KR20000020849A - 액정 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

게이트 선과, 상기 게이트 선과 교차되어 형성된 데이터 선과, 및 게이트 선과 데이터 선의 교차 동작에 의해 형성된 영역에 배치되는 화소 전극을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 마스크 숏에 의해 형성되는 경계선 근방에 위치한 상기 다수개의 화소 전극의 각 위치를 서로 다르게 형성하여, 각 화소 전극과 상기 데이터 선 사이의 간격이 서로 다르도록 형성하여, 마스크 숏에 의해 형성된 경계선 근처에 형성된 화소 전극의 밝기가 일정치 않도록 하므로, 경계선이 뚜렷하게 표시되지 않아 스티치 현상을 두드려지게 표시되지 않고, 뚜렷한 경계선으로 표시로 인한 화질 악화를 줄일 수 있는 효과가 발생한다.

Description

액정 표시 장치의 제조 방법
이 발명은 액정 표시 장치(LCD(Liquid Crystal Display))의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면, 스티치 불량을 줄이기 위한 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치의 제조 공정중에, 많은 배선을 형성하거나 원하는 패턴을 형성하기 위해 노광 공정을 실행한다.
노광 공정에 있어서, 액정 표시 장치의 제조에 가장 많이 이용되는 투사 방식은 광을 이용하여 마스크 패턴을 기판 위에 전사시키는 방식으로, 스테퍼(stepper) 방식과 얼라이너(aligner) 방식이 있다.
스테퍼 방식은 1회의 노광만으로 기판 전체에 패턴을 형성하는 것이 불가능하기 때문에 일정의 마스크 패턴인 레티클(reticle)을 교체해가면서 숏(shot) 단위로 기판 전체에 패턴을 형성하는 방식이다.
또한 얼라이너 방식은 사용하는 마스크와 노광 기판의 크기가 1:1이므로 단 일 노광으로 패턴을 형성할 수 있다.
그러나, 액정 표시 장치의 대용량화 및 대형화가 진행됨에 따라 노광시킬 부분을 숏 단위로 분할한 후 순차적으로 노광시켜 원하는 패턴을 형성하는 스테퍼 방식이 주로 이용된다.
도 1을 참고로 하여 종래의 기술에 따른 액정 표시 기판의 구조를 설명한다.
도1은 종래의 액정 표시 기판의 평면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 액정 표시 기판은 하나의 기판(10) 위에 가로 방향으로 게이트 선(11)이 형성되고, 세로 방향으로 데이터 선(12)이 게이트 선(11)과 서로 교체되게 형성되어 매트릭스 형태를 구성한다.
또한, 게이트 선(11)과 데이터 선(12)이 서로 교차됨에 따라 형성된 영역에 화소 영역(13)이 형성된다.
이러한 구조를 위해, 액정 표시 기판을 마스크 숏(mask shot)을 이용하여 다수번의 노광 동작을 통해 원하는 패턴을 형성할 경우, 패턴이 형성되는 부분과 부분 사이에 정확한 정렬리 이루어지지 않아, 노광을 위한 경계선(L1)이 정확하게 일치하지 않는 미스 얼라인(mis align)이 발생한다.
이 때, 하나의 마스크 숏에 의해 형성되는 화소 전극(13)의 배열이 일정하므로, 경계선(L1)과 바로 이웃한 화소 전극(13)의 간격(D)은 모두 일정하다.
그로 인해, 하나의 마스크 숏에 의해 형성된 영역의 데이타 선(12)과 바로 이웃한 영역의 화소 영역(13) 사이의 간격(A)과 다른 부분의 간격(B)이 서로 다르기 때문에 각 간격(A, B) 사이의 데이터 선(12)과 화소 영역(13) 사이에 발생하는 기생 용량의 차이가 발생한다.
그러므로 동일한 계조를 표시하는 경우에, 데이터 선(12)에 인가되는 데이터 전압 서로 다르므로, 경계선(L1)을 중심으로 서로 이웃하는 화소 영역(13)의 밝기에 차이가 발생하여 스피치(stitch) 현상이 발생한다.
그러나 이 때, 서로 이웃하는 데이터 선(12)과 화소 영역(13) 사이의 간격(A 및 B)이 일정하므로, 서로 이웃한 영역의 경계선(L1)이 뚜렷해져 스티치 현상이 더욱 심화되고, 화질의 저하를 초래하는 문제가 발생한다.
그러므로 이 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 액정 표시 장치를 제조할 경우 스티치 현상을 약화시켜 화질을 개선하는 것이다.
도1은 종래의 액정 표시 기판의 평면도이고,
도 2는 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 기판의 평면도이다.
이러한 기술적 과제를 해결하기 위해 이 발명에서는 마스크 숏에 의해 형성된 경계면에서 데이터 선과 화소 영역 사이의 간격을 변화시키는 것이다.
바람직하게, 마스크 숏에 의해 형성되는 경계선 근방에 위치한 상기 다수개의 화소 전극의 각 위치를 서로 다르게 형성한다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다.
도 2는 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 기판의 평면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 기판은 마스크 숏에 의해 형성된 영역간의 경계선의 개념을 없애기 위한 것이다.
그로 인해, 기판(10) 위에, 마스크 숏의 정렬 동작에 의해 발생한 경계선(L2)에 주변에 위치하는 화소 전극(13)의 정렬 상태를 일정하게 유지시키지 않고, 경계선(L2)과 이웃하는 화소 전극(13) 사이의 간격(D1-D3)을 서로 다르게 위치시킨다.
그러므로, 각 영역과 영역 사이의 경계선(L2)에 이웃하여 위치하는 화소 전극(13)과, 게이트 선(11)과 교차되어 매트릭스 형태를 이루는 데이터 선((12) 사이의 간격(A1-A3,B1-B3)을 일정하게 유지시키지 않고, 서로 다른 간격을 유지한다.
그로 인해, 하나의 마스크 숏에 의해 형성된 영역의 데이타 선(12)과 바로 이웃한 영역의 화소 영역(13) 사이의 간격(A1-A3,B1-B3)이 서로 다르기 때문에, 각 간격(A1-A3,B1-B3) 사이의 데이터 선(12)과 화소 영역(13) 사이에 발생하는 기생 용량의 차이가 발생한다.
그러므로, 동일한 계조를 표시하는 경우에 각 데이터 선(12)에 인가되는 데이터 전압 각각 다르므로, 서로 이웃하여 경계를 이루는 화소 영역(13)의 밝기는 서로 차이가 발생한다.
따라서, 경계선(L2)에 이웃하고 있는 화소 영역(13)의 밝기가 서로 다르므로, 밝기 차이로 인한 경계선(L2)이 모호하게 표시되어 마스크 숏에 의해 발생하는 경계선(L2)이 뚜렷하게 표시되지 않는다.
이 발명의 실시예에서는 편의상 경계선(L2)에 바로 이웃하고 있는 화소 전극(13)의 밝기 차이가 발생하도록 화소 전극(13)과 데이터 선(12) 사이의 간격(A1-A3,B1-B3)을 서로 다르게 변화시키지만, 실제로는 경계선(L2)을 중심으로 양측으로 다수개의 열과 행에 위치한 화소 전극(13)의 밝기가 다르도록 화소 전극(13)의 위치를 변화시킨다.
또한, 화소 전극을 고정시킨 후, 데이터 선(12)을 형성하기 위한 마스크에 형성되는 데이터 선의 패턴을 변화시켜, 경계선을 중심으로 한 각 화소 전극(13)의 밝기가 서로 다르도록 할 수도 있다.
동일한 계조를 표시할 경우, 마스크 숏에 의해 형성된 경계선 근처에 형성된 화소 전극의 밝기가 일정치 않도록 하므로, 경계선이 뚜렷하게 표시되지 않아 스티치 현상을 두드려지게 표시되지 않고, 뚜렷한 경계선으로 표시로 인한 화질 악화를 줄일 수 있는 효과가 발생한다.

Claims (1)

  1. 게이트 선과, 상기 게이트 선과 교차되어 형성된 데이터 선과, 및 게이트 선과 데이터 선의 교차 동작에 의해 형성된 영역에 배치되는 화소 전극을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    마스크 숏에 의해 형성되는 경계선 근방에 위치한 상기 다수개의 화소 전극의 각 위치를 서로 다르게 형성하여, 각 화소 전극과 상기 데이터 선 사이의 간격이 서로 다르도록 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
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