KR970066775A - 반도체 제조 공정의 자동화 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

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KR970066775A
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임용일
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김광호
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정의 자동화 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 자동화 장치는 스톡 영역과 AGV(Auto Guided Vehicle) 경로 사이에 설치되고, 스톡 영역과 AGV 사이에서 로트 단위의 웨이퍼가 반송될 수 있도록 인터페이스 역할을 하는 자동 반송 수단과, 각 설비 내에 설치되고, 웨이퍼 카세트에 부착된 ID 인식 코드를 인식하고, 그 결과를 MES(Manufacturing Execution System)에 전송하는 ID 확인 수단을 포함한다. 본 발명에 따른 장치 및 그 제어 방법에 의하면, ID 확인 오류에 따른 공정상의 사고 발생 위험을 없앨 수 있고, 완전한 자동화가 가능하다.

Description

반도체 제조 공정의 자동화 장치 및 그 제어 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 자동화 장치를 개략적으로 도시한 것이다. 제4도는 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 자동화 장치를 제어하는 방법을 설명하기 위한 플로챠트이다.

Claims (4)

  1. 반도체 제조 공정을 관리 하는 호스트 컴퓨터를 갖춘 MES(Manufacturing Execution System)와, 상기 MES 에 연결되어 정보를 입/출력하는 터미널과, 스톡 영역으로부터 로트 단위의 웨이퍼를 AGV(Auto Guided Vehicle) 경로를 거쳐서 상기 MES와 정보를 송/수신하는 각 설비로 반송하는 AGV와, 상기 MES로부터 수신한 정보에 따라 상기 AGV를 제어하는 AGV콘트롤러를 갖춘 반도체 제조 공정의 자동화 장치에 있어서, 상기 스톡 영역과 상기 AGV 경로 사이에 설치되고, 상기 스톡 영역과 상기 AGV 사이에서 로트 단위의 웨이퍼가 반송될 수 있도록 인터페스 역할을 하는 자동 반송 수단과, 상기 각 설비 내에 설치되고, 웨이퍼 카세트에 부착된 ID 인식 코드를 인식하고, 그 결과를 상기 MES에 전송하는 ID 확인 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정의 자동화 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자동 반송 수단은 웨이퍼 카세트 박스로부터 로트 단위의 웨이퍼를 자동으로 꺼내는 웨이퍼 인출 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정의 자동화 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 ID확인 수단은 바코드, 적외선, 또는 RF 신호를 이용하는 장치로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정의 자동화 장치.
  4. MES에서 입력된 공정 스케쥴에 따라 공정의 우선 순위를 설정하는제1단계와, 상기 설정된 우선 순위에 따라 상기 MES에서 최우선 순위의 로트 및 설비를 결정하는 제2단계와, 상기 결정된 최우선 순위의 로트를 스톡 영역으로부터 AGV를 통해 상기 결정된 최우선 순위의 설비로 반송하는 제3단계와, 상기 최우선 순위의 설비 내에 로딩된 로트의 ID를 ID확인 수단에 의해 확인하는 제4단계와, 상기 확인 결과의 이상 유무를 체크하는 제4단계와, 상기 제4단계에서 이상이 있으면 공정의 우선 순위를 재설정하여 상기 제2단계로 진행하는 제5단계와, 상기 제4단계에서 이상이 없으면, 상기 최우선 순위의 설비에서 해당 공정 개시 정보를 상기 MES에 전송하는 제6단계와, 상기 최우선 순위의 설비에서 해당 공정을 진행하는 제7단계와, 상기 최우선 순위의 설비에서 해당 공정 종료 정보를 상기 MES에 전송하는 제8단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정의 자동화 장치 제어 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960009577A 1996-03-30 1996-03-30 반도체 제조 공정의 자동화 장치 및 그 제어 방법 KR970066775A (ko)

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