KR20000052765A - 기판 처리용 장치 - Google Patents

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욘 오시노보
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페터 옐리히, 울리히 비블
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Abstract

본 발명은 처리액 용기(12)를 포함하는 기판(2) 처리용 장치에 관한 것이다. 처리액은 용기 기저부(1)로부터 상기 용기 내부에서 위쪽으로 흐른다. 처리액의 필요량이 적고 용기(12)내 유량 조건이 최적일 때, 용기 기저부(1)의 형태는 처리할 기판(2)의 형태와 일치한다. 선택적인 또는 추가적인 실시예는 처리액내에 함유된 공기방울을 제거하기 위한 배출 채널(14) 및 용기 기저부 하부의 적어도 두 개의 처리액 유입관을 포함하는데, 각각의 유입관은 수직하여 이격하는 브리지형 분배 채널 및 처리액 유입 영역내의 용기 기저부 하부에 평행하게 연장하며 및/또는 처리액을 위한 유입 개구부 및/또는 액체 채널을 일체적으로 가진 용기 기저부의 모양을 갖는 유입 슬롯을 구비한다.

Description

기판 처리용 장치 {SUBSTRATE TREATMENT DEVICE}
상기 장치는 예를 들면, 본원 발명의 출원인에 의해 출원된 독일 특허번호 제 44 13 077 A1호 또는 제 195 46 990 A1호에 공지되어 있고, 또한 독일 특허 출원번호 제 195 37 879.2호, 196 16 402.8, 195 15 969.5 또는 196 37 875.3호에 개시되어 있다. 상기 장치들은 실제로 매우 성공적으로 사용되어 왔다. 하지만, 이들은 매우 고가이고 환경 친화적이지 못하며 그리고 처리액을 재활용하기 어렵다. 게다가, 가공하고자 하는 기판을 처리하기 위해 특히, 린스하는 동안 전체 기판 영역에 대해 균등하고 균일하게 처리하기 위해 가능한 한 일정하게 처리액을 처리 용기에 유입하는 것을 필요로 한다.
일본 특허번호 제 3-266 431 A2 및 5-136 116 A2호에는 용기 기저부가 원형의 아크형이고 원형 디스크의 모양과 일치하는 상기 장치에 관해 개시되어 있다. 일본 특허번호 제 7 249 604 A2호의 장치는 카세트의 형상과 정합하는 용기 기저부를 가지고, 여기서 카세트는 액체 처리동안 카세트내에 위치한다. 이러한 장치내의 액체는 용기 기저부로부터 유입되지 않는다. 용기 기저부는 용기내의 액체 성분이 유출될 수 있는 유출 개구부만을 가진다. 하부로부터 유입되는 액체 유입부를 가진 미국 특허번호 제 5 071 488호와 일본 특허번호 6-252 120 A2호로부터 처리동안 웨이퍼가 카세트내에 위치하고 액체 용기 상부의 유출부를 통해 액체가 흐른다는 것을 알 수 있다. 일본 특허번호 4-267 981 A2호로부터 상술한 장치가 실제 액체 용기 하부의 유입 영역과 연통하는 환기관을 포함하고 공급된 뜨거운 청정수내에 존재할 수도 있는 공기방울을 제거하는 역할을 한다는 것을 알 수 있다.
미국 특허번호 제 5 014 727호, 일본 특허번호 제 7-106 295 A2호 및 일본 특허번호 제 5-259 143 A2호로부터 상술한 장치에서 유입될 액체가 용기 하부에서 여러 분배 채널 또는 관 내부로 분배된다는 것을 알 수 있다. 일본 특허번호 제 195 466 A2호는 웨이퍼 에지부 방향으로 배치된 슬롯을 통해 하부로부터 세정 탱크 내부로 세정액이 유입되는 세정 탱크에 관해 개시되어 있다. 일본 특허번호 제 5-232 978 A2호로부터 공지된 기판 처리장치에서 용기 기저부는 하부로부터 유입된 처리액돌출된수의 유출 개구부에 분배되도록 삽입된 개구부를 갖는 적층된 다수의 플레이트로 구성된다.
이에 기초하며, 본 발명의 목적은 이상에서 설명된 장치를 개선시켜 최소 설계 비용과 제조 비용을 가지며 가능한 한 최소 부피의 처리액으로 전체 기판 영역에 걸쳐 최대의 처리를 제공하도록 하는 것이다.
본 발명의 목적은 용기 기저부에 처리액을 위한 적어도 두 개의 유입관을 제공함으로써 해결하는 것이고, 이들 각각의 유입관은 돌출된 빗-모양(comb-like) 그물 구조의 분배 채널로 구성된다. 용기 기저부의 이러한 처리액 분배 장치는 처리액의 일정한 유입량을 가능케 하고 이에 따라 기판 영역과는 무관하게 즉, 기판 영역이 용기벽에 인접하여 위치하든지 아니든지에 관계없이 처리액으로 기판을 균일하게 처리할 수 있게 된다. 적어도 하나의 유입관의 빗-모양 분배 채널은 바람직하게는 유입관에 대해 수직으로 돌출하고 동일 레벨에 위치하는데, 특히 바람직하게는 하나의 유입관의 하나의 분배 채널이 다른 유입관의 두 개의 분배 채널 사이에 위치한다. 이러한 방법으로, 한 레벨의 분배 채널은 유입관을 통해 여러 면에서 처리액을 선택적으로 공급받게 되고, 그 결과 전체 영역에 걸쳐 균형잡힌 방출 처리액 부피와 압력을 갖게 되어 전체 용기 영역에 걸쳐 처리액 용기 내부로 전반적으로 일정한 처리액 유입을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 분배관이 유입 개구부를 가질 뿐만 아니라 유입관으로부터 분배 채널이 돌출하고, 이에 따라 디퓨저(diffusor) 장치에 용기의 전체 기저부 영역에 걸쳐 처리액의 일정한 유출량 조건을 제공한다. 유입 및/또는 분배관은 원형일 수 있고 직사각형, 평면형 또는 정사각형일 수도 있다. 유입 및 분배 채널의 크기, 모양 및 수뿐만 아니라 이들 상호간의 이격은 개별 조건 특히, 전체 디퓨저 영역에 걸쳐 단위 표면당 전반적으로 동일한 액체 부피 및 압력을 가진 유입량에 따라 선택될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유입관 및/또는 분배 채널의 단면은 유입 위치로부터 관의 단부쪽으로 감소하고, 특히 바람직하게는 원뿔형이고 이에 따라 전체 디퓨저 영역에 걸쳐 처리액의 균일한 압력 조건과 유출량 부피를 얻을 수 있다.
이상에서 설명된 유입 장치 또는 용기 기저부의 모양과 더불어 또는 이와는 무관하게, 본 발명의 목적은 처리액의 유입 영역내의 용기의 기저부 하부에 상호 평행하게 연장하는 유입 슬롯을 제공함으로써 달성된다. 이러한 유입 슬롯은 바람직하게는 처리될 기판의 에지부 방향과 동일한 방향으로 연장하고 처리액의 유입에 대한 보상기와 같은 역할을 한다. 이러한 유입 술롯은 바람직하게는 용기 기저부 하부에 위치하며 예를 들면, 이상에서 설명된 빗-모양으로 배치된 분배 채널인 유입 장치 사이에 위치한다. 추가의 효과는 용기 기저부가 원형일 때 이러한 유입 슬롯이 한 레벨에 위치하는 유입 개구부와 디퓨저 장치 사이의 이격을 보상하고 및/또는 교량 역할을 한다는 것이다. 이러한 유입 슬롯에 기초하여, 처리액 용기 내부의 일정한 최대의 유입량 조건 또한 웨이퍼 축 방향에 따라 얻어질 수 있다. 유입 슬롯의 이격이 용기내 기판의 이격에 상응할 때가 특히 바람직하다. 이러한 방법으로, 처리액은 상호 평행하게 위치하고 일정한 이격을 가진 기판 사이에 조절되고 인도되어 유입되고, 따라서 기판 표면에 처리액이 더 균일하고 최대로 제공되도록 한다.
전반적으로 액체 분리 에지부와 슬롯의 유출 개구부에서의 액체의 유출량 조건을 개선시키기 위해, 유출 영역내의 이러한 개구부를 사출부(jet)형으로 형성하는 것이 바람직하다.
바람직하게는, 기판 캐리어 영역내의 예를 들면, 추가의 사출부와 같은 유입 슬롯 또는 유출 개구부는 용기내의 처리액이 기판 캐리어 주위와 상부를 순환하도록 형성하고 배치시킨다. 이는 또한 인도 엘리먼트에 의해 가능하다. 이러한 실시예는 기판 캐리어 주위에 발생하는 유량의 사각(dead angle)을 방지한다. 이러한 실시예에 대한 중복을 피하기 위해 동출원인에 의해 동일자로 출원된 독일 특허번호 제 196 44 253호를 참조한다.
이상에서 언급한 특징에 추가 또는 선택적으로, 본 발명의 목적은 용기 기저부내에 처리액을 위해 일체형 유입 개구부를 제공함으로써 효과적으로 달성된다. 이로써 용기 기저부는 유입 개구부 또한 최대 특징을 가진 유입 사출부의 모양을 갖도록 일체적으로 형성된다. 용기 기저부는 다른 부품을 필요로함없이 미리 일체화된 유입 개구부 또는 사출부와 완전하게 조립된 상태로 제조된다 즉, 유입 사출부는 용기 기저부 내부에 조립되거나 설치될 필요가 없고, 이는 예를 들면, 동일자로 동출원인에 의해 출원된 독일 특허번호 제 196 16 402호의 실시예에 개시되어 있다. 상당한 조립 비용과 조정 과정이 제거되고 나사 및 다른 사출부용 다른 부품을 기계 가공하기 위한 어떠한 단계도 필요로 하지 않는다. 유입 개구부뿐만 아니라 이러한 개구부를 위한 공급 라인도 상당히 적은 부피로 설계되는 것이 특히 바람직하고, 이에 따라 개구부와 공동을 최소로 유지하고 불필요한 액체 부피 특히, 공기방울의 생성 및 축적을 신뢰성 있게 방지할 수 있다. 게다가, 유입 개구부 및 사출부의 형성과 배치는 용기 기저부내에서의 각각의 위치에 따른 이들의 모양 및 크기에 따라 최적화될 수 있고, 용기 내부에 특히 균일한 유량 분배를 제공한다. 용기 기저부내의 사출부의 형성 및/또는 배치는 후속 조정 단계를 필요로함없이 제공될 수 있다.
본 발명의 특히 바람직한 실시예에 따르면, 용기 기저부는 처리액을 유입 개구부에 공급하기 위해 일체형 액체 채널을 포함한다. 이러한 특징에 따라, 액체를 유입 개구부에 공급하는 용기 기저부 내부의 액체 채널은 일체형으로 형성된다. 이들은 설치 또는 조립되어서는 안된다. 이러한 방법으로, 유입 개구부에 따라 액체 채널, 이들의 배치 및 직경을 최대로 적응시키는 것이 특히 가능하고, 이에 따라 불충분한 유량을 가진 영역 및 공기방울을 발생시키는 사각 공동 또는 분리 에지부를 방지한다.
예를 들면, 유입 사출부로 형성된 유입 개구부 및/또는 웰로서 형성된 액체 채널을 포함하는 용기 기저부는 바람직하게는 사출 성형에 의해 제조된다. 본 발명의 다른 바람직한 실시예는 레이저 리소그래피 기술을 사용하여 일체형 유입 개구부 및 채널을 가진 용기 기저부의 제조를 포함한다.
본 발명의 또다른 바람직한 실시예에 따르면, 용기 기저부는 용기 기저부 내부에 처리액을 유입하기 위한 결합 채널을 포함한다. 이러한 방법으로, 용기 기저부는 바람직하게는, 결합 영역내에 일체형 내부 나사를 가지며, 이곳으로 처리액 라인이 부착 또는 나사로 조여진다. 이러한 특징은 또한 균일한 단일-부품 용기 기저부 형성에 기여하고 제조하기 용이하다.
본 발명의 다른 매우 바람직한 실시예에 따르면, 결합 채널은 용기 기저부의 유입부에서 여러 개 바람직하게는 네 게의 구획으로 나뉜다. 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 여러 개의 채널 암(arm)이 분기된다 바람직하게는, 개별 분리된 구획과 상호관련된다. 이러한 방법으로, 용기 기저부 내부의 액체 분배 시스템이 쉽게 달성되고 적용 방법에 따라 최대로 활용된다. 본 명세서에서, 채널 암의 단면이 채널 유입부쪽으로 감소하는 것이 바람직하고, 이에 따라 이상에서 설명된 바와 같이 채널 암에 걸쳐 균일하게 압력이 분배된다.
본 발명의 추가의 방법에 따르면, 전체 기판 표면에 걸쳐 및 전체 기판 위치에서 최적의 균일한 처리가 달성되고 이는 처리액내에 함유되거나 또는 처리액의 유입동안 발생되는 공기방울이 그곳에 제공된 배출 채널 또는 홈을 통해 인도될 때 가능하다. 공기방울은 예를 들면, 린스제와 같은 처리액이 기판에 불규칙적으로 공급되게 함으로써 또는 기판 표면에 일시적으로 고착되게 함으로써 기판 처리에 악영향을 미치고, 이에 따라 처리액 내부의 전체 기판 영역이 균일하게 처리되지 못하도록 한다.
용기 기저부가 둥글거나 또는 원형 아크형 단면을 가질 때, 배출 채널은 용기 기저부로부터 상부쪽의 상부 영역에 제공된다.
용기 기저부의 모양이 가공될 기판의 모양에 알맞는 것이 특히 바람직하다. 이러한 방법으로, 용기내의 불필요한 부피가 제거되고, 이에 따라 액체 부피를 최소화하고 용기 내부의 특히, 기판 주위에서의 유량 조건을 개선시켜 전체 기판 영역에 걸쳐 더욱 균일한 유량 분배 및 더욱 균일한 기판 처리를 제공한다. 이러한 목적을 위하여, 고가의 처리액의 요구되는 부피를 감소시킬 뿐만 아니라 예를 들면, 린스주기 동안과 같은 동일한 결과를 가져오는 처리 단계에 대해 필요한 시간을 감소시키는데, 그 이유는 더 적은 처리액이 용기 내부로 유입되거나 또는 용기로부터 방출되기 때문이다. 게다가, 기판 모양에 알맞은 모양의 용기 기저부를 채택함으로써 용기 내부의 유량 조건 및 처리 결과는 예를 들면, 기판의 균일한 린스에 의해 개선된다.
예를 들면, 디스크형 웨이퍼, CD 또는 CD-ROM고 같은 디스크형 기판뿐만 아니라 디스크형 마스크 또는 LED 표시장치에 대해, 둥글거나 또는 원형 단면의 용기 기저부가 디스크형 기판에 대해 동심원으로 제공된다. 이러한 방법으로, 기판 처리동안 필요하지 않은 용기의 사각 영역 또는 부피 영역이 제거된다. 평면형 또는 약간 비스듬한 용기 기저부를 가진 통상적인 액체 용기에 비해 둥근 용기 기저부를 따라 유입 개구부의 배치가 최적화될 수 있고, 이에 따라 액체 용기 내부에 균일한 유량 조건을 제공한다.
이러한 기판 처리용 장치는 모든 종류의 기판에 사용될 수 있다. 기판은 웨이퍼, CD, CD-ROM 또는 LED 표시장치일 수 있을 뿐만 아니라 표면 처리, 린스 또는 건조 단계를 겪는 모든 물품 또는 부품일 수 있다.
본 발명의 추가의 특징, 실시예 및 장점이 이하에서 도면을 참조로 하여 설명될 것이다.
본 발명은 처리액으로 채워진 용기를 포함하는 기판 처리용 장치에 관한 것이고, 처리액은 용기 기저부로부터 유입된다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 모양에 알맞은 용기 기저부를 가진 장치의 개략 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 용기 기저부 하부에 액체 분배 시스템을 가진 장치의 개략 단면도.
도 3은 유입 슬롯을 가진 용기 기저부의 평면도.
도 4는 용기 기저부 하부의 분배 채널의 일실시예를 도시하는 도면.
도 5a와 도 5b는 유입 슬롯 기저부에 대한 제 1실시예의 개략 평면도 및 단면도.
도 6a와 도 6b는 유입 슬롯 기저부에 대한 제 2 실시예의 개략 평면도 및 단면도.
도 7a와 도 7b는 유입 슬롯 기저부에 대한 제 3 실시예의 개략 평면도 및 단면도.
도 8은 일체형 유입 개구부 및 채널을 구비하는 용기 기저부의 부분 개략 단면도.
도 9는 도 8의 일체형 용기 기저부의 부분 개략 단면도.
도 10은 도 9를 90°회전시킨 용기 기저부의 단면도.
도 1의 실시예는 원형인 기판(2) 모양에 알맞은 용기 기저부(1)를 포함한다. 기판(2)은 본 실시예에서는 나이프-형 브리지인 기판 캐리어(3)의 에지부상에 위치하고 기판에 대해 왕복 이동 가능하다. 기판은 용기 측벽(4, 5)으로부터 내부로 돌출하며 수직으로 배치된 캠 사이의 측벽(4, 5)에 의해 인도된다.
처리액은 유입관(7, 8)을 통해 용기 기저부(1) 내부로 공급되고 용기 기저부 유입 영역의 유입 개구부에 분배되는데, 적절하다면 기판 캐리어(3)를 위한 슬롯(10) 내부에 분배된다. 처리액은 용기 기저부로부터 공급되고, 다음으로 기판(2)을 통과하여 흐르고, 이러한 기판을 처리 또는 린스하고 및 액체 용기(12)의 상단부에서 배출 에지부(11)에 걸쳐 배출 용기(13) 내부로 흐른다. 일실시예에서 액체 용기(12)의 기저부가 웨이퍼 모양에 알맞은 모양을 가지기 때문에, 어떠한 사각 부피도 용기 내부에 존재하지 않으며, 기판(2)에 걸쳐 액체 분배가 실질적으로 개선되어, 액체 용기(12)내에 일정한 최적의 유량 조건을 제공하고 기판(2)의 모든 기판 영역에 처리액을 균일하게 공급한다.
단면이 둥글거나 또는 원형인 용기 기저부(1)의 상부 영역에 배출 채널(14)이 용기 측벽(4, 5)에 또는 인접하여 제공되어, 공기방울이 축적되도록 하고, 처리액 유입동안 형성되며 또한 용기(12) 내부에 유입되는 동안 발생될 수도 있는 공기방울이 액체 용기(12) 내부에 유입되는 것을 방지한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 장치의 일실시예를 도시하는데, 용기 기저부(1) 하부의 액체 공급 시스템은 액체 용기의 두 개의 다른 측면으로 연장하는 두 개의 유입관(15, 16)을 포함하고 처리액이 공급된다. 유입관으로부터 수직으로 연장하는 빗-모양의 분배 채널(17, 18)이 같은 평면으로 분기한다. 유입관(15, 16)의 분배 채널(17, 18)은 상호 교대로 배치된다. 이러한 방법으로, 전체 디퓨저 장치에 걸쳐 균일한 액체 및/또는 유량 또는 압력을 얻을 수 있다. 최저 유량 압력은 분배 채널(17, 18)의 단부에서 발생한다. 하지만, 분배 채널과 평행하게 연장하며 다른 유입관(16 또는 15)으로부터 분기된 분배 채널이 위치하여 이러한 영역에 비교적 높은 액체 압력을 제공하는데, 그 이유는 유입관(15, 16)에 인접하기 때문이다. 이러한 방법으로, 영역에 걸쳐 압력 조건의 보상이 제공되어 전체 디퓨저 영역에 걸쳐 균일하게 유량을 분배시킨다. 도 2는 디퓨저 장치의 개략 평단면도를 도시하고 도 4에 도시된 바와 같이 액체 용기(12)와 관련한 디퓨저 장치의 배치를 도시한다.
도 4에 도시된 디퓨저 장치와 용기 기저부 유출 영역 사이의 유입 슬롯(20)은 슬롯 기저부(21)를 형성하고 도 4에 도시된 디퓨저 장치를 용기 기저부 유출 영영(19)에 결합시킨다. 슬롯(20)은 가공할 기판 에지부 방향으로 연장하고, 나이프-형 브리지로서 형성된 여기서 기판 캐리어(3)는 유입 슬롯에 대해 수직으로 연장한다.
기판(2)과 관련된 슬롯(20)의 위치는 처리액이 이들로부터 배출되고 기판(2) 사이에 흐르도록 선택된다.
도 5a와 도 5b는 이상의 기판 캐리어(3) 상부의 사각을 고려하지 않은 슬롯 배치 및/또는 유량 분배를 도시한다. 이에 반하여, 도 6a와 도 6b는 처리액이 기판 캐리어(3) 상부에도 유입되는 방식으로 위치 또는 배치된 사출부(23)를 제공함으로써 유입 슬롯 영역과는 다른 기판 캐리어(3) 주위 영역(22)을 도시한다. 도 6a에 개략적으로 도시된 사출부(23)는 기판 캐리어(3)의 각 측면상에 여러 줄로 배치된다.
도 7a와 도 7b에 도시된 배치는 기판 캐리어(3) 상부에 처리액이 균일하게 분배되게 할 뿐만 아니라 기판 캐리어(3)의 양 측면상에서 평행하게 연장하는 유량 유도 또는 인도 엘리먼트(24)가 제공되고 어떠한 사각도 존재함없이 기판 캐리어(3)에 걸쳐 균일한 유량 분배를 가능케 한다.
도 8 내지 도 10은 용기 기저부(25)의 일실시예를 도시하는데, 유입 개구부(26)뿐만 아니라 액체를 유입 개구부(26)에 공급하는 액체 채널(27)도 일체형으로 형성되고 단일 부품으로서 형성된다.
예를 들면, 3/4인치 내부 나사(29)를 가진 결합 채널(28)이 도시되지 않은 액체 공급 라인에 직접 부착된다. 도시된 실시예의 결합 채널(28)은 용기 기저부(25)내에 일체형으로 형성된 액체 채널(30', 31', 32', 33')에 유입 개구부(26)로부터의 처리액을 공급하는 여러 구획(31, 32, 33, 34)으로 나뉜다(도 9 참조). 도 8은 도 9의 선 Ⅰ-Ⅰ를 따라 절취한 개략 단면도를 도시한다. 액체 채널의 개별 사출부(26)는 용기 기저부 유출 영역(19)상에 동일한 간격으로 배치되고 기판 표면에 대해 수직으로 연장하며, 도 10에 도시된 바와 같이, 액체 채널(31', 32', 33', 34')의 단면은 액체 채널쪽으로 원뿔형으로 감소된다. 도 10은 도 3의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절취한 개략 단면도를 도시한다. 도 10은 특히 개별 채널 암(31', 32', 33', 34')이 채널 단부쪽으로 끝이 가늘고 길어지는 것을 도시한다. 이는 개별 액체 채널내의 액체 채널 영역의 개별 단면에 의해 도 8에도 또한 도시된다.
도 8에 도시된 바와 같이, 용기 기접(25)는 단일의 미리 제조된 부품이고 기판 캐리어(3)용 슬롯(36)을 포함하는 지지대(35)에 부착된다. 기판 캐리어(3)의 반대쪽 단부상에 용기 기저부(25)가 동일한 방법으로 형성되지만 이는 도 8에는 도시되지 않는다.
도 8에 도시된 실시예는 기판 슬롯(36)을 위한 유입 개구부(37)를 제공하는데, 이는 기판 캐리어(36) 내부에 처리액을 유입하는데 사용될 뿐만 아니라 이러한 슬롯을 린스하는데도 사용되며,
기판 캐리어(3) 주위에 유량 발생에 사용된다. 도시된 실시예에서, 기판 캐리어 슬롯(36)의 유입 개구부(37)가 용기 기저부 부품(25)으로 형성된 액체 채널(27)에 의해 공급된다. 용기 기저부(25)와 지지대(35) 사이의 결합점은 기밀되지 않는다. 그러므로, 개스캣(38)이 용기 기저부 부품(25)과 지지대(35) 사이에 요구된다.
이상에서 본 발명은 바람직한 실시예를 통해 설명되었다. 하지만, 당업자라면 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 여러 변형, 설계 및 변조가 가능하다는 것을 알 수 있을 것이다. 물론, 이러한 방법으로 도시되고 설명된 용기 기저부(25)의 실시예는 도 8에 도시된 용기 기저부 모양이외의 다른 모양의 용기 기저부에도 사용 가능하다. 액체 채널 및 채널 암의 배치 및 형상을 변화시키고 변형시키는 것뿐만 아니라 그 적용조건 및 요구조건에 따라 유출 개구부 또는 사출부 또한 변형 가능하다.

Claims (22)

  1. 용기 기저부(1)를 통해 하부로부터 유입되는 처리액으로 채워진 용기(12)를 포함하는 기판(2) 처리용 장치에 있어서,
    상기 처리액을 위한 적어도 두 개의 유입관이 상기 용기 기저부(1) 하부에 제공되는데, 상기 유입관은 각각 돌출하는 빗-모양 분배 채널을 구비하며,
    상기 유입관과 상기 분배 채널(17, 18)은 동일 평면상에 배치되며,
    상기 유입관중 하나(15)의 상기 분배 채널(17)은 다른 유입관(16)의 두 개의 분배 채널 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유입관(15, 16)과 상기 분배 채널(17, 18)은 유출 개구부인 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유입관(15, 16) 및/또는 상기 분배 채널(17, 18)의 단면은 유입 위치로부터 상기 유입관의 단부쪽으로 감소하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 유입관 및/또는 상기 분배 채널(15, 16 및/또는 17, 18)은 원뿔형인 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  5. 용기 기저부(1)를 통해 하부로부터 유입되는 처리액으로 채워진 용기(12)를 포함하는 기판(2) 처리용 장치에 있어서,
    상기 용기 기저부(1) 하부에서 평행하게 연장하는 유입 슬롯(20)이 상기 처리액의 유입 영역내에 제공되고 디퓨저 장치를 상기 용기 기저부 유출 영역(19)에 결합시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 유입 슬롯(20)은 처리할 상기기판(2)의 에지부와 같은 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 유입 슬롯(20) 사이의 이격은 상기 용기내의 상기 기판의 이격과 일치하는 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  8. 제 5 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 유입 슬롯(20)의 유출 개구부는 사출부로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  9. 제 5 항 내지 제 8 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 처리액이 기판 캐리어(3) 상부의 상기 용기 영역 내에서 순환하도록 유입 개구부(23)가 상기 용기 기저부(12)내의 상기 기판 캐리어(3) 영역내에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  10. 제 5 항 내지 제 9 항중 어느 한 항에 있어서, 인도 엘리먼트(24)가 상기 기판 캐리어(30) 상부의 상기 용기 영역 내부에 또는 주위에 상기 처리액이 순환하도록 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  11. 용기 기저부(25)를 통해 하부로부터 유입되는 처리액으로 채워진 용기(12)를 포함하는 기판(2) 처리용 장치에 있어서,
    용기 기저부(1)는 상기 처리액을 위한 일체형 유입 개구부(26) 및 상기처리액을 상기 유입 개구부(26)에 공급하기 위한 일체형 액체 채널(30', 31', 32', 33', 34')을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 일체형 유입 개구부(26) 및/또는 상기 액체 채널(31', 32', 33', 34')을 구비하는 상기 용기 기저부(25)는 사출 성형에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 일체형 유입 개구부(26) 및/또는 상기 액체 채널(31', 32', 33', 34')을 구비하는 상기 용기 기저부(25)는 레이저 리소그래피에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용기 기저부(25)는 상기 용기 기저부(25) 내부에 상기 처리액을 유입하기 위한 적어도 하나의 결합 채널(28)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  15. 제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 결합 채널(28)은 여러 구획(31, 32, 33, 34)으로 나뉘는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 여러 채널 암(31', 32', 33', 34')이 상기 결합 채널(28)로부터 분기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 채널 암(31', 32', 33' 34')의 단면은 상기 채널 단부쪽으로 감소하는 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  18. 용기 기저부(1)를 통해 하부로부터 유입되는 처리액으로 채워진 용기를 포함하는 기판(2) 처리용 장치에 있어서,
    상기 용기(12)의 측벽(4, 5)은 상기 처리액 내에 함유된 또는 상기 처리액을 유입하는 동안 발생하는 공기방울을 배출하기 위한 배출 채널(14)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  19. 제 18 항에 있어서, 원형 단면을 가진 상기 용기 기저부(1)를 위해 상기 배출 채널(14)은 상기 용기의 상기 측벽(4, 5)을 따라 상기 용기의 최상부 영역에 제공되는 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  20. 제 1 항 내지 제 19 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용기 기저부(1)의 모양은 처리할 상기 기판(1)의 모양에 알맞는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  21. 제 20 항에 있어서, 디스크형 기판(2)을 위해 상기 용기 기저부(1)의 모양은 원형의 아크형 단면을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
  22. 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서, 상기 원형의 아크형 용기 기저부(1)는 상기 디스크형 기판(2)에 대해 동심원으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 장치.
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