KR100250635B1 - 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
스톡커(Stocker)에 반송 여유공간을 확보하여 스톡커의 반송능률을 극대화시킨 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법에 관한 것이다.
본 발명은 레일을 따라 차량을 이동시켜 레일의 주변에 설치된 각 스톡커에 반송물을 입고 및 출고하도록 제어하는 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법에 있어서, 상기 반송 여유공간 이외의 공간에 반송물이 가득차면 상기 스톡커에 상기 반송물이 가득찬 상태로 인식하는 단계; 상기 반송물의 발생을 확인하는 단계; 상기 스톡커에 의한 상기 발생된 반송물의 반송을 시도하는 단계; 및 상기 반송 여유공간으로 상기 반송물을 입고 및 출고시키는 단계를 구비하여 이루어진다.
따라서 본 발명에 의하여 인력의 손실 및 공정수행시간의 손실을 최소화할 수 있어 생산성의 향상을 꾀할 수 있으며, 또한 제조라인에서의 반송 시스템을 보다 효율적으로 관리할 수 있는 효과가 있다.
[색인어]
반도체, 스톡커, 반송시스템, 반송물, 여유공간
Description
본 발명은 반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스톡커(Stocker)에 반송여유공간을 확보하여 스톡커의 반송능률을 극대화시킨 반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
통상 반도체장치 제조에는 수 많은 공정을 거치므로 각 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼(wafer)와 같은 반송물을 공정에서 공정으로 반송하는 작업이 필요하다.
여기서, 반송작업은 웨이퍼의 반송뿐만 아니라 크린 롬(Clean Room)내의 모든 반송물에 대해서도 이루어진다.
그리고 크린 룸내에서는 각 공정으로부터 반송되어온 반송물을 오염으로 부터 보호하기 위해 각 공정마다 스톡커가 마련되어 다른 공정에 공급되어질 반송물을 대기상태로 보관하거나 공정을 마친 반송물을 다음 공정으로 공급하기 전까지 대기상태로 보관하는 역할을 하게 되고, 이러한 일련의 반송작업은 모두 자동으로 이루어진다.
그러나 종래의 제조라인에서의 스톡커들은 반송물이 가득차 있으면 반송물의 반송이 불가하였다.
즉, 스톡커가 반송물로 가득차면 이 스톡커로 반송물의 반송을 시도하여도 반송물을 다른 스톡커로 보낼수도 없고, 다른 스톡커의 반송물을 받을수도 없어 작업자가 직접 수동으로 반송해야 하였다.
그리고 신속한 공정 수행을 요하는 반송물인 핫런(Hot Run)인 경우에도 원하는 스톡커가 가득차 있으면 반송이 불가하여 다른 대체 스톡커로 반송되었다.
따라서 종래의 스톡커에 반송물이 가득차면 작업자가 직접 반송을 하므로 인력의 낭비를 가져와 제조라인에서 반송시스템의 효율이 저하되었고, 또한 핫런의 경우에는 반송이 늦어져 공정시간이 오래 소요되는 문제점들이 있었다.
본 발명의 목적은 제조라인의 스톡커들이 반송물이 가득차 있어도 효율적으로 반송물을 반송시키기 위한 반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 모식도이다.
도2는 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 블록도이다.
도3은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 공정도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 레일 12 : 차량
14 : 스톡커 16 : 반송 여유공간
18 : 제어부 20 : 조작부
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템은, 반송물을 대기 및 보관하는 스톡커가 구비된 반도체 제조라인의 반송시스템에 있어서, 상기 스톡커에 반송여유공간을 확보하여 상기 반송여유 공간 이외의 공간이 상기 반송물로 가득차면 상기 스톡커의 모든 공간이 가득차 있는 것으로 인식되는 제어부를 포함하여 이루어진다.
본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법은, 레일을 따라 차량을 이동시켜 레일의 주변에 설치된 각 스톡커에 반송물을 입고 및 출고하도록 제어하는 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법에 있어서, 상기 반송 여유공간 이외의 공간에 반송물이 가득차면 상기 스톡커에 상기 반송물이 가득찬 상태로 인식하는 단계; 상기 반송물의 발생을 확인하는 단계; 상기 스톡커에 의한 상기 발생된 반송물의 반송을 시도하는 단계; 및 상기 반송 여유공간으로 상기 반송물을 입고 및 출고시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 모식도이고, 도2는 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 블록도이고, 도3은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 제어방법의 실시예를 나타내는 공정도이다.
먼저, 도1은 레일(Rail)(10)로 차량(12)이 이동하면서 스톡커(14)로 반송물을 반송시키도록 구성되어 있다.
본 발명은 스톡커(14)의 일정영역을 반송여유공간(16)으로 확보하고, 다른 공간을 이용하여 반송물을 대기 및 보관한다.
또한, 도2는 차량(12) 및 스톡커(14)를 제어하여 반송이 이루어지도록 하는 제어부(18) 및 작업자가 반송물을 입력하여 반송을 시도할 수 있도록 키보드(Keyboard), 보턴(Button) 등으로 이루어진 조작부(20)가 구비되어 있다.
여기서, 제어부(18)는 스톡커(14)에 반송여유공간(16) 만큼의 공백이 있어도 반송여유공간(16) 이외의 공간이 반송물로 가득차면 스톡커(14)는 가득찬 상태로 인식되도록 이루어진다.
그리고, 도3에서 제어부(18)는 단계 S2에서 스톡커(14)에 반송물이 가득찬 상태로 인식되고, 단계 S4에서 반송물이 발생하여, 단계 S6에서 작업자가 조작부(20)를 통해 반송을 시도하면, 단계 S8에서 반송여유공간(16)을 이용하여 반송물을 반송하도록 구성되어 있다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 실시에의 작용 및 효과에 대하여 설명한다.
먼저, 단계 S2에서 레일(10) 위로 이동하는 차량(12)으로 반송여유공간(16)이 확보되어 있는 스톡커(14)에 반송물이 반송되어 이 스톡커(14) 는 반송물로 가득차 있는 상태로 제어부(18)에 인식된다.
이어서, 단계 S4에서 다른 반송물이 발생하여 단계 S6에서 작업자는 반송물이 가득차 있는 스톡커(14)로 반송을 시도하기 위하여 조작부(20)를 통하여 반송물을 입력시키면 제어부(18)는 단계 S8에서 스톡커(14)에 확보되어 있는 반송여유공간(16)을 이용하여 반송물을 입고 및 출고시킴으로써 이루어진다.
여기서 이러한 일련의 작업은 모두 자동으로 이루어지며, 제조라인에서의 반송물동량의 규모를 기준으로 반송여유공간의 크기를 미리 제어부에 셋팅(Setting)하면 된다.
또한 빠른 공정수행을 요구하는 핫런인 경우에도 본 발명의 반송시스템 및 제어방법을 이용하면 원하는 스톡커로의 반송이 가능하므로 대체 스톡커로 반송물을 반송시키지 않아도 된다.
이러한 본 발명은 스톡커에 반송물이 가득차 있어도 반송여유공간을 이용하면 반송물의 반송이 가능하고, 또한 종래에 반송물이 가득찬 스톡커에 수동으로 이루어지던 작업을 미리 방지할 수 있다.
따라서 본 발명에 의하여 인력의 손실 및 공정수행시간의 손실을 최소화 할 수 있어 생산성의 향상을 꾀할 수 있으며, 또한 제조라인에서의 반송 시스템을 보다 효율적으로 관리할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연하다.
Claims (1)
- 레일을 따라 차량을 이동시켜 레일의 주변에 설치된 각 스톡커에 반송물을 입고 및 출고하도록 제어하는 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법에 있어서, 상기 반송 여유공간 이외의 공간에 반송물이 가득차면 상기 스톡커에 상기 반송물이 가득찬 상태로 인식하는 단계; 상기 반송물의 발생을 확인하는 단계; 상기 스톡커에 의한 상기 발생된 반송물의 반송을 시도하는 단계; 및 상기 반송 여유공간으로 상기 반송물을 입고 및 출고시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022650A KR100250635B1 (ko) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022650A KR100250635B1 (ko) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980006006A KR980006006A (ko) | 1998-03-30 |
| KR100250635B1 true KR100250635B1 (ko) | 2000-04-01 |
Family
ID=19462712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960022650A KR100250635B1 (ko) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100250635B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100802020B1 (ko) * | 2006-08-14 | 2008-02-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 이송시스템 및 그 차량제어방법 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010082760A (ko) * | 2001-04-26 | 2001-08-30 | 김 종 해 | 다목적 케이블 tv 디코더 시스템 |
-
1996
- 1996-06-20 KR KR1019960022650A patent/KR100250635B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100802020B1 (ko) * | 2006-08-14 | 2008-02-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 이송시스템 및 그 차량제어방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR980006006A (ko) | 1998-03-30 |
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