KR960038441A - 쇼트 패턴이 형성된 액정 표시장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 쇼트 패턴이 형성된 액정 표시장치에 관한 것으로서, 쇼트 패턴은 두장의 기판으로 구성되는 액정 표시장치의 액정 패널에서 하부 기판에 형성되는 패드를 통해 들어오는 구동 신호를 상부 기판의 공통 전극에 전달하기 위하여 형성된다. 쇼트 패턴이 형성된 종래의 액정 표시장치는 공통 전극용 패드를 쇼트 패턴과 데이터 패드 사이에 형성하여 데이터 패드로 들어오는 구동 신호가 공통 전극용 패드와 쇼프 패턴을 통하여 상부 기판의 공통 전극에 전달되도록 구성하였다. 그러나 이와 같은 종래의 구조에서는 쇼트 패턴의 전기적연결 상태를 점검하기 어렵다는 문제점이 있었다. 따라서, 이 발명에서는 더미 패드와 배선으로 구성되는 TEG패턴을 쇼트 패턴이 형성되는 곳에 한 개 또는 다수개 형성하여 쇼트 패턴의 전기 저항 등을 측정하여 쇼트 패턴을 검사할 수 있도록 구성하여 쇼트 패턴의 전기 저항 등을 측정하므로써 쇼트패턴을 형성하는 단위 공정에서 모니터링(monitoring) 할 수 있어 액정 표시장치의 표시품질 수율을 향상 시킬 수 있도록 하였다.

Description

쇼트 패턴이 형성된 액정 표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 박막 트랜지스터 액정 패널의 단면도, 제2도는 종래의 액정 패널의 평면도, 제3도는 이 발명에 따른 액정 패널의 부분도이다.

Claims (13)

  1. 상부 기판과 하부 기판으로 구성되는 액정 패널과, 상기한 액정 패널의 화면 표시부인 액티브 영역과, 상기한 액티브 영역에 형성되는 게이트 전극 및 소스전극과, 외부로부터 들어오는 구동 신호를 상기한 게이트 전극과 소스전극에 전달하기 위하여 상기한 하부 기판에 형성되는 게이트 패드 및 데이타 패드와, 상기한 액정패널의 상부 기판에 형성되는 공통 전극과, 상기한 공통전극과 상기한 데이타 패드를 전기적으로 연결하기 위하여 형성되는 쇼트 패턴과, 상기한 테이타 패드와 상기한 소트 패턴을 연결하기 위한 공통 전극용 패드로 구성되는 액정 표시장치에 있어서, 상기한 쇼트 패턴에 대하여 전기적 검사를 하기 위해 상기한 하부기판에 형성되는 TEG 패턴을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 TEG 패턴을 또는 다수개 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 TEG 패턴을 상기한 데이터 패드 사이에 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 상부 기판의 사각 부분에 형성되는 패턴을 검사하기 위하여 상기한 TEG 패턴을 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기한 TEG 패턴은 더미 패드와 배선으로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기한 배선을 상기한 더미 패드와 상기한 데이타 패드 또는 공통 전극용 패드 사이에 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기한 배선을 상기한 더미 패드와 상기한 쇼트 패턴 사이에 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치.
  8. 제5항 또는 제7항에 있어서, 상기한 배선이 서로 직접 접촉하지 않고 상기한 쇼트 패턴을 경유하여 연결되도록 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치.
  9. 일정한 두께를 갖는 하부 기판 위에 스퍼터링 장치 등을 이용하여 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 탄탈(Ta) 등으로 구성되는 금속막을 증착하는 공정과, 포토 리소그래피 공정을 이용하여 상기한 금속막을 패턴하여 게이트 전극을 형성하는 공정과, 질화 실리콘 등으로 구성되는 게이트 절연막과 비정질 실리콘으로 형성되는 반도체층(4)과 n+오믹 층을 연속막 증착법에 의해서 증착하는 공정과, 스프터링 장치 등을 이용하여 알루미늄(A1), 크롬(Cr), 탄탈(Ta) 등으로 구성되는 금속막을 장측하고 패턴하여 드레인 전극과 소스 전극을 형성하는 공정과, ITO 등으로 구성되는 화소 전극을 형성하는 공정을 포함하는 액정표시장치 제조 방법에 있어서, 더미 패드와 배선으로 구성되는 TEG 패턴을 형성하는 공정을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기한 TEG 패턴을 상기한 게이트 전극 형성 공정에서 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기한 TEG 패턴을 상기한 드레인 전극과 소스전극을 형성하는 공정에서 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기한 TEG 패턴을 상기한 화소 전극 형성 공정에서 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기한 게이트 전극을 형성하는 공정과, 상기한 드레인 또는 소스 전극을 형성하는 공정과, 상기한 화소 전극을 형성하는 공정을 선택적으로 실시하여 상기한 TEG 패턴이 한 층 이상의 적층된 구조를 갖도록 형성함을 특징으로 하는 액정 표시장치 제조 방법.
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KR100507536B1 (ko) * 1997-12-09 2005-11-11 삼성전자주식회사 액정 표시 장치용 마스크 및 액정 표시 장치의 제조

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