KR19990060022A - 액정 표시 장치 패널 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 액정 표시 장치 패널로서, 제1 숏의 모서리 부분에는 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키가 형성되며, 제2 숏의 모서리 부분에는 제2 정렬키가 형성된다. 여기서, 제1 숏과 제2 숏은 동일한 마스크로 형성할 수 있으며, 이 경우 제1 숏과 제2 숏은 각각 직사각형 모양으로 형성하고, 제1 정렬키와 제2 정렬키를 각각 제1 숏과 제2 숏의 네 개의 모서리 부분에 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 숏과 제2 숏은 다른 마스크로 형성할 수도 있다. 이들 제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다.

Description

액정 표시 장치 패널 및 그의 제조 방법
본 발명은 액정 표시 장치(liquid crystal display; 이하 'LCD'라 함) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로 더욱 상세히 말하면, LCD 패널을 분할 노광하는 경우에 숏에 정렬키를 삽입하고 이 정렬키를 이용하여 숏간의 스티치 오차를 구하고, 이 스티치 오차를 고려하여 숏을 정렬시키기 위한 것이다.
LCD 패널의 액티브 영역(표시 영역)이 마스크보다 큰 경우에, 이 액티브 영역을 노광하기 위해서는 한 장의 마스크(또는 여러 장의 마스크)로 액티브 영역을 분할하여 노광하는 분할 노광이 필요하게 된다. (이때, 마스크에 의해 LCD 패널상에 노광되는 영역을 '숏(shot)'이라 한다). 마스크로 액티브 영역을 분할 노광하는 경우에는 액티브 영역에 두 개 이상의 숏이 형성된다.
그러나, 종래에는 인접하는 숏간의 정렬을 위한 정렬 키가 형성되어 있지 않기 때문에, 숏과 숏 사이의 경계선(이하 '스티치선')이 정확히 일치하지 않는 스티치 오차가 발생하게 된다. 이와 같은 스티치 오차는 숏 사이의 각 배선과 화소 전극간의 기생 용량의 차이를 발생시키기 때문에 LCD 패널의 전기적인 특성의 차이를 초래하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 숏 주위에 정렬 키를 형성하고 이를 이용하여 스티치 오차를 측정하고, 이 스티치 오차를 고려하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행하기 위한 것이다.
도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 나타내는 도면이다.
도2a는 도1의 마스크에 의해 노광되는 숏을 나타내는 도면이고,
도2b는 도2a의 '가' 부분을 확대한 도면이다.
도3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크를 나타내는 도면이다.
도4는 도3의 마스크에 의해 노광되는 숏을 나타내는 도면이다.
본 발명의 액정 표시 장치 패널은, 액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 것으로서, 제1 숏의 모서리 부분에는 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키가 형성되며, 제2 숏의 모서리 부분에는 제2 정렬키가 형성된다.
여기서, 제1 숏과 제2 숏은 동일한 마스크로 형성할 수 있으며, 이 경우 제1 숏과 제2 숏은 각각 직사각형 모양으로 형성하고, 제1 정렬키와 제2 정렬키를 각각 제1 숏과 제2 숏의 네 개의 모서리 부분에 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 제1 숏과 제2 숏은 다른 마스크로 형성할 수도 있다.
제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 액정 표시 장치 패널 제조 방법은 액티브 영역을 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광하는 것으로서, 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키를 제1 숏의 모서리 부분에 형성하는 단계와, 제2 정렬키를 제2 숏의 모서리 부분에 형성하는 단계로 이루어진다.
이들 제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도1은 1매 마스크로 1레이어를 분할 노광하는 데 사용되는 마스크를 나타내는 도면이다.
도1에서, 마스크(100)는 LCD 패널의 액티브 영역을 노광하기 위한 부분인 'A' 영역과, 액티브 영역의 주변부를 각각 노광하기 위한 부분인 'B', 'D', 'E'을 포함한다. 'A' 부분의 각 모서리에는 인접하는 숏간을 정렬시키기 위한 'ㄱ'자 모양의 정렬 키 패턴(10)이 형성되어 있다.
도2a는 도1에 도시한 마스크로 반복 노광하여 형성한 LCD 패널을 나타내는 도면이며, 도2b는 도2a의 '가'부분을 확대한 도면이다.
도2a에서, 숏 A1, A2, A3, A4는 도1의 A 영역이 노광된 부분을 나타내며, 숏 B1, B2와 숏 D1, D2와 숏 E1, E2는 각각 도1의 B, D, E 영역이 노광된 부분을 나타낸다. 액티브 영역에 형성되는 각각의 숏 (A1, A2, A3, A4)의 각 모서리에는 'ㄱ'자 모양의 정렬 키(20)가 형성되어 있다.
이하에서는, 도2a 및 도2b를 참조하여 인접하는 두 숏간의 정렬 방법을 설명한다. 도2a에서, 'A2' 숏이 시계 방향으로 약간 회전하였다고 가정한다.
그러면, 'A1'숏의 정렬 키, 'A3'숏의 정렬 키와 'A4'숏의 정렬키는 스티치 선에 정확히 정렬되나, 'A2' 숏의 정렬 키는 정확히 정렬되지 못하고 시계 방향으로 회전하게 된다. 따라서, 'A2' 숏의 정렬 키를 인접하는 숏의 정렬 키와 비교함으로써 'A2' 숏의 스티치 오차를 측정할 수 있으며, 이 측정 결과를 기초로 하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행할 수 있다.
도3은 4매 마스크로 1레이어를 분할 노광하는 경우에 사용되는 마스크를 나타내는 도면이다.
도3에서, 도면 부호 100A, 100B, 100C, 100D은 각각 LCD 패널의 왼쪽과 위쪽 부분, 오른쪽과 위쪽 부분, 오른쪽과 아래쪽 부분, 왼쪽과 아래쪽 부분을 노광하기 위한 마스크를 나타내는 도면이고, 도면 부호 10A, 10B, 10C, 10D는 각각 마스크 100A, 100B, 100C, 100D의 정렬 키 패턴을 나타내는 도면이다. 이들 정렬키 패턴은 도1과 마찬가지로 'ㄱ'자 모양으로 형성된다.
도4는 도3에 도시한 마스크로 반복 노광하여 형성한 LCD 패널을 나타내는 도면이다.
도4에서, 숏 200A, 200B, 200C, 200D는 도3의 마스크 100A, 100B, 100C, 100D에 의해 노광된 부분을 나타내며, 'ㄱ'자 모양의 정렬 키 20A, 20B, 20C, 20D는 도3의 정렬 키 패턴 10A, 10B, 10C, 10D에 의해 노광된 부분을 나타낸다.
이들 'ㄱ' 모양의 정렬키를 가지고, 도2B에서 설명한 바와 같이, 인접하는 숏간의 스티치 오차를 측정할 수 있으며, 이 스티치 오차를 고려하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행할 수 있다.
상기한 실시예에서, 각 레이어에 형성되는 정렬키는 그 레이어와 동일 재료로 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대, 게이트 패턴이 형성되는 첫 번째 레이어에 마련되는 정렬 키는 이 게이트 패턴과 동일한 금속 재료로 형성하는 것이 바람직하다.
상기한 정렬키는 액티브 영역내에 형성되기 때문에, 후에 결함으로 인식될 염려가 있으며, 이에 따라 상기 정렬키는 가능한 작은 크기로 형성하는 것이 바람직하다. 또한 이와 같은 결함으로 되는 것을 제거하기 위해 스티치 오차를 측정한 후에 상기 정렬키를 레이저 등을 이용하여 제거할 수도 있다.
또한, 본 발명의 실시예서는 'ㄱ'자 모양의 정렬 키를 사용하였으나, 이외에 링 모양의 정렬키를 사용하여도 무방하다. 또한 상기 정렬키는 모든 레이어에 대하여 동일하게 사용하여도 되며, 레이어별로 다르게 사용하여도 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 액정 표시 장치에 의하면 숏 주위에 정렬 키를 형성하고 이를 이용하여 스티치 오차를 측정할 수 있으며, 이 스티치 오차를 고려하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행할 수 있다.

Claims (12)

  1. 액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 액정 표시 장치 패널에 있어서,
    상기 제1 숏의 모서리 부분에 형성되며, 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키와,
    상기 제2 숏의 모서리 부분에 형성되며, 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제2 정렬키를 포함하는 액정 표시 장치 패녈.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 동일한 마스크로 형성되는 액정 표시 장치 패널.
  3. 제2항에서,
    상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 각각 직사각형 모양이며,
    상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 각각 상기 제1 숏과 상기 제2 숏의 네 개의 모서리 부분에 형성되는 액정 표시 장치 패널.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양인 액정 표시 장치 패널.
  5. 제1항에서,
    상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 다른 마스크로 형성되는 액정 표시 장치 패널.
  6. 제5항에서,
    상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ' 자 모양이 액정 표시 장치 패널.
  7. 액티브 영역을 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광하는 액정 표시 장치 패널의 제조방법에 있어서,
    인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키를 상기 제1 숏의 모서리 부분에 형성하는 단계와,
    인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제2 정렬키를 상기 제2 숏의 모서리 부분에 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치 패녈의 제조 방법.
  8. 제7항에서,
    상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 동일한 마스크로 형성되는 액정 표시 장치 패널.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 각각 직사각형 모양이며,
    상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 각각 상기 제1 숏과 상기 제2 숏의 네 개의 모서리 부분에 형성되는 액정 표시 장치 패널.
  10. 제9항에서,
    상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양인 액정 표시 장치 패널.
  11. 제7항에서,
    상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 다른 마스크로 형성되는 액정 표시 장치 패널.
  12. 제11항에서,
    상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ' 자 모양이 액정 표시 장치 패널.
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