KR19980022889A - 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법 - Google Patents
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Abstract
복수대로 구비되는 동일공정수행 설비들의 상태, 공정수행가능량 및 반송을 위한 반송장치 등을 최적조건으로 판단하여 반송물을 반송하도록 개선시킨 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법에 관한 것이다.
본 발명은, 동일공정수행의 설비들이 여러 영역으로 분산배치되는 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법에 있어서, 공정수행 완료시 상기 동일후속공정의 설비들 중 현재 공정수행가능한 설비들을 판단하는 단계, 상기 공정수행가능한 설비들 중 최적조건의 설비를 판단하는 단계 및 상기 최적조건의 설비로 상기 반송물을 반송할 최적의 반송장치를 판단하고 이송하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 반송물의 반송을 위한 최적조건을 구축할 수 있어 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수대로 구비되는 동일공정수행 설비들의 상태, 공정수행가능량 및 반송을 위한 반송장치 등을 최적조건으로 판단하여 반송물을 반송하도록 개선시킨 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체장치 제조에는 수 많은 공정을 거치므로 각 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼(Wafer)와 같은 반송물을 로트(Lot) 단위로 형성하여 공정에서 공정 즉, 설비에서 설비로 반송하는 작업이 필요하다.
또한 이러한 반송작업은 웨이퍼의 반송 뿐만아니라 크린 룸(Clean Room)내의 모든 반송물에서도 이루어진다.
그리고 반송작업은 단일설비로만 이루어지는 것이 아니고, 반도체 제조공정의 특성상 동일공정이라도 복수대의 동일설비들이 여러 영역으로 분산배치되어 공정을 수행하기 때문에 여러 영역으로의 반송이 이루어진다.
그러나 복수대의 동일설비들로 반송이 이루어지는 종래의 반송작업에서는 여러 영역으로 분산배치된 설비들로 직접반송되는 것이 아니라, 미리 정해진 목적지로 반송이 이루어진 후 작업자가 직접 각각의 설비들로 분배하였다.
즉, 후속공정을 수행하기 위한 반송작업은 각각의 설비들의 현재상태를 고려하지 않고 미리 정해진 목적지로 반송되고, 작업자의 판단에 의해 이루지는 것이었다.
따라서 종래의 반송작업은 작업자의 판단오류 및 현재상태를 고려하지 않고 반송이 이루어짐으로 인해 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 최적조건의 반송장치를 이용하여 최적조건의 설비로 반송물을 반송하여 생산성을 향상시키기 위한 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법은, 동일공정수행의 설비들이 여러 영역으로 분산배치되는 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법에 있어서, 공정수행 완료시 상기 동일후속공정의 설비들 중 현재 공정수행가능한 설비들을 판단하는 단계, 상기 공정수행가능한 설비들 중 최적조건의 설비를 판단하는 단계 및 상기 최적조건의 설비로 상기 반송물을 반송할 최적의 반송장치를 판단하고 이송하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.
먼저, 단계 S2 내지 단계 S10은 공정이 완료된 후 후속공정이 수행가능한 설비 리스트를 확인하여 최적의 설비 및 최적의 반송장치를 판단하여 반송이 이루어지는 구성이다.
본 발명은, 단계 S2에서 공정이 완료되고, 단계 S4에서 각각의 영역에 분산배치되어 있는 후속공정의 설비들의 리스트를 확인한다.
그리고 단계 S6에서 후속공정이 수행가능한 설비들을 확인한 후 각각의 설비의 상태, 설비의 공정수행가능량 등을 기준으로 최적조건의 설비를 판단한다.
이어서 단계 S8에서 최적조건의 설비로 반송물을 반송하는 최적조건의 반송장치를 판단하고, 단계 S10에서 반송이 이루어진다.
그리고 최적조건의 반송장치의 판단은 최적조건의 설비의 수행가능처리량과 반송처리량의 연산으로 이루어진다.
여기서 본 발명의 반송작업은 동일공정을 수행하는 복수대의 설비들이 여러 영역으로 분산배치되어 있을 경우 각각의 설비의 상태, 공정수행가능량 및 반송장치의 반송량 등을 고려하여 이루짐으로서 역동적인 반송과 반송물의 적정분배 및 수동에 의한 분배를 방지한다.
즉, 최적조건의 반송장치를 확보하여 복수대의 동일공정수행 설비 중 최적조건의 설비로 반송이 이루어지는 것이다.
따라서, 본 발명에 의하면 반송물의 반송을 위한 최적조건을 구축할 수 있어 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (1)
- 동일공정수행의 설비들이 여러 영역으로 분산배치되는 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법에 있어서,공정수행 완료시 상기 동일후속공정의 설비들 중 현재 공정수행가능한 설비들을 판단하는 단계;상기 공정수행가능한 설비들 중 최적조건의 설비를 판단하는 단계; 및상기 최적조건의 설비로 반송물을 반송할 최적의 반송장치를 판단하고 이송하는 단계;를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960042182A KR19980022889A (ko) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960042182A KR19980022889A (ko) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980022889A true KR19980022889A (ko) | 1998-07-06 |
Family
ID=66325720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960042182A KR19980022889A (ko) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | 반도체 제조라인의 물류반송 제어방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980022889A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11823932B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-11-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Substrate processing system and substrate processing apparatus |
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1996
- 1996-09-24 KR KR1019960042182A patent/KR19980022889A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11823932B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-11-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Substrate processing system and substrate processing apparatus |
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