KR19990075030A - 웨이퍼 캐리어 관련정보 인식이 가능한 자동반송 시스템 및반송 방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 캐리어 관련정보를 인식 가능한 자동반송 시스템 및 방법이 개시되고 있다. 다수 대의 자동반송장치들 중 아이들(idle) 상태에 있는 자동반송장치를 선택하여 웨이퍼 캐리어의 반송명령과 반송정보를 송신하고, 반송명령에 따라 반송정보를 분석하여 반송 대상 웨이퍼 캐리어가 위치하는 반도체 설비로 접근하고, 자동반송대차에 설치된 정보 판독수단을 이용하여 웨이퍼 캐리어에 설치된 정보 저장수단에 저장된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한 후, 호스트로부터 수신된 반송정보 중의 웨이퍼 캐리어 관련정보와 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 비교하여 비교결과 동일한 경우, 웨이퍼 캐리어를 반송한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼 캐리어 관련정보의 표시 및 기록/판독방식을 표준화함으로써 반도체 생산라인의 무인화, 자동화를 구현할 수 있고, 전체 공정설비에 정보 저장부를 설치할 필요 없이 자동반송대차 시스템 자체에 설치함으로써 설치비용을 줄일 수 있다.

Description

웨이퍼 캐리어 관련정보 인식이 가능한 자동반송 시스템 및 반송 방법
본 발명은 웨이퍼 캐리어(wafer carrier) 관련정보 인식이 가능한 자동반송 시스템 및 반송 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 캐리어에는 공정 히스토리(history)를 저장할 수 있는 정보 저장장치를 설치하고 자동반송장치에는 웨이퍼 캐리어에 설치된 정보 저장장치의 정보를 판독하거나 기록하는 정보 판독/기록장치를 설치하여 웨이퍼 캐리어의 반송불량을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어 관련정보 인식이 가능한 자동반송 시스템 및 방송 방법에 관한 것이다.
최근들어 급속한 개발이 거듭되고 있는 반도체 산업은 단위 면적에 보다 많은 전기 소자들을 집적하기 위한 고집적 기술, 보다 향상된 처리속도, 일정시간 동안 보다 많은 반도체 제품을 생산하는 양산성을 추구하고 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 반도체 제품을 생산하는 반도체 생산라인에는 높은 정밀도와 신속성을 갖는 반도체 제조 설비들을 필요로 한다. 대부분의 반도체 제조 설비들은 반도체 공정간 관련성과 연속성을 감안하여 레이아웃(layout)되어 있다.
이와 같은 공정간 관련성 및 연속성을 극대화하기 위해서는 하나의 반도체 제조 설비에 의하여 공정이 종료된 웨이퍼를 최단 시간 내로 후속 공정이 진행될 다른 반도체 제조 설비로 반송하는 반송 시스템을 필요로 한다.
또한, 반도체 제품의 양산성을 높이기 위해서는 웨이퍼를 최단시간 내에 반도체 설비들 간에 반송하는 반송 시스템 외에 반도체 제조 설비들을 관리, 분석하는 반도체 관리 시스템을 필요로 한다.
도 1은 이와 같은 목적을 갖는 종래 반도체 관리 시스템 및 반송 시스템을 나타내고 있다.
종래 반도체 관리 시스템은 반도체 공정을 수행하는 반도체 설비(10,50,70)와, 반도체 설비(10,50,70)가 공정을 수행할 때 필요로 하는 공정 환경 데이터, 공정 진행 데이터 등을 제공하는 호스트(30)와, 호스트(30)로부터 제공된 데이터로 반도체 설비(10,50,70)를 제어하고 호스트(30)와 반도체 설비(10,50,70)를 온라인 연결시키는 설비 서버(20,40,60)로 구성된다. 호스트(30)와 설비 서버(20,40,60)는 TCP/IP 프로토콜에 의하여 통신하며, 설비 서버(20,40,60)와 반도체 설비(10,50,70)는 상호 SECS 프로토콜에 의하여 통신한다.
또한, 반도체 설비(20,40,60)중 어느 하나의 반도체 설비가 공정을 종료하였을 때, 다수 매의 웨이퍼를 적재하고 있는 웨이퍼 캐리어를 후속 공정이 진행되는 다른 반도체 설비로 반송하기 위하여 호스트(30)와 자동반송장치(Auto Guided Vehicle; 이하 AGV라 함)(80) 사이에는 상호 무선 통신할 수 있도록 되어 있다.
도 2는 이와 같은 종래 자동반송장치(80)를 도시한 블록도이다.
자동반송장치(80)는 반송할 대상 웨이퍼 캐리어가 위치한 반도체 설비 A의 위치 데이터와 웨이퍼 캐리어를 반송 받을 반도체 설비 B의 위치 데이터 및 웨이퍼 캐리어의 아이디 등 웨이퍼 캐리어를 반송하는데 필요한 반송정보를 호스트(30)로부터 무선으로 전송 받는 무선 송/수신부(86)를 구비하고 있다.
또한, 자동반송장치(80)는 무선 송/수신부(86)로부터 입력된 반송정보를 해석하는 AGV 컨트롤러(81)와, AGV 컨트롤러(81)에서 해석된 신호를 입력받아 구동부(83)를 제어하여 자동반송장치를 해당 설비로 이동시키는 구동 컨트롤러(82)와, AGV 컨트롤러(81)의 신호에 의하여 로봇 암(85)을 제어하여 웨이퍼 캐리어를 자동 반송장치에 로딩하거나 웨이퍼 캐리어를 반도체 설비에 언로딩시키는 로봇 암 컨트롤러(84)를 구비하고 있다.
이와 같이 자동반송장치(80)는 반도체 설비 A에 로딩되어 있는 웨이퍼 캐리어를 반도체 설비 B로 반송하기 위해서 반송에 필요한 반송정보를 호스트로부터 다운로드 받아야 하고, 호스트는 자동반송장치로 제공할 반송정보를 구축하기 위해서 현재 웨이퍼 캐리어의 식별 정보 및 공정 진행 정보를 필요로 한다. 따라서, 웨이퍼 캐리어를 식별하고 각종 정보를 판독하는 웨이퍼 캐리어 관련정보 인식시스템을 필요로 한다.
웨이퍼 캐리어 관련정보 인식시스템을 첨부된 도 3을 참조하여 설명하면, 반도체 설비 A로부터 공정을 종료한 웨이퍼 캐리어 A(15)가 반도체 설비 A의 외부로 나오게 되면, 웨이퍼 캐리어의 저면에 형성된 웨이퍼 캐리어 정보 저장부(15a)는 반도체 설비 A에 형성되어 있는 기록/판독모듈(15b)의 일정부분과 접촉하게 된다.
이후, 기록/판독 모듈(15b)은 정보 저장부(15a)로부터 정보를 판독하고, 이를 설비서버 A를 통하여 호스트(30)에 전송하여 저장한다. 호스트(30)는 저장된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 자동반송장치(80)의 무선 송/수신부로 송신하여 자동반송장치가 정확하게 반도체 설비 A로 접근한 후, 지정된 위치에서 웨이퍼 캐리어를 자동반송장치로 로딩할 수 있도록 한다.
이때, 호스트(30)는 웨이퍼 캐리어의 데이터 이외에도 웨이퍼 캐리어를 반송할 반도체 설비 B의 위치정보도 함께 자동반송장치(80)로 반송한다.
한편, 웨이퍼 캐리어를 반송받는 반도체 설비 B에도 기록/판독모듈(50b)이 형성되어 있어 반도체 설비 A로부터 반도체 설비 B로 언로딩된 웨이퍼 캐리어는 반도체 설비 B에 의하여 다시 한번 판독된다. 판독결과, 호스트가 반송을 지시한 웨이퍼 캐리어와 판독된 웨이퍼 캐리어가 동일하면, 반도체 설비 B는 설비 서버를 통하여 호스트로 이 사실을 보고하고, 호스트는 이를 저장하여 후속 공정 데이터를 미리 산출한다.
그러나, 종래의 웨이퍼 캐리어 관련정보 인식시스템을 이용할 경우 몇 가지 문제점이 발생한다.
먼저, 웨이퍼 캐리어 관련정보를 표시하거나 저장하는 방식이 작업자 위주로 디자인되어 있어, 즉, 표준화된 인터페이스가 없어 전 자동화된 반송 시스템에서는 적절하지 못하다는 문제점이 있다. 즉, 종래에는 웨이퍼 캐리어를 작업자가 직접 이송하는 경우가 많아 작업자가 접근하기 용이한 위치에 기록/판독모듈을 설치하였지만, 웨이퍼가 300mm로 대형화됨에 따라 자동화된 반송장치에 의한 반송이 불가피하기 때문에 표준화된 인터페이스가 필요하다.
또한, 공정설비마다 기록/판독모듈을 설치해야 하므로 설치비용이 증가한다는 문제점이 발생한다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 전자동화에 대응하여 표준화된 반송 시스템을 제공하여 공정의 효율성을 향상시키며, 이를 위한 인식 시스템을 설치하는데 있어 비용을 감소시키는데 있다.
도 1은 종래 반도체 관리 시스템을 도시한 블록도.
도 2는 종래 자동반송 시스템을 도시한 블록도.
도 3은 종래 웨이퍼 캐리어 식별 시스템을 도시한 개념도.
도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 캐리어 관련정보 인식에 따른 반송 방법을 도시한 순서도.
도 5는 본 발명에 의한 자동반송 시스템을 설명하기 위한 설명도.
도 6은 본 발명에 의한 자동반송 시스템의 일실시예를 도시한 블록도.
도 7은 도 6의 일실시예를 도시한 개념도.
도 8은 본 발명에 의한 다른 실시예를 도시한 블록도.
도 9는 도 8의 다른 실시예를 도시한 개념도.
본 발명에 따른 반송방법에 의하면, 다수 대의 자동반송장치들 중 아이들(idle) 상태에 있는 자동반송장치를 선택하여 웨이퍼 캐리어의 반송명령과 반송정보를 송신하고, 반송명령에 따라 반송정보를 분석하여 반송 대상 웨이퍼 캐리어가 위치하는 반도체 설비로 접근하고, 자동반송대차에 설치된 정보 판독수단을 이용하여 웨이퍼 캐리어에 설치된 정보 저장수단에 저장된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한 후, 호스트로부터 수신된 반송정보 중의 웨이퍼 캐리어 관련정보와 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 비교하여 비교결과 동일한 경우, 웨이퍼 캐리어를 반송한다.
또한, 바람직하게, 비교결과 동일하지 않을 경우, 자동반송대차로부터 경고 메시지를 발생하고, 자동반송대차로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보가 동일하지 않음을 호스트에 전송한다. 또한, 호스트는 전송된 정보에 근거하여 자동반송대차에 의한 반송을 중지시킨다.
또한, 바람직하게, 비교결과 동일한 경우, 자동반송장치의 정보 기록수단은 웨이퍼 캐리어의 후속공정 히스토리를 웨이퍼 캐리어의 정보저장수단에 추가로 기록하며, 이때 정보 기록수단은 정보 판독수단과 하나의 유니트로 형성된다.
일실시예로, 웨이퍼 캐리어 관련정보의 판독은 자동반송장치의 로봇 암이 웨이퍼 캐리어를 그립한 상태에서 이루어지며, 비교결과 동일한 경우 웨이퍼 캐리어를 자동반송장치의 로딩 플레이트에 로딩한 후 반송한다.
다른 실시예로, 웨이퍼 캐리어 관련정보의 판독은 자동반송장치의 로딩 플레이트에 웨이퍼 캐리어를 위치시킨 상태에서 이루어진다.
본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템에 따르면, 웨이퍼 캐리어에는 웨이퍼 캐리어 관련정보가 저장된 정보 저장수단이 설치되고, 자동반송대차는 호스트로부터 반송명령 및 반송정보를 수신하거나 호스트로 실제 웨이퍼 캐리어와의 비교결과를 송신하는 송수신부와, 자동반송대차에 설치되어 웨이퍼 캐리어를 그립하는 로봇 암과, 자동반송대차를 구동하는 구동부와, 호스트로부터의 반송정보를 분석하여 제어신호를 발생하는 AGV 컨트롤러와, AGV 컨트롤러의 제어신호에 따라 구동부를 제어하는 구동 컨트롤러와, AGV 컨트롤러의 제어신호에 따라 로봇 암을 제어하는 로봇 암 컨트롤러를 포함하며, 자동반송장치에 웨이퍼 캐리어의 정보 저장수단으로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독하기 위한 정보 판독수단이 설치된다.
바람직하게, 자동반송장치에는 정보 기록수단이 더 설치되며, 정보 판독수단 및 정보 기록수단은 하나의 유니트로 이루어진 정보 기록/판독수단으로 형성된다.
바람직하게, 정보 저장수단은 바코드 라벨이나 반도체 칩이고, 정보 기록/판독수단은 바코드 리더기나 칩 리더/라이터일 수 있다.
한편, 정보 판독수단은 로봇 암에 설치되거나, 자동반송장치의 로딩 플레이트에 설치된다.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 자동반송 방법을 첨부된 도 4의 순서도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반도체 설비 A로부터 진행되던 반도체 제조 공정이 종료되면, 반도체 설비 A는 호스트로 공정 종료 명령을 송신한다. 이에 따라 호스트는 공정이 종료된 웨이퍼 캐리어를 반도체 설비 A로부터 반도체 설비 B로 반송하기 위하여 반도체 생산라인에 설치되어 있는 다수개의 자동반송장치들 중 아이들(idle) 상태에 있는 자동반송장치를 선택하여 웨이퍼 캐리어의 반송명령과 반송정보를 송신한다.
이때, 반송정보에는 반송될 대상 웨이퍼 캐리어가 위치한 반도체 설비 A의 위치정보와 웨이퍼 캐리어가 반송될 반도체 설비 B의 위치정보 및 웨이퍼 캐리어의 아이디(IDentification) 정보 등이 포함된다.
자동반송장치가 반송정보 내의 위치정보에 의해 반도체 설비 A에 접근하면, 자동반송장치에 설치되어 있는 로봇 암은 반도체 설비 A에 위치한 웨이퍼 캐리어를 그립하여 웨이퍼 캐리어를 일시적으로 고정한다(단계 100).
계속해서, 정보 기록/판독부가 로봇 암의 그립퍼에 형성되어 있는 경우에는 웨이퍼 캐리어를 그립한 상태에서, 정보 기록/판독부가 로봇 암의 로딩 플레이트에 형성될 경우에는 웨이퍼 캐리어를 로딩 플레이트에 로딩한 후, 정보 기록/판독부를 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부와 대응시켜 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한다(단계 110). 정보 저장부에 저장된 웨이퍼 캐리어 관련정보에는 ID 정보이외에 로트정보, 공정 히스토리 및 현상 상황정보 등이 포함된다.
이후, 자동반송장치의 콘트롤러는 정보 기록/판독부에 의하여 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 분석하여 호스트로부터 수신된 반송정보와 상호 비교한다(단계 120).
비교결과, 호스트로부터 다운로드된 웨이퍼 캐리어 관련정보와 자동반송장치의 정보 기록/판독부에 의하여 판독된 웨이퍼 캐리어의 관련정보가 동일할 경우 자동반송장치에 로딩하거나, 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부에 웨이퍼 캐리어가 반도체 설비 A 가 어떠한 공정 후에 반도체 설비 B로 반송된다는 공정 히스토리를 추가로 기록한 후, 자동반송장치에 로딩한다(단계 130).
이어, 웨이퍼 캐리어는 반송정보에 포함된 반도체 설비 B에 대한 위치정보에 근거하여 반도체 설비 A로부터 반도체 설비 B로 반송된다(단계 140).
단계 120에서 비교결과, 호스트로부터 다운로드된 웨이퍼 캐리어 관련정보가 자동반송장치의 정보 기록/판독부에 의하여 판독된 웨이퍼 캐리어의 관련정보와 동일하지 않을 경우 자동반송장치는 반송 대상 웨이퍼 캐리어와 실제로 확인된 웨이퍼 캐리어가 일치하지 않음을 경고하는 메시지를 발생시키고(단계 122), 에러 발생을 호스트에 보고함(단계 124)과 동시에 웨이퍼 캐리어의 반송을 중지한다(단계 126).
도 5는 본 발명에 의한 자동반송 시스템을 설명하기 위한 설명도로, 일실시예로 반도체 설비 A로부터 반도체 설비 B로 웨이퍼 캐리어를 반송하는 경우가 도시되고 있다.
본 발명의 자동반송 시스템은 자동반송 장치에 기록/판독부를 설치하고 반도체 설비로부터 웨이퍼 캐리어를 로딩하거나 언로딩할 때, 판독 및 기록, 호스트와의 통신 등을 수행하는데 특징이 있다.
즉, 자동반송장치(130)는 호스트로부터 반송명령과 반송정보를 수신하여 반도체 설비 A(100)로부터 공정이 종료된 웨이퍼 캐리어(105)를 로딩하며, 이때 자동반송장치(130)에 설치된 기록/판독부는 웨이퍼 캐리어(105)에 설치된 정보 저장부로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독하여, 수신된 정보와 판독된 정보를 분석 비교하여 동일한 경우 반도체 설비 B(110)로 반송한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 자동반송 시스템을 도시한 블록도이고, 도 7은 도 6의 자동반송 시스템에 적용되는 자동반송장치의 관련정보 인식방법을 보여주는 개념도이다.
자동반송장치(130)에는 호스트(120)로부터 반송명령 및 반송 대상 웨이퍼 캐리어(105) 관련정보를 포함하는 반송정보를 무선으로 수신하거나, 후술하는 바와 같이, 실제 웨이퍼 캐리어(105)와의 비교결과를 호스트(120)에 무선으로 송신하는 무선 송/수신부(132)가 설치된다.
무선 송/수신부(132)는 AGV 컨트롤러(131)와 연결되며, AGV 컨트롤러(131)는 무선 송/수신부(132)에 의하여 수신된 호스트(120)의 반송 명령을 처리한 후, 제어 신호를 발생하여, 구동 컨트롤러(133)와 로봇 암 컨트롤러(135)를 제어한다.
구동 컨트롤러(133)는 AGV 컨트롤러(131)로부터의 제어신호를 받아 자동반송장치(130)가 반도체 설비 A(100)로부터 반도체 설비 B(100)로 이동되도록 구동부(134)를 제어한다.
또한, 로봇 암 콘트롤러(135)는 AGV 컨트롤러(131)로부터의 제어신호를 받아 로봇 암(136)을 제어하여 반도체 설비로부터 웨이퍼 캐리어를 언로딩/로딩한다. 즉, 구동부(134)에 의하여 자동반송장치(130)가 반도체 설비 A(100)로 이동되면, 반도체 설비 A(100)에 놓여져 있는 웨이퍼 캐리어(105)를 그립한다.
이때, 이 실시예에 따르면, 웨이퍼 캐리어를 그립한 상태에서 로봇 암에 설치된 기록/판독부에 의해 웨이퍼 캐리어(105)로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한다. 이에 따라 판독된 웨이퍼 캐리어의 관련정보가 호스트로부터 수신된 반송정보와 동일할 경우 자동반송장치에 로딩하거나, 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부에 웨이퍼 캐리어가 반도체 설비 A가 어떠한 공정 후에 반도체 설비 B로 반송된다는 공정 히스토리를 추가로 기록한 후, 자동반송장치에 로딩한다.
또한, 자동반송장치(130)가 반도체 설비 B(110)로 이동되면, 자동반송장치(130)에 로딩되어 있는 웨이퍼 캐리어(105)를 반도체 설비 B(110)로 언로딩한다.
도 7을 참조하여 이를 구체적으로 설명하면, 로봇 암(136)은 자동반송장치와 힌지 결합되며, 다수 개의 로봇 관절에 의해 전체적으로 연결되어 각각의 관절에서의 구동이 독립적으로 진행되어 3차원 공간내의 어떠한 부분으로도 이동 가능하다.
로봇 암(136)의 단부에는 로봇 암 헤드(136a)가 형성되어 있고, 로봇 암 헤드(136a)에는 한 상의 그립퍼(gripper;136b)가 설치되어 웨이퍼 캐리어(105)를 그립하거나 그립을 해제한다.
한 쌍의 그립퍼(136b) 사이의 로봇 암 헤드(136a)의 저면 상에는 정보 기록/판독부(137)가 설치된다. 정보 기록/판독부(137)는 AGV 컨트롤러(131)와 연결되어 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부로부터 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 AGV 콘트롤러(131)에 전송하거나, AGV 콘트롤러(131)의 제어를 받아 공정 히스토리 등의 정보를 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부에 기록한다.
이 실시예에 따른 방송방법에 대해 설명하면, 먼저 자동반송장치(130)의 구동 컨트롤러(133)가 AGV 컨트롤러(131)의 제어신호를 수신하여 구동부(134)를 구동시켜 자동반송장치(130)가 반도체 설비 A(100)에 접근하면, 로봇 암 컨트롤러(135)는 로봇 암(136)을 제어하여 반도체 설비 A에 위치한 웨이퍼 캐리어(105)에 접근하여 그립퍼(136b)로 그립한다.
이 상태에서 정보 기록/판독부(137)는 웨이퍼 캐리어(105) 상에 설치된 정보 저장부(105a)로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한다.
이어, 상기한 바와 같이, AGV 컨트롤러(131)는 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 분석하여 호스트로부터 수신된 반송정보와 상호 비교하여 동일할 경우 로딩 플레이트에 로딩하여 반송하거나, 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부(105a)에 웨이퍼 캐리어(105)가 현재 종료된 공정 후에 반도체 설비 A가 반도체 설비 B로 반송된다는 공정 히스토리를 추가로 정보 저장부(105a)에 저장한 후 로딩하여 반송한다.
정보 저장부(105a)와 정보 기록/판독부(137)는 상호 동작할 수 있도록 한 쌍으로 구성되며, 일실시예로 가장 간단한 형태로 판독만이 가능한 바코드 라벨과 바코드 리더기가 사용될 수 있으며, 또한 기록/판독이 가능한 반도체 칩과 칩 리더/라이터가 사용될 수 있다.
한편, 정보 저장부(105a)와 정보 기록/판독부(137)로 반도체 칩과 칩 리더/라이터가 사용되는 경우는 도시되지는 않았지만, 정보의 입출력을 위해 반도체 칩과 칩 리더/라이터의 입출력 단자가 상호 접촉할 수 있는 구조를 갖는다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동반송 시스템을 도시한 블록도이고, 도 9는 도 8의 자동반송 시스템에 적용되는 자동반송장치의 관련정보 인식방법을 보여주는 개념도이다.
도 8을 참조하면, 도 6에 의한 일실시예와 동일하며, 여기서의 차이점에 대해서만 언급한다.
구동부(134)에 의하여 자동반송장치(130)가 반도체 설비 A(100)로 이동되면, 로봇 암 컨트롤러(135)는 AGV 컨트롤러(131)로부터 제어신호를 받아 로봇 암(136)을 제어하여 반도체 설비로부터 웨이퍼 캐리어를 언로딩/로딩한다. 이때, 웨이퍼 캐리어를 자동반송장치의 로딩 플레이트에 로딩한 상태에서 로딩 플레이트에 설치된 기록/판독부에 의해 웨이퍼 캐리어(105)로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한다. 이에 따라 판독된 웨이퍼 캐리어의 관련정보가 호스트로부터 수신된 반송정보와 동일할 경우 반송하거나, 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부(105a)에 웨이퍼 캐리어(105)가 현재 종료된 공정 후에 반도체 설비 A가 반도체 설비 B로 반송된다는 공정 히스토리를 추가로 정보 저장부(105a)에 저장한 후 반송한다.
도 9를 참조하면, 도 7의 실시예와 달리 로봇 암(136)의 그립퍼(136b)에 의하여 최종적으로 웨이퍼 캐리어(105)가 로딩되는 로딩 플레이트(138)의 상면에 정보 기록/판독부(137)가 형성된다.
이 실시예에 따른 반송방법에 대해 설명하면, 먼저 자동반송장치(130)의 구동 컨트롤러(133)가 AGV 콘트롤러(131)의 제어신호를 수신하여 구동부(134)를 구동시켜 자동반송장치(130)가 반도체 설비 A(100)에 접근하면, 로봇 암 컨트롤러(135)는 로봇 암(136)을 제어하여 반도체 설비 A에 위치한 웨이퍼 캐리어(105)에 접근하여 그립퍼(136b)로 그립하여 로딩 플레이트(138)의 일정 위치에 로딩한다.
이 상태에서 정보 기록/판독부(137)는 웨이퍼 캐리어(105)의 저면에 설치된 정보 저장부(105a)로부터 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독한다.
이어, AGV 컨트롤러(131)는 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 분석하여 호스트로부터 수신된 반송정보와 상호 비교하여 동일할 경우 반송하거나, 웨이퍼 캐리어의 정보 저장부(105a)에 웨이퍼 캐리어(105)가 현재 종료된 공정 후에 반도체 설비 A가 반도체 설비 B로 반송된다는 공정 히스토리를 추가로 정보 저장부(105a)에 저장한 후 반송한다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 자동반송장치에 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독 또는 기록할 수 있는 정보 기록/판독부를 설치함으로서 몇 가지 이점을 갖는다.
먼저, 웨이퍼 캐리어 관련정보의 표시 및 기록/판독방식을 표준화함으로서 반도체 생산라인의 무인화, 자동화를 구현할 수 있다.
또한, 전체 공정설비에 정보 저장부를 설치할 필요없이 AGV 자체에 설치함으로서 설치비용을 줄일 수 있다.

Claims (15)

  1. 다수 대의 자동반송장치들 중 아이들(idle) 상태에 있는 자동반송장치를 선택하여 웨이퍼 캐리어의 반송명령과 반송정보를 송신하는 단계와;
    상기 반송명령에 따라 상기 반송정보를 분석하여 반송 대상 웨이퍼 캐리어가 위치하는 반도체 설비로 접근하는 단계와;
    상기 자동반송대차에 설치된 정보 판독수단을 이용하여 상기 웨이퍼 캐리어에 설치된 정보 저장수단에 저장된 상기 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독하는 단계와;
    상기 호스트로부터 수신된 반송정보 중의 웨이퍼 캐리어 관련정보와 상기 판독된 웨이퍼 캐리어 관련정보를 비교하는 단계와;
    상기 비교결과 동일한 경우, 상기 웨이퍼 캐리어를 반송하는 단계를 포함하는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 비교결과 동일하지 않은 경우, 상기 자동반송대차로부터 경고 메시지를 발생하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 경고 메시지를 발생한 후, 상기 자동반송대차로부터 상기 웨이퍼 캐리어 관련정보가 동일하지 않음을 호스트에 전송하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 호스트는 상기 전송된 정보에 근거하여 상기 자동반송대차에 의한 반송을 중지시키는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 비교결과 동일할 경우, 상기 자동반송장치의 정보 기록수단은 상기 웨이퍼 캐리어의 후속공정 히스토리를 상기 웨이퍼 캐리어의 정보 저장수단에 추가로 기록하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 정보 기록수단은 상기 정보 판독수단과 하나의 유니트로 형성되는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어 관련정보의 판독은 상기 자동반송장치의 로봇 암이 상기 웨이퍼 캐리어를 그립한 상태에서 이루어지며, 상기 비교결과 동일한 경우 상기 웨이퍼 캐리어를 상기 자동반송장치의 로딩 플레이트에 로딩한 후 반송하는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어 관련정보의 판독은 상기 자동반송장치의 로딩 플레이트에 상기 웨이퍼 캐리어를 위치시킨 상태에서 이루어지는 웨이퍼 캐리어 반송방법.
  9. 반도체 설비들 간에 자동반송대차를 이용하여 웨이퍼 캐리어를 반송하는 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템에 있어서,
    상기 웨이퍼 캐리어에는 웨이퍼 캐리어 관련정보가 저장된 정보 저장수단이 설치되고,
    상기 자동반송대차는 호스트로부터 반송명령 및 반송정보를 수신하거나 상기 호스트로 실제 웨이퍼 캐리어와의 비교결과를 송신하는 송수신부와;
    상기 자동반송대차에 설치되어 상기 웨이퍼 캐리어를 그립하는 로봇 암과;
    상기 자동반송대차를 구동하는 구동부와;
    상기 호스트로부터의 반송정보를 분석하여 제어신호를 발생하는 AGV 컨트롤러와;
    상기 AGV 컨트롤러의 제어신호에 따라 상기 구동부를 제어하는 구동 컨트롤러와;
    상기 AGV 컨트롤러의 제어신호에 따라 상기 로봇 암을 제어하는 로봇 암 컨트롤러를 포함하며,
    상기 자동반송장치에 상기 웨이퍼 캐리어의 정보 저장수단으로부터 상기 웨이퍼 캐리어 관련정보를 판독하기 위한 정보 판독수단이 설치되는 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 자동반송장치에 정보 기록수단이 더 설치되는 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 정보 판독수단 및 정보 기록수단은 하나의 유니트로 이루어진 정보 기록/판독수단으로 형성되는 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 정보 저장수단은 반도체 칩이고, 상기 정보 기록/판단수단은 칩 리더/라이터인 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
  13. 제 9 항에 있어서, 상기 정보 저장수단은 바코드 라벨이고, 상기 판독수단은 바코드 리더기인 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
  14. 제 9 항에 있어서, 상기 정보 판독수단은 상기 로봇 암에 설치되는 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
  15. 제 9 항에 있어서, 상기 정보 판독수단은 상기 자동반송장치의 로딩 플레이트에 설치되는 웨이퍼 캐리어 자동반송 시스템.
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