KR970077466A - 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법 - Google Patents

수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970077466A
KR970077466A KR1019960018042A KR19960018042A KR970077466A KR 970077466 A KR970077466 A KR 970077466A KR 1019960018042 A KR1019960018042 A KR 1019960018042A KR 19960018042 A KR19960018042 A KR 19960018042A KR 970077466 A KR970077466 A KR 970077466A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test tray
test
transferring
tray
loaded
Prior art date
Application number
KR1019960018042A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100194326B1 (ko
Inventor
김두철
Original Assignee
정문술
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=66283886&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR970077466(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 정문술, 미래산업 주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR1019960018042A priority Critical patent/KR100194326B1/ko
Publication of KR970077466A publication Critical patent/KR970077466A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100194326B1 publication Critical patent/KR100194326B1/ko

Links

Abstract

본 발명은 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 테스트하고자 하는 반도체소자가 로딩된 테스트트레이를 테스트부의 컨넥터에 수직으로 세워 콘택시킬 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 테스트트레이(6)가 수평상태에서 테스트할 소자를 로딩하여 로딩된 소자를 캐리어모듈에 홀딩하는 단계와, 소자가 로딩한 테스트트레이를 히팅챔버(8)로 이송하기 전에 90°수직으로 세우는 단계와, 상기 테스트트레이(6)가 수직으로 세워진 상태에서 히팅챔버(8)내부로 이송시키는 단계와, 상기 히팅챔버(8)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자의 테스트조건으로 히팅하는 단계와, 히팅완료된 테스트트레이(6)를 수직상태로 테스트부(10)에 공급하여 테스트트레이를 콘택소켓(29)측으로 수평이송시키는 단계와, 소자의 테스트완료 후 테스트트레이(6)를 수직상태로 냉각챔버(11)측에 이송시키는 단계와, 상기 냉각챔버(11)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자를 외기의 온도로 냉각시키는 단계와, 상기 수직상태의 테스트트레이(6)를 냉각챔버(11)의 외부로 인출한 다음 90°수평상태로 환원시키는 단계와, 수평상태로 환원된 테스트트레이(6)를 소자의 언로딩위치로 이송시키는 단계와, 소자가 언로딩되고 난 빈테스트트레이를 소자의 로딩위치로 수평이송시키는 단계가 순차적으로 진행하도록 된 것이다.

Description

수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 수평식핸들러에서 테스트트레이가 이송되는 경로를 나타낸 개략도.

Claims (3)

  1. 테스트트레이(6)가 수평상태에서 테스트할 소자를 로딩하여 로딩된 소자를 캐리어모듈에 홀딩하는 단계화, 소자가 로딩한 테스트트레이를 히팅챔버(8)로 이송하기 전에 90°수직으로 세우는 단계와, 상기 테스트트레이(6)가 수직으로 세워진 상태에서 히팅챔버(8)내부로 이송시키는 단계와, 상기 히팅챔버(8)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자의 테스트조건으로 허팅하는 단계와, 허팅완료된 테스트트레이(6)를 수직상태로 테스트부(10)에 공급하여 테스트트레이를 콘택소켓(29)측으로 수평이송시키는 단계와, 소자의 테스트완료후 테스트트레이(6)를 수직상태로 냉각챔버(11)측에 이송시키는 단계와, 상기 냉각챔버(11)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자를 외기의 온도를 냉각시키는 단계와, 상기 수직상태의 테스트트레이(6)를 냉각챔버(11)의 외부로 인출한 다음 90° 회전시켜 수평상태로 환원시키는 단계와, 수평상태로 환원된 테스트트레이(6)를 소자의 언로딩위치로 이송시키는 단계와, 소자가 언로딩하고 난 빈 테스트트레이를 소자의 로딩위치로 수평이송시키는 단계가 순차적으로 진행됨을 특징으로 하는 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
  2. 제1항에 있어서, 소자가 로딩된 테스트트레이(6)를 수직상태로 회전시킨 다음 회전된 테스트트레이를 히팅챔버(8)의 상측에서 히팅챔버의 내부로 이송시킴을 특징으로 하는 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법.
  3. 제1항에 있어서, 테스트트레이(6)에 로딩된 소자가 테스트완료된 상태에서 상기 테스트트레이를 냉각챔버(11)의 측면을 통해 냉각챔버의 내부로 순차 이송시킴을 특징으로 하는 수평식핸들러의 테스트레이 이송방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960018042A 1996-05-27 1996-05-27 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법 KR100194326B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960018042A KR100194326B1 (ko) 1996-05-27 1996-05-27 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960018042A KR100194326B1 (ko) 1996-05-27 1996-05-27 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970077466A true KR970077466A (ko) 1997-12-12
KR100194326B1 KR100194326B1 (ko) 1999-06-15

Family

ID=66283886

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960018042A KR100194326B1 (ko) 1996-05-27 1996-05-27 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100194326B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100777619B1 (ko) * 2007-06-16 2007-11-21 이한석 테스트 핸들러 이송장치
KR100781336B1 (ko) * 2007-08-20 2007-11-30 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법
KR100792725B1 (ko) * 2006-01-09 2008-01-11 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법
US8154314B2 (en) 2006-10-04 2012-04-10 Techwing Co., Ltd. Side-docking type test handler and apparatus for transferring test tray for same
US9958498B2 (en) 2014-03-03 2018-05-01 Techwing Co., Ltd. Test handler and circulation method of test trays in test handler

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100714106B1 (ko) 2005-12-15 2007-05-02 (주)테크윙 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 작동방법
KR100772446B1 (ko) 2006-03-29 2007-11-01 (주)테크윙 사이드도킹 방식 테스트 핸들러의 테스트트레이 이송 방법
KR100792486B1 (ko) 2006-08-22 2008-01-10 (주)테크윙 사이드도킹 방식 테스트핸들러의 테스트트레이 이송 방법
KR100763487B1 (ko) 2006-09-29 2007-10-04 (주)테크윙 사이드도킹방식 테스트핸들러의 테스트트레이 이송방법 및사이드도킹방식 테스트핸들러의 작동방법
KR100792489B1 (ko) 2006-09-29 2008-01-10 (주)테크윙 사이드도킹방식 테스트핸들러 및 자세변환장치
KR102145306B1 (ko) * 2014-07-21 2020-08-19 (주)테크윙 전자부품 테스트 장비
KR102273254B1 (ko) * 2015-07-02 2021-07-06 (주)테크윙 테스트핸들러

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100792725B1 (ko) * 2006-01-09 2008-01-11 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법
US8154314B2 (en) 2006-10-04 2012-04-10 Techwing Co., Ltd. Side-docking type test handler and apparatus for transferring test tray for same
KR100777619B1 (ko) * 2007-06-16 2007-11-21 이한석 테스트 핸들러 이송장치
KR100781336B1 (ko) * 2007-08-20 2007-11-30 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법
US9958498B2 (en) 2014-03-03 2018-05-01 Techwing Co., Ltd. Test handler and circulation method of test trays in test handler

Also Published As

Publication number Publication date
KR100194326B1 (ko) 1999-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9519007B2 (en) Handling system for testing electronic components
KR970077466A (ko) 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
US9207272B2 (en) Test handler that rapidly transforms temperature and method of testing semiconductor device using the same
TWI534437B (zh) Electronic device testing equipment for integrated high and low temperature test and its detection method
KR970053345A (ko) 캐리어(carrier) 이송 장치
JP6248372B2 (ja) プローバ
KR940004767A (ko) 프로우브 시스템
JP7413647B2 (ja) 搬送ユニット
KR20120110612A (ko) 핸들러 트레이 및 이를 포함하는 테스트 시스템
US9869715B2 (en) Semiconductor wafer inspection apparatus and semiconductor wafer inspection method
JP2000162272A (ja) モジュ―ルｉｃハンドラ―のキャリアハンドリング装置
KR102041182B1 (ko) 반도체 패키지의 검사 방법
US20130118956A1 (en) Method of testing an object and apparatus for performing the same
JP3780692B2 (ja) Ｉｃ検査装置における温度制御方法
KR100763487B1 (ko) 사이드도킹방식 테스트핸들러의 테스트트레이 이송방법 및사이드도킹방식 테스트핸들러의 작동방법
KR100772446B1 (ko) 사이드도킹 방식 테스트 핸들러의 테스트트레이 이송 방법
TWI576598B (zh) Electronic component testing classifier
JP2000065895A (ja) オートハンドラおよびオートハンドラのキャリアの搬送方法
KR100945215B1 (ko) 테스트 핸들러
JP4863163B2 (ja) Ｔｆｔ基板検査装置
KR100316806B1 (ko) 핸들러 프리 히터부의 테스트 트레이 이송장치
CN217387108U (zh) 一种转运装置
US10096416B2 (en) Magnetizing apparatus and magnetizing method
CN114441931A (zh) 测试设备
US20030200673A1 (en) Cooling device for wafer machine

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
J204 Request for invalidation trial [patent]
J206 Request for trial to confirm the scope of a patent right
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR CONFIRMATION OF THE SCOPE OF RIGHT_DEFENSIVE REQUESTED 20050124

Effective date: 20051229

J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20050124

Effective date: 20051229

J2X1 Appeal (before the patent court)

Free format text: INVALIDATION

Free format text: CONFIRMATION OF THE SCOPE OF RIGHT_DEFENSIVE

J2X2 Appeal (before the supreme court)

Free format text: APPEAL BEFORE THE SUPREME COURT FOR INVALIDATION

J303 Written judgement (supreme court)

Free format text: JUDGMENT (SUPREME COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20061204

Effective date: 20070412

J202 Request for trial for correction [limitation]
J121 Written withdrawal of request for trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20070420

Effective date: 20071023

J2X1 Appeal (before the patent court)

Free format text: INVALIDATION

J202 Request for trial for correction [limitation]
J2X2 Appeal (before the supreme court)

Free format text: APPEAL BEFORE THE SUPREME COURT FOR INVALIDATION

J121 Written withdrawal of request for trial
J202 Request for trial for correction [limitation]
EXTG Extinguishment
J302 Written judgement (patent court)

Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20071121

Effective date: 20080924

J303 Written judgement (supreme court)

Free format text: JUDGMENT (SUPREME COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20081017

Effective date: 20081224

J122 Written withdrawal of action (patent court)
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR CORRECTION REQUESTED 20081029

Effective date: 20090226