KR980006006A - 반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
KR980006006A
KR980006006A KR1019960022650A KR19960022650A KR980006006A KR 980006006 A KR980006006 A KR 980006006A KR 1019960022650 A KR1019960022650 A KR 1019960022650A KR 19960022650 A KR19960022650 A KR 19960022650A KR 980006006 A KR980006006 A KR 980006006A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stocker
manufacturing line
semiconductor manufacturing
space
conveyed
Prior art date
Application number
KR1019960022650A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100250635B1 (ko
Inventor
박범천
김철호
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019960022650A priority Critical patent/KR100250635B1/ko
Publication of KR980006006A publication Critical patent/KR980006006A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100250635B1 publication Critical patent/KR100250635B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4189—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the transport system
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

스톡커(Stocker)에 반송여유공간을 확보하여 스톡커의 반송능률을 극대화시킨 반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명은, 반송물을 대기 및 보관하는 스톡커가 구비된 반도체 제조라인의 반송시스템에 있어서, 상기 스톡커에 반송여유공간을 확보하여 상기 반송여유공간 이외의 공간이 상기 반송물로 가득차면 상기 스톡커의 모든 공간이 가득차 있는 것으로 인식되는 제어부를 포함하여 이루어지고, 반송 여유공간이 확보되어 있는 스톡커가 구비된 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법에 있어서, 상기 반송여유공간 이외의 공간이 반송물로 가득차면 상기 스톡커에 상기 반송물이 가득찬 상태로 인식되는 단계, 상기 반송물이 발생되어 상기 스톡커로 반송을 시도하는 단계 및 상기 반송여유공간으로 상기 반송물을 입고 및 출고시키는 단계를 포함하여 이루어진다. 따라서, 본 발명에 의하여 인력의 손실 및 공정수행시간의 손실을 최소화할 수 있어 생산성의 향상을 꾀할 수 있으며, 또한 제조라인에서의 반송시스템을 보다 효율적으로 관리할수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 모식도이다.
제2도는 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송시스템의 실시예를 나타내는 블록도이다.

Claims (2)

  1. 반송물을 대기 및 보관하는 스톡커가 구비된 반도체 제조라인의 반송시스템에 있어서, 상기 스톡커에 반송여유공간을 확보하여 상기 반송여유공간 이외의 공간이 상기 반송물로 가득차면 상기 스톡커의 모든 공간이 가득차 있는 것으로 인식되는 제어부를 포함하여 이루어지는 반도체 제조라인의 반송시스템.
  2. 반송여유공간이 확보되어 있는 스톡커가 구비된 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법에 있어서, 상기 반송여유공간 이외의 공간이 반송물로 가득차면 상기 스톡커에 상기 반송물이 가득찬 상태로 인식되는 단계; 상기 반송물이 발생되어 상기 스톡커로 반송을 시도하는 단계; 및 상기 반송여유공간으로 상기 반송물을 입고 및 출고시키는 단계;를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 제조라인의 반송시스템의 제어방법.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960022650A 1996-06-20 1996-06-20 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법 KR100250635B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960022650A KR100250635B1 (ko) 1996-06-20 1996-06-20 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960022650A KR100250635B1 (ko) 1996-06-20 1996-06-20 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR980006006A true KR980006006A (ko) 1998-03-30
KR100250635B1 KR100250635B1 (ko) 2000-04-01

Family

ID=19462712

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960022650A KR100250635B1 (ko) 1996-06-20 1996-06-20 반도체 제조라인의 반송시스템 제어방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100250635B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010082760A (ko) * 2001-04-26 2001-08-30 김 종 해 다목적 케이블 tv 디코더 시스템

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100802020B1 (ko) * 2006-08-14 2008-02-12 삼성전자주식회사 반도체 이송시스템 및 그 차량제어방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010082760A (ko) * 2001-04-26 2001-08-30 김 종 해 다목적 케이블 tv 디코더 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR100250635B1 (ko) 2000-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW431933B (en) Automated consolidation station
KR920010485A (ko) 생산관리장치 및 이 장치를 사용한 생산관리방법
MXPA05011414A (es) Un sistema de computo para enrutar la entrega de paquetes.
ES2169728T3 (es) Procedimiento y aparato para preservar la formacion de secuencias de paquetes en un sistema de transmision de paquetes.
CN107527182A (zh) 出入库控制方法
KR980006006A (ko) 반도체 제조라인의 반송시스템 및 그 제어방법
DE60105049D1 (de) Intelligenter behälter
US20040260423A1 (en) Article storage and retrieval arrangement and method
US11257030B1 (en) Aggregating RFID events to determine a location
JP2003281418A5 (ko)
JP2000118692A (ja) 仕分け方法
ATE362196T1 (de) Vorrichtung zum be- und entladen von substraten
CN116485080A (zh) 一种拣货方法及装置
CN205008257U (zh) 一种智能物流分类仪
ATE305415T1 (de) Produktverpackung aus faltbarem kartonmaterial mit informationsystemen auf datenträgern und verfahren zu deren herstellung
JPS61164734A (ja) 搬送媒体
JP2004507082A5 (ko)
KR940020243A (ko) 물품관리정보의 형성방법과 생산관리시스템
JPH10324404A (ja) 自動出荷方法および自動出荷システム
SE9904096D0 (sv) Hanteringssystem för returemballage
SE0301036D0 (sv) Hanteringssystem för returförpackningar
JP2880764B2 (ja) 被搬送物搬送方式
JPH1045234A (ja) 搬送処理装置及びその方法
JP2001287808A (ja) ロケーション引当システム
DE60205056D1 (de) Kabelbaum

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20061221

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee