KR20000052335A - 페라이트 테이프 조성물, 인덕터 코일, 내장형 인덕터, 및 내장형 인덕터 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
인덕터 코일을 하나 이상의 페라이트 테이프에 스크린 인쇄하고 하나 이상의 페라이트 테이프층을 상기 페라이트 테이프에 덮음으로 높은 인덕턴스 값의 내장형 인덕터가 제조된다. 저온 소성 그린 테이프는 상기 페라이트층을 에워싼다. 이러한 그린 테이프는 실리콘 및 갈륨 아세나이드의 열팽창 특성에 적합하도록 그 조성물을 조절할 수 있다. 페라이트 테이프는 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 결합제, 및 분산제를 포함한다.
Description
본 발명은 높은 유도 값의 동시 소성 내장형 인덕터를 갖는 다층 세라믹 인쇄 회로 기판에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저온 소성 그린 테이프의 다층에 매립될 수 있는 스크린 인쇄 인덕터에 관한 것이다.
저온 소성 다층 세라믹 회로 기판은 금, 및 구리와 같은 저 용융 온도를 갖는 전도성 금속을 사용하는 것이 바람직하다는 것은 알려져 있다. 이러한 전도성 금속은 그린 테이프에 스크린 인쇄되어 원하는 회로를 형성한다. 상기 다층 회로 기판은 저 열팽창 계수를 갖고, 실리콘 및 갈륨 아세나이드의 열팽창 계수에 적합하도록 구성될 수 있다. 상기 세라믹 회로 기판은 1000℃ 보다 낮은 온도에서 소성될 수 있는 유리재에 의해 만들어진다. 유리 또는 분말과, 별도의 무기 충전재를 수지, 용제, 분산제와 같은 유기 재료와 함께 혼합하므로써 생기는 슬러리를 테이프 캐스터를 이용하여 그린 테이프라고 불리는 얇은 테이프로 성형한다. 회로 패턴은 전도성 금속 분말, 유기 비이클 및 분말 유리, 그린 테이프를 만드는데 사용되는 유리를 포함하는 전도성 페이스트를 이용하여 그린 테이프에 스크린 인쇄된다.
다수의 그린 테이프를 적층할 경우, 비어 홀이 상기 테이프에 천공되고 인접한 그린 테이프층 상의 회로들 사이에 전기적인 접촉이 가능하도록 전도성 분말, 유기 비이클, 및 적당한 유리로 만들어진 전도성 비어 충전 잉크에 의해 채워진다. 비어가 채워진 후, 원하는 모든 그린 테이프에 회로 패턴이 인쇄되고, 그린 테이프가 층 별로 정렬되어, 소정 열 및 압력 하에 적층판으로 되고, 이를 소성함으로써 다층 세라믹 회로 기판이 만들어진다.
최근에는 상기 다층 세라믹 회로 기판이 다층 기판의 강도를 증가시키는 금속 기판 위에 부착되었다. 적당한 결합 유리재가 상기 금속 기판 위에 상기 그린 테이프를 부착시키기 위해 사용되는 경우, 결합 유리재는 그린 테이프를 소성하는 동안 그린 테이프가 x 및 y 방향으로 수축되는 것을 억제하기 때문에, 그린 테이프의 수축은 대부분 z 방향, 즉 두께 방향으로 발생된다. 이러한 점은 인쇄 회로가 더욱 정밀한 허용값으로 제작될 수 있다는 것을 의미한다. 그린 테이프에 사용되는 유리재는 세라믹의 갈라짐 또는 깨짐을 방지하기 위하여 금속 기판의 열 팽창 계수에 부합되는 열 팽창 계수를 가져야 한다. 상기 소성된 저온 소성 세라믹의 열 팽창 계수를 상기 금속 기판의 열 팽창 계수에 부합시키기 위해 결정 유리재와 비결정 유리재의 혼합물이 사용될 수 있으며, 무기 충전재가 또한 첨가될 수 있다.
본 발명에 사용되는 그린 테이프 유리재는 결정 유리 조성물과 비결정 유리재의 혼합물이고 산화 충전재를 추가로 구비할 수 있다. 상기 그린 테이프 유리재는 금속 지지 세라믹 회로 기판에 특히 유용하다. 상기 결정 유리재는 ZnO, MgO, 산화 붕소(B2O3), 및 실리카계로부터 선택되고 20∼55 중량 %의 ZnO, 10∼30 중량 %의 MgO, 10∼35 중량 %의 산화 붕소(B2O3), 및 10∼40 중량 %의 실리카로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 결정 유리재는 또한 10 중량 % 이하의 알루미나 및 산화 코발트와 같은 3 중량 % 이하의 착색제를 포함할 수 있다. 상기 결정 유리재는 30∼80 중량 %의 산화 납, 15∼50 중량 %의 실리카, 및 10 중량 % 이하의 알루미나, 15 중량 % 이하의 산화 붕소, 및 20 중량 % 이하의 산화 아연을 구비한 납 기제 유리 조성물로부터 선택된 비결정 유리재와 함께 혼합된다. 부가적으로, 알루미나, 코오디어라이트, 석영, 포오스테라이트, 및 규산 아연광과 같은 하나 이상의 충전재가 상기 그린 테이프의 수축을 제어하고 상기 그린 테이프의 열 팽창 계수를 변경하기 위하여 첨가될 수 있다. 상기 유리 혼합물은 그린 테이프를 형성하는 데 사용되고, 이 그린 테이프는 층 별로 정렬되고 적층된 후 상기 금속 기판 위에 부착된다. 상기 유리재 및 혼합물과 상기 그들의 그린 테이프는 참조 문헌으로 인용된 토미 등에게 허여된 미합중국 특허 제 5,725,808 호에 개시되어 있다.
특히 유용한 금속 기판은 카펜터 테크놀로지 사의 상표 코바하에 유용한 페로/니켈/코발트/망간 합금인 코바에 얇은 구리층을 피복하여 제조된 것이다.
저항기 및 커패시터와 같은 수동 소자도 또한 그린 테이프 스택에 매립될 수 있다. 적당한 저항기 또는 커패시터 잉크가 그린 테이프에 스크린 인쇄되어 상기 수동 소자의 정밀한 허용값 및 고밀도 배치를 얻도록 한다.
하지만, 상기 기술을 이용하여 스크린 인쇄 인덕터를 제조하는 경우, 상기 인덕터는 50 보다 작은 낮은 Q 값 및 수백 나노헨리(nH)의 인덕턴스를 갖는다.
고 투자율의 페라이트에 의해 상기 인덕터를 둘러싸므로써 높은 인덕턴스를 갖는 분리형 인덕터가 형성될 수 있다. 하지만, 상기 고투자율 페라이트의 소성 온도가 그린 테이프 유리재의 소성 온도 보다 매우 높기 때문에, 상기 고투자율 페라이트는 다층 매립 그린 테이프 인덕터의 제작에 직접 적용될 수 없다. 용제 또는 소결 보조물을 첨가하므로써 페라이트의 소결 온도를 낮추지만, 상기 페라이트의 투자율 또한 낮춘다. 더욱이, 페라이트는 상기 유리재 및 상기 그린 테이프를 만드는데 사용되는 다른 재료와 부합되어야 하고 상기 그린 테이프를 만드는데 사용되는 상기 세라믹의 열 팽창 계수와 매우 유사한 열 팽창 계수를 가져야 한다. 그러한 제약이 하찮지 않지만, 본 발명 다층 금속지지 세라믹 회로 기판 시스템에 사용될 수 있는 고 투자율 페라이트에 대한 연구 지속되고 있다.
본 발명의 목적은 저온 소성, 금속지지 다층 세라믹 그린 테이프 회로 기판용으로 적합한 내장형 인덕터를 제조하는데 사용될 수 있는 페라이트 테이프, 인덕터 코일, 상기 페라이트 테이프를 이용한 내장형 인덕터 및 그의 제조 방법를 제공하는데 있다.
본 발명은 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화물 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 페라이트 테이프 조성물을 제공한다.
본 발명은 또한 금 분말, 분산제 용액, 및 수지 용액을 포함하는 전도성 잉크를 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화물 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 이용하여 만들어진 페라이트 테이프 상에 스크린 인쇄하여 얻은 인덕터 코일을 제공한다.
본 발명은 또한 그린 테이프 스택과 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 함께 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 포함하는 페라이트 테이프 조성물에 의해 제조된 페라이트 테이프;
전도성 잉크를 상기 페라이트 테이프 상에 스크린 인쇄하여 얻은 인덕터 코일; 및
상기 인덕터 코일을 덮는 제2 페라이트 테이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터를 제공한다.
더욱이, 본 발명은 인덕터 코일을 페라이트 층 상에 스크린 인쇄하는 단계;
갈륨 아세나이드에 부합되는 그린 테이프 스택은 상기 페라이트 층 위 및 아래에 적층하는 단계;
상기 스택을 금속 기판 위에 부착하는 단계; 및
상기 스택을 약 865℃ 온도 까지 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터 제조 방법을 제공한다.
상기 그린 테이프는 갈륨 아세나이드에 부합되는 열 팽창 계수를 갖는 것이 바람직하다. 상기 인덕터 코일은 페라이트의 소성 온도를 상기 그린 테이프의 소성 온도로 낮추기에 충분한 양의 저 용융 융제를 갖는 고 투자율의 페라이트 층에 스크린 인쇄되는 것이 더욱 바람직하다. 상기 페라이트 층은 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 혼합하여 제조된 슬러리를 테이프 캐스팅하여 제조되도록 제조되도록 하는 것이 바람직하다. 인덕터는 금 분말, 적당한 분산제, 및 수지/용제 혼합물로부터 제조된 전도성 잉크를 페라이트 데이프 층에 스크린 인쇄하므로써 제조되는 것이 바람직하다. 다수의 부가적인 페라이트 층은 상기 인덕터가 인쇄된 페라이트층의 상부 및/또는 하부에 적층될 수 있는 것이 바람직다.
도 1은 본 발명에 따른 내장형 인덕터의 단면도이다.
〈 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 〉
10: 금속 기판 12: 그린 테이프 스택
14: 페라이트 테이프 16: 인덕터 코일
18: 제2 페라이트 테이프 20: 최종 그린 테이프 스택층
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 사용되는 그린 테이프는 아연-마그네슘-붕규산 유리재와 납 유리재의 혼합물에 의해 제조된다. 적당한 결정 유리재는 약 20∼55 중량 %, 바람직하게는 25∼30 중량 %의 산화 아연(ZnO), 약 10∼30 중량 %, 바람직하게는 약 20∼28 중량 %의 산화 마그네슘(MgO), 약 10∼35 중량 %, 바람직하게는 15∼20 중량 %의 산화 붕소(B2O3), 및 10∼40 중량 %, 바람직하게는 약 20∼30 중량 %의 실리카를 함유한다. 약 10 중량 % 이하, 바람직하게는 약 3∼7 중량 %의 소량의 알루미나(Al2O3)가 또한 첨가될 수 있다.
적당한 유리재는 약 10 중량 % 이하의 알루미나, 약 30∼80 중량 %의 산화 납, 약 15∼50 중량 %의 실리카, 약 15 중량 % 이하의 산화 붕소, 및 약 10 중량 % 이하의 산화 아연을 함유한다.
상기 그린 테이프 슬러리는 상기 유리재, 적당한 무기 충전재, 분산제 용액, 및 수지 용액을 함께 혼합함으로써 제조된다. 예를 들면, 약 8.5∼10.5 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 결정 유리재 150 중량 %에 대하여 약 2.6 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 포오스테라이트 분말 11.94 중량 %, 약 4∼6 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 비결정 유리재 18.68 중량 %, 약 2∼3 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 코오디어라이트 분말 8.55 중량 %, 착색제로서 산화 크롬 분말 0.48 중량 %, 국제 조명 위원회(ICI) 계면 활성제의 하이퍼머(Hypermer) PS2 40 중량 %, 에탄올 및 메틸 에틸 케톤의 혼합물 1000 중량 %로 만들어진 분산제 용액 39.1 중량 %, 몬산토사로부터 시판된 부트바(Butvar) B98 288 중량 %, 몬산토사로부터 시판된 산티시저(Santicizer) #160 192 중량 %, 에탄올 620 중량 %, 및 메틸 에틸 케톤 620 중량 %의 비율로 만들어진 수지 용액 32.7 중량 %와 함께 혼합하여 만들어진다.
상기 혼합물은 2시간 동안 밀링되고 12 밀 닥터 블레이드를 이용하여 그린 테이프로 만들어진다.
도 1을 참조하면, 그린 테이프 스택(12)은 금속 기판(10) 상에 장착되고 본 발명에 따른 페라이트 테이프 층(14)은 상기 그린 테이프 스택(12)에 적층된다. 인덕터 코일(16)은 적층 전에 상기 페라이트 테이프 층(14) 위에 스크린 인쇄된다. 상기 인덕터 코일(16)은 제2 페라이트 테이프(18)를 상기 인쇄 회로 코일(16) 위에 위치시킴으로써 매립된다. 최종 그린 테이프 스택 층(20)은 상기 그린 테이프 스택(12)에 정렬된다.
상기에서 하나의 층이 언급되었지만, 상기 그린 테이프 스택(12 및 20), 및 페라이트 테이프(14 및 18)는 층간 정렬된 다수의 테이프 층을 가질 수 있다. 일반적으로, 상기 스크린 인쇄 코일에 대하여 존재하는 페라이트가 많으면 많을수록 인덕턴스는 높아진다.
적당한 페라이트 테이프는 스튜어트사로부터 시판된 1.35 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 시리즈 276 페라이트(니켈-망간-구리 산화물) 분말에 의해 제조될 수 있다. 상기 분말은 사용된 상기 그린 테이프 시스템의 소성 온도에서 상기 페라이트의 소결을 향상시키기에 충분한 양으로 산화 비스무트와 같은 저 용융 소결 조제와 혼합된다. 수지 용액 및 분산제 용액 또한 첨가된다. 결과로 얻어지는 슬러리는 3/8" 지르코니아 볼과 함께 적어도 2 시간 동안 볼 밀링되고 17 밀 갭을 이용한 닥터 블레이드에 의해 테이프로 형성된다. 건조된 상기 페라이트 테이프의 두께는 약 7∼8 밀이다.
인덕터 코일은 전도성 잉크를 이용하여 페라이트 테이프 상에 스크린 인쇄된다. 상기 전도성 잉크는 금 분말, 분산제 용액, 및 수지 용액에 의해 제조된다. 인덕터의 인덕턴스를 증가시키기 위하여, 다수의 페라이트 테이프가 상기 스크린 인쇄된 코일의 일면 또는 양면에 적층될 수 있다. 페라이트 내장형 인덕터는 다층 그린 테이프 스택 내부에 내장되어 종래 방법으로 형성된 금속 기판 상에 부착될 수 있다.
본 발명은 다음 실시예에 의해 더욱 상세히 설명되지만, 상세한 설명에 제한되는 것은 아니다.
실시예 1-4
실시예에 의하면, 상기 결정화 유리는 103.72g의 산화 아연(ZnO) 분말, 103.0g의 산화 마그네슘(MgO) 분말, 78.2g의 B2O3분말, 115.08g의 SiO2분말, 및 20.0g의 Al2O3분말로 혼합물에 의해 제조된다. 상기 혼화물은 1550℃에서 3 시간 동안 용융되고 이를 급냉하여 유리로 만들어지며, 이를 분쇄하여 미세한 분말로 만든다. 상기 비결정 유리재는 80.0g의 Al2O3분말, 336.0g의 PbO 분말, 304.0g의 SiO2분말, 및 80.0g의 ZnO 분말에 의해 제조된다. 상기 산화물은 혼합되고 1895℃에서 10분 동안 용융되고 이를 급냉하여 유리로 만들어지며, 이를 분쇄하여 미세한 분말로 만든다. 상기 유리재 및 상기 여러 가지 첨가물은 토미 등에게 허여된 미합중국 특허 제 5,725,808 호에 개시되어 있다.
8.5∼10.5 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 150g의 결정 유리재, 4∼6 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 18.68g의 비결정 유리재, 2.6 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 11.94g의 포오스테라이트, 2∼3 ㎛의 평균 입자 크기를 갖는 8.55g의 코오디어라이트, 및 0.48g의 Cr2O3를 상기 분산제 용액 39.1g, 상기 수지 용액 32.7g과 함께 혼합한다. 그린 테이프를 제조하는데 적합한 다른 성분들이 프라브후 등에게 허여된 미합중국 특허 제 5,216,207 호에 개시되어 있다.
상기 혼합된 슬러리는 2 시간 동안 밀링되고 12 밀 닥터 브레이드를 이용하여 그린 테이프로 만들어진다.
페라이트 테이프는 72.73 중량 %의 페라이트 분말, 수지 용액 14.84 중량 %,분산제 용액 12.44 중량 %를 혼합하고, 이를 볼 밀링한 후 테이프 캐스팅 방법에 의해 만들어진다.
인덕터 코일은 PGP사의 #304FS Au 분말 91.9 중량 %, 1.94 중량 %의 하이퍼머 PS2 60 중량 %의 부틸 카비톨/40 중량 %의 도데카놀, 아쿠알론사로부터 시판된 분자량 300의 에틸 셀룰로이즈로 이루어진 6.25 중량 %의 수지 용액를 포함하는 전도성 잉크에 의해 상기 페라이트 테이프 상 또는 그린 테이프에 직접 스크린 인쇄하여 만들어진다.
그린 테이프 또는 페라이트 테이프 상에 인쇄된 나선형 인덕터의 크기는 각각 0.24 인치, 0.38 인치, 및 0.56 인치 3종이며, 선폭과 선간격 또한 각각 4 밀, 6 밀, 및 8 밀이다. 인쇄된 다층 페라이트 스택은 4개 이하의 페라이트 테이프에 의해 제조되고 상기 그린 테이프 스택에 결합된다. 결과로 얻어지는 적층체는 구리-피복 코바아 기판 위에 부착된다.
상기 얻어지는 기판는 4.5 시간의 주기로 865 ℃의 피크 온도까지 소성된다.
상기 내장형 인덕터를 갖는 상기 소성된 기판은 휴레트 패커드 4190 LCR 브리쥐를 이용하여 200 kHz의 주파수에서 인덕턴스가 측정된다. 그 결과는 하기 표에 요약화되어 있다. 표에서 예 1은 페라이트 층이 없는 소성된 내장형 인덕터이고, 예 2는 단일 페라이트 층으로 스크린 인쇄된 소성된 내장형 인덕터이고, 예 3은 2개의 페라이트 층의 스택 위에 스크린 인쇄되고 하나의 오버라잉(overlying) 페라이트 층에 매립된 소성된 내장형 인덕터이고, 예 4는 2개의 페라이트 층의 스택 위에 스크린 인쇄되고 2개의 오버라잉(overlying) 페라이트 층에 매립된 소성된 내장형 인덕터이다.
예 1에서와 같이 페라이트 층이 사용되지 않은 경우, 최저 인덕턴스를 얻는다. 상기 인덕터를 둘러싸는 페라이트의 양이 증가할수록 인덕턴스 또한 증가한다. 다수의 인덕터가 10uH 이상의 인덕턴스를 나타내었다.
페라이트의 수는 인덕턴스가 스크린 인쇄된 코일의 치수에 의해 결정된 포화점에 이르는 두께까지 변할 수 있다.
그 소성 온도가 약 850∼900℃가 되게 상기 페라이트 테이프가 제조될 수 있도록 저 용융 온도를 갖는 유리재를 포함하는 다른 페라이트가 대체될 수 있고, 다른 산화 분말이 첨가될 수 있다.
표
인덕터 | 치수(밀) | 라인 폭 | 예1 L(uH) | 예2 L(uH) | 예3 L(uH) | 예4 L(uH) |
1 | 240 | 8 | 0.059 | 0.163 | 0.743 | 1.152 |
2 | 380 | 6 | 0.308 | 1.210 | 3.816 | 5.897 |
3 | 240 | 6 | 0.109 | 0.261 | 1.226 | 1.909 |
4 | 240 | 4 | 0.206 | 2.563 | 4.11 | |
5 | 240 | 4 | 0.220 | 2.569 | 4.14 | |
6 | 380 | 6 | 0.379 | 1.240 | 4.096 | 6.26 |
7 | 380 | 8 | 0.182 | 0.739 | 3.65 | |
8 | 560 | 6 | 0.676 | 3.410 | 8.162 | 12.925 |
9 | 560 | 8 | 0.385 | 1.620 | 4.663 | 7.46 |
10 | 560 | 8 | 0.420 | 1.740 | 4.845 | 7.6 |
11 | 560 | 4 | 1.283 | 6.670 | 16.080 | 25.9 |
12 | 380 | 4 | 0.630 | 2.400 | 11.52 |
이상에서는 본 발명을 특정의 실시예에 대하여 설명하였으나, 상기 금속 기판의 조성물 및 재료, 그린 테이프, 페라이트 조성물, 코일의 치수등에 여러 가지 변화가 있을 수 있으며, 본 발명은 특허 청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.
Claims (17)
- 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화물 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 페라이트 테이프 조성물.
- 제1 항에 있어서, 상기 페라이트는 니켈-망간-구리 산화물인 것을 특징으로 하는 페라이트 테이프 조성물.
- 제1 항에 있어서, 상기 저 용융 온도를 갖는 산화 소결 조제는 산화 비스무트인 것을 특징으로 하는 페라이트 테이프 조성물.
- 금 분말, 분산제 용액, 및 수지 용액을 포함하는 전도성 잉크를 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화물 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 이용하여 만들어진 페라이트 테이프 상에 스크린 인쇄하여 얻은 인덕터 코일.
- 제4 항에 있어서, 상기 페라이트는 니켈-망간-구리 산화물인 것을 특징으로 하는 인덕터 코일.
- 제4 항에 있어서, 상기 저 용융 온도를 갖는 산화물 소결 조제는 산화 비스무트인 것을 특징으로 하는 인덕터 코일.
- 그린 테이프 스택과 페라이트가 약 900℃ 이하의 온도에서 함께 소결되기에 충분한 양의 저 용융 온도를 갖는 산화 소결 조제를 갖는 페라이트 분말, 수지 용액, 및 분산제 용액을 포함하는 페라이트 테이프 조성물에 의해 제조된 페라이트 테이프;전도성 잉크를 상기 페라이트 테이프 상에 스크린 인쇄하여 얻은 인덕터 코일; 및상기 인덕터 코일을 덮는 제2 페라이트 테이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 제7 항에 있어서, 상기 페라이트는 다수의 페라이트 테이프 층에 의해 제조 되는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 제7 항에 있어서, 상기 제2 페라이트 테이프는 다수의 페라이트 테이프 층에 의해 제조 되는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 제7 항에 있어서, 상기 그린 테이프 스택은 금속 기판 상에 부착되는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 제7 항에 있어서, 상기 오버라잉 그린 테이프 스택은 상기 페라이트 테이프 스택 상에 적층되는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 제7 항에 있어서, 상기 그린 테이프는 갈륨 아세나이드에 부합하는 열 팽창 계수를 갖는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 제10 항에 있어서, 상기 금속 기판은 철/니켈/코발트/망간 합금인 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터.
- 인덕터 코일을 페라이트 층 상에 스크린 인쇄하는 단계;갈륨 아세나이드에 부합되는 그린 테이프 스택은 상기 페라이트 층 위 및 아래에 적층하는 단계;상기 스택을 금속 기판 위에 부착하는 단계; 및상기 스택을 약 865℃ 온도 까지 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터 제조 방법.
- 제14 항에 있어서, 하나 이상의 페라이트 층이 상기 스크린 인쇄된 페라이트 층 아래에 위치하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터 제조 방법.
- 제14 항에 있어서, 하나 이상의 페라이트 층이 상기 스크린 인쇄된 페라이트 층 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터 제조 방법.
- 제14 항에 있어서, 하나 이상의 페라이트 층이 상기 스크린 인쇄된 페라이트 층 위 및 아래에 위치하는 것을 특징으로 하는 내장형 인덕터 제조 방법.
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