KR19980024693A

KR19980024693A - 플라즈마 어드레스 표시 장치

Info

Publication number: KR19980024693A
Application number: KR1019970047518A
Authority: KR
Inventors: 마사다께 하야시; 아쯔시 세끼
Original assignee: 이데이 노부유끼; 소니 가부시끼가이샤
Priority date: 1996-09-19
Filing date: 1997-09-18
Publication date: 1998-07-06
Also published as: US6002382A; JPH1096901A; EP0831355A1

Abstract

본 발명은 플라즈마 어드레스 표시 장치의 전극구조 및 격벽 구조를 개선하여 방전특성의 안정화, 효율 향상 및 화질의 향상을 도모하고자 하는 것이다. 플라즈마 어드레스 표시 장치는 플라즈마 셀상에 표시셀이 적층되어 있는 플랫 패널 구조를 하고 있다. 플라즈마 셀은 주사 방향을 따라 순차적으로 배열된 방전 채널을 갖고 있다. 표시 셀은 플라즈마 셀에 결합되어 있고 주사 방향에 수직한 방향으로 순차적으로 배열된 신호 전극과 이 신호 전극과 접촉하는 액정을 갖고 있다. 플라즈마 셀은 표시 셀측에 결합된 하부 기판, 방전 채널에 배치된 애노드 전극 및 캐소드 전극 쌍, 및 방전 채널을 서로 구획하도록 기판상에 형성된 격벽을 갖고 있다. 캐소드 전극은 2개의 인접한 격벽에 의해서 구획된 하나의 방전 채널의 거의 중심부분에 위치해 있다. 대응하는 애노드 전극은 2개의 인접한 격벽중 주사 방향의 하류측의 하나의 격벽과 접하여 위치해 있다.

Description

플라즈마 어드레스 표시 장치

본 발명은 플라즈마 셀에 표시 셀이 적층되어 있는 플랫 패널 구조를 가진 플라즈마 어드레스 표시 장치에 관한 것으로서 보다 구체적으로는 플라즈마 셀에 형성된 방전 채널 내의 전극 구조 및 격벽 구조에 관한 것이다.

표시 셀을 어드레싱하는데 사용되는 플라즈마 셀을 가진 플라즈마 어드레스 표시 장치가 일례로서 일본 특허 공개 공보 평4-265931에 개시되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 특허에 개시된 플라즈마 어드레스 표시 장치는 표시셀(1), 플라즈마 셀(2), 및 그 사이에 배치된 공통 중간 기판(3)을 포함하는 플랫 패널 구조를 갖고있다. 플라즈마 셀(2)은 중간 기판(3)에 소정의 갭을 두고 결합된 하부 기판(8)으로 구성되어 있다. 하부 기판(8)과 중간 기판(3)사이의 갭에는 이온화 가능한 개스가 밀봉되어 있다. 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K) 각각은 스트라이프 형태로 형성되어 있으며, 교대로 하부 기판(8)의 내측면에 배치되어 있다. 이들 전극들은 예를 들면 스크린 프린팅에 의해서 평편한 기판(8)상에 프린트 및 소결될 수 있다.

격벽(10)은 에노드 전극(9A)상에 형성되며, 이온화 가능한 개스가 밀봉된 갭을 방전 채널(12)로 분할한다. 각 캐소드 전극(9K)은 격벽들(10)중 두개의 인접한 격벽들 사이에 놓인다. 이들 격벽들(10)은 스크린 프린팅에 의해서 과도 프린트될 수 있다. 격벽들(10)의 상부 부분은 중간 기판(3)의 하부면과 접하고 있다. 몇몇의 경우에 있어서는 격벽(10)은 샌드 블라스팅(Sand Blasting)에 의해 형성될 수 있다. 구체적으로 갭의 치수에 대응하는 두께로 미리 하부 기판(8)에 형성된 절연 물질이 샌드 블라스팅에 의한 마스크를 통해서 에칭되어 스트라이프의 형태로 패턴되게 된다. 마스크는 포토리소그래피에 의해서 형성될 수 있다. 샌드 블라스팅 공정에 의하면 스크린 프린팅 공정등과 비교해서 정확성 좋게 격벽을 패턴화할 수 있다. 방전 채널(12)은 하나의 캐소드 전극(9A)과 이 캐소드 전극(9K)의 양측에 배치된 2개의 애노드 전극(9A)을 포함한다. 플라즈마는 캐소드 전극(9K)과 애노드 전극(9A)사이로 방전된다. 중간 기판(3)은 유리 그리트(11)등에 의해서 하부 기판(8)과 결합되어 있다.

표시 셀(1)은 투명한 상부 기판(4)으로 구성되어 있다. 상부 기판(4)은 밀봉재(6)등을 사용하여 중간 기판(3)에 특정한 갭을 두고 접착된다. 상부 기판(4)과 중간 기판(3)간의 갭은 액정(7)과 같은 전-광물질로 충전되어 있다. 신호 전극(5)은 상부 기판(4)의 내측 표면에 형성된다. 이들 신호 전극(5)은 스트라이프형 방전 채널(12)에 수직한다. 픽셀들은 신호 전극(5)과 방전 채널(12)이 교차하는 부분에 매트릭스의 형태로 배열되어 있다.

상기한 구성을 갖는 플라즈마 어드레스 표시 장치는 플라즈마 방전이 행해지는 방전 채널의 행을 선 순차로 전환 주사함과 동시에 방전 채널(12)의 주사와 동기해서 표시 셀(1)측상의 신호 채널(5)의 열에 화상신호를 인가하므로써 표시구동이 행해진다. 각 방전 채널(12)에서 플라즈마 방전이 발생되는 경우에는 방전 채널의 내부가 거의 동일하게 애노드 전위로 되므로 각 행마다의 픽셀들이 선택된다. 다시 말해서, 방전 채널(12)은 샘플링 스위치로서 작용한다. 화상신호가 플라즈마 샘플링 스위치가 도통된 상태에서 각 픽셀에 인가된 경우에, 샘플링이 행해진다. 픽셀들의 점등 혹은 소등은 이러한 방식으로 제어될 수 있다. 플라즈마 샘플링 스위치가 비도통 상태로 전환된후에도 화상신호는 그대로 픽셀내에 속박된다.

도 4는 도 3에 도시된 하부 전극(8)상에 형성된 전극 구조 및 격벽 구조를 나타내는 전형적인 사시도이다. 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)각각은 스트라이프 형태로 패턴되며, 교대로 배열된다. 이들 전극들은 스크린 프린팅 혹은 샌드 블라스팅에 의해서 형성될 수 있다. 격벽(10)은 애노드 전극(9A)상에 형성된다. 격벽(10)의 폭은 애노드 전극(9A)의 폭 보다도 좁다. 격벽(10)은 또한 스크린 프린팅 혹은 샌드 블라스팅에 의해서 형성될 수 있다.

도 5는 관련된 종래기술의 플라즈마 어드레스 표시 장치의 다른 예를 나타내는 통상적인 단면도이다. 도 3에 도시된 부분에 대응하는 부분들은 이해를 돕기 위해서 동일한 참조번호로 병기하였다. 이러한 관련 기술에 있어서, 애노드 전극(9A) 및 캐소드 전극(9K)의 쌍은 각 방전 채널(12)내에 형성된다. 도 3에 도시된 관련 기술과는 달리 격벽(10)이 애노드 전극(9A)에 제공되지 않고 직접 하부 전극(8)의 표면에 제공된다.

도 3에 도시된 관련 기술에 있어서, 애노드 전극(9A)이 격벽(10)의 아래측에 형성되므로 애노드 전극(9A)의 폭이 비교적 크게 될 수 있다. 이로 인해서 애노드 전극(9A)의 전기 저항이 작아 질 수 있는 이점이 있다. 캐소드 전극(9K)이 방전 채널(12)의 대략 중심부에 놓여 지므로 격벽(10)의 가능한 위치적 오프셋이 방전 채널(12)의 방전 특성에 커다란 역효과를 초래하지 않는다. 이로 인해서 전극과 격벽간의 상대적 위치적 정확성을 특정하게 규정할 필요가 없는 장점이 얻어진다. 그러나, 격벽(10)이 애노드 전극(9A)상에 형성되므로 이들간의 결합강도가 불량하게 되는 문제점이 발생될 가능성이 있다. 특히 샌드 블라스팅에 의해서 격벽(10)을 형성하는 경우에 샌드 블라스팅 공정동안 가해진 풍압과 같은 스트레스로 인하여 격벽(10)이 애노드 전극(9A)로부터 박리될 우려가 있다.

이와는 반대로, 도 5에 도시된 관련 기술에 있어서는 격벽(10)이 하부 기판(8)의 표면상에 형성되므로 도 3에 도시된 관련 기술의 예에서보다 결합강도가 우수하다. 그러나, 캐소드 전극(9K)이 방전 채널(12)의 중심에서 오프셋된 임의의 위치에 배치되므로 캐소드 전극(9K)에 인가된 전계분포가 양측상의 격벽(10)에 의해서 영향을 받는 경향이 있다. 따라서, 플라즈마 방전이 불균일하게 된다. 일반적으로, 캐소드 전극은 애노드 전극(9A)과 비교하여 전계분포에 의해서 쉽게 영향을 받게된다. 도 5에 도시된 관련 종래 기술의 예에서, 캐소드 전극(9K)은 방전 채널(12)의 중심으로부터 주로 오프 세트되어 있으므로 격벽(10)이 오프셋된 경우에 분균일한 플라즈마 방전을 일으키는 경향이 있다. 다시 말하면, 도 5에 도시된 관련 기술의 종래예에 있어서는 방전 채널(12)의 방전 특성들이 플라즈마 어드레스 표시 장치의 제작과 관련하여 문제시되는 전극 및 격벽의 위치적 정확성에 크게 의존한다. 또한, 액정(7)에 인가된 신호 전압의 극성이 각 행마다 역전되는 플라즈마 어드레스 표시 장치의 AC 구동의 경우에는 신호 전압이 격벽(10)부근의 위치에서 액정(7)에 충분히 인가되지 않을 우려가 있다. 도 5에 도시된 관련 종래 기술의 예에 있어서, 배면광이 플라즈마 셀(2)측에서 충돌되어 화상이 표시셀(1)측상에서 관촬된 경우에 격벽(10)부근에서 광이 누설될 수 있다. 따라서, 표시 콘트라스트가 저감되는 문제가 있다. 일반적으로, 플라즈마 어드레스 표시 장치는 거의 정면 시각에서 관찰된다. 도 5에 도시된 관련기술의 예에서는 격벽(10), 애노드 전극(9A), 및 캐소드 전극(9K)간의 갭을 통해 입사하는 광이 액정(7)에 의해서 충분히 제어되지 못하는 경우에 표시 콘트라스트가 저하된다.

본 발명의 목적은 전극 및 격벽의 구조를 개선하여 표시 장치의 방전 특성을 안정화함과 동시에 표시 장치의 효율 및 화질을 향상시킬 수 있는 플라즈마 어드레스 표시 장치를 제공하기 위한 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따르면, 플라즈마 어드레스 표시 장치는 표시 장치의 주사 방향을 따라 순차적으로 배열된 복수의 방전 채널을 가진 플라즈마 셀과, 상기 플라즈마 셀에 결합되어 있고, 상기 주사 방향에 수직한 방향으로 순차적으로 배열된 신호전극과 상기 신호전극과 결합된 전-광 물질층을 가진 표시 셀을 구비하며, 상기 플라즈마 셀은 상기 표시 셀 및 복수의 방전 채널에 대향하는 기판을 갖고 있고, 각각의 방전 채널은 상기 기판상에 형성된 적어도 한쌍의 애노드 전극 및 캐소드 전극을 갖고 있고, 또한, 상기 기판상에 형성되어 방전 채널을 서로 구획하는 복수의 격벽을 가지며, 상기 캐소드 전극은 서로에게 인접한 격벽들중의 2개에 의해서 구획된 방전 채널들중의 하나의 거의 중심부분에 배치되며, 상기 캐소드 전극에 대응하는 애노드 전극은 하나의 방전 채널내에서 2개의 인접한 격벽중 하나와 접촉하는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상술한 플라즈마 어드레스 표시 장치에 있어서, 이온화 가능한 개스는 방전 채널내에 밀봉되어 있고, 애노드 전극의 폭은 격벽의 폭보다 큰 것이 바람직하며, 애노드 전극은 하나의 방전 채널을 구획하는 인접한 2개의 격벽중 표시 장치의 주사 방향의 하류측에 위치한 하나와 접촉되도록 배치되는 것이 바람직하며, 상기 격벽은 샌드 블라스팅에 의해서 기판상에 형성된 절연 물질을 스트라이프의 형태로 패터닝하므로써 형성되는 것이 바람직 하며, 격벽은 스트라이프형 마스크를 사용하는 스크린 프린팅에 의해서 절연 물질을 적층하므로써 형성되는 것이 바람직하고, 애노드 전극의 측벽은 격벽과 접촉하도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 캐소드 전극이 방전 채널의 거의 중심위치에 배치되므로 격벽 및 전극의 위치적 정확성에 크게 의존하지 않고서도 플라즈마 방전을 안정적으로 발생시킬 수 있다. 격벽이 기판의 표면에 직접 형성되므로 격벽의 결합강도가 우수하다. 따라서, 격벽이 샌드 블라스팅에 의해서 형성되는 경우에도 처리 단계동안 샌드 블라스팅의 풍압으로 인해 박리되지 않는다. 또한, 애노드 전극이 격벽과 접촉하도록 형성되므로 격벽 부근의 위치에서의 표시셀의 광 누설이 플라즈마 셀의 주사 방향의 적절한 선택에 의해서 애노드 전극으로 차폐된다. 결국, 정면 시각에서 관찰되는 표시셀의 콘트라스트의 저하를 억제할 수 있다.

본 발명의 다른 특징 및 장점은 첨부한 도면과 연계하여 제공되는 다음의 상세한 설명으로 부터 명백하게 될것이다.

도 1은 본 발명의 플라즈마 어드레스 표시 장치의 단면도.

도 2는 도 1에 도시된 플라즈마 어드레스 표시 장치내에 조립된 하부 기판상에 형성된 전극 구조 및 격벽을 나타내는 전형적인 사시도.

도 3은 종래 기술에 따른 플라즈마 어드레스 표시 장치의 일예를 나타내는 단면도.

도 4는 도 3에 도시된 종래 기술에 따른 플라즈마 어드레스 표시 장치내에 조립된 하부 기판상에 형성된 전극 구조 및 격벽을 나타내는 사시도.

도 5는 종래 기술에 따른 플라즈마 어드레스 표시 장치의 다른 예를 나타내는 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 표시셀

2 : 플라즈마 셀

3 : 중간 기판

4 : 상부 기판

5 : 신호 전극

7 : 액정

8 : 하부 기판

9A : 애노드 전극

9K : 캐소드 전극

10 : 격벽

12 : 방전 채널

이하에 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 플라즈마 어드레스 표시 장치의 기본 구성을 보여주는 전형적인 단면도이다. 본 발명의 플라즈마 어드레스 표시 장치는 플라즈마 셀(2)에 표시 셀(1)이 적층되어 있는 플랫 패널 구조를 갖고 있다. 플라즈마 셀(2)은 주사 방향(도면에서 좌측에서 우측으로)을 따라 순차적으로 배열된 방전 채널(12)을 갖는다. 표시 셀(1)은 중간 기판(3)을 통해 플라즈마 셀(2)에 연결되어 있고, 주사 방향에 수직한 방향(용지 평면에 수직한 방향)으로 순차 배열된 신호 전극(5) 및 이 신호 전극(5)과 접촉하는 액정(7)등의 전-광 물질층을 갖는다. 구체적으로 신호 전극(5)은 상부 기판(4)의 내측 면상에 스트라이프 형태로 형성된다. 상부 기판(4)은 밀봉 물질(6)을 통해서 중간 기판(3)에 결합된다. 한편, 플라즈마 셀(2)은 유리 플릿트(11)등에 의해서 중간 기판(3)에 특정한 갭을 두고 결합된 하부 기판(8)으로 이루어져 있다. 캐소드 전극(9K) 및 애노드 전극(9A)의 쌍 및 격벽(10)은 하부 기판(8)상에 제공되어 있다. 캐소드 전극(9K) 및 애노드 전극(9A)의 각 쌍은 방전 채널(12)의 하나에 형성되어 있고, 격벽(10)은 방전 채널(12)을 서로 구획하는 방식으로 형성되어 있다. 본 발명의 특징은 캐소드 전극(9K)이 서로 인접한 2개의 격벽(10)에 의해서 양면으로부터 구획된 하나의 방전 채널(12)에서 대략 중심위치에 놓여지고, 대응하는 애노드 전극(9A)은 2개의 인접한 격벽(10)중 하나와 접촉하는 방식으로 방전 채널(12)내에 배치되어 있는 점이다. 격벽(10)은 하부 기판(8)의 표면에 직접 형성되어 있다. 이렇게 구성하므로써, 전극들과 격벽들 사이에서 상대적인 위치적 편차가 발생된다고 해도 방전 채널(12)내에서 발생된 플라즈마 방전에 대한 역효과를 방지할 수 있다. 구체적으로 캐소드 전극(9K)이 방전 채널(12)의 대략 중심부에 놓이므로 캐소드 전극(9K)의 표면에 격벽(10)이 중첩될 우려가 사라져 캐소드 전극(9K)의 유효 전극 영역이 변화를 받지 않게된다. 또한, 캐소드 전극(9K)이 방전 채널(12)의 대략 중심부에 놓이므로 캐소드 전극(9K)의 표면의 전계가 그만큼 주변으로부터 영향을 받지 않는다. 그외에 애노드 전극(9A)은 애노드 전극(9A)의 표면 부분만이 노출되는 경우에 안정된 플라즈마 방전을 만족스럽게 실시할 수 있다. 따라서, 격벽이 오프셋되어 있고 애노드 전극(9A)상에 부분적으로 중첩되어 있는 경우에 부분 중첩부분이 플라즈마 방전에 거의 역효과를 초래하지 않으므로 불균일한 플라즈마 방전이 발생될 우려가 없다.

이어서, 본 발명의 플라즈마 어드레스 표시 장치의 동작에 대하여 도 1을 참조해서 설명한다. 이해를 돕기 위해서, 주사 방향의 상류로부터 하류로 배열된 방전 채널(12)의 3부분을 문자 P1, P2, P3로 표시하고, 방전 채널 P1, P2, P3에 포함된 캐소드 전극(9K) 및 애노드 전극(9A)의 3개의 쌍을 각각 문자 K1/A1, K2/A2, K3/A3로 표시하고, 주사 방향의 상류로부터 하류로 배열된 격벽(10)을 문자 S0, S1, S2, 및 S3로 표시한다. 그외에 각 애노드 전극(9A)은 양측에서 하나의 방전 채널(12)을 구획하는 2개의 격벽중 주사 방향의 하류측상에 위치한 하나와 접촉하게 된다. 예를 들면, 방전 채널(P1)이 두개의 격벽(S0, S1)에 의해서 양측에서 구획되어 있는 경우에 애노드 전극(A1)이 주사 방향의 하류측상에 놓인 격벽(S1)과 접촉하게 된다. 방전 채널(12)은 방전 채널(P1)로부터 순차적으로 주사되며, 신호 전압은 방전 채널(12)의 주사와 동기하여 신호 전극(5)에 순차적으로 인가된다. 일반적으로 전-광 물질층으로서 액정(7)을 사용하는 표시 셀(11)에서는 주사선을 구성하는 각 방전채널(12)마다 신호 전압의 극성을 반전시키는 소위 라인 반전 구동이 행해진다. 예를 들면, 방전 채널(P1)이 플라즈마 방전을 행할 때, 양극성을 가진 신호 전압이 신호 전극(5)에 인가되며, 플라즈마 채널(P2)이 플라즈마 방전을 행할때, 음극성을 가진 신호 전압이 신호 전극(5)에 인가된다. 이러한 라인 반전 구동에 있어서는 원형 마크로 도시한 바와 같이 신호 전압을 인가하기 어려운 부분이 생긴다. 구체적으로, 원형 마크로 표시한 부분이 하나의 극성을 가진 신호 전압이 기입된 직후에 대향 극성을 가진 신호 전압이 기입되는 액정(7)의 영역과 접촉하게 된다. 따라서, 원형 마크로 표시한 부분에서, 이전에 기입된 신호 전압이 나중에 기입된 신호 전압의 영향에 의해서 소거되는 경향이 있다. 본 발명에 따르면, 이러한 경우에도 원형 마크로 표시된 부분이 애노드 전극(9A)에 의해서 마스크되므로 정면 시각에서의 표시 콘트라스트의 저하를 방지할 수 있다.

도 2는 도 1에 도시된 하부 전극(8)측상에 형성된 전극 구조 및 격벽 구조를 나타내는 전형적인 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 애노드 전극(9K) 및 캐소드 전극(9K) 각각은 스트라이프 형태로 패턴되어 있으며, 교대로 배열되어 있다. 캐소드 전극(9K)은 2개의 인접한 격벽(10)사이의 대략 중심부분에 놓이며, 애노드 전극(9A)은 2개의 인접한 격벽(10)중 하나와 접촉하게 된다. 격벽(10)은 기판(8)의 표면에 직접 형성되어 있다. 도 2에 도시된 예에서, 애노드 전극(9A)의 폭wa은 100㎛로 설정되어 있고, 캐소드 전극(9K)의 폭wk은 100㎛로, 그리고, 격벽(10)의 폭ws은 100㎛으로 설정되어 있다. 격벽(10)과 캐소드 전극(9K)간의 갭w1은 200㎛로 설정되어 있고, 캐소드 전극(9K)과 애노드 전극(9A)간의 갭w2도 200㎛로 설정되어 있다. 따라서, 2개의 인접한 격벽(10)의 배열 피치wp는 700㎛로 설정된다. 그 외에 격벽의 높이 h는 200㎛으로 설정되어 있다. 이렇게 구성하므로써, 상대적 위치적 오프셋이 서로 접촉하도록 미리 설정된 애노드 전극(9A) 와 격벽(10)사이에서 50㎛가 된다해도 애노드 전극(9A)은 여전히 노출된 50㎛이다. 결국, 애노드 전극(9A)와 격벽(10)간의 위치적 오프셋이 거의 플라즈마 방전에 영향을 주지않게 된다. 이 실시예에서는 격벽(10)은 플라즈마 셀(2)의 갭의 치수(즉, 격벽(10)의 높이h)에 대응하는 두께로 기판(8)상에 형성된 절연 물질을 샌드 블라스팅에 의해서 스트라이프의 형태로 패터닝하므로로써 형성된다. 구체적으로, 유리 등의 무기 절연 물질이 두께h로 형성되고, 절연 막의 표면이 포토레지스트에 의해서 피복된다. 포토레지스트는 포토리소그래피에 의해서 스트라이프의 형태로 패턴된다. 절연 물질은 이렇게 패턴된 포토레지스트를 통해서 샌드 블라스팅에 의해서 에칭되어 격벽(10)을 형성한다. 이 경우에 격벽(10)은 애노드 전극(9A)이 격벽(10)의 아래측상에 제공되므로 하부 기판(8)의 표면에 양호하게 결합된다. 결국, 풍압이 샌드 블라스팅 단계에서 가해진다고 해도 하부 기판(8)으로부터 격벽이 박리될 우려가 없다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 캐소드 전극은 서로 인접하는 2개의 격벽에 의해서 양측으로부터 구획된 하나의 방전 채널내의 대략 중심부분에 위치해 있고, 대응하는 애노드 전극은 2개의 인접한 격벽중 주사 방향의 하류측상에 놓인 하나와 접촉하는 방식으로 하나의 방전 채널내에 배치된다. 이렇게 구성하므로써, 전극과 격벽의 위치적 정확성의 허용 범위를 크게할 수 있고, 각 전극의 폭을 지나치게 확장할 필요성을 저감시킬수 있다. 결국, 방전 채널내의 전극들의 점유 영역이 감소되어 표시 장치의 개구율이 향상되어 휘도개선 및 전력소모가 감소된다. 또한 플라즈마 방전의 균일성이 개선되므로 표시 장치의 수명이 연장되고 화질이 개선된다. 또한, 격벽과 애노드 전극사이의 박리가 발생되지 않으므로 격벽의 형성에 양산성 및 정확성이 우수한 샌드 블라스팅 처리를 사용할 수 있어서 표시 장치의 생산성 및 효율 개선을 이룰수 있다. 그외에 정면시각에서 관측한 표시 장치의 콘트라스트가 개선되므로 화질이 향상될 수 있다.

이제까지 본 발명의 바람직한 실시예를 특정한 용어들을 사용하면서 설명하였지만 이러한 설명들은 단지 예시를 목적으로 하고 있으므로 다음 특허 청구의 범위의 정신 혹은 영역으로부터 벗어나지 않고서 변경 및 변화가 이루어 질수있음을 이해해야 한다.

Claims

플라즈마 어드레스 표시 장치에 있어서,

상기 표시 장치의 주사 방향을 따라 순차 배열된 복수의 방전 채널을 가진 플라즈마 셀, 및

상기 플라즈마 셀에 결합되어 있고 상기 주사 방향에 수직한 방향으로 순차 배열된 신호 전극과 상기 신호 전극과 접촉하는 전-광 물질층을 갖는 표시 셀

을 구비하며,

상기 플라즈마 셀은 상기 표시 셀 및 상기 복수의 방전 채널에 대향하는 기판을 갖고 있으며, 상기 각각의 방전 채널은 상기 기판상에 형성된 적어도 한쌍의 애노드 전극 및 캐소드 전극을 갖고, 또한 상기 방전 채널들은 상기 방전 채널들을 서로 구획하는 방식으로 상기 기판상에 형성된 복수의 격벽을 가지며,

상기 캐소드 전극은 서로 인접한 상기 두개의 격벽에 의해서 구획된 상기 방전 채널들중의 하나의 방전 채널의 대략 중심 부분에 배치되며,

상기 캐소드 전극에 대응하는 상기 애노드 전극은 상기 하나의 방전 채널에 있어서 상기 두개의 인접한 격벽중 하나의 격벽과 접촉하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 방전 채널내에는 이온화 가능한 개스가 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 애노드 전극의 폭은 상기 격벽의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 애노드 전극은 상기 하나의 방전 채널을 구획하는 상기 두개의 인접한 격벽중 상기 표시 장치의 주사 방향의 하류측에 위치한 하나의 격벽과 접촉하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 격벽은 상기 기판상에 형성된 절연 물질을 샌드 블라스팅(Sand Blasting)에 의해서 스트라이프의 형태로 패터닝하므로써 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 격벽은 스트라이프형 마스크를 사용하는 스크린 프린팅에 의해서 상기 절연 물질을 적층하므로써 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 애노드 전극의 측벽은 상기 격벽과 접촉하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 표시 장치.