KR19980051758A - 반도체 제조라인의 물류반송방법 - Google Patents

Abstract

공정수행의 효율성을 개선시킨 반도체 제조라인의 물류반송방법에 관한 것이다.

본 발명은, 적어도 두 대이상의 설비 각각으로 반송이 가능한 반송물을 반송시키기 위한 반도체 제조라인의 물류반송방법에 있어서, 반송이 수행될 상기 반송물의 발생으로 상기 설비들의 상황을 확인하는 단계 및 상기 설비들의 상황확인으로 반송가능한 설비로 상기 반송물을 반송하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

따라서, 공정수행의 효율성의 증대로 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조라인의 물류반송방법

본 발명은 반도체 제조라인의 물류반송방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 각각의 설비들의 상황을 확인한 후 반송물의 반송을 수행하여 공정수행의 효율성을 개선시킨 반도체 제조라인의 물류반송방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체장치 제조에는 수 많은 공정을 거치므로 각 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼(Wafer)와 같은 반송물을 로트(Lot) 단위로 형성하여 공정에서 공정 즉, 설비에서 설비로 반송하는 작업이 필요하다.

또한 이러한 반송작업은 웨이퍼의 반송 뿐만아니라 크린 룸(Clean Room)내의 모든 반송물에서도 이루어진다.

그리고 반송작업은 단일설비로만 이루어지는 것이 아니고, 반도체 제조공정의 특성상 동일공정이라도 복수대의 동일설비들이 여러 영역으로 분산배치되어 공정을 수행하기 때문에 여러 영역으로의 반송이 이루어진다.

그러나 복수대의 동일설비들로 반송이 이루어지는 종래의 반송작업에서는 자동반송시스템의 정의에 따라 미리 정해진 목적지로 반송이 이루어졌다.

즉, 후속공정을 수행하기 위한 반송작업은 각각의 설비들의 현재상황을 고려하지 않고 미리 정해진 목적지로 반송되는 것으로서, 공정이 수행 중인 설비들에도 반송물의 반송이 이루어지는 것이었다.

다시 말해 설비의 공정상황을 고려하지 않아 미리 정해진 설비로 반송이 이루어져서 그 설비가 공정을 수행하고 있더라도 공정을 수행하지 않는 설비로는 반송이 이루어지지 않았다.

그래서 재반송작업을 수행하거나 또는 작업자가 매뉴얼(Manual)로 반송이 이루어지는 상황이 발생하였다.

따라서 종래의 제조라인의 반송물 반송은 설비의 상황을 고려하지 않고 반송이 이루어져서 공정수행 효율성의 결여로 인해 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 설비들의 상황을 고려한 반송작업의 수행으로 생산성을 향상시키기 위한 반도체 제조라인의 물류반송방법을 제공하는 데 있다.

도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류반송방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류반송방법은, 적어도 두 대이상의 설비 각각으로 반송이 가능한 반송물을 반송시키기 위한 반도체 제조라인의 물류반송방법에 있어서, 반송이 수행될 상기 반송물의 발생으로 상기 설비들의 상황을 확인하는 단계 및 상기 설비들의 상황확인으로 반송가능한 설비로 상기 반송물을 반송하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류반송방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.

먼저, 단계 S2에서 공정수행 중 적어도 두 대이상의 설비 각각으로 반송이 가능한 반송물이 발생되면, 단계 S4 및 단계 S6에서 자동반송시스템은 각각의 해당 설비들의 현상황 확인으로 반송가능여부를 결정하여, 단계 S8에서 반송물의 반송이 이루어지는 구성이다.

본 발명은 수행하고자 하는 공정의 설비가 적어도 두 대이상인 경우 설비들의 상황을 확인한 후 가장 적합한 설비로 반송이 이루어지게 한다.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은 먼저, 단계 S2에서 공정수행 중 반송물, 즉 적어도 두 대이상의 설비 각각으로 반송이 가능한 반송물의 반송상황이 발생되어 자동반송시스템에 입력되면 단계 S4에서 자동반송시스템은 이 반송물이 반송되어야 할 각각의 해당설비들의 상황을 확인한다.

즉, 해당설비들이 공정수행을 진행하고 있는지 아닌지 등을 확인하는 것이다.

이러한 설비들의 상황 확인이 이루어지면 단계 S6에서 자동반송시스템은 반송물을 처리할 수 있는 해당설비를 결정하고, 단계 S8에서 결정이 이루어어진 해당설비로 반송을 수행하면 된다.

여기서 본 발명은 반송이 이루어지는 반송물을 출발상황에서 공정수행이 가능한 설비의 상황을 확인하여 반송이 이루어짐으로써, 한 번으로 반송물의 반송이 이루어지는 것이다.

그래서 불필요한 반송을 감소시키고, 각 설비 및 반송장치에 반송물이 집중되는 것을 방지할 수 있다.

또한 작업자의 동선을 감소시키고, 설비의 로스타임(Loss Time)을 줄임으로서 공정수행의 효율성을 증대시키는 것이다.

따라서, 본 발명에 의하면 공정수행의 효율성의 증대로 생산성이 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 적어도 두 대이상의 설비 각각으로 반송이 가능한 반송물을 반송시키기 위한 반도체 제조라인의 물류반송방법에 있어서,

   반송이 수행될 상기 반송물의 발생으로 상기 설비들의 상황을 확인하는 단계; 및

   상기 설비들의 상황확인으로 반송가능한 설비로 상기 반송물을 반송하는 단계;

   를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조라인의 물류반송방법.