KR20000007373U - 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로써, 종래의 웨이퍼 이송장치는 구동부가 구동하여 이송집게에 의해 승강보트 또는 웨이퍼 카세트에서 웨이퍼의 인출 및 수납하는 과정에서 웨이퍼가 비스듬이 위치하게 되면 웨이퍼와 이송집게가 서로 부딪혀 웨이퍼의 파손이 발생된 바, 본 고안에서는 웨이퍼를 진공흡착하는 이송집게의 끝단에 거리감지 센서를 부착하여 웨이퍼의 위치에 이상이 발생되면 구동부의 작동을 중단시켜 웨이퍼의 수납과 인출이 안정적으로 이루어지는 웨이퍼 이송장치이다.

Description

웨이퍼 이송장치

본 고안은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로써, 특히 승강보트 또는 웨이퍼 카세트에서 진공흡착을 통해 웨이퍼를 이송시키는 이송집게에 거리감지를 할 수 있는 거리감지센서를 장착하여 웨이퍼의 인출과 수납의 안정성을 향상시킨 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 디바이스를 제조하는 과정에서 열산화막을 웨이퍼 표면에 형성하는 열산화막 형성공정이 이루어진다.

열산화막을 형성하는 공정에 쓰이는 열산화막 형성장치에서는 열산화막을 웨이퍼에 형성하기 위해 다량의 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트에서 승강보트로 웨이퍼를 이송시켜 일괄처리 프로세스가 진행되도록 하고, 열산화막이 형성된 웨이퍼를 다시 승강보트에서 웨이퍼 카세트로 이송시키기 위해 웨이퍼 이송장치를 사용한다.

이러한 종래의 웨이퍼 이송장치는 제 1 도와 제 2 도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

웨이퍼 이송장치는 X,Y,Z 방향으로 구동가능한 구동부(3)와, 상기 구동부(3)에 웨이퍼(5)를 진공흡착하여 이송시킬 수 있는 이송집게(4)가 하나 이상 형성된다.

상기 구동부(3)는 전후진 운동과 상하 운동이 가능하고, 회전운동도 가능하고, 상기 이송집게(4)는 진공흡착이 가능하도록 형성된다.

이러한 구성으로 이루어진 웨이퍼 이송장치는 다량의 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트(2)에서 웨이퍼(5)를 인출하기 위해 먼저 구동부(3)을 X 축으로 수평이동하여 웨이퍼 카세트(2)내로 이송집게(4)를 진입시킨 다음 Z 축으로 일정거리 상승하여 이송집게(4)를 웨이퍼 뒷면에 접촉시켜 웨이퍼를 진공흡착한다.

이송집게(4)를 통해 웨이퍼를 진공흡착하면 진입의 역순으로 구동부(3)가 이동하여 웨이퍼 카세트(2)에서 웨이퍼를 인출한 다음, 구동부(3)는 Y 축으로 180。 회전한다.

구동부(3)는 Y 축으로 180。 회전한 다음, Z 축으로 승강보트(1)내로 웨이퍼(5)를 수납하기 위한 거리만큼 일정거리 하강하고, X 축으로 수평이동하여 승강보트(1)내로 이송집게(4)를 진입시켜 슬롯(6) 위에 웨이퍼(5)를 위치시키고 진공을 해제하여 웨이퍼(5)를 수납한다.

웨이퍼(5)가 슬롯(5)위에 수납되면 구동부(3)는 다시 Z 축으로 일정거리 하강하여 웨이퍼(5)와 이송집게(4)의 접촉을 배제한 상태에서 X 축으로 수평이동한다.

구동부(3)가 승강보트(1)에서 웨이퍼 카세트(2)로 귀환되는 것은 수납과정의 역순으로 이루어지고, 반복적인 왕복운동을 통해 승강보트(1)내에 웨이퍼(5)가 수납되어지면 승강보트(1)가 반응쳄버내의 히터(7) 사이로 이동하여 열산화막 공정이 진행된다.

반응쳄버내에서 열산화막 공정이 완료되어 승강보트(1)가 반응쳄버에서 나오면 웨이퍼 이송장치는 승강보트(1)의 웨이퍼(5)를 다시 웨이퍼 카세트(2)로 인출하는데 그 반송과정은 웨이퍼(5) 수납과정과 동일한 과정으로 이루어지되 단지 승강보트(1)에서 웨이퍼 카세트(2)로 인출시키는 것이다.

그러나 종래의 웨이퍼 이송장치는 구동부가 구동하여 웨이퍼를 승강보트 또는 웨이퍼 카세트내로 수납 및 인출하는 과정에서 웨이퍼가 슬롯위에 정확히 위치하지 않고 비스듬히 위치하거나 겹쳐지거나 하는 경우에 이송집게가 웨이퍼를 진공흡착하기 위해 진입될 때 이를 인식하지 못하고 그대로 진입하여 이송집게가 웨이퍼와 접촉하게 되어 웨이퍼 표면이 깨지거나 긁히게 되는 문제점이 있다.

본 고안은 웨이퍼의 수납과 인출과정에서 웨이퍼의 손상없이 안정적으로 웨이퍼를 인출과 수납할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.

따라서, 상기 목적을 달성하고자, 본 고안은 웨이퍼 카세트와 승강보트내의 웨이퍼를 진공흡착하여 이송시키는 이송집게와, 상기 이송집게가 하나 이상 부착된 X,Y,Z 축 방향으로 구동가능한 구동부로 구성된 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 이송집게에 웨이퍼의 위치 이상유무를 검출하는 검출수단을 구비하여 이루어진다.

상기 검출수단은 거리감지 센서인 것이 특징이다.

제 1 도는 웨이퍼 열산화장치에서 웨이퍼 이송장치의 작동 상태도이고,

제 2 도는 종래의 웨이퍼 이송장치를 통한 웨이퍼의 인출 및 수납을 보인 상태도이고,

제 3 도는 본 고안인 웨이퍼 이송장치에서 거리감지센서가 부착된 이송집게에 대한 도면이고,

제 4 도는 본 고안인 웨이퍼 이송장치의 일 예를 보인 도면이고,

제 5 도는 본 고안인 웨이퍼 이송장치의 다른 일 예를 보인 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 간략한 부호설명 *

1,101 : 승강보트 2,102 : 웨이퍼 카세트

3,103 : 구동부 4,104 : 이송집게

5,105 : 웨이퍼 6,106 : 슬롯

7 : 히터

107 : 거리감지 센서 108 : 이송실

이하, 첨부된 제 3 도 내지 제 5 도를 참조하여 본 고안을 설명하면 다음과 같다.

본 고안인 웨이퍼 이송장치는 상하이동과 좌우 이동이 가능하고, 회전이동이 가능한 구동부(103)과, 상기 구동부(103)에 형성되어 웨이퍼(105)를 진공흡착하여 이송시키기 위한 이송집게(104)와, 상기 이송집게(104)의 끝단에 형성되어 거리측정이 가능한 거리감지 센서(107)가 형성된다.

상기 거리감지 센서(107)는 감지거리가 일정거리로 설정되어 있는 직접반사형태의 거리감지 센서를 사용하면 되고, 거리감지 센서(107)의 두께는 이송집게(104)의 두께와 동일하게 형성되거나 약간 적게 형성하여도 된다.

이송집게(104)의 끝단에 거리감지 센서(107)이 형성된 본 고안인 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼(105)를 승강 보트(101) 또는 웨이퍼 카세트(102)에 수납 또는 인출할 때 웨이퍼(105)의 위치를 감지하여 웨이퍼(105)와 이송집게(104)가 서로 부딪히는 것을 방지할 수 있다.

제 4 도는 거리감지 센서(107)이 형성된 이송집게(104)를 사용하여 승강보트(101)내의 웨이퍼(105)를 인출하는 예를 보인 것으로써, 웨이퍼 이송장치의 구동부(103)가 X 축으로 수평이동하여 이송집게(104)를 승강보트(101)내로 진입시켜 웨이퍼(105)의 뒷면을 진공흡착할 수 있도록한다.

이송집게(104)가 승강 보트(101)내로 진입되면서 거리감지 센서(107)는 감지거리가 일정거리로 설정되어 있어 이송집게(104)가 진입되는 경로상(센서의 감지거리내)에 웨이퍼(105)가 위치하는지를 검출한다.

즉, 웨이퍼(105)가 슬롯(106)위에 정확히 안착되지 않아 비스듬히 기울어져 있거나 서로 겹쳐 있게 되면 거리감지 센서(107)이 이를 감지하여 웨이퍼 이송장치의 구동부(103)의 동작을 중단시킨다.

그리고 웨이퍼(105)가 슬롯(106)위에 정확히 안착되어 있으면 거리감지 센서(107)는 이를 감지하여 이송집게(104)를 그대로 진입시켜 웨이퍼(105)의 뒷면을 진공흡착하도록 한다.

다른 일 예로 제 5 도는 웨이퍼 이송장치의 구동부(103)가 Y 축으로 회전할 때 이송부의 측면벽이 휘어져 있는 경우에도 감지거리가 일정거리로 설정된 거리감지 센서(107)은 이를 검출하여 구동부(103)의 Y축 회전에 영향을 주는 거리 이내로 측면벽이 휘어져 있으면 웨이퍼 이송장치의 구동부(103) 회전을 중단시키고, 영향을 주지 않는 거리 이내로 휘어져 있으면 구동부(103)의 회전을 계속 진행시킨다.

본 고안인 웨이퍼 이송장치는 구동부에 형성된 이송집게의 끝단에 거리감지 센서를 형성하여 웨이퍼의 인출 및 수납과정에서 웨이퍼가 기울어져 있거나 서로 겹쳐있는 경우 이를 감지하여 수평이동하는 웨이퍼 이송장치의 구동부 작동을 중단시키고, 이송부의 측면벽의 휘어짐을 검출하여 웨이퍼 이송장치의 구동부 회전을 중단시킴으로써 이송집게와 웨이퍼와의 충돌을 방지하고, 웨이퍼와 이송부의 측면벽과의 충돌을 방지하여 웨이퍼의 파손을 감소시킨다.

또한 웨이퍼의 파손에 의해 발생되는 이물질이 줄어들게 되어 이물질을 제거하는비정기적인 세정을 방지할 수 있어 열산화막 형성공정의 효율성이 증대된다.

Claims (2)

1. 웨이퍼 카세트와 승강보트내의 웨이퍼를 진공흡착하여 이송시키는 이송집게와, 상기 이송집게가 하나 이상 부착된 X,Y,Z 축 방향으로 구동가능한 구동부로 구성된 웨이퍼 이송장치에 있어서,

   상기 이송집게에 웨이퍼의 위치 이상유무를 검출하는 검출수단을 구비하여 이루어진 웨이퍼 이송장치.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 검출수단은 거리감지 센서인 것이 특징인 웨이퍼 이송장치.