JPH06191611A - 物品の製造装置などへの搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】半導体ウエハのような物品を或る半導体製造装
置と物品保管倉庫との間で効率的に搬送できるようにし
たものである。 【構成】加工などが行われる物品が、その加工などを行
う製造装置７において加工され、その物品の加工が完了
する前に、前記製造装置７から信号（Ｅ）を発信し、次
の加工などが行われれる物品を前記製造装置７に搬送さ
れるようにし、前記加工などが完了した物品を加工完了
保管倉庫３、或いは次工程に搬送するようなシステムに
構成した。 【効果】物品の製造装置の稼働率を向上させることがで
き、また供給、回収の同時搬送を行うので、自動搬送機
の搬送効率をも向上することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、物品、例えば、半導
体ウエハの半製品を、例えば、２５枚を１ロットとして
ウエハキャリヤに収納し、或る半導体製造装置と物品保
管倉庫との間を効率的に搬送できる搬送方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来技術の物品の製造装置などへの搬送
方法を図１及び図２Ａを用いて説明する。図１は物品の
一例として半導体ウエハを採り挙げ、その加工処理を行
う、自動搬送機を用いた半導体製造システムの構成図で
あり、図２Ａはその従来技術の半導体製造システムを制
御する一部の命令信号のタイミングチャートである。

【０００３】この半導体製造システムＳは物品である半
導体ウエハの保管自動倉庫３と半導体製造装置７との間
の製品ロットの搬送を自動搬送機５によって自動的に行
うものであり、保管自動倉庫３、自動搬送機５及び半導
体製造装置７の状態と相互の動作タイミングはホスト・
コンピュータ１により、統括制御、管理されている。そ
して、前記保管自動倉庫３、自動搬送機５、半導体製造
装置７などの各機器の動作制御、管理はそれぞれ前記ホ
スト・コンピュータ１の元でそれぞれの自動倉庫制御シ
ステム２、自動搬送制御システム４、製造装置制御シス
テム６によって行われる。

【０００４】前記製造装置制御システム６は、通常、複
数台あり、それぞれには、加工処理条件が数種類のパタ
ーンで登録されており、また前記半導体製造装置７はＣ
ＰＵを備え、そのプログラムを変更することにより保管
自動倉庫３と自動搬送機５とを制御するインターロック
信号を出す機能を備えている。また、この半導体製造装
置７にはウエハキャリヤ用のローダー、アンローダーも
備えている。なお、前記製品ロットとは半導体ウエハの
半製品を管理上、或る枚数、例えば、２５枚で纏め、整
列、収納できるウエハキャリヤに入れた処理、搬送単位
で、以下の説明ではそのように呼ぶ。

【０００５】このような構成の従来技術の半導体製造シ
ステムＳでは、製品ロットを半導体製造装置７へ供給
し、或いは加工後それより回収する場合、保管自動倉庫
３（或いは次工程、この説明では保管自動倉庫３に限定
する）との間で自動搬送機５によって自動的に行われ
る、所謂工程内自動搬送の場合、従来は、その加工処理
中の全ての半導体ウエハの処理が完全に終了した後、自
動搬送機５が製品ロットを回収し、更に保管自動倉庫３
に入庫した後、次に処理すべき製品ロットを供給するよ
うに行っていた。即ち、回収搬送と供給搬送は分離され
て行われていた。

【０００６】即ち、図２Ａに示したように、従来、加工
処理中の信号（Ａ）がオフになった時点Ｔをトリガー
に、次の製品ロットの要求信号（Ｂ）をオンにしてい
た。ホスト・コンピュータ１はこの要求信号（Ｂ）がオ
ンになったのをトリガーに自動搬送制御システム４に対
して動作開始の指示を出し、同時に自動倉庫制御システ
ム２に対して次の製品ロットの庫出指示を出すように構
成されていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】所が、このような半導
体製造システムＳであると、或る処理済の製品ロットが
回収されてから、次の製品ロットが供給されるまでの
間、半導体製造装置７はその製品ロットの受け入れ待ち
状態になり、稼働率が低下するという欠点があった。

【０００８】更に、自動搬送機５側にとってみても、１
台の半導体製造装置７に対して供給搬送と回収搬送との
２回の走行動作を行わなければならず、搬送効率を低下
させる要因になっていた。この発明は前記のような欠点
を解消し、製造効率の向上などを計ろうとするものであ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明では、加工などが行われる物品が、その加
工などを行う製造装置において加工され、その物品の加
工が完了する前に、前記製造装置から信号を発信し、次
の加工などが行われれる物品を前記製造装置に搬送され
るようにし、前記加工などが完了した物品を加工完了保
管倉庫、或いは次工程に搬送するようなシステムに構成
した。

【００１０】

【作用】前記構成の搬送システムを採ることにより、半
導体製造装置７の待機時間を次の製品ロットの供給待ち
時間だけ短縮することができ、また供給、回収の同時搬
送を行うこともでき、更に、物品側から見ると、仕掛り
時間が短くなるため、製品の製造リードタイムを短縮す
ることができる。

【００１１】

【実施例】以下、この発明の実施例を図１及び図２Ｂを
用いて説明する。図１は物品の一例として半導体ウエハ
を採り挙げ、その加工処理を行う、自動搬送機を用い
た、半導体製造システムの構成図であって、その構成は
従来技術のものと同一であるが、半導体製造装置７の自
動プログラムを異にし、図２Ｂはこの発明の半導体製造
システムを制御する一部の命令信号のタイミングチャー
トを示したものである。なお、従来技術と同一の部分に
は同一の符号を付し、その部分の説明を省略する。

【００１２】この発明では、図１の半導体製造システム
Ｓにおいて、図２Ａの従来の加工処理中の信号（Ａ）と
同一の信号（Ｃ）の他に、図２Ｂに示したように、前記
半導体製造装置７で、例えば、その製品ロットの最終半
導体ウエハの加工処理終了を表す新たな信号（Ｄ）を発
生させ、この信号（Ｄ）がオンになったことをトリガー
に、次の製品ロット要求信号（Ｅ）を発生させる。これ
らの信号の生成は、前記半導体製造装置７に内蔵したプ
ログラムを変更させることにより行うことができる。

【００１３】このような信号（Ｅ）を発生させることに
より、従来の次の製品ロット要求信号がオンになる時期
よりも早く、次の製品ロットの要求信号を出力すること
ができる。即ち、次の製品ロットの要求を前倒しできる
ようにした。

【００１４】

【発明の効果】以上、説明したように、この発明の物品
の製造装置などへの搬送方法によれば、半導体製造装置
の待機時間を次の製品ロットの供給待ち時間だけ短縮す
ることができるため稼働率を向上させることができ、ま
た供給、回収の同時搬送を行うことにより、自動搬送機
の搬送効率をも向上することができ、更にまた、物品側
から見ると、仕掛り時間が短くなるため、製品の製造リ
ードタイムを短縮することができるなど、優れた効果が
得られる。

【００１５】なお、前記物品とは半導体ウエハのみに限
らず、光ディスク、光磁気ディスクなどでもよく、また
これらのような盤状の物品でなくともよい。また、この
発明の物品の製造装置などへの搬送方法は、前記半導体
製造装置７そのものだけに限らず、 １．ウエハキャリヤ洗浄機などの製品ウエハ以外の治工
具などを自動搬送するシステム ２．半導体製造装置前面に設けられた移載ロボットなど
を有するシステム ３．保管自動倉庫から庫出された製品ロットを装置へセ
ットする前に一時的にストックしておく仮置台などを有
するシステム などにも応用することができることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】物品の一例として半導体ウエハを採り挙げ、そ
の加工処理を行う、自動搬送機を用いた半導体製造シス
テムの構成図である。

【図２】半導体製造システムを制御する一部の命令信号
のタイミングチャートであって、同図Ａは従来技術の半
導体製造システムを制御する一部の命令信号のタイミン
グチャートであり、同図Ｂはこの発明の半導体製造シス
テムを制御する一部の命令信号のタイミングチャートで
ある。

【符号の説明】

１ ホスト・コンピュータ ２ 自動倉庫制御システム ３ 保管自動倉庫 ４ 自動搬送制御システム ５ 自動搬送機 ６ 製造装置制御システム ７ 半導体製造装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加工などが行われる物品が、その加工など
   を行う製造装置において加工され、その物品の加工が完
   了する前に、前記製造装置から信号を発信し、次の加工
   などが行われれる物品を前記製造装置に搬送されるよう
   にし、前記加工などが完了した物品を加工完了保管倉
   庫、或いは次工程に搬送することを特徴とする物品の製
   造装置などへの搬送方法。