KR0127242Y1 - 웨이퍼 로딩장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치에서는 컨베이어롤러에 의해 이송지점으로 운반되어서 언로더셔틀에 의해 언로더카세트에 적재되지 않고, 컨베이어롤러의 이송지점을 거쳐서 추락하는 웨이퍼를 감지하는 감지수단을 부착시켜서 웨이퍼 추락시에 생산작업자가 즉각적인 조치를 취할 수 있게 한다.

Description

웨이퍼 로딩장치
제1도는 종래의 웨이퍼 로딩장치를 설명하기 위한 도면.
제2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치를 설명하기 위한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10, 20 : 머 플 11, 21 : 로딩장치
12, 22 : 웨이퍼핸들 13, 23 : 로더카세트
14, 24 : 로더셔틀 15, 25 : 웨이퍼
16, 26 : 컨베이어롤러 17, 27 : 언로더카세트
18, 28 : 언로더셔틀 19, 29 : 포토센서
30 : 감지센서 31 : PLC
32 : 경보 스피커 ⓐ, ⓑ : 이송지점
본 고안은 반도체 제작 장비에서의 웨이퍼 로딩(wafer loading)장치에 관한 것으로, 특히 생산 작업자가 웨이퍼 추락을 감지하도록 하여 원활한 웨이퍼의 로딩작업에 적당하도록 한 웨이퍼 로딩장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서 웨이퍼가 제조된 후에도 많은 공정을 거쳐야 하며, 각 공정단계에서 웨이퍼의 운반은 자동 웨이퍼 로딩장치에 의해 수행되고 있다. 웨이퍼 로딩장치에 의해 운반될 웨이퍼는 보통 한개이상 적재할 수 있는 카세트(cassette)에 담겨 이동된다.
제1도는 종래의 웨이퍼 로딩장치를 설명하기 위한 도면으로, 제1도의 (a)는 종래의 웨이퍼 로딩장치가 CVD(chemical vapor deposition)장비의 머플에 설치된 것을 도시한 평면도이고, 제1도의 (b)는 종래의 웨이퍼 로딩장치의 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이때 제1도의 (a)와 (b)도에 표시된 화살표는 웨이퍼의 이동방향을 표시한 것이다.
이하 도면을 참고하여 종래의 로딩장치를 설명하면 다음과 같다.
종래의 웨이퍼 로딩장치(11)는 제1도의 (a)와 같이, 웨이퍼 핸들(wafer handle)(12)로 조절되어 로더(loader)카세트(13)에 적재된 웨이퍼를 꺼내는 로더셔틀(shuttle)(14)과, 로더셔틀에 의해 로더카세트에서 꺼내진 웨이퍼가 CVD장비의 머플(10)내부로 통과하도록 웨이퍼(15)를 이송지점(ⓐ부위)까지 이송시키는 컨베이어롤러(coveyer roller)(16)와, 컨베이어롤러에 의해서 CVD장비의 머플(muffle)내부를 통과하여 증착공정이 진행된 웨이퍼를 언로더(unloader)카세트(17)에 적재시키는 언로더셔틀(18)과, 로딩에라(error)로 인하여 이송지점을 지나서 추락하는 웨이퍼를 받아주는 웨이퍼 받이(도면에 도시안됨)로 이루어졌다.
반도체 제조장치의 CVD장비에 설치된 종래의 웨이퍼 로딩장치는 제1도의 (b)와 같이, 로딩장치(11)에의 컨베이어1롤러(16)에 의해 CVD장비의 머플(10)내부를 통과하면서 박막공정을 거친 웨이퍼(15)를 포토센서(19)에서 감지한 후에, 컨베이어롤러상의 웨이퍼는 언로더셔틀에 의해 언로더카세트에 적재된다.
그러나, 종래의 웨이퍼 로딩장치에서 공정이 진행된 웨이퍼가 컨베이어롤러상에서 이동되어 웨이퍼가 언로더셔틀에 의해 언로더카세트로 적재되지 않고 컨베이어롤러의 이송지점을 거치면서 웨이퍼받이로 추락하게 되는 웨이퍼 로딩에라가 발생할 경우에, 이를 생산 작업자가 인식하지 못하여 즉각 조치가 불가능하다. 또한, 이로 인하여 반도체 제조의 공정진행중에 발생하는 계속적인 로딩에라에 의해 순차적으로 추락하는 웨이퍼간의 충돌로 인하여 다량의 웨이퍼가 파손되는 문제가 발생되었으며, 파손에 의한 손실로 웨이퍼의 생산수률이 저하되는 문제가 발생되었다.
본 고안은 이러한 문제를 해결하기 위해 인출된 것으로, 웨이퍼의 추락을 감지하여 웨이퍼 추락시고 발생시에 생산 작업자가 신속하게 조치시킬 수 있게 하는 것을 그 목적으로 한다.
본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치는 반도체 제조장치에 설치되어 웨이퍼를 이송지점까지 운반하는 컨베이어롤러와, 웨이퍼가 적재되어 있는 로더카세트에서 웨이퍼를 순차적으로 잡아서 컨베이어롤러로 이동시키는 로더셔틀과, 컨베이어롤러에 의해 이송지점까지 운반된 웨이퍼를 순차적으로 잡아서 언로더카세트에 적재시키는 언로더셔틀과, 컨베이어롤러에 의해 이송지점으로 운반되어서 언로더셔틀에 의해 언로도카세트에 적재되지 않고, 컨베이어롤러의 이송지점을 거쳐서 추락하는 웨이퍼를 감지하는 감지수단을 포함하여 이루어진다.
제2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치를 설명하기 위한 도면으로, 제2도의 (a)는 본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치가 반도체 장치의 머플에 설치된 것을 도시한 평면도이고, 제1도의 (b)는 본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치의 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이때 제2도의 (a)와 (b)도에 표시된 화살표는 웨이퍼의 이동방향을 표시한 것이다. 이하 도면을 참고하여 본 고안에 웨이퍼 로딩징차의 구조를 설명하면 다음과 같다.
본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치(21)는 제1도의 (a)와 같이, 웨이퍼핸들(22)로 조절되어 로더카세트(23)에 적재되어 있는 웨이퍼를 순차적으로 꺼내는 로더셔틀(24)과, 로더셔틀에 의해 로더카세트에서 꺼내어진 웨이퍼(25)를 이송지점(ⓑ부위)까지 순차적으로 이동시켜 주는 컨베이어롤러(26)와, 이송지점에 도착한 웨이퍼를 잡아서 언로더카세트(27)에 담아주는 역할을 하는 언로더셔틀(28)과, 컨베이어롤러에서 웨이퍼가 이송지점을 지나는 부위에 부착되어 컨베이어롤러의 이송지점을 지나서 추락하는 웨이퍼를 감지하여 감지신호를 출력하는 감지센서(sensor)(30)와, 센서의 감지신호에 의해 경보시스템을 동작시켜서 경보스피커(speaker)(32)에서 경보음이 울리도록 하는 PLC(Programmable Logic Controller)(31)로 이루어진다.
본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치에서는 제2도의 (b)같이, 로딩장치(21)에의 컨베이어롤러(26)에 의해 반도체 제조장비의 머플(20)내부를 통과하면서 반도체 공정을 거친 웨이퍼(25)를 포토센서(29)에서 감지하면, 컨베이어롤러상의 웨이퍼는 언로더셔틀에 의해 언로더카세트에 적재된다. 이때 웨이퍼가 로딩장치의 언로더셔틀에 의해 언로더카세트에 적재되지 않고 컨베이어롤러의 이송지점을 거쳐서 추락하는 로딩에라가 발생하면, 이를 컨베이어롤러(26)에서 웨이퍼가 이송지점을 지나는 부위에 부착시킨 감지센서(30)에서 감지하여 감지신호를 출력하고, 이 감지신호를 받는 PLC(31)에 의해서 경보시스템이 동작되어 경보스피커(32)에서 경보음이 울리면, 생산 작업자는 집게형태의 진공튀져(tweezer)를 이용하여 로딩에라가 발생한 웨이퍼를 잡아내는 조치를 취한다.
본 고안에 의한 웨이퍼 로딩장치에서는 웨이퍼의 로딩에라가 발생하게 되는 경우에 이를 감지수단인 센서가 감지하고 경보스피커에서 경보음이 울림으로써 생산 작업자가 즉각적인 조치를 취할 수 있으며, 이로 인하여 반도체 제조의 공정진행중에 발생하는 계속적인 로딩에라에 의해 순차적으로 추락하는 웨이퍼간의 충돌이 방지되어, 추가적인 로딩에라에 의한 웨이퍼의 파손에 의한 손실을 방지할 수 있어서 웨이퍼의 생산수률이 향상된다.

Claims (1)

  1. 반도체 제조장치에 설치되어 웨이퍼를 이송지점까지 운반하는 컨베이어롤러와, 웨이퍼가 적재되어 있는 로더카세트에서 웨이퍼를 순차적으로 잡아서 컨베이어롤러로 이동시키는 로더셔틀과, 컨베이어롤러에 의해 이송지점까지 운반된 웨이퍼를 순차적으로 잡아서 언로더카세트에 적재시키는 언로더셔틀을 포함하여 이루어진 웨이퍼 로딩장치에 있어서,상기 컨베이어롤러의 웨이퍼가 이송지점을 지나는 부위에 부착되어 컨베이어롤러의 이송지점을 지나서 추락하는 웨이퍼를 감지하여 감지신호를 출력하는 감지센서와, 상기 감지센서의 감지신호를 받아 경보시스템을 동작시키는 PLC(Programmable Logic Controller)와, 상기 PLC의 경보시스템에 의해서 경보음이 울리는 경보스피커로 구성되는 것이 특징인 웨이퍼 로딩장치.
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