KR100507536B1 - 액정 표시 장치용 마스크 및 액정 표시 장치의 제조 - Google Patents

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Abstract

박막 트랜지스터 기판과 대향 기판이 정렬되어 있는 액정 표시 장치에서, 게이트 패턴, 데이터 패턴, 화소 패턴이 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판 위에는 각각의 패턴에 대한 샷이 다른 모양으로 분할 노광되어, 중첩되게 형성되어 있다. 분할 노광할 때, 렌즈 분사 방식을 이용한다. 또한, 샷의 경계 부분은 각 패턴에 대한 샷이 중첩되지 않도록 형성하여 스티치 불량 중첩 효과를 보상한다. 그리고, 샷의 정확한 정렬을 실행하기 위한 정렬키가 각 샷의 동일 위치에 형성되어 있다.

Description

액정 표시 장치용 마스크 및 액정 표시 장치의 제조 방법
본 발명은 액정 표시 장치용 마스크 및 액정표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 분할 노광하여 제조하는데 있어서 스티치 불량을 줄이기 위한 액정 표시 장치용 마스크 및 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 화소 전극이 형성되어 있는 박막 트랜지스터(thin film transistor:이하 'TFT'라 한다) 기판과 화소 전극에 대향하는 공통 전극이 형성되어 있는 대향 기판 사이에 액정 물질이 주입되어 화상을 표시하는 장치이다. TFT 기판에는 게이트 패턴, 데이터 패턴 및 화소 패턴이 형성되어 있으며, 이들은 서로 다른 마스크를 통하여 형성되어 있다. 이 때, 마스크를 통해 일정한 패턴을 기판에 노광하는 공정은 여러 번 반복을 통하여 이루어지는데, 한 번의 노광 공정 단위를 샷이라 한다. 실제의 샷은 전이, 회전, 비틀림 등의 왜곡이 발생하기 때문에 샷 사이가 정확히 정렬되지 않아 샷 사이의 각 배선과 화소 전극 사이에 기생 용량의 차이가 발생하여 동일한 색상을 표시하더라도 샷 단위의 색상이 불균일하게 된다.(이하 '스티치 불량' 라 한다)
따라서, 스티치 불량을 유발하는 샷으로 인한 인접한 샷의 경계 부분에서 중첩 효과가 발생하여 불량을 가속화시키게 된다.
도 1은 종래의 액정 표시 장치의 구조 중 인접한 샷의 경계 부분을 나타낸 도면이다.
도 1 에서와 같이, 종래의 액정 표시 장치는 TFT 기판(10)과 대향 기판(20)이 정렬되어 있다. 이 때, 도면에 나타나지는 않았지만 TFT 기판(10)에는 게이트 패턴, 데이터 패턴, 화소 패턴이 형성되어 있다. 그러나, 이러한 종래의 기술에 따른 액정 패널의 제조 방법에서는 각각의 패턴을 형성할 때, 동일한 모양의 마스크로 노광하기 때문에 샷의 경계 부분(30)이 중첩된다. 따라서, A, B, C, D와 같이 스티치 불량이 발생하더라도 샷의 경계 부분이 중첩되어 있기 때문에 스티치 불량이 발생하는 단계를 추적하기가 어렵게 된다.
본 발명은 스티치 불량이 발생하는 경우에 즉각적인 추적이 가능하도록 하며, 스티치 불량을 최소화하는데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 TFT 기판 위에 게이트 패턴, 데이터 패턴, 화소 패턴이 서로 다른 모양의 샷을 통하여 형성되어 있다. 이 때, 샷간의 경계 부분은 각각의 패턴에 대한 샷이 다른 모양으로 형성되어 있기 때문에 중첩되어 있지 않다.
그리하여, 스티치 불량 발생시, 발생 모양으로부터 즉각적으로 불량이 발생한 층의 추적이 가능하며, 그에 따라 스티치 불량을 최소화 할 수 있다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 다음 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
먼저 본 발명의 실시예를 기재한다. 도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 구조 중 인접한 샷의 경계 부분을 나타낸 도면이다.
도 2에서와 같이 화소 전극이 형성되어 있는 TFT 기판(10)과 대향 기판(20)이 정렬되어 있는 액정 패널에서, 화소 전극이 형성된 TFT 기판(10) 위의 한 셀에 다수의 샷을 분할 노광하여 패턴을 형성하기 위하여 스테퍼(stepper)방식으로 스탭 앤 리피트(step and repeat) 공정을 수행하여 분할 노광한다. 즉, 스테퍼 방식은 패턴을 형성하고자 하는 기판을 순차적으로 움직일 수 있는 판 위에 고정시키고, 투사 렌즈를 이용하여 일정 크기의 마스크 패턴을 분할 노광하는 방식이다. 즉, 하나의 셀을 둘 이상의 샷으로 노광한다. 이러한 방식으로, TFT 기판(10) 위에 게이트 패턴, 데이터 패턴, 화소 패턴에 대한 샷이 다른 모양으로 중첩(이하 '중첩 샷'이라 한다)되게 형성되어 있다. 이 때, 중첩 샷의 경계 부분은 각각의 패턴에 대한 샷(40, 50, 60)이 서로 다른 모양으로 중첩되지 않게 형성되어 있다. 예를 들면, 샷의 경계 부분에서 게이트 패턴에 대한 샷은 실선으로 표시되어 있고, 데이터 패턴에 대한 샷은 일점쇄선으로 표시되어 있고, 화소 패턴에 대한 샷은 점선으로 표시되어 있다.
따라서, 중첩 샷의 경계 부분에서 어느 한 패턴에 대한 샷에서 발생한 스티치 불량과 다른 패턴에 대한 샷에서 발생한 스티치 불량이 중첩되지 않기 때문에 중첩 샷의 경계 부분에서 각 패턴에 대한 샷을 구별할 수 있으므로, 불량이 발생한 패턴의 검증을 확실하게 할 수 있다. 또한, 각 패턴에 대한 샷간에 서로 어긋남이 없도록 정렬하기 위해 정렬키는 동일 위치에 형성되어 있다.
앞에서 설명한 바와 같이, 화소 전극이 형성되어 있는 TFT 기판 위에 샷의 모양을 다르게 형성함으로써, 샷의 경계 부분에서 각 층들에 대한 샷이 서로 중첩되지 않고 오버랩 되도록 배열하면 샷간의 폭 및 스티치 불량 효과를 효과적으로 줄일 수 있고, 스티치 불량 발생시, 불량 모양으로부터 발생 유발 공정 검증이 쉬워지므로 신속한 공정 개선이 가능하다.
도 1은 종래의 액정 표시 장치의 구조 중 인접한 샷의 경계 부분을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 구조 중 인접한 샷의 경계 부분을 나타낸 도면이다.

Claims (4)

  1. 게이트 패턴용 마스크, 데이터 패턴용 마스크 및 화소 패턴용 마스크를 포함하며, 상기 각각의 패턴용 마스크는 서로 다른 크기를 가지며, 각각의 패턴 형성을 위한 샷 공정 시 상기 패턴용 마스크간의 경계 부분에서 상기 패턴용 마스크가 중첩되지 않는 액정 표시 장치용 마스크.
  2. 제1항에서,
    상기 샷의 경계 부분에서 상기 각 샷의 영역을 점차적으로 감소 또는 증가시킬 수 있도록 형성되어 있는 액정 표시 장치용 마스크.
  3. 게이트 패턴용 마스크, 데이터 패턴용 마스크 및 화소 패턴용 마스크를 이용한 샷 공정을 통해 각각 게이트 패턴, 데이터 패턴 및 화소 패턴을 형성하며,
    상기 각각의 패턴용 마스크는 서로 다른 크기를 가지며, 각각의 패턴 형성을 위한 샷 공정 시 상기 패턴용 마스크간의 경계 부분에서 상기 패턴용 마스크가 중첩되지 않는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제3항에서,
    상기 각각의 패턴용 마스크를 이용하여 상기 샷의 경계 부분에서 상기 각 샷의 영역을 점차적으로 감소 또는 증가시키는 액정 표시 장치의 제조 방법.
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