KR100412152B1 - 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 등의 디바이스를 상측에서 하측으로 단계적으로 이동시키며 디바이스의 전기적인 테스트를 수행하도록 된 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트에 관한 것으로, 테스트사이트에서의 인덱스타임을 획기적으로 줄일 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 본 발명은, 슬리브로부터 분리되어 하강하는 디바이스를 테스트사이트의 소정위치에서 정지 및 해제시켜주는 스톱퍼; 상기 스톱퍼를 작동시켜주는 스톱퍼 작동부재; 테스트사이트의 일측에서 외부의 테스트장비와 전기적으로 연결되도록 설치되어 상기 디바이스의 리드와 접속 및 해제하는 테스트핀; 상기 테스트핀과 결합하여 테스트핀을 작동시켜주는 핀 작동부재; 상기 스톱퍼 작동부재의 일측에 연접하여 결합된 제 1캠 및; 상기 핀 작동부재의 일측에 연접하여 결합된 제 2캠을 포함하여 구성되어; 상기 제 1캠과 제 2캠의 회전운동에 의해 스톱퍼 작동부재 및 핀 작동부재가 연속적으로 전후진 운동하며 스톱퍼와 테스트핀을 작동시키도록 된 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트를 제공한다.

Description

디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트{Test site of handler for testing device}

본 발명은 디바이스를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 특히 반도체 소자 등의 디바이스를 상측에서 하측으로 단계적으로 이동시키며 디바이스의 전기적인 테스트를 수행하도록 된 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트에 관한 것이다.

통상적으로, 생산라인에서 생산 완료된 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device)들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 된다.

이러한 디바이스를 테스트하는 장비는 수평식 핸들러와 수직식 핸들러로 대별되는데, 수평식 핸들러는 합성수지재의 트레이에 담겨진 디바이스를 상면 또는 하면이 개방된 금속트레이에 수평으로 로딩하여 상기 금속트레이를 공정간에 수평상태로 이송시키면서 수평하게 놓인 테스트부에서 테스트를 실시하도록 된 것이다.

반면에, 수직식 핸들러는 기다란 튜브 형상의 슬리브(sleeve) 내에 테스트하고자 하는 디바이스들을 채워 넣은 상태에서 이를 핸들러의 로딩스택커(loading stacker)에 차례로 적재시켜 놓으면, 이송수단이 로딩스택커에 적재된 슬리브들을 1개씩 분리하여 일정각도 경사지게 함으로써 슬리브 내에서 디바이스들을 자중에 의해 분리하여 수직으로 설치된 테스트사이트(test site)에 연속적으로 공급하며테스트를 수행하도록 된 것이다.

상기와 같은 수직식 핸들러에서는 테스트사이트에 디바이스가 공급되어 위치하게 되면 별도의 접속유닛(connecting unit)이 외부의 테스트장비와 전기적으로 연결된 테스트핀을 상기 디바이스쪽으로 접근시켜 디바이스 리드와 접속시킴으로써 테스트가 수행된다.

그러나, 종래의 수직식 핸들러의 테스트사이트에서는 상기와 같이 테스트핀을 디바이스 쪽으로 접근시켜 주는 접속유닛이 공압실린더에 의해 구동되는 바, 공압실린더의 작동메커니즘 상의 한계로 인하여 인덱스타임을 줄이는데 한계가 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 테스트사이트의 접속유닛을 구동시켜주는 구동수단을 캠방식으로 개선함으로써 디바이스의 인덱스타임을 대폭적으로 줄일 수 있도록 한 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명의 테스트사이트가 적용되는 수직식 핸들러의 구성을 나타낸 측면도

도 2는 본 발명에 따른 테스트사이트의 구조를 나타낸 정면 쪽에서 본 사시도

도 3은 도 2의 테스트사이트의 정면도

도 4는 도 2의 테스트사이트를 후면쪽에서 본 사시도

도 5는 도 2의 테스트사이트의 평면도

도 6은 도 2의 테스트사이트의 캠 형태의 일 실시예를 나타낸 정면도

* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *

30 - 테스트사이트 301- 고정블럭

302 - 가이드트랙 303 - 스톱퍼 작동부재

305 - 스톱퍼 306 - 핀 작동부재

308 - 테스트핀 309 - 지지대 작동부재

310 - 지지대 311 - 제 1캠

312 - 제 2캠 313 - 제 3캠

314 - 축 315 - 전동모터

316 - 롤러

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 슬리브로부터 분리되어 하강하는 디바이스를 테스트사이트의 소정위치에서 정지 및 해제시켜주는 스톱퍼; 상기 스톱퍼를 작동시켜주는 스톱퍼 작동부재; 테스트사이트의 일측에서 외부의 테스트장비와 전기적으로 연결되도록 설치되어 상기 디바이스의 리드와 접속 및 해제하는 테스트핀; 상기 테스트핀과 결합하여 테스트핀을 작동시켜주는 핀 작동부재; 상기 스톱퍼 작동부재의 일측에 연접하여 결합된 제 1캠 및; 상기 핀 작동부재의 일측에 연접하여 결합된 제 2캠을 포함하여 구성되어; 상기 제 1캠과 제 2캠의 회전운동에 의해 스톱퍼 작동부재 및 핀 작동부재가 연속적으로 전후진 운동하며 스톱퍼와 테스트핀을 작동시키도록 된 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트를 제공한다.

이하, 본 발명에 따른 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 테스트사이트가 적용되는 핸들러의 구성을 나타낸 것으로, 핸들러 최상단에는 테스트할 디바이스들이 수납된 복수개의 슬리브들이 적재되는 로딩부(10)가 위치되고, 이 로딩부(10)의 일측에는 로딩부(10)의 슬리브(1)를 1개씩 선회시켜 기울임으로써 슬리브로부터 디바이스들을 자중에 의해 분리시키는 슬리브 선회장치(20)가 설치된다.

핸들러 후방 중간부에는 외부의 테스트장비와 전기적으로 연결된 복수개의 테스트핀(308)을 구비한 테스트사이트(30)가 위치되는데, 이 테스트사이트(30)는 상기 선회장치(20)에 의해 기울어진 슬리브(1)로부터 분리되어 하강하는 디바이스들을 공급받아 하부로 이동시키며 상기 테스트핀(308)에 접속시킴으로써 소정의 테스트를 단계적으로 수행하도록 구성되어 있다.

그리고, 상기 테스트사이트(30)의 하단부에는 테스트사이트(30)로부터 테스트 완료된 디바이스들을 공급받아 테스트 결과에 따라 분류하여 하부에 설치된 복수개의 소팅트랙(50)에 공급하는 소팅부(40)가 설치되어 있다.

상기 소팅트랙(50)들은 각각 하부의 언로딩부(60)에 준비된 빈 슬리브(1)들과 일치하도록 구성되어, 소팅부(40)에 의해 테스트 등급별로 분류된 디바이스들을 각각에 대응하는 빈 슬리브(1)들로 안내하는 역할을 하게 된다.

한편, 도 2 내지 도 5를 참조하여 상기 테스트사이트(30)의 구조를 상세히 살펴보면, 핸들러에 고정된 박스형태의 고정블럭(301)의 전방 일측에 외부의 테스트장비에 전기적으로 연결된 복수개(여기서 4개)의 테스트핀(308)이 구비되어 있고, 상기 고정블럭(301) 전방 중간부분에는 핸들러의 선회장치(20)에 의해 기울어진 슬리브(1)로부터 공급되는 디바이스(2)들을 받아 하측으로 안내하는 가이드트랙(302)이 설치되어 있다.

상기 가이드트랙(302)에는 공급된 디바이스들을 테스트핀(308)과 대응하는 위치에서 정지 및 해제시켜주기 위한 바아형태의 스톱퍼(305)가 가이드트랙(302)을 관통하며 전후진 이동가능하게 설치되어 있는데, 이 스톱퍼(305)는 상기 고정블럭(301)을 관통하며 전후진 이동가능하게 설치된 스톱퍼 작동부재(303)의 전단부에 연결편(304)를 매개로 결합되어, 상기 스톱퍼 작동부재(303)의 전후진 이동에 의해 전후진 이동하며 디바이스(2)들을 정지 및 해제시켜주는 작동을 하게 된다.

상기 테스트핀(308)은 그의 중간부분이 상기 고정블럭(301)을 관통하며 전후진 가능하게 설치된 핀 작동부재(306)의 전단부에 복수개의 지지바아(307)에 의해 결합되어, 상기 핀 작동부재(306)의 전후진 이동에 의해 전후로 이동하며 그의 끝단부가 디바이스(2)의 리드(2a)와 접속 및 해제되도록 되어 있다.

한편, 상기 테스트핀(308)과 결합된 핀 작동부재(306)의 바로 일측에는 상기 테스트핀(308)이 디바이스의 리드(2a)와 접촉되었을 때 디바이스의 리드(2a)가 테스트핀(308)의 순간적인 힘에 의해 후방측으로 젖혀져 구부러지는 것을 방지하기 위하여 디바이스의 리드(2a)를 직후방에서 지지하여 주는 지지대(309)가 설치되는데, 이 지지대(309) 역시 상기 고정블럭(301)을 관통하며 전후진 이동가능하게 설치된 지지대 작동부재(309) 전단부에 고정되게 설치된다.

그리고, 고정블럭(301)의 후방부에는 상기 스톱퍼 작동부재(303)과 핀 작동부재(306) 및 지지대 작동부재(309)를 연속적으로 전후진 구동시키기 위한 구동수단이 위치되는 바, 이 구동수단은 각 작동부재(303, 306, 309)들의 후단부 일측에 형성된 롤러(316)들과 각각 결합되는 캠(311, 312, 313)들과, 상기 캠(311, 312, 313)들을 회동시키는 전동모터(315)로 구성된다.

이해를 돕기 위해 상기 스톱퍼 작동부재(303)의 롤러(미도시)와 결합하는 캠을 제 1캠(311)이라 명하고, 상기 핀 작동부재(306)의 롤러(미도시)와 결합하는 캠을 제 2캠(312), 상기 지지대 작동부재(309)의 롤러(316)와 결합하는 캠을 제 3캠(313)으로 명하여 설명한다.

한편, 상기 캠(311, 312, 313)들은 도 6에 도시된 것과 같이 원반형의 외측판(311a, 312a, 313a)과 이 외측판의 중심에서 외측판 내주면과 함께 상기 롤러(316)가 안내되는 캠홈(311c, 312c, 313c)을 형성하는 내측캠(311b, 312b, 313b)으로 이루어진다.

여기서, 상기 제 1,2,3캠(311, 312, 313)은 전동모터(315)에 동일 축(314)상으로 결합되어 동시에 회전하도록 되어 있는 바, 각 캠(311, 312, 313)들은 상기 스톱퍼(305)와 테스트핀(308) 및 지지대(309)들이 상호 유기적인 동작을 수행하도록 각각 다른 캠 형태를 갖도록 되어 있다.

다시 말해서, 상기 제 1,2,3캠(311, 312, 313)들은, 상기 스톱퍼(305)가 디바이스(2)를 소정 위치에서 정지시킨 동안 테스트핀(308)이 디바이스의 리드(2a)와 접속하고 이 때 지지대(309)가 디바이스의 리드(2a)를 지지할 수 있도록 하기 위하여 상기 스톱퍼 작동부재(303)과 핀 작동부재(306) 및 지지대 작동부재(309)를 정확한 시점에서 전후진 운동시킬 수 있도록 형상을 갖는다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 테스트사이트에서 이루어지는 테스트 동작은 다음과 같이 이루어진다.

핸들러의 선회장치(20)에 의해 기울어진 슬리브(1)로부터 공급되는 디바이스들은 테스트사이트(30)의 가이드트랙(302)으로 유입되어 하측으로 안내된다.

이 때, 테스트사이트(30)의 전동모터(315)에 의해 제 1,2,3캠(311, 312, 313)이 동시에 회전하며 스톱퍼 작동부재(303)과 핀 작동부재(306) 및 테스트핀(308)을 연동시키게 되는데, 상기 가이드트랙(302)으로 유입된 디바이스(2)가 최상단의 첫번째 테스트위치에 도달하게 되면 스톱퍼 작동부재(303)가 후진한 상태로 되어 스톱퍼(305)가 디바이스를 정지시키고, 이어 핀 작동부재(306)가 후진하면서 그의 지지바아(307)에 결합된 테스트핀(308)을 후방으로 선회시킴과 동시에 상기 지지대 작동부재(309)은 전진하여 지지대 작동부재(309)의 지지대(309)가 디바이스 리드(2a)의 직후방에 연접하게 위치된다.

따라서, 상기와 같이 지지대(309)에 의해 디바이스 리드(2a)가 지지되는 상태에서 테스트핀(308)이 첫번째 테스트위치에 정지한 디바이스의 리드(2a)와 접속되어 테스트가 수행되게 된다.

이어, 첫번째 테스트위치에서 디바이스 테스트가 완료되면 핀 작동부재(306)가 전진하면서 테스트핀(308)이 디바이스 리드와 떨어지게 되고 지지대 작동부재(309)은 후진하면서 지지대(309)의 지지력이 해제된다. 이와 동시에 상기 스톱퍼 작동부재(303)가 전진하며 디바이스의 정지 상태를 해제함으로써 디바이스를 아래쪽으로 하강시키게 되고, 이렇게 1차테스트를 거쳐 하강된 디바이스는 전술한 것과 동일한 과정으로 가이드트랙(302)의 두번째 테스트위치에서 스톱퍼(305)에 의해 정지되어 2차 테스트를 거치게 된다.

이 때, 상기 첫번째 테스트위치에서는 다음 디바이스가 정지되어 1차 테스트를 거치게 된다.

전술한 바와 같이, 가이드트랙(302)으로 유입된 디바이스들은 상기와 같은 제 1,2,3캠(311, 312, 313)의 지속적인 회전운동에 의한 스톱퍼(305), 테스트핀(308), 지지대(309)의 작동에 따라 가이드트랙(302)을 따라 하강하면서 수차례(이 실시예에서는 4차)에 걸쳐 원하는 테스트를 연속적으로 받은 후, 테스트사이트(30) 하부의 소팅부(40;도 1참조)로 송출된다.

한편, 상기와 같은 제 1,2,3캠(311, 312, 313)의 회전운동에 의한 각 작동부재(303, 306, 309)의 전후진작동이 적절한 이동범위 내에서 적시에 일어나도록 하기 위해서는 각 테스트위치에서의 테스트시간을 고려하여 상기 제 1,2,3캠(311,312, 313)들의 캠홈(311c, 312c, 313c)의 궤적을 적절히 설계해야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 테스트사이트에서의 각 부재들의 구동방식을 살펴보면, 전동모터(315)에 의해 빠른 속도로 지속적으로 회전하는 제 1,2,3캠(311, 312, 313)에 의해 각 작동부재(303, 306, 309)들이 정해진 순서에 따라 연속적으로 전후진작동하며 디바이스를 테스트하게 되므로, 기존의 공압실린더에 의해 테스트핀과 디바이스 리드가 접속되는 구동방식에 비해 현저히 인덱스타임을 줄일 수 있게 되고, 이에 따라 테스트효율이 향상되는 효과를 얻게 된다.

Claims (4)

1. 테스트 사이트에 고정되게 설치되는 고정블럭과;

   상기 고정블럭의 일편에 수직하게 설치되어 슬리브로부터 분리되어 하강하는 디바이스를 하부로 안내하는 가이드트랙과;

   상기 가이드트랙으로 안내되는 디바이스를 가이드트랙의 소정위치에서 정지 및 해제시켜주는 스톱퍼와;

   일단이 상기 스톱퍼와 결합되고 타단이 상기 고정블럭의 반대편에 위치되도록 상기 고정블럭을 관통하여 전후진 이동이 가능하게 설치되어, 전후진 동작에 의해 상기 스톱퍼를 작동시켜주는 스톱퍼 작동부재와;

   상기 고정블럭의 일편에서 외부의 테스트장비와 전기적으로 연결되도록 설치되어 일단부가 소정량 선회하며 상기 디바이스의 리드와 접속 및 해제되는 복수개의 테스트핀과;

   일단이 상기 테스트핀과 결합되고 타단이 상기 고정블럭의 반대편에 위치되도록 고정블럭을 관통하여 전후진 이동 가능하게 설치되어, 전후진 동작에 의해 상기 테스트핀을 선회 작동시키는 핀 작동부재와;

   상기 고정블럭의 반대편에서 상기 스톱퍼 작동부재와 결합되도록 설치되어 회전운동에 의해 상기 스톱퍼 작동부재를 전후진 작동시키는 제 1캠과;

   상기 고정블럭의 반대편에서 상기 핀 작동부재와 결합되도록 설치되어, 회전운동에 의해 상기 핀 작동부재를 전후진 작동시키는 제 2캠과;

   상기 제 1캠과 제 2캠을 회전 구동시키는 회동수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트.
2. 제 1항에 있어서, 고정블럭의 일편에 설치되어 상기 테스트핀과 디바이스의 리드가 접속되었을 때 디바이스의 리드가 밀리지 않도록 지지하는 지지대와, 상기 일단에 상기 지지대가 고정되고 타단이 고정블럭 반대편에 위치되도록 상기 고정블럭을 관통하여 전후진 가능하게 설치되는 지지대 작동부재와, 상기 고정블럭의 반대편에서 상기 지지대 작동부재와 결합되도록 설치되어 회전운동에 의해 지지대 작동부재를 전후진 이동시키는 제 3캠을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트.
3. 제 2항에 있어서, 제 1캠과 제 2캠 및 제 3캠은 동축상으로 연결되어 하나의 구동모터에 의해 동시 회전하도록 된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트.
4. 제 1항에 있어서, 상기 스톱퍼 작동부재와 핀 작동부재의 일단부에 상기 제 1캠 및 제 2캠과 결합되는 롤러가 구비되고;

   상기 제 1캠과 제 2캠은, 원반형의 외측판과, 이 외측판의 내주면과 함께 상기 각 작동부재의 롤러가 결합되어 안내되는 궤적을 형성하는 캠홈을 형성하도록 상기 외측판의 중심에 일체로 형성되는 내측캠으로 구성된 것을 특징으로 하는 디바이스 테스트 핸들러의 테스트사이트.