하나가 회전되더라도 상기 자성부재(64)에 의해 피치조절편(62)이 기준축(61)에 자성에 의해 접촉된 상태로 회전되도록 함으로써, 상기 자성부재(64)에 의해 피치조절편(62)이 기준축(61)에서 회전은 가능하되 기준축(61)에서 탈거되지 않도록 할 수 있다.)
이를 자세히 설명하면,
상기 다수개 피치조절편(62)는 직사각형의 형상을 가지며,(본 발명에서 길이가 가장 짧은 피치조절편(A)은 일실시예에 따라 정사각형 형상으로 기준축(61)에 관통결합시킴으로써, 기준축(61)에서부터 상, 하, 좌, 우의 돌출길이가 항상 일정하도록 하였다.)사용하기 전 수직형태로 기준축(61)에 끼워져 있다가, 다수개의 피치조절편(62) 중 사용자가 원하는 단일개의 피치조절편(62)만을 회전시켜 수평상태가 되도록 한다. 이렇게 수평상태가 된 선택된 피치조절편(62)은 기준축(61)의 양측으로 돌출하고 있는 형태가 된다. 이후, 복수개의 피스톤부재(66)가 피치조절편(62)을 향해 토출되도록 작동시키면, 상기 피스톤부재(66)는 실린더부재(65)에서 빠져나오며 수평상태의 피치조절편(62)과 접촉될때까지 토출된다. 더 토출하고자 해도 피치조절편(62)에 의해 막혀서 멈추게 된다. 이때, 토출되는 상기 복수개의 피스톤부재(66)의 일단은 각각 3번째 에어 실린더(③)와 6번째 에어 실린더(⑥)의 전면에 고정되어 있기에, 피치조절편(62)을 향해 토출될 시, 피치 스톱퍼(60)의 양측에서 3번째 에어 실린더(③)와 6번째 에어 실린더(⑥) 또한 피치조절편(62)을 향해 이동되며, 3번째 에어 실린더(③)는 4번째 에어 실린더(④)와의 간격(P)이 좁혀지고, 6번째 에어 실린더(⑥)는 5번째 에어 실린더(⑤)와 간격(P)이 좁혀지는 작동을 하게 되는 것이다.
즉, 상기 다수개의 피치조절편(62)의 길이가 상이함으로써, 다수의 피치조절편(62) 중 길이가 가장 짧은 피치조절편(62, 'A')을 수평상태로 회전시킨 후, 복수개의 피스톤부재(66)를 토출시키면, 다수의 피치조절편(62) 중 길이가 가장 긴 피치조절편(62, 'D')을 수평상태로 회전시켜 복수개의 피스톤부재(66)를 토출시키는 경우보다, 3번째 에어 실린더(③)와 4번째 에어 실린더(④) 상호간의 간격(P) 및 6번째 에어 실린더(⑥)와 5번째 에어 실린더(⑤) 상호간의 간격(P)은 더 좁아질 것이다.
상기 링크부재(70)는 하우징(1)의 후면에서 하우징(1) 내부에 설치된 다수의 에어 실린더(10) 후단을 함께 고정하는 것으로써, 이러한, 상기 링크부재(70)는 길이방향으로 향해 연속적으로 절곡되어 지그재그 형태를 가지는 복수개의 링크라인(71)을, 상호간 1/2 피치만큼 어긋나게 결합하여, 복수개의 링크라인(71)이 길이방향으로 일직선이 되도록 펴지도록 하여 상기 복수개 링크라인(71) 상호간의 결합지점(73)이 동일하게 벌어지도록 하거나 또는 복수개의 링크라인(71) 양단을 압착하여, 절곡부위(72)가 접혀지면서 상기 복수개 링크라인(71) 상호간의 결합지점(73)이 동일하게 좁혀지도록 한 것이다.
상기 복수개의 링크라인(71)의 결합지점(73)은 총 8개가 형성되도록 하며, 이러한 8개의 결합지점(73)에 각각의 에어 실린더(10)의 후단이 고정결합되도록 하는 것이다.
이러한, 상기 링크부재(70)로 인하여, 전술된 피치 스톱퍼(60)의 다수개 피치조절편(62) 중 하나를 수평방향으로 회전시키고, 이어서 복수개의 피스톤부재(66)를 토출시키게 되면, 3번째 에어 실린더(③)는 4번째 에어 실린더(④)를 향해 이동되면서 4번째 에어 실린더(④)와의 간격(P)이 좁혀지고, 6번째 에어 실린더(⑥)는 5번째 에어 실린더(⑤)를 향해 이동되면서 5번째 에어 실린더(⑤)와의 간격(P)이 좁혀지되, 이러한 상기 3번째 에어 실린더(③)와 6번째 에어 실린더(⑥)가 움직일 때 링크부재(70)에 의해 나머지 1, 2, 4, 5, 7, 8 번째의 모든 에어 실린더(①, ②, ④, ⑤, ⑦, ⑧)가 동일한 방향으로 동일한 간격을 유지하며 간격(P)이 좁혀지는 것이다.
이와 반대로, 좁혀진 상태에서 상기 복수개의 피스톤부재(66)가 실린더부재(65)에 내입되도록 후진시키면, 상기 3번째 에어 실린더(③)와 6번째 에어 실린더(⑥)의 이동과 함께, 나머지 모든 에어 실린더(10)가 동일한 방향으로 동일한 간격을 유지하며 간격(P)이 벌어지는 것이다. (즉, 상기 다수개의 피치조절편(62) 중 길이가 짧은 것을 선택할수록, 상기 다수의 에어 실린더(10) 상호간의 간격(피치, P)을 더욱 좁힐 수 있는 것이다.)
이렇듯, 상기 피치 스톱퍼(60)와 링크부재(70)에 의해 다수의 에어 실린더(10) 상호간의 간격(P)을 조절하는 것은, 다수의 에어 실린더(10) 하단에 배치되어 에어 실린더(10)가 흡착하여 이송하기 위한 이송 대상체의 길이에 맞춰 다수의 에어 실린더(10) 간격(P)을 자유롭게 조절할 수 있도록 하기 위한 것이다.
상기 LM가이드(30)는 전술된 바와 같이, 하우징(1)의 내부에서 상호간의 간격(P)이 좁혀지거나 넓어지는 다수의 에어 실린더(10)가, 하우징(1)의 길이방향으로 향해 원활하게 슬라이딩 되며 수평방향으로 이동될 수 있도록 하기 위한 것이다.
이를 위해, 상기 LM가이드(30)는 다수의 에어 실린더(10) 전면부 상, 하측과, 후면부 상, 하측에서 에어 실린더(10)가 슬라이딩 가능토록 체결되어, 하우징(1)의 길이방향을 향해 수평방향으로 슬라이딩 이동가능토록 하는 다수의 LM라인(31)과, 상기 다수의 LM라인(31)의 단부에 설치되어 상호간 대향되는 또 다른 LM라인(31) 간의 간격이 고정되도록 하는 LM블럭장치(32)로 이루어진다.
더불어, 상기 하우징(1) 내부 하단에는 리미트 스톱퍼(80)를 설치하되, 상기 리미트 스톱퍼(80)는 하강되는 승강 흡입체(20)의 일부분과 접촉되는 위치에 전, 후 이동가능토록 설치하여, 상기 승강 흡입체(20)의 위치를 단속할 수 있도록 한다. 본원발명에서 이러한 리미트 스톱퍼(80)는 복수개의 리미트 스톱퍼가 일체형으로 이루어 단일개로 사용되는 것으로, 복수개의 리미트 스톱퍼는 상호간 적층되되, 상호간 일치되어 적층되지 않고 계단의 형태를 가지도록 형성한다. 설명의 편의를 위하여 리미트 스톱퍼(80)를 복수개의 리미트 스톱퍼를 제 1리미트 스톱퍼와 제 2리미트 스톱퍼라 칭하여 설명하면, 제 1리미트 스톱퍼의 상단에 제 2리미트 스톱퍼를 일체형으로 설치하되, 상호간 끝단이 일치되지 않도록 제 2리미트 스톱퍼를 제 1리미트 스톱퍼의 상면에서 길이방향으로 밀어넣어 고정시키는 것이다. 이로 인하여, 제 1리미트 스톱퍼가 제 2리미트 스톱퍼보다 더 깊이 하강되는 승강 흡입체(20)를 단속할 수 있는 것이다. 이에 사용자는 리미트 스톱퍼(80)를 전, 후 이동시켜, 승강 흡입체(20)가 하강되는 깊이에 따라 리미트 스톱퍼(80)를 교체하지 않고 번갈아 가며 선택적으로 사용하여 승강 흡입체(20)의 하강 깊이에 맞춰 사용할 수 있는 것이다.(기존에는 두개의 리미트 스위치를 보관한 상태에서 다양한 공구를 이용해 교체하는 방식을 사용하였기에, 본 발명의 이러한 2단 형태의 리미트 스톱퍼(80)가 기존 리미트 스위치에 비해 유지보수가 원활하고 교체시간의 낭비가 없다는 점에서 효과가 있는 것이다.) 또한, 발명의 상세한 설명에서 설명되지 않은 도면의 부호 '2'는 하우징(1) 하단의 개구홀 부분(에어 실린더(10)가 하강되어 이송 대상체와 흡착되기 위해 하우징(1)의 하단에 개구된 부분)에 에어 실린더(10)의 픽커(22)가 하강되었는지 등을 감지하는 홀 감지센서를 의미한다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.
1: 하우징 2: 홀 감지센서
3: 이송 대상체 10: 에어 실린더
20: 승강 흡입체 21: 승하강체
22: 픽커 30: LM가이드
31: LM라인 32: LM블럭장치
40: 진공이젝터 50: 솔레노이드 밸브
60: 피치 스톱퍼 61: 기준축
62: 피치조절편 63: 조절체
64: 자성부재 65: 실린더부재
66: 피스톤부재 70: 링크부재
71: 링크라인 72: 절곡부위
73: 결합지점 80: 리미트 스톱퍼
N: 연결라인 P: 간격

Claims (6)

  1. 반도체 부재를 진공흡입하여 이동시키는 작동을 반복하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치에 있어서,
    하우징(1) 내에서 이격되며 연속배열되는 다수개의 에어 실린더(10);
    상기 각 에어 실린더(10)의 하단에서 상, 하 승강운동이 가능토록 설치되는 승강 흡입체(20);
    상기 하우징(1) 내에서 다수의 에어 실린더(10)가 수평 슬라이딩 운동을 할 수 있도록 가이드하는 LM가이드(30);
    상기 다수개의 승강 흡입체(20)가 반도체 부재와 흡착되거나 또는 분리되도록 하는 진공이젝터(40);
    상기 하우징(1)의 전, 후면에 설치되며, 상기 에어 실린더(10)로 유입되는 공압의 방향을 제어함으로써 상기 승강 흡입체(20)를 승, 하강시키는 솔레노이드 밸브(50);
    상기 다수개 에어 실린더(10)의 전면 중앙에 설치되어, 상기 다수개 에어 실린더(10) 상호간의 간격(P)을 조절하는 피치 스톱퍼(60);
    상기 다수개 에어 실린더(10)의 후면이 고정설치되어, 다수개 에어 실린더(10) 상호간이 동일한 간격으로 동시에 움직일 수 있도록 하는 링크부재(70);
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 피치 스톱퍼(60)는
    상기 다수개 에어 실린더(10) 중 중심에 위치되는 복수개의 에어 실린더(10) 사이 전면에 설치되는 기준축(61), 상기 기준축(61)의 길이방향을 향해 다수개가 관통설치되되, 상호간 길이가 상이하며 회전가능한 다수의 피치조절편(62)으로 구성되는 조절체(63);
    상기 다수개의 에어 실린더(10) 정면에서, 상기 조절체(63)의 양측에 각각 고정설치되는 복수개의 실린더부재(65);
    상기 복수개의 에어 실린더(10)에 인접한 에어 실린더(10)에 일단이 고정된 채로, 상기 조절체(63)를 향해 실린더부재(65)에 내입 또는 토출되는 피스톤부재(66);
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 조절체(63)는
    수직방향으로 관통설치된 다수의 피치조절편(62) 중 하나를 수평방향으로 회전시키고, 복수개의 피스톤부재(66)를 피치조절편(62)을 향해 토출시킴으로써, 다수의 에어 실린더(10) 간격(P)이 피치조절편(62)의 돌출길이만큼 좁혀지거나 넓혀지도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 솔레노이드 밸브(50)는
    상기 반도체 부재를 이송하지 않는 경우에는 상기 승강 흡입체(20)가 상승된 상태가 되도록 작동되고, 반도체 부재를 이송 시에는 상기 승강 흡입체(20)가 하강되도록 작동되어, 하강된 승강 흡입체(20)가 진공이젝터(40)의 진공흡입을 통해 반도체 부재를 흡착할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 승강 흡입체(20)는
    상기 솔레노이드 밸브(50)의 작동에 의해 승, 하강되는 승하강체(21);
    상기 에어 실린더(10)와 승하강체(21)의 내부를 관통하여, 상기 승하강체(21)의 하단에 돌출형성되되, 상기 반도체 부재를 진공흡착할 수 있도록 상기 진공이젝터(40)에 의해 내부가 진공상태가 되는 픽커(22);
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 하우징(1)에는
    상기 승강 흡입체(20)의 일부분과 대응접촉되는 리미트 스톱퍼(80)를 설치하여, 상기 승강 흡입체(20)의 위치를 단속하되, 상기 리미트 스톱퍼(80)는 복수개가 2단의 계단형상으로 형성되어, 상기 승강 흡입체(20)의 하강깊이에 따라 리미트 스톱퍼(80)를 전, 후 이동시켜 사용할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 반도체 부재 업다운 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR920001661A (ko) * 1990-06-30 1992-01-30 김광호 QFP(Quadratic Flat Package) IC 패캐이지의 테스트 핸들러
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