KR20000055999A

KR20000055999A - 인라인 설비 시스템 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR20000055999A
Application number: KR1019990004980A
Authority: KR
Inventors: 변성준; 안종범; 허민영; 윤형진
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1999-02-12
Filing date: 1999-02-12
Publication date: 2000-09-15
Also published as: JP2000235942A; CN1129167C; TW466386B; KR100325663B1; CN1263278A; US6606524B1

Abstract

본 발명의 인라인 설비 시스템은 다수의 인라인 설비, 호스트, 다수의 설비 컨트롤러, 마스터 컨트롤러를 포함하며, 다수의 인라인 설비는 기판에 대하여 각각 소정의 작업을 차례대로 수행하고, 호스트는 설비에서 수행될 기판 정보 및 설비에서의 작업 정보를 저장하고 있고, 다수의 설비 컨트롤러는 기판 정보 및 작업 정보에 따라 다수 설비에서의 기판의 작업을 각각 제어하며, 서로 통신을 통해 연결되어 기판에 대한 정보를 서로 공유하고, 호스트는 다수의 설비 컨트롤러와 연결되어 다수의 설비 컨트롤러를 제어하고 설비에서 수행되는 작업 정보를 설비 컨트롤러로부터 수신하여 호스트로 전송하며, 호스트로부터의 기판 정보 및 작업 정보를 해당 설비 컴트롤러로 전송하고, 본 발명의 인라인 설비 시스템 및 제어 방법을 따르면, 인라인 설비의 제어를 용이하게 하고, 인라인 설비의 신뢰도를 높일 수 있다.

Description

인라인 설비 시스템 및 그 제어 방법{a system of in-line equipments and a controlling method thereof}

본 발명은 인라인(in line) 설비 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 더 자세히 말하면 반도체 또는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display : 이하 'TFT-LCD'라 칭함) 등의 마이크로 일렉트로닉 장치(micro electronic device)를 제조하기 위한 인라인 설비를 제어하는 장치 및 제어 방법에 관한 것이다.

이하에서는 TFT-LCD 제조에 사용되는 종래의 인라인 설비에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도1은 7대의 설비로 구성된 종래의 인라인 설비의 전체 시스템을 도시한 것이다.

종래의 인라인 설비는 다수의 설비(LOADER, EQ1-EQ5, UNLOADER)와 각 설비를 제어하는 컨트롤러(CONT-L, CONT-1~5, CONT-U)로 구성되어 있다.

도1에 도시된 바와 같이, 인라인 설비는 각각 기판에 대하여 소정의 작업을 수행하는 다수의 설비(LOADER, EQ1-EQ5, UNLOADER)가 직렬로 연결되어 있으며, 작업물(예컨대, 기판)이 이 다수의 설비를 거쳐 차례대로 작업이 진행되는 설비를 말한다.

단독 설비의 경우 단독으로 하나의 설비만을 제어하면 되므로, 그 설비를 제어하는 것이 용이하며, 또한 설비와 설비를 제어하는 상위 장치간의 통신을 하는 것이 용이하고, 상호 교환되는 데이터의 신뢰성도 높다.

반면, 인라인 설비의 경우 다수의 설비 사이의 데이터의 교환과 설비와 설비를 제어하는 상위 장치간의 정보 교환이 용이하지 않을 뿐만 아니라, 그 정보의 신뢰성도 낮은 문제점이 있다.

또한, 인라인 설비의 경우 각 설비에서 다음 설비로만 데이터를 전송하기 때문에 이전 설비와 다음 설비를 양방향으로 제어하기가 힘든 어려움이 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 인라인 설비의 설비사이의 정보를 공유하여 인라인 설비의 제어를 용이하게 하고, 인라인 설비의 신뢰도를 높이기 위한 것이다.

도1은 종래의 인라인 설비의 전체 시스템을 도시한 것이고,

도2는 본 발명의 실시예를 따른 인라인 설비 제어 장치를 도시한 것이고,

도3은 본 발명의 실시예의 마스터 컨트롤러와 설비 컨트롤러 사이의 통신방법을 도시한 것이고,

도4는 본 발명의 실시예의 마스터 컨트롤러와 설비 컨트롤러 사이의 타임 아웃 프로세스를 도시한 것이고,

도5는 본 발명의 실시예의 병렬 입출력 장치의 상세도이고,

도6은 본 발명의 실시예의 상하류 설비에서 기판 LOT의 시작과 끝을 인식하는 과정을 도시하였다.

본 발명의 인라인 설비 시스템은 다수의 인라인 설비, 호스트, 다수의 설비 컨트롤러, 마스터 컨트롤러를 포함하며, 다수의 인라인 설비는 기판에 대하여 각각 소정의 작업을 차례대로 수행하고, 호스트는 설비에서 수행될 기판 정보 및 설비에서의 작업 정보를 저장하고 있고, 다수의 설비 컨트롤러는 기판 정보 및 작업 정보에 따라 다수 설비에서의 기판의 작업을 각각 제어하며, 서로 통신을 통해 연결되어 기판에 대한 정보를 서로 공유하고, 호스트는 다수의 설비 컨트롤러와 연결되어 다수의 설비 컨트롤러를 제어하고 설비에서 수행되는 작업 정보를 설비 컨트롤러로부터 수신하여 호스트로 전송하며, 호스트로부터의 기판 정보 및 작업 정보를 해당 설비 컨트롤러로 전송한다.

마스트 컨트롤러와 설비 컨트롤러는 프로그래머블 로직 컨트롤러로 구성되는 것이 바람직하며,

또한, 호스트에 연결되어 설비에서 수행되는 작업 정보를 설비로부터 전송받아 업데이트하여 호스트로 전송하고 호스트로부터 설비에서 수행되는 작업에 관한 정보를 전송받아 설비에 로드된 기판의 작업 가능 여부에 대한 판단을 수행하고 이를 설비로 전송하는 설비서버를 더 포함할 수 있으며,

마스터 컨트롤러와 설비서버 사이에 연결되어 설비서버에서 전송된 정보를 마스터 컨트롤러가 인식할 수 있는 정보형태로 변환하고, 마스터 컨트롤러에서 전송된 정보를 설비서버가 인식할 수 있는 정보형태로 변환하는 핸들러를 더 포함할 수 있고,

다수의 설비 컨트롤러는 호스트로부터 전송되는 기판정보를 링크 모듈을 통해 서로 공유하며, 이전 설비 컨트롤러로부터 이전 설비에서 작업이 수행된 작업정보를 직렬 또는 병렬 또는 직/병렬 입출력 장치를 통해 전송 받는 것이 바람직하다.

다수의 설비 컨트롤러 사이, 상기 설비와 상기 마스터 컨트롤러 사이 각각은 케이블로 연결되고, 상기 케이블을 통해 작업에 관한 정보를 링크 모듈에 의해 전송할 수 있다.

본 발명의 인라인 설비 시스템의 제어 방법은 기판에 대하여 각각 소정의 작업을 차례대로 수행하는 다수의 인라인 설비, 각각 상기 다수 설비의 기판의 작업을 각각 제어하며 서로 통신으로 연결되는 다수의 설비 컨트롤러, 상기 설비에서 수행될 기판 정보 및 작업 정보를 저장하고 있는 호스트를 포함하며, 제1설비에 기판이 로딩되었음을 설비 컨트롤러를 통해 상기 호스트로 전송하는 제1단계, 호스트로부터 기판 정보 및 제1설비에서의 작업 정보를 전송받아, 제1설비에서의 작업을 수행하는 제2단계, 제1설비에서의 작업 후에 기판을 제2설비로 이송하며, 제1설비에서 작업이 수행된 기판에 관한 정보를 제1설비의 설비 컨트롤러로부터 제2설비의 설비 컨트롤러로 전송하는 제3단계, 제1설비의 설비 컨트롤러로부터 수신되는 기판 정보와 호스트로부터 수신되는 제2설비의 작업 정보를 수신하여, 제2설비에서의 작업을 제어하는 제4단계를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 제1단계 내지 제4단계를 반복하는 제5단계를 더 포함할 수 있으며,

인라인 설비 시스템은 상기 호스트로부터 기판 정보 및 작업 정보를 수신하여 해당 설비 컨트롤러로 전송하는 마스터 컨트롤러를 더 포함하고, 다수의 설비 컨트롤러와 마스터 컨트롤러는 통신망을 통해 상기 기판 정보를 공유하는 것이 바람직하다.

제3단계에서 기판을 제2설비로 이송하는 것은, 설비에서 기판 집합 단위의 시작 신호의 유무를 확인하는 단계, 설비에서 기판 집합 단위의 끝 신호의 유무를 확인하는 단계를 포함하는 것이 바람직하며,

또한, 기판을 제2설비로 이송하는 것은 기판 집합 단위의 시작 신호가 있으면, 기판 집합 단위의 시작점을 인식하고 이를 다음 설비로 상기 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계, 기판 집합 단위의 끝 신호가 있으면, 기판 집합 단위의 끝점을 인식하고 이를 다음 설비로 상기 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계를 더 포함할 수 있으며,

기판 집합 단위 시작 신호가 없으면 이전에 작업이 진행 완료된 기판 집합 단위의 마지막 기판의 다음 기판을 기판 집합 단위의 시작으로 인식하고 이를 다음 설비로 직렬 또는 병렬 또는 직/병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계, 기판 집합 단위의 끝 신호가 없으면 다음에 작업이 진행될 기판 집합 단위의 최초 기판의 이전 기판을 기판 집합 단위의 끝으로 인식하고 이를 다음 설비로 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하며,

기판 집합 단위의 시작 신호와 기판 집합 단위의 끝 신호가 없으면 기판 집합 단위 ID와 기판 카셋트 ID로 기판 집합 단위의 시작과 끝을 구분하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

이하에서는 본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 실시예를 따른 인라인 설비 제어 장치를 도시한 것이다.

본 발명의 인라인 설비 제어 장치는 다수의 설비(LOADER, EQ11-EQ15, UNLOADER), 다수의 설비 컨트롤러(CONT-L, CONT-1~CONT-5, CONT-U), 마스터 컨트롤러(10), 핸들러(20), 설비 서버(30), 호스트(40)를 포함한다.

다수의 설비(LOADER, EQ11-EQ15, UNLOADER)는 각각 직렬로 연결되어 있고, 기판에 대한 일련의 작업을 수행한다. 도2에서, 다수의 설비중 첫 번째 설비는 작업물을 로딩하기 위한 로터(LOADER)이며, 마지막 설비중 첫 번째 설비는 작업물을 로딩하기 위한 로더(LOADER)이며, 마지막 설비는 작업물을 언로딩하는 언로더(UNLOADER)이다. 도2에서, 작업 대상물은 로더에 로딩된 후, 차례로 설비(EQ1~EQ5)로 이송되어 소정의 작업이 수행된 후, 최종적으로 언로더에 언로딩된다. 이와 같은 인라인 설비에서 작업 대상물은 한쪽 방향, 즉 로더쪽에서 언로더쪽으로만 진행된다. 다수의 설비 컨트롤러(CONT-L, CONT-1~CONT-5, CONT-U)는 각각 설비에 연결되어 각 설비의 작업을 제어한다. 설비 컨트롤러사이는 병렬 입출력 장치(parallel input output, PIO, 도2에서는 점선으로 표시) 또는 직렬 또는 직/병렬 입출력 장치로도 연결될 수 있다. 또한, 설비 컨트롤러 사이는 케이블 또는 무선통신으로 연결될 수 있다. 마스터 컨트롤러(10)는 설비 컨트롤러중 최상류와 최하류의 설비 컨트롤러(CONT-L, CONT-U)와 케이블로 연결되어 있으며, 설비 컨트롤러를 제어한다. 핸들러(20)는 마스터 컨트롤러(10)와는 RS-232C 케이블로 연결되어 있고, 설비 서버(30)와도 연결되어 마스터 컨트롤러(10)와 설비서버(30)에서 전송하는 정보를 각각의 형태에 맞게 변환한다. 설비서버(30)는 호스트(40)와 근거리 통신망(local area network, LAN)으로 연결되고, 호스트(40)는 설비에서 수행하는 작업과 작업물에 관한 정보를 저장한다.

이하에서는 본 발명의 실시예의 동작에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

기판이 설비에 로드되면, 설비는 새로운 기판이 도착했음을 설비 컨트롤러에 전송한다. 또한, 기판에 관한 정보인 기판의 ID, 기판 집합 단위(이하 'LOT'라 칭함) ID, 설비에 관한 정보인 설비의 상태, 설비의 ID 등을 설비 컨트롤러에 전송한다.

설비 컨트롤러는 설비에서 전송되어온 정보를 마스터 컨트롤러(10)로 케이블을 통해 전송하고, 마스터 컨트롤러(10)는 설비 컨트롤러에서 전송되어온 정보를 핸들러(20)로 전송한다.

마스터 컨트롤러(10)는 다수의 설비 컨트롤러(CONT-L, CONT-1~CONT-5, CONT-U)가 정보를 공유할 수 있도록 묶어 주는 역할을 하며, 마스터 컨트롤러와 다수의 설비 컨트롤러는 광 케이블로 연결되어 있고, 무선 통신으로 통신할 수도 있으며, 링크(LINK) 모듈이라는 프로토콜에 따라 통신한다. 링크 모듈과 마스터 컨트롤러(10)와 다수의 설비 컨트롤러(CONT-L, CONT-1~CONT-5, CONT-U) 사이의 통신 방법에 대해서는 뒤에서 설명한다.

한편, 마스트 컨트롤러(10)와 설비 컨트롤러(CONT)는 프로그래머블 로직 컨트롤러(programmable logic controller: PLC)로 구성되는 것이 바람직하다.

핸들러(20)는 마스터 컨트롤러(10)에서 전송되어 온 정보를 설비서버(30)가 인식할 수 있는 정보 형태로 변환한다. 즉, 마스터 컨트롤러(10)는 이진 데이터(binary data) 또는 아스키 코드(ASCII code)형태로 정보를 처리하고, 설비서버는 텍스트(text) 데이터형태로 정보를 처리하는데, 핸들러(20)는 정보를 업 로드시킬 때와 다운 로드 시킬 때 마스터 컨트롤러(10)와 설비 서버(30) 각각에 적합한 정보형태로 변환한다. 이 때, 마스트 컨트롤러(10)와 설비 서버(30)가 처리하는 정보형태는 다른 형태를 사용할 수도 있다. 핸들러(20)와 마스터 컨트롤러(10)는 RS-232C로 연결된다. 이 때, 무선 통신으로도 연결될 수도 있다.

설비서버(30)는 핸들러(20)로부터 설비에서의 작업 정보를 전송받아 당해 정보를 호스트(40)로 전송하고, 호스트(40)는 호스트(40)에 저장되어 있는 작업 정보를 설비서버로 전송한다. 설비서버(30)는 호스트(40)에 저장되어 있는 작업 정보와 핸들러(20)로부터 전송받은 설비(EQ)에서의 작업정보를 분석하고, 설비에서 대기중인 기판이 작업 가능한 대상물인지를 판단하고 작업 개시 여부를 결정하고, 이에 대한 명령을 핸들러(20)로 전송한다.

핸들러(20)에서는 설비서버(30)로부터 전송받은 정보를 분석하여 마스터 컨트롤러(10)에 적합한 이진 데이터 또는 아스키 코드로 변환하여 마스터 컨트롤러(10)로 전송한다.

마스터 컨트롤러(10)에 명령이 전송되면 마스터 컨트롤러와 다수의 설비 컨트롤러는 링크 모듈에 의해 정보를 공유하고 있으므로, 해당 설비 컨트롤러는 마스터 컨트롤러(10)에 전송된 명령을 인식한다. 이 명령에 따라 설비에게 작업 명령을 내린다. 설비는 이 명령에 따라 작업을 수행하고, 그 결과를 다시 상기한 경로와 같이 호스트(40)로 보고한다.

이하에서는 마스터 컨트롤러와 다수의 설비 컨트롤러가 정보를 공유하고 통신하는 방법에 대해 설명한다.

마스터 컨트롤러(10)와 설비 컨트롤러는 링크 모듈이라는 프로토콜에 따라 정보를 전송하는데, 링크 모듈은 메모리를 서로 공유하고 전송하고자 하는 정보를 공유하고 있는 메모리에 저장하고, 그 주소를 상대방에게 알려져서 상대방이 저장된 메모리 주소에서 정보를 읽어들여 정보를 전송하는 통신 방법을 말한다.

도3은 마스터 컨트롤러와 설비 컨트롤러에 정보를 전송할 때의 동작원리를 도시한 것이다.

도3의 (a)는 마스터 컨트롤러에서 설비 컨트롤러로 명령을 전송할 때의 마스트 컨트롤러의 동작이고, 도3의 (b)는 설비 컨트롤러에서 마스터 컨트롤러로 명령을 전송할 때의 설비 컨트롤러의 동작이다.

도3의 (가)와 (나)는 전송되는 정보를 나타내고, (다)와 (라)는 마스트 컨트롤러와 설비 컨트롤러의 송수신 상황을 알리는 릴레이 플래그(relay flag)의 동작을 나타낸 것이다.

마스터 컨트롤러(10)가 설비 컨트롤러로 명령을 전송할 때의 동작은 다음과 같다.

마스터 컨트롤러(10)와 설비 컨트롤러(CONT)는 메모리를 공유하는데, 마스터 컨트롤러(10)는 핸들러(20)에서 전송되어 온 명령을 마스터 컨트롤러(10)의 메모리에 저장한다. 그런 다음, 도3의 (a)에 도시된 바와 같이, 마스트 컨트롤러(10)는 핸들러(20)에서 전송되어 온 명령을 저장하고 메모리의 주소와 정보(가)를 가지고 있는 릴레이 플래그(relay flag)를 온(on)시켜 설비 컨트롤러(CONT)에게 알린다. (나) 그러면, 설비 컨트롤러(CONT)는 마스터 컨트롤러(10)로부터 전송받은 메모리의 주소의 정보를 읽어 들인다.(다) 그런 다음, 도3의 (b)에 도시된 바와 같이, 메모리에 저장된 정보를 읽었음을 알리기 위해 설비 컨트롤러(CONT)는 릴레이 플래그를 온시킨다.(라) 마스트 컨트롤러(10)는 설비 컨트롤러(CONT)의 릴레이 플래그 온신호를 전송 받고 난 후, 릴레이 플래그를 오프(off)시켜 정보 전송동작이 끝났음을 알린다. 설비 컨트롤러(CONT)는 마스트 컨트롤러(10)의 릴레이 플래그 오프 신호를 입력받고 설비 컨트롤러의 정보 수신 동작도 끝났음을 알리는 릴레이 플래그를 오프시킨다.

이상에서 설명한 것은 마스트 컨트롤러로부터 설비 컨트롤러로 정보를 전송할 때의 통신 방식을 설명한 것인데, 설비 컨트롤러로부터 마스트 컨트롤러로 정보를 전송할 때에도 같은 방식으로 행해진다. 즉, 도3의 괄호친 부분과 같이 도3의 (a)의 마스트 컨트롤러가 설비 컨트롤러로 바뀌고, 도3의 (b)가 설비 컨트롤러가 마스트 컨트롤러로 바뀌고, 그 동작은 위에서 설명한 것과 같은 방식이다.

이상과 같은 과정을 거쳐 상호 통신을 수행한다.

한편, 마스터 컨트롤러(10)와 설비 컨트롤러 사이의 통신 과정 중의 오동작을 방지하기 위해 타임 아웃(time out) 프로세스(process)를 수행한다.

도4는 마스터 컨트롤러와 설비 컨트롤러 사이의 타임 아웃 프로세스를 도시한 것이다.

타임 아웃 프로세스는 다음과 같다. 마스터 컨트롤러(10)에서 설비 컨트롤러로 정보를 전송하는 경우를 예롤 들어 설명한다. 도4에 도시된 바와 같이, 마스터 컨트롤러(10)는 정보를 메모리에 라이트(write)한 후 설비 컨트롤러로 정보를 전송한 후 마스터 컨트롤러(10)를 온한다.(①) 마스터가 온된후에 시간을 체크한다.(②) 설비 컨트롤러는 마스터 컨트롤러(10)의 명령에 대해 ACK신호(응답 신호)를 전송한다.(③) 마스터 컨트롤러(10)는 일정시간내에 ACK신호가 오지 않으면 자동으로 오프되는 타임아웃동작을 하거나, 일정시간내에 ACK신호가 오면 오프한다.(④) 설비 컨트롤러는 온된 이후의 시간을 체크하고 일정시간내에 마스터 컨트롤러로부터 ACK신호가 오면 오프하고, 일정 시간내에 ACK 신호가 오지 않으면 타임 아웃동작을 한다.(⑤)

이와 같은 타임 아웃 프로세스에 의해 마스터 컨트롤러와 설비 컨트롤러중 어느 한쪽의 문제로 ACK신호를 받지 못할 경우 오동작을 방지할 수 있다.

다시 설비에서의 작업 수행과정을 설명한다.

설비에서 명령에 따라 작업을 완료하면, 작업의 완료를 설비 컨트롤러로 보고하고, 설비 컨트롤러는 위에서 설명한 과정과 같이 호스트로 작업 완료 정보를 전송한다. 설비 서버는 작업 완료 정보를 전송 받고, 호스트의 저장된 정보를 기초로 비교한 후 다음 설비로 기판을 로드하라는 명령을 내린다.

다음 설비로의 로드 명령을 받으면 설비는 기판과 함께 기판과 작업에 관련된 정보를 다음 설비로 전송한다.

설비간의 정보 전송은 설비 컨트롤러를 통해서 전송하는데, 설비 컨트롤러의 정보 전송은 케이블을 통한 링크 모듈에 의한 전달 방법과 병령 입출력 장치를 통한 전달 방법이 있다.

링크 모듈에 의해 전송되는 정보는 기판의 품종, 기판 LOT ID, 기판의 수량, 작업이 시작된 카셋트 ID, 기판의 ID, 기판의 등급, 기판의 종류 등의 기판에 관한 정보와 작업이 시작되는 설비의 번호 등의 정보가 전송된다. 링크 모듈에 의한 전송방법은 전술한 바와 같다.

병렬 입출력 장치(PIO)를 통해 전송되는 정보는 상류측과 하류측 설비의 송수신에 관한 정보, 작업대상물 LOT의 시작과 끝에 관한 정보, 기판 카셋트의 기판의 수 등의 정보를 전송한다.

한편, 병렬 입출력 장치(PIO)를 대신해 직렬 입출력 장치 또는 직/병렬 입출력 장치를 이용할 수도 있다.

이하에서는 병렬 입출력 장치(PIO)의 정보 전송 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도5는 병렬 입출력 장치의 상세도이다.

도5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 병렬 입출력 장치는 24개의 핀을 갖고 상류 설비와 하류 설비를 하드웨어적으로 인터페이스(interface)시키는 컨텍터이다. 여기서, 병렬 입출력 장치의 핀수는 여기에 한정되는 것이 아니라 필요에 따라 변형할 수 있다.

도5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 병렬 입출력 장치의 핀을 통해 다음과 같은 정보가 전송된다.

병렬 입출력 장치(PIO)는 핀(2~5)를 통해서 하류측에서 상류측으로 보내는 정보로 하류측에서 상류측에서 기판을 보내면 수신 가능한지 여부, 기판의 배출 정지 요구 신호, 기판의 수취완료 여부의 신호를 보낸다.

핀(6~7)을 통해서는 상류측에서 하류측으로 기판의 품종에 관한 정보를 전송한다.

핀(14~18)을 통해서는 기판 카셋트내의 기판의 수를 상류측에서 하류측으로 전송한다.

핀(19~23)를 통해서는 상류측에서 하류측으로 기판의 배출과 배출정지 신호, 기판 LOT의 시작과 끝에 관한 정보가 전송된다.

여기서, 핀의 개수나 핀을 통해 전송되는 정보는 본 발명의 기술적 범위 내에서 다양한 변화가 가능하다.

이상과 같은 인라인 설비 제어장치를 따르면 인라인 설비 제어의 신뢰도를 높일 수 있다.

이하에서는 위에서 설명한 병렬 입출력 장치를 이용해 상하류 설비에서 기판 LOT의 시작과 끝을 인식하는 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도6은 상하류 설비에서 기판 LOT의 시작과 끝을 인식하는 과정을 도시하였다.

인라인 설비의 경우 로드(LOADER)와 언로드(UNLOADER) 사이에 복수의 기판 LOT가 설비에서 작업이 진행중이다. 그런데, 먼저 진행되는 기판 LOT가 작업을 완료하여 언로딩되기 전에 다음 기판 LOT가 투입되므로 기판 LOT의 시작과 끝의 구분이 명확하지 않을 경우 기판 LOT가 섞이는 문제점이 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 다음과 같은 작업을 수행한다.

도5에 도시된 바와 같이, 로드(LOADER)에서 최초로 투입되는 기판은 LOT START 신호와 함께 다음 설비로 이송되고, 마지막으로 투입되는 기판은 LOT END 신호와 함께 다음 설비로 이송된다. LOT START 신호와 LOT END 신호는 본 실시예에서는 위에서 설명한 병렬 입출력 장치를 통해 전송된다.

본 실시예에서는 이 LOT START 신호와 LOT END 신호의 유무를 기초로 기판 LOT의 시작과 끝을 구분한다.

정상적인 경우, 임의의 설비(EQ-I+n)에서 LOT START 신호가 있으면 그 신호가 있을 때 LOT의 시작점임을 알 수 있고, LOT END 신호가 있으면 그 신호가 있을 때 LOT의 끝점임을 알 수 있다.

LOT START 신호가 없는 경우 먼저 작업이 진행된 LOT의 마지막 기판 다음의 작업대상물을 LOT START 로 인식한다.

LOT END 신호가 없는 경우에는 다음에 진행될 LOT의 START가 오면 그 이전에 작업한 기판을 LOT END로 인식한다.

LOT START 와 LOT END가 동시에 없으면 LOT ID 와 카셋트 ID로 구분하여 LOT START 와 END를 인식한다.

이상과 같은 동작에 의해 기판 LOT의 시작과 끝을 인식할 수 있다.

본 발명은 이상에서 설명한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 인라인 설비로 제조하는 다양한 기판에 적용이 가능하며, 설비의 수, 전송되는 정보의 종류에서도 다양한 변형이 가능하다.

본 발명의 인라인 설비 제어 장치 및 제어 방법을 따르면, 인라인 설비의 제어를 용이하게 하고, 인라인 설비의 신뢰도를 높일 수 있다.

Claims

기판에 대하여 각각 소정의 작업을 차례대로 수행하는 다수의 인라인 설비,

상기 설비에서 수행될 기판 정보 및 설비에서의 작업 정보를 저장하고 있는 호스트,

상기 기판 정보 및 상기 작업 정보에 따라 상기 다수 설비에서의 기판의 작업을 각각 제어하며, 서로 통신을 통해 연결되어 상기 기판에 대한 정보를 서로 공유하는 다수의 설비 컨트롤러,

상기 다수의 설비 컨트롤러와 연결되어 상기 다수의 설비 컨트롤러를 제어하고 상기 설비에서 수행되는 작업 정보를 상기 설비 컨트롤러로부터 수신하여 상기 호스트로 전송하며, 상기 호스트로부터의 기판 정보 및 작업 정보를 해당 설비 컴트롤러로 전송하는 마스터 컨트롤러를 포함하는 인라인 설비 시스템.
제1항에서,

상기 마스트 컨트롤러와 상기 설비 컨트롤러는 프로그래머블 로직 컨트롤러로 구성되는 인라인 설비 시스템.
제1항에서,

상기 호스트에 연결되어 설비에서 수행되는 작업 정보를 상기 설비로부터 전송받아 업데이트하여 호스트로 전송하고 호스트로부터 설비에서 수행되는 작업에 관한 정보를 전송받아 설비에 로드된 기판의 작업 가능 여부에 대한 판단을 수행하고 이를 설비로 전송하는 설비서버를 더 포함하는 인 라인 설비 시스템.
제3항에서,

상기 마스터 컨트롤러와 상기 설비서버 사이에 연결되어 상기 설비서버에서 전송된 정보를 상기 마스터 컨트롤러가 인식할 수 있는 정보형태로 변환하고, 상기 마스터 컨트롤러에서 전송된 정보를 상기 설비서버가 인식할 수 있는 정보형태로 변환하는 핸들러를 더 포함하는 인 라인 설비 제어 시스템.
제1항에서,

상기 다수의 설비 컨트롤러는,

호스트로부터 전송되는 상기 기판정보를 링크 모듈을 통해 서로 공유하며, 이전 설비 컨트롤러로부터 이전 설비에서 작업이 수행된 작업정보를 병렬 입출력 장치를 통해 전송 받는 것을 특징으로 하는 인라인 설비 시스템.
제5항에서,

상기 기판 정보는,

작업이 시작된 로드, 카셋트, 기판 집합 단위, 기판의 종류와 등급을 포함한 정보인 인라인 설비 시스템.
제5항에서,

상기 작업 정보는,

상,하류 설비의 기판의 수신상황, 기판의 정보, 기판 집합 단위의 시작과 종료에 관한 정보를 설비간에 전송하는 인라인 설비 시스템.
제1항에서,

상기 다수의 설비 컨트롤러 사이, 상기 설비 컨트롤러와 상기 마스터 컨트롤러 사이 각각은 케이블로 연결된 인라인 설비 시스템.
제8항에서,

상기 마스터 컨트롤러와 케이블로 연결된 설비 컨트롤러는 최상류 설비와 최하류 설비 컨트롤러인 인라인 설비 제어 장치.
기판에 대하여 각각 소정의 작업을 차례대로 수행하는 다수의 인라인 설비, 각각 상기 다수 설비의 기판의 작업을 각각 제어하며 서로 통신으로 연결되는 다수의 설비 컨트롤러, 상기 설비에서 수행될 기판 정보 및 작업 정보를 저장하고 있는 호스트를 포함하는 인라인 시스템의 제어 방법에서,

상기 제1설비에 기판이 로딩되었음을 상기 설비 컨트롤러를 통해 상기 호스트로 전송하는 제1단계;

상기 호스트로부터 상기 기판 정보 및 상기 제1설비에서의 작업 정보를 전송받아, 상기 제1설비에서의 작업을 수행하는 제2단계;

상기 제1설비에서의 작업 후에 상기 기판을 제2설비로 이송하며, 상기 제1설비에서 작업이 수행된 기판에 관한 정보를 상기 제1설비의 설비 컨트롤러로부터 상기 제2설비의 설비 컨트롤러로 전송하는 제3단계;

상기 제1설비의 설비 컨트롤러로부터 수신되는 상기 기판 정보와 상기 호스트로부터 수신되는 상기 제2설비의 작업 정보를 수신하여, 상기 제2설비에서의 작업을 제어하는 제4단계를 포함하는 인라인 설비 시스템의 제어방법.
제10항에서,

상기 제1단계 내지 상기 제4단계를 반복하는 제5단계를 더 포함하는 인라인 설비 시스템의 제어방법.
제10항에서,

상기 인라인 설비 시스템은 상기 호스트로부터 상기 기판 정보 및 작업 정보를 수신하여 해당 설비 컨트롤러로 전송하는 마스터 컨트롤러를 더 포함하며,

상기 다수의 설비 컨트롤러와 상기 마스터 컨트롤러는 통신망을 통해 상기 기판 정보를 공유하는 것을 특징으로 하는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.
제10항에서,

상기 기판 정보는,

작업이 시작된 로드, 카셋트, 기판 집합 단위, 기판의 종류와 등급을 포함한 정보이고, 링크 모듈을 통해 상기 기판 정보를 전송하는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.
제10항에서,

상기 작업 정보는,

상,하류 설비의 기판의 수신상황, 기판의 정보, 기판 집합 단위의 시작과 종료에 관한 정보를 포함한 정보이고, 상기 작업 정보는 상기 설비 컨트롤러 사이에 연결된 병렬 입출력 장치를 통해 전송되는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.
제10항에서,

상기 제3단계에서 기판을 제2설비로 이송하는 것은,

설비에서 기판 집합 단위의 시작 신호의 유무를 확인하는 단계;

설비에서 기판 집합 단위의 끝 신호의 유무를 확인하는 단계를 포함하는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.
제15항에서,

기판 집합 단위의 시작 신호가 있으면, 기판 집합 단위의 시작점을 인식하고 이를 다음 설비로 상기 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계;

기판 집합 단위의 끝 신호가 있으면, 기판 집합 단위의 끝점을 인식하고 이를 다음 설비로 상기 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계를 더 포함하는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.
제16항에서,

기판 집합 단위 시작 신호가 없으면 이전에 작업이 진행 완료된 기판 집합 단위의 마지막 기판의 다음 기판을 기판 집합 단위의 시작으로 인식하고 이를 다음 설비로 상기 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계;

기판 집합 단위의 끝 신호가 없으면 다음에 작업이 진행될 기판 집합 단위의 최초 기판의 이전 기판을 기판 집합 단위의 끝으로 인식하고 이를 다음 설비로 상기 병렬 입출력 장치를 통해 전송하는 단계를 더 포함하는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.
제17항에서,

기판 집합 단위의 시작 신호와 기판 집합 단위의 끝 신호가 없으면 기판 집합 단위 ID와 기판 카셋트 ID로 기판 집합 단위의 시작과 끝을 구분하는 단계를 더 포함하는 인라인 설비 시스템의 제어 방법.