KR100527078B1 - 액정 패널의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 샷 뮤라의 발생을 방지할 수 있는 액정패널의 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명에 따른 액정패널의 제조방법은, 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할 노광 공정을 이용해서 상기 기판의 셀 어레이 영역 전체에 샷 패턴들을 형성하며, 상기 셀어레이 영역 상측의 주변회로 영역에는 등간격으로 배열되게 다수개의 소오스 드라이버를 형성하고, 상기 셀 어레이 영역 일측의 주변회로 영역에는 등간격으로 배열되게 다수개의 게이트 드라이버를 형성하는 액정패널의 제조방법에 있어서, 상기 분할 노광 공정은 셀 어레이 영역이 인접된 소오스 드라이버들간의 경계면을 기준으로 샷 패턴들이 분할되도록 수행하고, 상기 소오스 드라이버들간 경계면을 기준으로 분할된 샷 패턴들간 휘도 차이가 최소화되도록 상기 샷 패턴들의 구동을 분할된 영역들에서의 소오스 드라이버의 신호 인가에 의해 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정패널의 제조방법{Method for fabricating liquid crystal panel}
본 발명은 액정패널의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 샷 뮤라(shot mura)의 발생을 방지할 수 있는 액정패널의 제조방법에 관한 것이다.
액정패널은 독립된 공정에 의해 제작된 하부기판과 상부기판이 소정 간격을 두고 합착되고, 상기 기판들 사이에 액정들이 봉입되어 있는 구조로 이루어지며, 그리고, 기판 셀 어레이 영역의 일측 및 상측의 주변회로 영역에 게이트 드라이버와 소오스 드라이버가 구비되어, 상기 드라이버를 통해 인가되는 신호에 의해 셀 어레이 영역이 동작되어 소정의 화상을 표시한다.
한편, 액정패널의 셀 어레이 영역에는 다수의 패턴들, 예를들어, 게이트라인, 데이터라인 및 소오스/드레인전극 등이 형성된다. 여기서, 어느 한 종류의 패턴을 셀 어레이 영역에 형성하기 위해서는 일반적으로 노광 공정이 실시되며, 이러한 노광 공정은 통상 6인치 포토마스크를 기본으로 구성하는 스텝핑(Stepping) 방식의 포토 장비에 의해 수행된다.
그런데, 상기한 노광 공정에서 사용되는 마스크는 그 사이즈가 기판 면적에 비하여 상당히 작기 때문에 셀 어레이 영역에 소정의 패턴을 형성하기 위해서는 셀 어레이 영역을 등분하여 각 영역에 대하여 분할 노광을 실시하여야 한다.
예를들어, 게이트라인을 형성하기 위해서는 기판의 셀 어레이 영역에 게이트 금속을 전면 증착한 후, 상기 게이트 금속 상에 식각 마스크로 사용하기 위한 감광막을 도포한다. 그런다음, 셀 어레이 영역을 수 개의 영역으로 분할하고, 노광 마스크를 분할된 각 영역으로 순차적으로 옮겨 가며 상기 분할된 영역에 대한 노광 공정을 실시한 후, 현상 공정을 실시하여 식각 마스크로 사용되는 감광막 패턴을 형성한다. 그리고나서, 상기한 감광막 패턴을 식각 마스크로 하는 식각 공정을 수행하여 셀 어레이 영역 상에 수 개의 게이트라인들을 형성한다.
상기에서, 분할 노광에 의해 노광되는 각각의 영역을 통상 샷(Shot)이라 칭하며, 분할 노광에 의해 형성되는 패턴을 샷 패턴(shot pattern)이라 칭한다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정패널을 도시한 도면으로서, 여기서, 도면부호 1은 액정패널, 2는 소오스 드라이버, 3은 게이트 드라이버, A는 드라이버의 경계면을 나타내는 것이고, B는 샷 패턴들간의 경계면을 각각 나타낸다.
그러나, 상기와 같은 분할 노광 공정을 이용해 셀 어레이 영역의 전체에 샷 패턴들을 형성하는 경우에는 샷 패턴들간의 오정렬에 기인하여 상기 샷 패턴들간의 경계면에서 휘도 차이에 의해 화면 상에 흑색의 라인이 보이게 되는 수직 및 수평 샷 뮤라가 발생될 수 있으며, 이로 인해, 액정 모듈의 화면품위가 저하되는 문제점이 있었다. 특히, 수직 샷 뮤라는 화면품위에 치명적인 결함을 유발시킨다.
한편, 종래에는 인접된 샷 패턴들간의 경계면이 톱니 형상을 갖도록 함으로써, 상기와 같은 샷 뮤라가 발생되는 것을 방지하고 있으나, 이 방법은 빛의 간섭에 의한 착시 현상일 뿐, 근본적으로는 샷 뮤라 현상를 제거할 수 없다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 인접된 샷 패턴들간의 휘도 차이를 최소화시킴으로써 샷 뮤라의 발생을 방지할 수 있는 액정패널의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할 노광 공정을 이용해서 상기 기판의 셀 어레이 영역 전체에 샷 패턴들을 형성하며, 상기 셀 어레이 영역 상측의 주변회로 영역에는 등간격으로 배열되게 대수갱의 소오스 드라이버를 형성하고, 상기 셀 어레이 영역 일측의 주변회로 영역에는 등간격으로 배열되게 다수개의 게이트 드라이버를 형성하는 액정패널의 제조방법에 있어서, 상기 분할 노광 공정은 셀 어레이 영역이 인접된 소오스 드라이버들간의 경계면을 기준으로 샷 패턴들이 분할되도록 수행하고, 상기 소오스 드라이버들간 경계면을 기준으로 분할된 샷 패턴들간 휘도 차이가 최소화되도록 상기 샷 패턴들의 구동을 분할된 영역들에서의 소오스 드라이버의 신호 인가에 의해 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 분할 노광 공정을 소오스 드라이버들의 경계면을 기준으로 분할되도록 수행하고, 분할된 각 영역에 형성된 샷 패턴들이 분할된 각 영역에서의 소오스 드라이버로부터 인가되는 신호에 의해 구동되도록 함으로써 인접된 샷 패턴들간의 휘도 차이를 최소화시킬 수 있으며, 이에 따라, 수직 샷 뮤라의 발생을 억제할 수 있다.
(실시예)
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널을 도시한 평면도이다.
도시된 바와 같이, 셀 어레이 영역에서의 샷 패턴들(14)은 등간격으로 배열된 소오스 드라이버들(12)의 경계면을 기준으로 분할되어 있다. 또한, 각 샷 패턴들(14)은 상측의 주변회로 영역에 형성된 각각의 소오스 드라이버(12)에 의해 구동되도록 되어 있다. 미설명된 도면부호 13은 게이트 드라이버를 나타낸다.
일반적으로, 분할 노광 공정을 통해 액정패널을 제작함에 있어서는 샷 패턴들간의 오정렬에 기인하여 샷 뮤라가 발생하게 된다. 여기서, 샷 뮤라는 도 3에 도시된 액정패널의 등가회로에서 Cgs 값의 차이에 의해 발생되는 것이다. 이때, 샷 패턴들간의 오정렬은 장비의 허용 오차 또는 작업 조건에 따라 발생되는 것이다.
그런데, Cgs 값은 게이트 전극과 소오스 전극간의 오버랩 정도의 차이에 따라 변동되는 것으로, 그 값은 게이트 드라이버 및 소오스 드라이버로부터 인가되는 전압을 조절하는 것에 의해 어느 정도의 조절이 가능하다.
따라서, 본 발명의 실시예에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 샷 패턴들(14)을 형성함에 있어서 상기 샷 패턴들(14)을 소오스 드라이버들(12)의 경계면을 기준으로 분할하고, 아울러, 소오스 드라이버(12)로부터 각 샷 패턴(14)에 인가되는 전압이 각 샷 패턴(12)마다 서로 다른 값이 인가되도록 한다.
그러므로, 종래에는 샷 패턴들이 소오스 드라이버의 경계면에 접하고, 아울러, 각 샷 패턴의 구동이 대략 인접된 소오스 드라이버에 의해 제어되는 것과는 달리, 본 발명의 실시예에서는 각 샷 패턴이 하나의 소오스 드라이버에 의해 제어되는 것에 기인하여 인접된 샷 패턴들간의 Cgs 값의 차이를 최소화시킬 수 있게 된다.
자세하게, 상기와 같은 액정패널은 그의 구동시에 Cgs의 값에 기인하는 전압 급강하(ΔVp)의 정도를 각 소오스 드라이버(12)로부터 각 샷 패턴(14)에 인가되는 전압을 조절하는 것에 의해 인접된 각 샷 패턴들(14)이 유사하게 되도록 할 있기 때문에, 결과적으로는, 인접된 샷 패턴들(14)간의 경계면에서 그들간의 휘도 차이를 최소화시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 수직 샷 뮤라를 최대한 감소시킬 수 있는 것에 기인하여 액정패널의 화면품위를 향상시킬 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 다른 실시예로서, 샷 패턴들을 형성함에 있어서 인접된 게이트 드라이버들간의 경계면을 기준으로 하여 형성하고, 아울러, 각 게이트 드라이버로부터 각 샷 패턴들에 인가되는 전압을 조절하는 경우에도 상기와 같은 원리에 근거하여 수평 샷 뮤라를 방지할 수 있게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명은 샷 패턴들을 형성함에 있어서 상기 샷 패턴들을 소오스 드라이버들의 경계면을 기준으로 분할하고, 각 샷 패턴들이 각각의 소오스 드라이버에 의해 구동되도록 함으로써, 샷 패턴들간의 휘도 차이를 최소화시킬 수 있으며, 이에 따라, 수직 샷 뮤랴를 방지할 수 있고, 궁극적으로는 액정패널의 화면품위를 향상시킬 수 있다.
또한, 샷 패턴들을 형성함에 있어서, 상기 샷 패턴들을 게이트 드라이버들의 경계면을 기준으로 분할하고, 이때, 각 샷 패턴들이 각각의 게이트 드라이버에 의해 구동되도록 함으로써, 수평 샷 뮤라 또한 방지할 수 있다.
한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정패널을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명이 실시예에 따른 액정패널을 도시한 도면.
도 3은 액정패널의 등가회로도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
11 : 유리기판 12 : 소오스 드라이버
13 : 게이트 드라이버 14 : 샷 패턴

Claims (1)

  1. 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할 노광 공정을 이용해서 상기 기판의 셀 어레이 영역 전체에 샷 패턴들을 형성하며, 상기 셀 어레이 영역 상측의 주변회로 영역에는 등간격으로 배열되는 다수개의 소오스 드라이버를 형성하고, 사익 셀 어레이 영역 일측의 주변회로 영역에는 등간격으로 배열되게 다수개의 게이트 드라이버를 형성하는 액정패널의 제조방법에 있어서,
    상기 분할 노광 공정은 셀 어레이 영역이 인접된 소오스 드라이버들간의 경계면을 기준으로 샷 패턴들이 분할되도록 수행하고,
    상기 소오스 드라이버들간 경계면을 기준으로 분할된 샷 패턴들간 휘도 차이가 최소화되도록 상기 샷 패턴들의 구동을 분할된 영역들에서의 소오스 드라이버의 신호 인가에 의해 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.
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JPH05323365A (ja) * 1992-05-19 1993-12-07 Casio Comput Co Ltd アクティブマトリックス液晶表示装置
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