KR20050003511A - Ｃｏｇ 실장형 액정표시장치의 ｉｐｔ 검사패드, 그제조방법 및 이를 이용한 검사방법 - Google Patents

Ｃｏｇ 실장형 액정표시장치의 ｉｐｔ 검사패드, 그제조방법 및 이를 이용한 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드, 그 제조방법 및 이를 이용한 검사방법에 대해 개시된다. 개시된 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드는, 기판상에 형성된 게이트 라인, 게이트 패드 그리고 기판의 외곽부에 형성된 쇼팅바 및 링크 라인과; 상기 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인이 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막상에 형성된 데이터 라인 및 데이터 패드와; 상기 결과물상에 형성된 패시베이션막과; 상기 패시베이션막의 상기 데이터 패드와 상기 링크라인이 형성된 부위에 각각 컨텍홀이 형성되며, 그 결과물상에 형성된 투명도전막을 포함하는 점에 그 특징이 있다.
본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드, 그 제조방법 및 이를 이용한 검사방법은, COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사를 위해 형성되는 쇼팅바를 기판 외곽에 형성하고, 링크 라인으로 연결함으로써 추가적 공정 없이 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바를 제거할 수 있다.

Description

ＣＯＧ 실장형 액정표시장치의 ＩＰＴ 검사패드, 그 제조방법 및 이를 이용한 검사방법{A IPT TESTING PAD, THE FABRICATION METHOD AND THE TESTING METHOD FOR COG OF LCD}
본 발명은 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드, 그 제조방법 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로, 특히 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사를 위해 형성되는 쇼팅바를 기판 외곽에 형성하고, 링크 라인으로 연결함으로써 추가적 공정 없이 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바를 제거할 수 있다.
최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 시대상에 부응하기 위해 평판표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었다. 이에 따라 색 재현성이 우수하고 박형인 박막트랜지스터형 액정표시소자(Thin film Transistor-liquidcrystal display ; 이하 TFT-LCD라 한다)가 개발되었다.
통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.
일반적으로 액정표시장치에 있어서 TFT-LCD 액정표시장치를 구동하기 위한 구동신호를 공급하는 구동 IC를 TFT-LCD 패널에 접속하는 실장 기술은 WB(Wire Bonding)방식, TAB(Tape Automated Bonding)방식 및 COG(Chip On Glass)방식으로 구분된다.
첫째, WB 방식은 금(Au) 와이어를 이용하여 패널 전극과 구동 IC를 접속하는 방식을 이용한 실장 방법이다.
둘째, TAB 방식은 필름 케리어(film carrier)에 구동 IC가 접속된 패캐지(package)를 패널에 실장하는 기술이다.
셋째, COG 방식은 베어 칩(Bare Chip) 자체에 범프(Bump)를 형성한 후 인너리드 패드와 아웃 리드 패드가 형성된 패널에 실장하는 기술이다.
그리고 액정표시장치의 공정 중에 정전기가 내부 TFT-LCD 어레이에 인가되어 내부 소자(박막트랜지스터 등)가 파괴되므로 이를 방지하고, 또한 TFT-LCD 어레이 완성 후 어레이 검사를 용이하게 하기 위하여 쇼팅바가 필요하게 되었다.
즉, 쇼팅바는 각 게이트 라인에 연결되는 하나의 쇼팅바와 각 데이터 라인에연결되는 다른 하나의 쇼팅바로 구성되어, 어레이 검사시 게이트 라인의 단락유무를 체크하기 위해 각 게이트 라인이 연결된 쇼팅바에 전원을 인가하고 각 게이트 라인의 반대쪽에서 체크하여 게이트 라인의 단락 유무를 체크하며, 데이터 라인도 마찬가지 방법으로 체크한다.
이와 같이 쇼팅바는 실제 TFT-LCD를 구동함에 있어서는 전혀 이용되지 않고, 상기와 같이 정전기 방지 및 어레이 검사시에 이용되는 것이므로 최종적으로는 제거된다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 쇼팅바를 제거하는 공정을 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, TFT-LCD의 어레이가 완성되고 어레이 검사가 끝나면 상판과 하판을 합착한 후, 스크라이브(scribe) 공정과 그라인딩(grinding) 공정을 거쳐서 상기 쇼팅바를 제거한다.
한편, 이와 같은 쇼팅바를 형성함에 있어서, 실장 방식에 따라 게이트 라인 및 데이터 라인의 구성이 다르기 때문에 쇼팅바를 형성하기가 난해하다.
즉, TAB 방식은 케리어 필름이 연결되기 때문에 TFT-LCD 판넬상에서 공간을 확보할 수 있으므로 구동 IC 실장 영역인 게이트 라인 패드 및 데이터 라인 패드 일측에 쇼팅바를 형성한다.
그러나, COG 방식은 TFT-LCD 패널의 구동 IC 실장 영역에 인너 리드와 아웃리드가 형성되어야 하므로 TFT-LCD 패널상에서 공간을 확보하기가 곤란하여 구동 IC 실장 영역에 쇼팅바를 설치하기가 어려웠다.
그런데 최근에는 COG 실장 방식용 액정표시장치에서도 COG 실장 영역에 쇼팅바를 설치한 기술이 개발되었다.
이와 같은 COG 실장용 액정표시장치에서 쇼팅바를 형성한 종래의 기술을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 종래의 쇼팅바가 설치된 COG 실장용 액정표시장치의 레이 아웃도이 다. 이에 도시된 바와 같이, 먼저, 쇼팅바가 설치된 종래의 COG 실장용 액정표시장치는 기판 상에 일정한 간격을 갖고 일 방향으로 복수개의 게이트 라인(21)이 배열되고, 상기 각 게이트 라인(21)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인(22)이 배열된다.
상기 각 게이트 라인(21)과 데이터 라인(22)의 일측 끝단에는 게이트 패드(23) 및 데이터 패드(24)가 형성되며, 상기 각 게이트 패드(23)에 대향되는 부분에는 일정 간격을 갖고 복수개의 게이트 입력 패드(27)가 형성되고, 상기 데이터 패드(24)에도 대향되는 부분에 일정 간격을 갖고 복수개의 데이터 입력 패드(28)가 형성된다.
여기서, 각 게이트 패드(23)에 대향되도록 게이트 입력 패드(27)가 형성된 부분이 게이트 구동 IC 실장 영역(29)이고, 각 데이터 패드(24)에 대향되도록 데이터 입력 패드(28)가 형성된 부분이 데이터 구동 IC 실장 영역(20)이다.
그리고, 상기 게이트 구동 IC 실장 영역(29) 및 데이터 구동 IC 실장 영역(20)에 제 1 쇼팅바(25) 및 제 2 쇼팅바(26)가 형성된다.
즉, 제 1 쇼팅바(25)는 각 게이트 패드(23)와 게이트 입력 패드(27) 사이에 형성되고, 각 게이트 패드(23)는 제 1쇼팅바(25)에 연결된다.
또한 제 2 쇼팅바(26)는 각 데이터 패드(24)와 데이터 입력 패드(28) 사이에 형성되고, 각 데이터 패드(24)는 제 2 쇼팅바(26)에 연결된다.
상기 도 2에서 미설명 부호는 레이저 컷팅 라인(30)이다.
도 3은 종래에 따른 COG를 적용한 액정표시장치에 쇼팅바를 형성한 구조를 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 상기 액정표시장치의 쇼팅바(25)는 게이트 라인(21)과 수직 방향으로 연결되어 있다.
도 4는 종래에 따른 COG를 적용한 액정표시장치에 쇼팅바를 제거하는 공정을 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 박막트랜지스터 및 화소전극 등을 구비한 TFT-LCD를 형성한 다음 상술한 바와 같이 어레이 검사를 하고, 검사가 끝나면 상, 하판을 합착하게 된다. 그리고, 상기 쇼팅바(25)와 게이트 라인(21) 사이를 레이저 컷팅(LASER CUTTING) 장비를 이용하여 컷팅한다.
그러나, 상기와 같이 레이저를 이용하여 쇼팅바를 제거하는 공정은 별도의 레이저 컷팅 장비를 이용하기 때문에 장비 확보를 위한 추가 비용이 들고, 추가적 공정이기 때문에 수율 향상에 문제점이 발생된다.
본 발명은, COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사를 위해 형성되는 쇼팅바를 기판 외곽에 형성하고, 링크 라인으로 연결함으로써 추가적 공정 없이 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바를 제거할 수 있는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드, 그 제조방법 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 쇼팅바를 제거하는 공정을 도시한 도면.
도 2는 종래의 쇼팅바가 설치된 COG 실장용 액정표시장치의 레이 아웃도.
도 3은 종래에 따른 COG를 적용한 액정표시장치에 쇼팅바를 형성한 구조를 도시한 도면.
도 4는 종래에 따른 COG를 적용한 액정표시장치에 쇼팅바를 제거하는 공정을 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 COG 실장용 액정표시장치의 레이 아웃도.
도 6은 상기 도 5의 A 부분을 확대한 도면.
도 7은 상기 도 6의 Ⅰ - Ⅰ' 의 단면을 도시한 도면.
도 8a 내지 8c는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드의 제조방법에 대한 제 1 실시 예의 순서도.
도 9는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사 후, 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바가 제거된 것을 도시한 평면도.
도 10은 상기 도 9의 Ⅱ - Ⅱ'의 단면도.
도 11은 상기 도 5의 B 부분을 확대한 도면.
도 12는 상기 도 11의 Ⅲ - Ⅲ' 의 단면을 도시한 도면.
도 13a 내지 13c는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드의 제조방법에 대한 제 2 실시 예의 순서도.
도 14는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사 후, 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바가 제거된 것을 도시한 평면도.
도 15는 상기 도 14의 Ⅳ - Ⅳ'의 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
71, 121 --- 기판 72 --- 링크 라인 및 쇼팅바
73, 123 --- 게이트 절연막 74 --- 데이터 패드
75, 125 --- 패시베이션막 76, 126 --- 투명도전막
122 --- 게이트 패드 124 --- 링크 라인 및 쇼팅바
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드는,
기판상에 형성된 게이트 라인, 게이트 패드 그리고 기판의 외곽부에 형성된 쇼팅바 및 링크 라인과;
상기 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인이 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막과;
상기 게이트 절연막상에 형성된 데이터 라인 및 데이터 패드와;
상기 결과물상에 형성된 패시베이션막과;
상기 패시베이션막의 상기 데이터 패드와 상기 링크라인이 형성된 부위에 각각 컨텍홀이 형성되며, 그 결과물상에 형성된 투명도전막을 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 데이터 패드와 상기 링크 라인에 형성된 각각의 컨택홀은 상기 투명도전막에 의해 연결되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 쇼팅바는 기판의 최외곽에 형성되어 있고, 상기 쇼팅바로부터 수직으로 상기 링크 라인이 각각 연결되어 있는 점에 그 특징이 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드는,
기판상에 형성된 게이트 라인 및 게이트 패드와;
상기 게이트 라인 및 게이트 패드가 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막과;
상기 게이트 절연막상에 형성된 데이터 라인, 데이터 패드 그리고 기판의 외곽에 형성된 쇼팅바 및 링크 라인과;
상기 결과물상에 형성된 패시베이션막과;
상기 패시베이션막의 상기 게이트 패드와 상기 링크라인이 형성된 부위에 각각 컨텍홀이 형성되며, 그 결과물상에 형성된 투명도전막을 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 게이트 패드와 상기 링크 라인상에 형성된 각각의 컨택홀은 상기 투명도전막에 의해 연결되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 쇼팅바는 기판의 최외곽에 형성되어 있고, 상기 쇼팅바로부터 수직으로 상기 링크 라인이 각각 연결되어 있는 점에 그 특징이 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드 제조방법은,
기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인, 게이트 패드 그리고 기판의 외곽부에 쇼팅바와 링크 라인을 연결하여 형성하는 단계와;
상기 형성된 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
상기 형성된 게이트 절연막상에 금속막을 증착하여 데이터 라인 및 데이터 패드를 형성하는 단계와;
상기 결과물상에 패시베이션막을 형성하는 단계와;
상기 패시베이션막이 형성된 결과물에서 상기 링크 라인과 상기 데이터 패드의 일부분이 노출되도록 콘택홀을 형성하는 단계와;
상기 콘택홀이 형성된 상기 링크 라인과 상기 데이터 패드가 연결되도록 투명도전막을 형성하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인을 형성하는 단계에서 상기 쇼팅바와 링크 라인은 수직으로 연결되는 점에 그 특징이 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 IPT 검사패드 제조방법은,
기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인 및 게이트 패드를 형성하는 단계와;
상기 형성된 게이트 라인 및 게이트 패드상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
상기 형성된 게이트 절연막상에 금속막을 증착하여 데이터 라인, 데이터 패드 그리고, 외곽부에 쇼팅바와 링크 라인을 연결하여 형성하는 단계와;
상기 결과물상에 패시베이션막을 형성하는 단계와;
상기 패시베이션막이 형성된 결과물상의 게이트 패드와 상기 링크 라인의 일부분이 노출되도록 콘택홀을 형성하는 단계와;
상기 콘택홀이 형성된 상기 게이트 패드와 상기 링크 라인이 연결되도록 투명도전막을 형성하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 형성된 게이트 절연막상에 금속막을 증착하여 데이터 라인, 데이터 패드, 쇼팅바 및 링크 라인을 형성하는 단계에서 상기 쇼팅바와 링크 라인은 서로 수직으로 연결되는 점에 그 특징이 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사방법은,
기판의 외곽상에 링크 라인을 통해 연결된 쇼팅바에 IPT 검사를 수행하는 단계와;
상기 기판의 IPT 검사를 수행한 후, 상기 링크 라인과 연결된 쇼팅바를 제거하는 그라인딩을 수행하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사를 위해 형성되는 쇼팅바를 기판 외곽에 형성하고, 링크 라인으로 연결함으로써 추가적 공정 없이 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바를 제거할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 COG 실장용 액정표시장치의 레이 아웃도이고, 도 6은 상기 도 5의 A 부분을 확대한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, COG 실장용 액정표시장치의 외곽부위에 칩이 형성되어 있으며, 상기 COG 실장형 액정표시장치내에 형성된 IPT 검사패드는, 데이터 패드(74)의 하부 레이어에 링크 라인(72)을 추가하여 패드 외곽부의 쇼팅바(72a)와 연결되어 있고, 상기 데이터 패드(74)와 상기 링크라인에는 콘택홀이 형성되어 투명도전막(76)을 통해 연결시키는 방법을 사용한다.
도 7은 상기 도 6의 Ⅰ - Ⅰ' 의 단면을 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와같이, COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드는, 기판(71)상에 형성된 게이트 라인(미도시), 게이트 패드(미도시), 쇼팅바(72a) 및 링크 라인(72)과; 상기 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바(72a) 및 링크 라인(72)이 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막(73)과; 상기 게이트 절연막(73)상에 형성된 데이터 라인(미도시) 및 데이터 패드(74)와; 상기 결과물상에 형성된 패시베이션막(75)과; 상기 패시베이션막(75)상에 형성된 투명도전막(76)을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 데이터 패드(74)와 상기 링크 라인(72)상에는 컨택홀이 형성되며, 상기 투명도전막(76)에 의해 연결되어 있다.
그리고, 상기 쇼팅바(72a)와 상기 링크 라인(72)은 상기 게이트 라인 및 게이트 패드가 형성될 때 기판의 외곽상에 동시에 형성되며 연결되어 있다.
도 8a 내지 8c는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드의 제조방법에 대한 제 1 실시 예의 순서도이다. 먼저 도 8a에 도시된 바와 같이, 기판(71)상에 금속막을 증착하고 식각하여 게이트 라인(미도시), 게이트 패드(미도시), 쇼팅바(72a) 및 링크 라인(72)을 형성하게 된다.
보다 상세하게는, 투명 기판(71) 상에 저저항 배선에 적합한 금속물질을 증착한 후, 마스크를 이용한 사진식각 공정에 의해 패터닝(patterning)하여 게이트 전극, 게이트 라인 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하게 되고, 상기 형성된 각각의 게이트 배선은 상기 게이트 패드와 연결되어 있다. 그리고, 상기 쇼팅바(72a)와 링크 라인(72)은 기판의 외곽쪽에 형성되어 있다.
상기 증착되는 금속물질로는 알루미늄(Aluminum), 알루미늄 합금 또는 알루미늄을 포함하는 이중 금속층 중 어느 하나의 금속으로 이루어진다.
그 다음으로, 상기 형성된 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바(72a) 및 링크 라인(72)상에 게이트 절연막(73)을 형성하게 된다.
이어서, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 형성된 게이트 절연막(73)상에 금속막을 증착하고, 식각하여 상기 게이트 전극, 게이트 라인 및 게이트 패드(미도시)가 형성되는 것과 같은 방법으로 데이터 라인 및 데이터 패드(74)를 형성하게 된다.
상기 금속물질로는 화학적 내식성이 강하고, 기계적 강도가 높은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 니켈(Ni) 등이 주로 이용된다.
그리고, 도 8c에 도시된 바와 같이, 상기 결과물상에 패시베이션막(75)을 형성하게 된다.
상기 패시베이션막(75)은 액정표시장치의 액정 셀 공정에서의 러빙(rubbing)이나 반송 중에 생기는 스크래치와 수분의 침투로 생기는 박막 트랜지스터의 손상이나 퇴화를 막기 위해 형성하는 것으로, 실리콘 질화막이나 유기절연막인 BCB(BenzoCycloButene) 등으로 이루어진다.
상기 유기절연막은 고개구율을 구현하기 위해 사용되는 것으로 이는 SiNx, BCB, SiNx층으로 형성되어 있다.
이어서, 상기 링크 라인(72)과 상기 데이터 패드(74)의 일부분이 노출되도록 콘택홀을 형성하고, 상기 콘택홀이 형성된 상기 링크 라인(72)과 상기 데이터패드(74)가 연결되도록 투명도전막(76)을 형성하게 된다.
보다 자세히 설명하면, 상기 패시베이션막(75)상의 상기 데이터 패드(74)와 상기 링크 라인(72) 부분에 컨택홀을 드라이 에칭(Dry Etching) 방법을 통하여 식각하게 된다.
여기서, 상기 투명도전막(76)은 투명도전성 물질로 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 이용된다.
도 9는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사 후, 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바가 제거된 것을 도시한 평면도이고, 도 10은 상기 도 9의 Ⅱ - Ⅱ'의 단면도이다. 이에 도시된 바와 같이, 박막트랜지스터 및 화소전극 등을 구비한 TFT-LCD를 형성한 다음 상술한 바와 같이 기판의 외곽상에 링크 라인(72)을 통해 연결된 쇼팅바(72a)에 IPT 검사를 수행한 후, 상기 링크 라인(72)과 연결된 쇼팅바(72a)를 제거하는 그라인딩을 수행하게 된다.
도 11은 상기 도 5의 B 부분을 확대한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드는, 게이트 패드(122)의 상부 레이어에 링크 라인(124)을 추가하여 패드 외곽부의 쇼팅바(124a)와 연결시키는 방법을 사용한다.
도 12는 상기 도 11의 Ⅲ - Ⅲ' 의 단면을 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드는, 기판(121)상에 형성된 게이트 라인(미도시) 및 게이트 패드(122)와; 상기 게이트 라인 및 게이트 패드(122)가 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막(123)과; 상기 게이트 절연막(123)상에 형성된 데이터 라인(미도시), 데이터 패드(미도시), 쇼팅바(124a) 및 링크 라인(124)과; 상기 결과물상에 형성된 패시베이션막(125)과; 상기 패시베이션막(125)상에 형성된 투명도전막(126)을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 게이트 패드(122)와 상기 링크 라인(124)상에는 컨택홀이 형성되며, 상기 투명도전막(126)에 의해 연결되어 있다.
그리고, 상기 쇼팅바(124a)와 상기 링크 라인(124)이 연결되는 상기 데이터 라인 및 데이터 패드(미도시)가 형성될 때 기판의 외곽상에 동시에 형성되며 연결되어 있다.
도 13a 내지 13c는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드의 제조방법에 대한 제 2 실시 예의 순서도이다. 먼저 도 13a에 도시된 바와 같이, 기판(121)상에 금속막을 증착하고, 식각하여 게이트 라인(미도시) 및 게이트 패드(122)를 형성하게 된다.
보다 상세하게는, 투명 기판(121) 상에 저저항 배선에 적합한 금속물질을 증착한 후, 마스크를 이용한 사진식각 공정에 의해 패터닝(patterning)하여 게이트 전극, 게이트 라인 및 게이트 패드(122)를 포함하는 게이트 배선을 형성하게 되고, 상기 형성된 각각의 게이트 배선은 상기 게이트 패드(122)와 연결되어 있다.
상기 증착되는 금속물질로는 알루미늄(Aluminum), 알루미늄 합금 또는 알루미늄을 포함하는 이중 금속층 중 어느 하나의 금속으로 이루어진다.
그 다음으로, 상기 형성된 게이트 라인 및 게이트 패드(122)상에 게이트 절연막(123)을 형성하게 된다.
이어서, 도 13b에 도시된 바와 같이, 상기 형성된 게이트 절연막(123)상에 금속막을 증착하고, 식각하여 상기 게이트 전극, 게이트 라인 및 게이트 패드(122)가 형성되는 것과 같은 방법으로 데이터 라인, 데이터 패드, 쇼팅바 및 링크 라인(124)을 형성하게 된다. 그리고, 상기 쇼팅바(124a)와 링크 라인(124)은 기판의 외곽쪽에 형성되어 있다.
상기 금속물질로는 화학적 내식성이 강하고, 기계적 강도가 높은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 니켈(Ni) 등이 주로 이용된다.
그리고, 도 13c에 도시된 바와 같이, 상기 결과물상에 패시베이션막(125)을 형성하게 된다.
상기 패시베이션막(125)은 액정표시장치의 액정 셀 공정에서의 러빙(rubbing)이나 반송 중에 생기는 스크래치와 수분의 침투로 생기는 박막 트랜지스터의 손상이나 퇴화를 막기 위해 형성하는 것으로, 실리콘 질화막이나 유기절연막인 BCB(BenzoCycloButene) 등으로 이루어진다.
상기 유기절연막은 고개구율을 구현하기 위해 사용되는 것으로 이는 SiNx, BCB, SiNx층으로 형성되어 있다.
이어서, 상기 링크 라인(124)과 상기 게이트 패드(122)의 일부분이 노출되도록 콘택홀을 형성하고, 상기 콘택홀이 형성된 상기 링크 라인(124)과 상기 게이트 패드(122)가 연결되도록 투명도전막(126)을 형성하게 된다.
보다 자세히 설명하면, 상기 패시베이션막(125)상의 상기 게이트 패드(122)와 상기 링크 라인(124) 부분에 컨택홀을 드라이 에칭(Dry Etching) 방법을 통하여 식각하게 된다.
여기서, 상기 투명도전막(126)은 투명도전성 물질로 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 이용된다.
도 14는 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사 후, 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바가 제거된 것을 도시한 평면도이고, 도 15는 상기 도 14의 Ⅳ - Ⅳ'의 단면도이다. 이에 도시된 바와 같이, 기판의 외곽상에 링크 라인(124)을 통해 연결된 쇼팅바(124a)에 IPT 검사를 수행한 후, 상기 링크 라인(124)과 연결된 쇼팅바(124a)를 제거하는 그라인딩을 수행하게 된다.
따라서, 이상 설명한 바와 같이, COG 실장형 액정표시장치에 쇼팅바와 링크 라인을 기판 외곽에 형성하여 연결하고, IPT 검사 후 쇼팅바를 그라인딩 공정에 의해 제거할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드, 그 제조방법 및 이를 이용한 검사방법은, COG 실장형 액정표시장치의 IPT검사를 위해 형성되는 쇼팅바를 기판 외곽에 형성하고, 링크 라인으로 연결함으로써 추가적 공정 없이 그라인딩 공정에 의해 쇼팅바를 제거할 수 있다.

Claims (11)

  1. 기판상에 형성된 게이트 라인, 게이트 패드 그리고 기판의 외곽부에 형성된 쇼팅바 및 링크 라인과;
    상기 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인이 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막과;
    상기 게이트 절연막상에 형성된 데이터 라인 및 데이터 패드와;
    상기 결과물상에 형성된 패시베이션막과;
    상기 패시베이션막의 상기 데이터 패드와 상기 링크라인이 형성된 부위에 각각 컨텍홀이 형성되며, 그 결과물상에 형성된 투명도전막을 포함하는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 데이터 패드와 상기 링크 라인에 형성된 각각의 컨택홀은 상기 투명도전막에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 쇼팅바는 기판의 최외곽에 형성되어 있고, 상기 쇼팅바로부터 수직으로 상기 링크 라인이 각각 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드.
  4. 기판상에 형성된 게이트 라인 및 게이트 패드와;
    상기 게이트 라인 및 게이트 패드가 형성된 기판상에 형성된 게이트 절연막과;
    상기 게이트 절연막상에 형성된 데이터 라인, 데이터 패드 그리고 기판의 외곽에 형성된 쇼팅바 및 링크 라인과;
    상기 결과물상에 형성된 패시베이션막과;
    상기 패시베이션막의 상기 게이트 패드와 상기 링크라인이 형성된 부위에 각각 컨텍홀이 형성되며, 그 결과물상에 형성된 투명도전막을 포함하는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 게이트 패드와 상기 링크 라인상에 형성된 각각의 컨택홀은 상기 투명도전막에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 쇼팅바는 기판의 최외곽에 형성되어 있고, 상기 쇼팅바로부터 수직으로 상기 링크 라인이 각각 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드.
  7. 기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인, 게이트 패드 그리고 기판의 외곽부에 쇼팅바와 링크 라인을 연결하여 형성하는 단계와;
    상기 형성된 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 형성된 게이트 절연막상에 금속막을 증착하여 데이터 라인 및 데이터 패드를 형성하는 단계와;
    상기 결과물상에 패시베이션막을 형성하는 단계와;
    상기 패시베이션막이 형성된 결과물에서 상기 링크 라인과 상기 데이터 패드의 일부분이 노출되도록 콘택홀을 형성하는 단계와;
    상기 콘택홀이 형성된 상기 링크 라인과 상기 데이터 패드가 연결되도록 투명도전막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인, 게이트 패드, 쇼팅바 및 링크 라인을 형성하는 단계에서 상기 쇼팅바와 링크 라인은 수직으로 연결되는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드 제조방법.
  9. 기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인 및 게이트 패드를 형성하는 단계와;
    상기 형성된 게이트 라인 및 게이트 패드상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 형성된 게이트 절연막상에 금속막을 증착하여 데이터 라인, 데이터 패드 그리고, 외곽부에 쇼팅바와 링크 라인을 연결하여 형성하는 단계와;
    상기 결과물상에 패시베이션막을 형성하는 단계와;
    상기 패시베이션막이 형성된 결과물상의 게이트 패드와 상기 링크 라인의 일부분이 노출되도록 콘택홀을 형성하는 단계와;
    상기 콘택홀이 형성된 상기 게이트 패드와 상기 링크 라인이 연결되도록 투명도전막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 형성된 게이트 절연막상에 금속막을 증착하여 데이터 라인, 데이터 패드, 쇼팅바 및 링크 라인을 형성하는 단계에서 상기 쇼팅바와 링크 라인은 서로 수직으로 연결되는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사패드 제조방법.
  11. 기판의 외곽상에 링크 라인을 통해 연결된 쇼팅바에 IPT 검사를 수행하는 단계와;
    상기 기판의 IPT 검사를 수행한 후, 상기 링크 라인과 연결된 쇼팅바를 제거하는 그라인딩을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 COG 실장형 액정표시장치의 IPT 검사방법.
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