KR19980020301A - 반도체 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

이송경로가 변경되는 로딩포지션(Loading Position)에 상기 웨이퍼(Wafer)의 양단부를 센싱(Sensing)하는 센서를 부착하여 안정적인 설비관리 및 공정불량을 감소시킨 반도체 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

본 발명은, 공정수행시 웨이퍼를 공정챔버로 이송시키기 위해 이송벨트, 이송롤러, 메인벨트의 순으로 이송경로를 거치는 반도체 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 웨이퍼가 일측으로 치우쳐 이송되는 것을 방지하기 위하여 상기 이송벨트에서 상기 이송롤러로 경로가 변경되는 로딩포지션에 상기 웨이퍼의 크기를 센싱할 수 있도록 상기 웨이퍼의 양단부를 센싱하는 센서가 부착되어 이루어짐을 특징으로 한다.

따라서, 본 발명에 의하면 설비의 안정적인 관리로 작업효율을 향상시키고, 또한 공정수행시 불량원인을 해소하여 생산효율이 극대화되는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 이송장치

본 발명은 반도체 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이송경로가 변경되는 로딩포지션(Loading Position)에 상기 웨이퍼(Wafer)의 양단부를 센싱(Sensing)하는 센서를 부착하여 안정적인 설비관리 및 공정불량을 감소시킨 반도체 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정은 수 많은 공정을 거치므로 각 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼를 각 공정단위로 이송하는 작업이 필요하다.

그리고 이러한 일련의 이송은 대부분 자동화되어진 이송장치를 이용하여 이루어진다.

도1은 종래의 반도체 웨이퍼 이송장치를 나타내는 모식도이다.

먼저, 도1은 로더부(Loader)(10)에 카세트(Cassette)(12)단위로 반송되어진 웨이퍼(14)를 이송벨트(Belt)(16), 이송롤러(Roller)(18), 메인벨트(Main Belt)(20) 및 공정을 수행하는 공정챔버(Chamber)(22)의 순으로 이송되도록 구성되어 있다.

그리고 각각의 이송경로상에 웨이퍼(14)의 정상이송위치를 센싱하는 센서(24)들이 구비되어 있다.

종래에는 로더부(10)에서 이송벨트(16)로 웨이퍼(14)를 옮긴 후 이송벨트(16)를 이용하여 웨이퍼(14)를 이송롤러(18)가 있는 위치까지 보내진다. 그리고 이송롤러(18)로 웨이퍼(14)를 이송한 후 메인벨트(20)를 거쳐 공정챔버(22)로 이송되어져 공정을 수행한다.

여기서 각각의 이송경로상에 부착된 센서(24)를 이용하여 이송시 웨이퍼(14)의 이송위치를 확인하면서 이송한다.

즉, 로더부(10)에서 이송을 위하여 웨이퍼(14)가 이송벨트(16)로 옮겨질 때 센서(24)로 이송위치를 확인한 다음 이송벨트(16)로 이송되어지고, 이송벨트(16)에서 이송롤러(18)로 경로가 변경되는 로딩포지션에서도 웨이퍼(14)의 이송위치를 확인한 후 이송롤러(18)로 보내지며, 이송롤러(18)로 이송시에도 각 부분에 부착된 센서(24)로 웨이퍼(14)의 이송위치를 확인하면서 메인벨트(20)로 이송되어져 최종목적지인 공정챔버(22)로 보내지는 것이다.

그러나 종래에 이송벨트(16)에서 이송롤러(18)로 경로가 변경되는 로딩포지션에서의 이송위치확인은 웨이퍼(14)의 중심부를 기준으로 하여 이루어지기 때문에 웨이퍼(14)가 일측으로 치우쳐서 이송되는 것은 확인할 수 없었다.

그래서 이렇게 일측으로 치우쳐서 이송되는 웨이퍼가 공정챔버(22)로 보내져서 공정챔버(22)에 손상을 입혔고, 또한 공정수행시 불량의 원인이 되었다.

따라서 종래의 이송장치는 안정적인 설비관리가 힘들어 작업효율을 저하시켰고, 또한 공정불량의 원인을 야기시키는 문제점들이 있었다.

본 발명의 목적은, 웨이퍼가 일측으로 치우쳐 이송되는 것을 방지하여 안정적인 설비관리 및 공정불량을 감소하기 위한 반도체 웨이퍼 이송장치를 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체 웨이퍼 이송장치를 나타내는 모식도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송장치의 실시예를 나타내는 모식도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10, 30 : 로더부 12, 32 : 카세트

14, 34 : 웨이퍼 16, 36 : 이송벨트

18, 38 : 이송롤러 20, 40 : 메인벨트

22, 42 : 공정챔버 24, 44 : 센서

46 : 경보부

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송장치는, 공정수행시 웨이퍼를 공정챔버로 이송시키기 위해 이송벨트, 이송롤러, 메인벨트의 순으로 이송경로를 거치는 반도체 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 웨이퍼가 일측으로 치우쳐 이송되는 것을 방지하기 위하여 상기 이송벨트에서 상기 이송롤러로 경로가 변경되는 로딩포지션에 상기 웨이퍼의 크기를 센싱할 수 있도록 상기 웨이퍼의 양단부를 센싱하는 센서가 부착되어 이루어짐을 특징으로 한다.

그리고, 상기 센서에서 상기 웨이퍼가 일측으로 치우쳐서 센싱이 되면 경보를 발생하도록 경보수단이 더 부착되어 이루어지는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송장치의 실시예를 나타내는 모식도이다.

먼저, 도2는 로더부(30)에 카세트(32)단위로 반송되어진 웨이퍼(34)를 이송벨트(36), 이송롤러(38), 메인벨트(40) 및 공정을 수행하는 공정챔버(42)의 순으로 이송되도록 구성되어 있다.

그리고 각각의 이송경로상에 웨이퍼(34)의 정상이송위치를 센싱하는 센서(44) 및 센서(44)의 신호입력으로 경보를 알리는 경보부(46)가 구비되어 있다.

실시예는 산화막을 형성하는 공정을 수행하는 저압화학기상증착설비로서 공정을 수행하기 위한 이송경로는 먼저, 로더부(30)에서 이송벨트(36)로 웨이퍼(34)를 이송한 후 이송롤러(38)가 있는 위치까지 보낸다.

그리고 이송롤러(38)로 웨이퍼(34)를 이송한 후 메인벨트(40)를 거쳐 공정챔버(42)로 이송되어져 공정을 수행한다.

여기서 본 발명은, 각각의 이송경로상에 부착된 센서(44)를 이용하여 이송시 웨이퍼(34)의 이송위치를 확인하면서 이송한다.

즉, 로더부(30)에서 이송을 위하여 웨이퍼(24)가 이송벨트(36)로 옮겨질 때 센서(44)로 이송위치를 확인한 다음 이송벨트(36)로 이송되어지고, 이송벨트(36)에서 이송롤러(38)로 경로가 변경되는 로딩포지션에서도 웨이퍼(34)의 이송위치를 확인한 후 이송롤러(38)로 보내지며, 이송롤러(38)로 이송시에도 각 부분에 부착된 센서(44)로 웨이퍼(34)의 이송위치를 확인하면서 메인벨트(40)로 이송되어져 최종목적지인 공정챔버(42)로 보내지는 것이다.

여기서 본 발명은, 이송벨트(36)에서 이송롤러(38)로 경로가 변경되는 로딩포지션에서의 이송위치확인은 웨이퍼(34)의 크기로 이송위치를 확인할 수 있도록 센서(44)가 웨이퍼(34)의 양단부를 센싱하도록 부착되어 있다.

이렇게 이루어진 본 발명의 센서(44)를 이용하면 이송벨트(36)에서 이송롤러(38)로 웨이퍼(34)의 이송경로가 변경되는 로딩포지션에서 이송위치를 확인시 웨이퍼(34)의 크기로 센싱할 수 있어 일측으로 치우쳐 이송되는 것을 방지할 수 있다.

그리고 웨이퍼(34)가 일측으로 치우쳐 이송위치가 확인되면 자동으로 경보를 알릴 수 있도록 경보부(46)가 더 부착되어 작업자가 신속하게 조치를 취할 수 있도록 한다.

즉, 본 발명은 웨이퍼가 일측으로 치우쳐서 이송되는 방지하여 설비에 손상을 미치는 원인 및 공정수행시 불량원인을 해소할 수 있는 것이다.

따라서, 본 발명에 의하면 설비의 안정적인 관리로 작업효율을 향상시키고, 또한 공정수행시 불량원인을 해소하여 생산효율이 극대화되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 공정수행시 웨이퍼를 공정챔버로 이송시키기 위해 이송벨트, 이송롤러, 메인벨트의 순으로 이송경로를 거치는 반도체 웨이퍼 이송장치에 있어서,

   상기 웨이퍼가 일측으로 치우쳐 이송되는 것을 방지하기 위하여 상기 이송벨트에서 상기 이송롤러로 경로가 변경되는 로딩포지션에 상기 웨이퍼의 크기를 센싱할 수 있도록 상기 웨이퍼의 양단부를 센싱하는 센서가 부착되어 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서에서 상기 웨이퍼가 일측으로 치우쳐서 센싱이 되면 경보를 발생하도록 경보수단이 더 부착되어 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 이송장치.