KR19980018006A - 적층체 제조방법 및 그것의 제조장치 - Google Patents

Abstract

본발명의 적층체 제조방법은 합성수지시트재료와 금속박을 서로 적층시킨 적층 조합물을 형성하는 단계, 전류를 금속박에 공급하면서 적층조합물을 가압하에 열성형하는 단계, 및 전류공급의 종료후에 이와같이 얻어진 적층체를 더 압력을 가하면서 냉각하는 단계를 포함하며, 이에 의하여, 적층조합물은 그 중심부로 균일하게 가열될수 있어서, 균일한 품질의 적층체를 얻을수 있으며 한편 제조 리드타임을 단축시키고 표면거칠기를 최소화한다.

Description

적층체 제조방법 및 그것의 제조장치

본발명은 적층체의 제조방법과 그것의 제조방법에 관한 것이며, 보다 상세하게는 시트형 합성수지재료와 금속박을 스택(stack)으로 적층하고 전류를 금속박에 인가하면서 가압하에 스택을 적층체로 일체로 열성형함으로써 적층체를 제조하는 방법과 제조방법을 실행하기 위한 장치에 관한 것이다.

표면에 금속박을 가진 적층체는 시트형 수지재료와 금속박의 일체적층 몰딩으로서 얻어진다. 금속박으로서 구리박등과 시트형 수지재료로서 프리프레그(prepreg)를 사용하는 적층체는 인쇄회로판등에 자주 사용된다. 그러한 적층체는 금속박과 프리프레그만을 적층하거나 어떤 내부층 부재를 삽입하거나, 또는 금속박과 프리프레그와 조합하여 내부 및 외부층 부재로 적층하고, 그것을 가압하에 가열하여 프리프레그의 합성수지는 용융시키고 열경화 또는 냉각을 통하여 성형함으로써 얻어진다. 가압하의 가열은 증기와 같은 열원 또는 전기가열을 이용하는 열간 프레스에 의하거나 진공 프레스에 의하여 실행될수 있다.

열간 프레스는 가열된 압축판에 의하여 상부와 하부로부터 적층 프리프레그등의 부재를 압축하는 것이고, 반면에 진공프레스는 패킹부재로 적층부재를 기밀하게 피복하고 그 내부를 진공화하고 고압하에 고온가스를 그 주변부에 적용함으로써 실행된다. 그러한 열간 프레스 또는 진공프레스에 의해 적층 성형을 실행함에 있어서, 한 세트의 그러한 부재는 한 개의 적층체를 형성하는 프리프레그 복수개로서 적층 조합물로 이루어지고 복수개의 그러한 적층 조합물 세트는 연접한 적층조합물 사이에 삽입된 각각의 중간층으로 스태킹되어 적층블록이 되고, 복수개의 적층체는 적층블록을 가열하고 압축함으로써 동시에 얻어질수 있다는 것이 일반적이다. 중간층은 각각의 제품의 편평함을 보장하기 위하여 사용되며 스테인레스강판등이 일반적으로 사용된다.

상기와 같이 다중층으로 스태킹된 적층 조합물을 열간 프레스에 의하여 가압하에 가열하려고 할 때, 적층블록은 성형 프레스의 가압판으로 상하부 양쪽으로부터 가열된다. 따라서, 열전달의 지연과 적층블록의 측면으로부터의 열방사로 인하여 가압판측의 적층 조합물과 중간부의 적층조합물간에 가열온도차가 생기게 된다. 그러한 비균일한 가열온도는 얻을수 있는 적층체 제품의 품질변동을 가져오기 때문에 바람직하지 않다. 그러나, 열간 프레스에서 스태킹될수 있는 적층 조합물의 수는 한계가 있다.

반면에 진공 프레스에서는 그 주변부로부터 적층 블록에 열이 가해지고, 각각의 적층 조합물의 온도는 실질적으로 균일하게 상승되지만 역시 열전달의 지연으로 인하여 외주부와 중심부간에 온도차가 여전히 발생한다. 이러한 이유로 큰 면적을 가진 적층체의 성형은 쉽지가 않았다.

상기와 같은 그러한 결점을 제거하기 위한 수단중 한가지로서, 예를들면, 영국 특허 제1,321,305호는 금속판간에 각기 삽입된 합성수지시트로 적층 조합물을 다단계로 스태킹하고 전력을 금속판에 공급하여 그것을 가열함으로써 많은 수의 적층체를 동시에 성형하는 방법을 개시하였다. 그러한 가열방법으로 가열온도는 적층체의 스택층 방향과 평면방향으로 균일하게 되고 품질의 어떤 변동성은 최소화된다. 일본 특개소 제62-58903호는 금속박의 적층재료와 열가소성 수지시트의 적층재료가 공급롤러를 통하여 금속롤러로 공급되고 전극으로 사용되는 금속롤러로 금속박에 전류를 공급하여 가열유니트로 직접 이용되는 금속박으로 고온 열 결합을 실행하는 방법을 개시하였다. 이 방법에 따르면, 가열온도는 적층체의 평면방향으로 균일하게 적용될수 있고 적층체의 평면간 품질의 변동성은 최소화된다.

그러나, 상기 공지된 방법은 어떤 압력의 적용없이 자연스럽게 열방사가 실행되어야 한다. 이 결점에 관하여, 구리피복 적층체가 프리프레그와 구리박의 조합물로부터 적층체로 성형되고 프리프레그가 에폭시 수지를 침투시킨 유리클로스인 경우를 참고로 아래에 상세하게 설명할 것이다.

즉, 그러한 적층체를 제조할 때, 에폭시 수지는 에폭시 수지가 냉각동안에 유리전이온도에 도달할때까지 현저한 수축을 나타내어서 어떠한 압축력의 부재시에 유리클로스의 직포패턴, 특히 유리섬유 다발의 각각의 사의 교차부는 구리박에 부딪히게 되고 구리피복 적층체는 표면 거칠기가 열화된다. 적층체가 제로압력 상태에서 본래의 열방사에 의해 냉각될 때, 트레이서형 표면-거칠기 미터에 의하여 사에 관해 대각선 방향의 표면거칠기의 측정은 Rmax 로 4내지 7㎛ 의 표면 거칠기를 나타내며, 가압하에서 냉각하는 경우의 1㎛ 레벨보다 현저하게 크다. 그러므로, 이와같이 얻어진 적층체는 적층체를 인쇄배선판으로 가공하기 위하여 에칭등의 회로 형성을 통하여 밀집한 회로패턴을 형성하는데 적당하지 않다는 문제가 있다. 또한 본래의 열 방사를 통한 냉각기 제조 리드타임을 연장시킨다는 문제가 있다.

(발명의 개요)

본발명의 목적은 상기 결점을 극복할수 있고 제조 리드타임을 단축하고 표면거칠기를 최소화하면서 중심코어부까지 적층조합물을 균일하게 가열함으로써 균일한 품질의 적층체를 얻을수 있는 적층체의 제조방법과 그 방법을 실행하기 위한 장치를 제공하는 것이며, 특히 본발명은 적층체를 인쇄회로판에 적용할 때 미세한 회로패턴을 용이하게 형성할수 있는 적층체 제조방법과 그 방법을 실행하기 위한 장치를 제공한다.

또한, 본발명은 다수의 적층체를 동시에 제조할 때 다단계로 스태킹된 각각의 적층체간의 품질 변동성을 최소화할수 있는 적층체 제조방법과 장치를 제공한다.

본발명에 따르면, 상기 목적은 서로 적층된 시트형 합성수지재료와 금속박으로 적층조합물을 형성하는 단계, 조합물의 금속박에 전류를 공급하면서 조합물을 적층체로 가압하에 열성형하는 단계로 이루어지며, 전류공급의 종료후에 압력을 더 가하면서 적층체를 냉각하는 것을 특징으로 하는 적층체 제조방법에 의하여 달성될수 있다.

이 적층체 제조방법에 따르면, 금속박은 저항기 역할을 하며 열을 발생시키고 이에 의하여 적층조합물은 가열된다. 또한 냉각동안에 가해진 압력에 의하여 적층체는 표면의 편평함을 유지하면서 고정되고, 냉각에 필요한 시간은 단축된다.

본발명의 다른 목적과 이점은 첨부도면에 나타낸 바람직한 구체예를 참고로 본발명을 상세하게 설명함에 따라서 명백하게 될 것이다.

이제 본발명을 도면에 나타낸 각각의 구체예를 참고로 설명하지만 본발명은 단지 이들 나타낸 구체예로 한정시키려는 것이 아니라 오히려 첨부된 청구범위내에서 가능한 모든 변형, 개조 및 동등한 설비를 포함한다는 것을 이해해야한다.

도 1은 본발명에 따른 제1 구체예의 적층체를 위한 제조장치의 개략측면도,

도 2는 도 1의 적층제 제조장치에서 냉각장치를 설명하기 위한 개략측면도,

도 3a는 본발명의 제2 구체예의 적층체 제조장치에서 냉각장치에 대한 개략 설명도,

도 3b는 도 3a의 장치에 사용된 냉각롤러의 개략사시도,

도 4는 본발명의 제3 구체예의 적층체 제조장치를 나타내는 개략측면도,

도 5a 및 도 5b는 도 4의 장치의 냉각관의 사시도로서 상이한 양태의 냉각작동을 나타내며,

도 6은 본발명의 제4 구체예의 적층체 제조장치의 개략측면도,

도 7은 본발명의 제5 구체예의 적층체 제조장치의 냉각상태를 나타내는 개략단면도,

도 8은 본발명의 제6 구체예의 적층체 제조장치에 사용된 중간층의 개략사시도,

도 9a 및 9b 는 본발명의 제7 구체예의 장치에 사용된 중간층을 상이한 냉각상태에서 사시도로 개략적으로 나타내며,

도 10은 본발명의 제8 구체예의 적층체 제조장치의 개략측면도,

도 11은 본발명의 제9 구체예의 적층체 제조장치의 개략 측면도,

도 12a, 도 12b 및 도 13a, 도 13b는 도 11의 장치의 각기 다른 양태를 도시하는 개략설명도,

도 14a 및 도 14b는 본발명의 제10 구체예에 사용된 중간층의 개략사시도,

도 15는 도 14와 상이한 양태의 중간층의 개략사시도,

도 16은 도 14와 상이한 양태의 중간층의 개략단면도,

도 17a는 도 15와 상이한 양태의 중간층의 개략 사시도,

도 17b는 도 17a의 중간층이 사용된 상태의 개략측면도,

도 18a 내지 도 18d는 도 15의 중간층으로 냉각시 시트형 합성수지 재료에 관해 측정한 각기 상이한 예의 설명도,

도 19a는 도 15의 중간층으로의 냉각상태를 나타내는 사시설명도,

도 19b는 도 19a에 나타낸 중간층의 단면도,

도 19c는 도 18a의 예에서의 적층 블록의 단면도,

도 20a는 도 15의 증간층으로의 상이한 냉각상태를 나타내는 설명도,

도 20b는 도 20a의 중간층의 단면도,

도 20c 내지 도 20e는 도 15의 적층블록의 측면도,

도 21a는 도 15의 중간층을 사용하는 냉각의 다른 양태를 설명하기 위해 관련 냉각 수단등과 함께 나타낸 적층블록의 개략단면도,

도 21b 내지 도 21d는 도 21a와는 각기 다른 냉각수단의 측면도이다.

본발명의 제1 구체예는 도 1 및 도 2 에 나타내며, 적층체 제조장치는 성형프레스(4)와 전기가열장치(5)를 결합함으로써 구성된다. 성형프레스(4)는 합성수지시트(1)와 금속박(2)을 서로 적층함으로써 형성된 적층조합물(3)을 가압하에 성형하는 것이다. 동시에 전기가열장치(5)는 금속박(2)에 전류를 공급하여 열을 발생시키고, 이에 의하여 수지시트(1)는 가열되며, 적층조합물(3)은 가압하에 열성형되어 적층체로 형성된다.

금속박(2)에 대하여, 연속적인 길이중 하나가 사용되며, 전류는 연속적인 길이의 금속박(2)의 한 단부로부터 다른 단부로 공급된다. 수지시트(1)에 관하여 다수의 시트가 다음 방식으로 동시에 처리된다.

즉, 수지시트(1)는 금속박(2)위에 배치되어 금속박(2)의 한 단부에 접하게 된후 금속박(2)은 수지시트(1)에 대하여 뒤로 접혀져서 시트를 감싸고 금속박(2)이 수지시트(1)의 양면에 위치됨으로써 적층조합물(3)이 형성된다. 다음으로, 전기절연성이고 표면이 평활한 중간층(6)은 적층조합물(3)을 형성하는 금속박(2)의 상부면에 배치되고, 금속박(2)은 중간층(6)에 걸쳐서 반대방향으로 다시 뒤로 접혀서 그것을 감싸고, 이와같이 동일방식으로 배치 및 뒤로 접기를 반복하여 금속박(2)을 사이에 삽입하면서 수지시트(1)와 중간층(6)을 교대로 적층시킴으로써 적층블록(9)은 다단계로 스태킹된 조합물의 하나에 인접하여 각기 사이에 삽입된 중간층(6)을 포함하는 복수개의 적층조합물(3)로 형성된다.

예시된 구체예에서 한 개의 연속적인 길이의 금속박(2)이 사용되었지만, 적층 조합물(3)의 양면 각각에 두 개의 금속박(2)을 각기 배치함으로써 두 개의 별개의 시트의 금속박(2)을 사용하는 것이 가능하다.

여기서, 적층블록(9)은 적층블록(9)의 상부와 저부를 접촉하는 성형프레스(4)의 부분을 형성하는 상부 및 하부 가압판(7) 사이에 유지될 때 압력을 받으며, 예시된 구체예에서 세 개의 적층체가 동시에 제조된다. 스택의 수를 증가시킴으로써, 더 많은 수의 적층체를 동시에 성형하는 것이 가능하다.

압력이 성형프레스(4)에 가해지는 방향은 수평방향으로 나타낸 것처럼 수직방향으로도 변형될 수 있다. 또한, 도 1에서 점선으로 나타낸 바와같이 성형프레스(4)는 가압부재가 진공챔버(23)에 밀폐되는 진공적층 프레스로 변형될 수 있다.

또한, 도 2에 도시된 바와같이, 이 구체예의 적층체 제조장치에서 냉각장치는 냉각판 자체를 냉각하기 위해 냉각수등을 포함하는 대향쌍의 냉각판(20)으로 이루어지며, 각 쌍의 판(20)은 성형프레스(8)를 형성하며, 세 개의 세트의 그러한 냉각 및 성형프레스(8)는 동시에 냉각됨에 따라서 세 개의 적층체를 동시에 제조하기 위해 배치된다. 그러므로, 가열 및 성형을 통하여 적층체로 각기 형성된 상기 적층 조합물(3)은 금속박(2)의 전기 가열이 종료되었을 때 꺼내지고 냉각 및 성형프레스(8)에 의하여 동시에 냉각하면서 더 가압된다.

사용된 각각의 재료를 보다 상세하게 언급하면, 시트형 합성수지재료(1)는 에폭시 수지로 함침되고 양면에 내부로 층진 회로를 가진 유리클로스의 한 세트의 내부로 층진 기판과 에폭시수지로 함침되고 기판양면에 배치된 유리글로스의 프리프레그로 이루어진다. 금속박(2)에 대해서는 18㎛ 두께의 구리박이 사용된다. 이들 부재로 적층체로서 네 개의 층구조의 다층 회로판을 제조하는 것이 가능하다. 중간층(6)으로서 편평하고 평활한 표면의 금속판이 사용될수 있다.

또한, 금속박(2)는 단일의 연속적인 구리박이고, 각각의 적층조합물(3)의 대향면에 교대로 위치된 각각의 접힌 에지(2a)를 가진 구불구불한 형상으로 사용된다. 진공 적층프레스가 성형프레스(4)로 사용되며, 진공챔버(23)가 10 Torr 의 진공으로 진공화된후, 적층블록(9)의 상부와 저부 양쪽에 10 kgf/cm²의 압력이 가해지면서 프레싱이 실행되고 전기 가열장치(5)의 소스로부터 금속박이 전기저항기 역할을 하게하는 소스의 양단에 접속된 연속적인 구리박으로 DC 전류를 인가함으로써 가열을 동시에 실행하여 열이 발생된다. 가열되는 적층조합물(3)의 온도는 열전쌍으로 측정하여 피드백 컨트롤에 대한 전류치가 180℃ 에 도달하게 하면서 100분동안 실행한다.

가열 및 프레싱을 통하여 이와같이 얻어진 각각의 적층체는 해제되어 분해되고, 유사하게 냉각 및 성형프레스(8)에 의해 10 kg/cm²의 압력을 가하면서 적층체를 구성하는 수지의 유리전이온도 아래로 냉각된다.

압력을 가하지 않고 자연 열 방사를 통해 냉각함으로써 얻어진 적층체의 경우에서 표면거칠기는 Rmax 가 3내지 7㎛ 인 반면에 본발명에 상기 구체예에서와 같이 압력을 가하면서 수지의 유리전리온도 아래로 냉각된 적층체는 약 1㎛ 미만의 작은 표면거칠기를 갖는다. 또한, 적층체가 성형프레스(4)내에서 가압된 채로 있으면서 자연 열방사에 의해 냉각되는 경우 적층체온도가 유리전이온도 이하로 떨어질때까지 약 30분이 걸리지만 적층체가 상기 냉각 및 성형프레스(8)내에서 냉각되는 경우, 유리전이온도 이하로 떨어지는 냉각에 요하는 시간은 약 30초이며, 제조 리드타임은 효과적으로 단축된다.

또한 도 1에 도시된 성형프레스(4)의 가압판(7)에 물 또는 공기와 같은 냉매를 순환시키기위한 냉각관을 삽입하고. 전기가열 종료후에 가압판(7)내 냉각관에 의하여 물 또는 공기를 공급함으로써 적층블록(9)을 냉각하는 것도 가능하다. 이 경우, 성형프레스(4)는 이용가능한 높이인데 왜냐하면 동일한 성형프레스는 가열된 적층체를 해체할 필요없이 냉각하는데에도 사용될수 있기 때문이며, 유사하게 표면거칠기를 1㎛ 미만으로 최소화하고 유리전이온도 이하의 필요한 온도 강하시간이 약 40초가 되도록 제조 리드타임을 단축하기 때문이다.

또한, 냉각 및 성형프레스(8)를 이용하는 가압 냉각은 아래에 기재된 다른 구체예에서 냉각장치와 조합하여 구성될수 있다.

도 3a 및 3b에는 제2 구체예의 적층체 제조장치에 사용되는 냉각장치가 도시되며, 상기 구체예의 냉각장치를 형성하는 냉각 및 성형프레스(8)는 냉각롤러(21)로 대체된다. 즉, 본 냉각장치는 각기 상하 관계로 서로 대향하는 세쌍의 냉각롤러(21)로 이루어지며, 성형프레스(4)로부터 해체되어 방출된 얻어진 적층체는 10 kg/㎠의 압력하에 사용된 에폭시 수지의 유리전이온도 이하로 적층체를 냉각하기 위한 적당한 속도로 가압되면서 연속적으로 세쌍의 냉각롤러(21)를 통과한다. 이 냉각장치의 냉각롤러는 물 또는 공기와 같은 냉매를 내부로 통과시키기위하여 도 3b에 도시된 바와같이 각기 형성된다.

또한, 본 구체예에서 도시된 바와같은 그러한 냉각장치에 의한 가압냉각으로 얻어진 적층체의 표면거칠기는 1㎛ 미만으로 되고, 냉각롤러(21)를 통하여 각각의 적층체를 통과하는데 필요한 작업은 연속적으로 더 용이하게 실행될수 있으며, 수지의 유리전이온도 이하로 온도를 감소시키는데 필요한 시간은 단축될수 있어서 제조 리드 타임을 효과적으로 단축시킬 수 있다.

도 4 및 도 5에는 본발명의 제3 구체예에 따른 적층체 제조장치가 도시되며, 제1 구체예에 사용된 냉각장치는 성형프레스(4)내에 고정된 적층블록(9)을 둘러싸도록 배치된 냉각관(22)으로 대체되며, 냉각관(22)을 통해 순환하는 물 또는 공기와 같은 냉매로 에폭시수지의 유리전이온도아래로 열 및 가압성형된 적층체를 냉각한다. 즉, 그 장치는 얻어진 적층체를 가열의 종료후에 가압상태를 유지하면서 냉각관(22)에 의해 냉각하도록 구성된다. 도 5a에는 물을 순환시키는 냉각이 도시되어 있고, 반면에 도 5b는 공기를 순환시키는 냉각상태를 도시하며, 후자의 경우냉각관(22)은 송풍구가 적층블록(9)을 향해 개구된 적당한 위치에서 구비되어 냉각조작이 적층블록(9)에 냉기를 송풍함으로써 보다 효율적으로 실행될수 있다.

또한, 성형프레스(4)내의 상기 냉각장치에 의하여 가해지는 가압냉각으로, 얻어진 적층체의 표면거칠기를 1㎛ 미만으로 최소화하는 것이 가능하다.

또한, 적층블록(9)이 압력이 가해지면서 성형프레스(4)내에서 방치되는 동안에 자연 열 방사에 의하여 냉각되는 경우, 적층체의 온도가 수지의 유리전이온도 아래로 감소될때까지 약 30분이 걸리지만, 반면에 상기에서와 같이 주위냉각관(22)에 의해 냉각하는 경우 유리전이온도 이하로의 온도감소는 단지 약 2분이 필요하며, 제조 리드타임을 단축하는데 효과적이다.

또한, 적층체 주위에 냉각장치를 설치함으로써, 다단계로 스태킹된 적층체를 동시에 냉각하는 것이 가능하며, 생산의 수도 증가될수 있다.

도 6에 도시된 제4 구체예의 다른 적층체 제조장치에서 성형프레스(4)는 제1 구체예에 도시된 바와같은 진공적층 프레스에 적합하다. 이 경우, 가열의 종료후에 공기, 질소, 암모니아 등과 같은 냉매가스는 냉각기(24)를 통하여 진공적층 프레스를 구성하는 진공챔버(23)로 공급되어서, 적층체를 구성하는 에폭시 수지의 유리전이온도 미만으로 냉각을 실행하게 된다.

또한, 이 적층체 제조장치로, 얻어진 적층체의 표면거칠기는 가해진 압력하에 냉각을 통하여 1㎛ 미만으로 최소화될수 있다. 수지의 유리전이온도 미만으로 온도를 감소시키는데 필요한 시간은 약 2분이며, 제조 리드타임이 단축될수 있다. 적층체를 둘러싸는 냉각장치의 설치로, 다단계로 스태킹된 적층체를 동시에 냉각하는 것이 가능하며, 생산이 증가될수 있다.

도 7에 도시된 제5 구체예에서 제1 구체예의 성형프레스(4)로 가압하에 열성형된 적층블록(9)은 완전히 방출되고 전체적으로 위아래로부터 적층블록(9)을 압축하기 위해 압력 지그(25)에 고정되며, 이와같이 고정된 블록(9)은 용기(26)에 충전된 물 또는 알코올과 같은 냉매의 욕에 침지되어, 블록을 에폭시 수지의 유리전이온도 아래로 냉각한다. 압력 지그(25)는 가압판(25a)과 상호 대향관계로 판을 커플링하는 압축로드(25b)로 이루어지며, 상하부 가압판(25a) 사이에 유지된 적층블록(9)은 압축로드(25b)에 의해 판을 조임으로써 압축된다.

또한, 이 적층체 제조장치로, 적층체는 상기 제4 구체예와 유사하게 가압되면서 효과적으로 냉각되고, 얻어진 적층체의 표면거칠기는 1㎛ 미만으로 최소화될수 있다. 용기(26)의 냉매욕에 침지됨으로써 냉각되는 경우, 유리전이온도 이하로 온도가 감소되는 시간은 약 5초이고, 제조 리드타임은 현저하게 단축된다. 적층체를 둘러싸는 냉각장치의 설치로, 다단계로 스태킹된 많은 적층체의 동시냉각은 더욱더 가능하며, 생산을 증가시킨다.

제8도에 도시된 바와같은 제6 구체예의 다른 적층체 제조장치에서 제1 구체예에 사용되는 냉각장치는 중간층에 삽입된 냉각관(28)을 포함하는 중간층(6)에 의하여 변형되며, 그 관은 물, 공기등의 냉각유체의 통로(51)를 형성하여 에폭시 수지의 유리전이온도 아래로 적층체를 냉각한다.

또한, 이 적층체 제조장치로, 얻어진 적층체의 표면거칠기는 1㎛ 미만으로 최소화될수 있다. 적층블록(9)이 냉각관(28)을 가진 중간층(6)에 의하여 내부로부터 냉각되기 때문에 균일한 온도분배로 냉각을 실행하는 것이 가능하며, 균일한 표면거칠기는 각각의 적층체에 걸쳐서, 그리고 또한 각 적층체의 중심 및 주변부에 걸쳐서 얻어질수 있다. 냉각이 그러한 중간층(6)에 의해 이루어지는 경우, 유리전이온도 아래로 온도를 저하시키는데 요하는 시간은 약 3분이고, 제조 리드타임은 효과적으로 단축될수 있다.

도 9에 도시된 바와같은 제7 구체예의 다른 적층체 제조장치에서 제1 구체예에 사용된 냉각장치는 그 측면으로부터 열싱크 중간층을 냉각하기 위한 수단과 함께 중간층(6)을 열싱크형으로 형성하여 변형된다. 실제예는 도 9a 및 9b에 도시되어 있으며 전자의 냉각수단은 팬(29)으로 이루어지며, 후자의 냉각장치는 송풍기노즐(30)이다.

또한, 이 적층체 제조장치로, 중심 및 주변부에 걸쳐서 얻어진 적층체의 표면거칠기를 1㎛ 미만으로 최소화하는 것이 가능한데, 왜냐하면 냉각이 압력을 가하면서 주변부로부터 이루어지기 때문이다. 더욱더, 그러한 열 싱크형의 중간층(6)에 의하여 냉각하는 경우, 적층체를 구성하는 수지의 유리전이온도아래로 온도를 저하시키는데 요하는 시간은 약 5초이고, 적층체 리드타임이 더 단축될 수 있다.

도 10에 도시된 제8 구체예의 다른 적층체 제조장치에서 중간층(6)은 적층조합물(3)의 외부면 양쪽으로 연장되고 도 8의 제6 구체예에 도시된 바와같은 구조와 냉각관(28)을 가진 냉각부재(27)는 중간층(6)의 양쪽 연장된 단부와 결합되어서 열전도에 의해 중간층(6)을 통하여 적층조합물(3)을 냉각한다. 냉각부재(27)의 그러한 결합배열대신에 핀(fin)형 냉각부재를 구비한 중간층(6)의 연장된 부분을 갖추어서 냉각부재로 송풍된 냉각공기등에 의해 냉각되는 것이 가능할수 있다. 본 구체예에서 금속박(2)으로서 전후방으로 접힌 금속박의 단일의 연속적인 시트를 사용하는 것이 가능할수 있다.

또한, 이 적층체 제조장치로 얻어진 적층체의 표면거칠기는 압력을 가하면서 적층체를 냉각하여 1㎛ 미만으로 최소화될수 있다. 특히, 적층블록(9)은 중간층(6)에 의해 내부로부터 냉각될수 있기 때문에 균일한 온도분배의 냉각이 실현될수 있으며, 표면거칠기는 각각의 적층체에 걸쳐서, 그리고 또한 각 적층체의 중심 및 주변부분에 걸쳐서 균일하게 얻어질수 있다.

적층체가 중간층(6)의 열전도에 의해 냉각되는 경우, 적층체를 형성하는 수지의 유리전이온도 아래로 온도를 저하시키는데 요구되는 시간은 약 25초이고, 제조 리드타임도 단축될수 있다.

도 11내지 도 13에 도시된 바와같은 제9 구체예의 적층체 제조방법에서 냉각은 가압 가열의 종료후에 열성형용 성형프레스(4)로부터 한쌍의 대향 냉각프레스(50)로 적층조합물(3)을 이송함으로써 실행된다.

보다 상세하게는, 도 11은 적층블록(9)이 성형프레스(4)밖으로 꺼내져서 도 2는 상기 냉각 및 성형프레스(8)와 동일한 유형의 냉각프레스(50)에 의해 냉각되고, 냉각판(27)이 성형프레스(4)의 가압판(7)에 유체경로를 제공함으로써 형성되어 냉각유체가 경로를 통해 흐름으로써 냉각을 실행하는 상태를 도시한다. 이 경우, 적층블록(9)을 형성하는 중간층(6)의 전체 또는 부분은 도 8에 도시된 것과 동일한 방식으로 냉각하기 위해 형성되어서 적층블록(9)이 또한 내부로부터 냉각되어 효과적인 냉각을 얻을수 있다.

그러한 적층체 제조방법에 따르면, 적층 조합물(3)을 나란히 가열하고 냉각을 실행하여 생산성을 개선하는 것이 가능하다.

또한, 도 12a의 냉각상태에 도시된 바와같이 가압하에 열성형을 행한후에 적층블록(9)은 방출되고 개개의 적층조합물(3)로 분해되고, 각각의 분해된 적층조합물(3)은 냉각프레스(50)로 옮겨져서 개개의 적층조합물(3)의 유니트로 냉각되며, 냉각속도의 방법을 개선할수 있다. 이 냉각프레스(50)에서 다수의 냉각판(27)이 제공되며, 각각의 적층조합물(3)은 이들 냉각판(27)의 인접한 두 개사이에 배치된다.

이 경우, 또한, 적층조합물(3)을 개개의 하나로 분해하는 것은 도 12b에 도시된 바와같이 금속박(2)의 주름 각각의 내부에 각기 배치된 금속와이어(53)에 의하여 실행되며, 와이어(53)는 한 단부에서 외부방향으로 당겨져서 각각의 주름에서 금속박(2)은 절단한다.

또한, 도 13a에 도시된 냉각상태로서 가압하에 열성형하고 복수개의 적층조합물(3)을 한 유니트로 방출한후 적층블록(9)을 분해하고, 복수개의 적층조합물(3)의 유니트로 냉각프레스(50)에 이송된 적층조합물(3)을 냉각하는 것도 가능하다. 이 경우, 도 3a에 도시된 바와같이 중간층(6)의 일부는 도 13b에 도시된 바와같은 이송판 또는 트레이(54)로 대체하여 냉각프레스(50)에 대한 복수개의 적층조합물(3)의 착탈이 각각의 이송트레이(54)에 배치된 복수개의 적층조합물(3)의 각각의 유니트로 이루어질수 있다.

적층블록(9)을 유니트로서 복수개의 적층조합물(3)로 분해하는 상기의 경우는 적층조합물을 한 개씩으로 방출하고 분해하는 경우보다 작업이 더 간단하게 될 수 있다. 반면에 적층블록(9)이 적층조합물(3)의 한 개씩으로 분해되는 경우는 냉각이 더 빠르다는 이점이 있다.

도 14a 및 14b에 도시된 제10 구체예에서, 중간층(6)은 도 14a에 도시된 바와같은 복수개의 중간층 유니트(51b)로 형성되고, 각각의 유니트(51b)는 직사각형 단면을 가지며 냉각유체가 흐르는 종방향으로 통하여 이루어진 유체경로(51)를 포함하는 가늘고 긴 평평한 막대의 알루미늄 사출성형품으로 이루어지며, 복수개의 중간층 유니트(51b)는 도 14b에 도시된 바와같이 한쌍의 다기관(51c)에 의해 편평하게 나란히 묶이고, 한편 다기관(51c)은 유체통로(51)와 연통하고 그것의 입구와 출구측에 돌출된 짧은 연결관(51d)을 각기 구비한다.

상기와 같은 복합유니트(51b)의 중간층(6)으로 유체경로(51)를 통하여 공기등의 냉각유체를 흘림으로써 실행될수 있다. 또한, 나란히 묶여질 중간층 유니트(51b)의 수를 적당히 선택함으로써 어떤 선택적인 폭을 가진 복합중간층(6)을 형성하고, 또한 부분 손상된 경우 단지 중간층 유니트(5b)의 손상된 것을 교환함으로써 복합중간층(6)을 전체적으로 수리할수 있게 하는 것이 가능하다.

또한, 중간층(16)은 다음과 같은 상이한 양태로 최적으로 형성될수 있다.

즉, 도 15에 도시된 바와같이, 중간층 유니트(51b)는 유니트(51b)의 상하부 양쪽에 끼워 맞춤된 보호판(52)에 의하여 확실하게 일체화되어서 중간층이 긁힘등과 같이 흠이 나면 중간층(6)은 중간층(6)의 긁힌 보호판(52)을 교환하거나 단지 판의 긁힌 부분을 윤을 냄으로써 수리될수 있다.

또한, 도 16에 도시된 바와같이, 중간층(6)은 유체통로(51)의 내벽의 표면적을 증가시키기 위하여 내벽에 적어도 융기선(51a)을 제공함으로써 냉각효율을 개선하도록 형성될수 있다.

또한, 중간층(6)은 처음부터 일체적으로 사출되어 형성될 수 있다.

더욱이, 중간층(6)의 표면에 전기절연층을 형성하기 위하여, 중간층(6)을 경질 양극산화 알루미늄을 형성하기 위한 처리를 행한다음 에틸렌 4-플루오라이드등으로 양극산화 알루미늄 처리된 표면을 침지함으로써 테플론(상표명) 처리를 행하는 것이 바람직하다. 전기절연층은 약 30내지 60㎛ 두께로 형성되고, 중간층은 전기절연성으로 이루어져서 적층블록(9)은 금속박(2)을 이 절연중간층(6)의 표면과 직접 접촉시킴으로써 형성될수 있다. 즉, 적층 블록(9)을 형성하는 작업은 더 쉬워질수 있는데, 왜냐하면 어떤 절연시트를 삽입할 필요가 없기 때문이다. 본 경우에서 특히, 중간층(6)의 표면은 경질 양극산화 알루미늄 처리에 의하여 표면경도를 올리고 테플론 처리에 의하여 활주성을 개선시킴으로써 긁혀질수 없게 만들 수 있다. 보호판(52)이 사용되는 경우, 보호판(52)의 표면에 전기 절연층을 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 도 17a에 도시된 바와같이, 중간층(6)이 냉각유체의 내부유체통로(51)를 제공하는 대신에 도 17a에 도시된 바와같은 대향면을 따라서 열 방사 파상에지(6b)를 갖추고, 냉각공기가 도 17b의 사용상태로 도시된 바와같은 중간층(6)을 냉각하기 위한 파상에지(6b)에 대하여 송풍되도록 냉각이 설치되는 것도 바람직하다. 파상에지(6b)는 냉각핀 역할을 하며 중간층(6)은 효율적으로 냉각될수 있다. 냉각공기 대신에 냉각효율을 더 개선하기 위해 액체 질소를 사용하는 것이 바람직하다.

상기 시트형 합성수지재료(1)를 냉각하는데 있어서, 온도가 시트형 합성수지재료(1)를 구성하는 수지의 유리전이온도 아래로 도달할때까지 압력을 가하면서 그러한 재료(1)를 냉각하는 것이 바람직하며, 압력적용은 일단 수지의 유리전이온도아래로 온도가 도달하면 특별히 필요한 것은 아니다. 즉, 압력이 유리전이온도 이상의 온도에서 해제될 때, 얻어진 적층체는 유리섬유 기판의 직포 패턴의 스트라이킹으로 인해 표면거칠기가 열화되고, 반면에 온도가 유리전이온도 아래로 도달했을 때 적층체의 표면 평활도는 고정되고 표면평활도가 뛰어난 적층체가 얻어질수 있다.

그러므로, 온도가 수지의 유리전이온도 아래로 도달한 후에 적층블록(9)을 적층조합물(3) 하나씩으로 분해하는 것은 공기송풍등에 의해 하나씩의 유니트로 적층조합물(3)을 급속 냉각시킬수 있으며 다루기 쉽게 더 낮은 온도로 효율적이고 빠른 냉각을 실행하는 것이 가능해진다.

도 18a내지 도 18d에는 상기와 같은 냉각시에 시트형 합성수지재료(1)에 관한 온도 측정의 실제예가 도시된다.

이 경우, 도 18a에 도시된 바와같이 압력인가를 종료하는 타이밍은 열전쌍을 가지고 적층블록(9)의 중심영역에 배치된 더미판(55)의 온도를 측정함으로써 판별할수 있다. 또한 비접촉 방식으로 적층블록(9)이 온도를 측정하고 그로부터 시트형 합성수지재료(1)의 온도를 추정하기 위하여 도 18b에 도시된 바와같이 사용된 방사온도계(56)로 압력인가의 종료 타이밍을 판별하는 것도 가능하다. 더욱이 중간층(6)을 냉각하기 위한 냉각유체로서 공기의 출구 포트에서의 온도를 측정하고 그로부터 시트형 수지재료(1)의 온도를 추정함으로써, 도 18c에 도시된 바와같이, 압력인가의 종료 타이밍을 판별하는 것도 가능하다. 또한 도 18d에 도시된 바와같이 압력인가의 종료 타이밍은 금속박(2)의 전기저항치를 측정하고 그로부터 시트형 수지재료(1)의 온도를 추정함으로써 또한 판별될수 있다.

더욱더, 기재된 바와같은 적층블록(9)의 냉각은 다음과 같은 방식으로 균일한 냉각을 얻도록 실행되는 것이 바람직하다. 즉, 도 19a 내지 도 19c에 도시된 바와같이 시트형 수지재료(1)는 나란히 배열된 많은 유체경로(51)를 포함하는 각각의 중간층(6)을 통하여 냉각유체의 흐름방향을 유체경로(51)의 인접한 두 개 사이에서 다르게 되도록 함으로써 최적으로 냉각되어야 한다.

보다 상세하게는 중간층(6)은 도 19a 및 도 19b에 도시된 바와같이 나란히 일체로 배열된 다섯 개의 중간층 유니트(51b)로 각기 형성된다. 각각의 중간층 유니트(51b)에는 냉각유체를 위한 유체통로(51) 세 개가 형성되고, 각각의 연결관(51d)은 세 개의 통로(51)에 연결된다. 그 다음, 냉각유체는 각각의 중간층(6)을 통하여 도 19b에 도시된 바와같이 중간층 유니트(51b)의 인접한 두 개 사이에서 흐름방향이 교대로 상이하게 흐르고, 또한 적층블록(9)을 형성하는 각각의 중간층(6)을 통하여 도 19c에 도시된 바와같이 중간층(6)의 인접한 두 개 사이에서 흐름방향이 교대로 상이하게 흐르도록 이루어진다.

인접한 유체통로(51)간의 냉각유체의 상이한 흐름방향 때문에 유체통로(51)의 입구 및 출구 포트간의 냉각유체의 어떤 온도차로 인한 냉각효과의 차이는 적층블록(9)의 수평 및 수직방향에서 평균화될수 있으며 전체 블록(9)의 균일한 냉각이 이루어질수 있다.

적층블록(9)의 중심에 접근함에 따라서 냉각이 더 어려워진다는 관점에서 다음과 같은 배열로 냉각을 실행하는 것이 바람직하다.

즉, 도 20a내지 도 20e에 도시된 바와같이 냉각유체는 시트형 합성수지재료(1)를 냉각하기 위하여 적층블록(9)의 중심지대에 더 밀접하게 됨에 따라서 더 큰 유속으로 각각의 중간층(6)을 통해 흐르게 되고, 적층블록(9)의 전체가 균일하게 냉각될수 있다. 보다 구체적으로 도 20a에 도시된 바와같이, 각각의 중간층(6)내 유체경로(51)는 도 20b에 도시된 바와같이 중간층의 중심에 접근함에 따라서 더 밀접하게 분포되며, 유체경로(51)는 각각의 유체경로(51)가 실질적으로 규칙적인 간격으로 분포되는 경우에 중심에 접근함에 따라서 단면적이 점차 증가되도록 형성된다.

실질적으로 동일한 단면적의 유체경로(51)가 실질적으로 규칙적인 간격으로 배치된 경우, 중간층(6)의 중심에 접근함에 따라서 더 큰 유속 또는 더 낮은 온도의 냉각유체를 공급하도록 제어하면서 냉각을 실행함으로써 도 20a 또는 도 20b의 상기 중간층(6)이 사용된 경우와 실질적으로 동일한 효과를 얻을수 있으며 블록의 중심부까지 균일하게 적층블록(9)을 냉각하는 것이 가능하다.

적층블록(9)의 높이방향에 관하여, 도 20c에 도시된 바와같이 중심에 접근함에 따라서 더 밀접하게 배치된 유체경로(51) 또는 도 20d에 도시된 바와같이 중심에 접근함에 따라서 단면적이 더 크게 이루어진 유체경로(51)를 갖춘 중간층(6)을 사용함으로써 중심부까지 균일하게 적층블록(9)을 냉각하는 것이 가능해진다. 또한, 냉각유체의 유속을 더 증가시키거나, 블록의 중심에 접근함에 따라서 유체의 온도를 더 낮춤으로서 동일한 효과를 얻고 그 중심부까지 균일하게 적층블록(9)을 냉각시키는 것이 가능해진다.

더욱이, 도 20e에 도시된 바와같이 적층블록(9)의 중심에 접근함에 따라서 더 적어지도록 중간층(6)의 인접한 두 개사이에 배치된 시트형 합성수지재료(1)의 수를 줄임으로써 냉각을 실행하여 블록이 중심까지 적당하게 냉각될수 있게 되고,블록의 중심까지 균일한 냉각이 얻어질수 있다.

더욱더 도 21a 내지 도 21d에 도시된 바와같이 연결관(52')에 의해 적층블록(9)내 인접한 두 개의 중간층(6)의 유체경로(51)로 서로 연결하고 연결관(52')을 중간에서 냉각하면서 각각의 유체경로(51)에 더 낮은 온도의 냉각유체를 공급함으로써 각각의 시트형 수지재료(1)를 냉각하는 것이 다음 관점에서 바람직하다.

즉, 냉각유체는 매 한 개의 중간층(6)에 공급될 필요는 없지만 공급된 액이 연결관(52')을 통하여 나머지 중간층(6)에 이송되기 때문에 단지 중간층(6)의 일부에만 공급될 필요가 있으므로 공급액이 입구 및 출구포트의 수가 감소될수 있으며 냉각유체의 공급은 더 단순한 방식으로 실행될수 있다. 더욱이, 공기가 냉각유체로 사용되고 출구밖으로 대기로 방출되는 경우, 냉각유체의 공급속도를 감소시키고 냉각유체의 방출소음을 더 낮게 제한할 수 있다.

보다 상세하게는 도 21a에 도시된 배열에서 예를들면 테플론(상표명) 튜브로된 연결관(52')은 수직방향으로 상호 인접한 중간층(6)의 유체경로(51)를 연결하기 위해 사용되고, 구리로 된 U자형관 또는 구형관과 같은 냉각부재(57)는 중간에서 각각의 연결관(52')에 구비되고, 냉각부재(57)는 냉각유체를 냉각시키기 위해 냉각기(58)가 연결된 냉각용기(59)에 침지된다.

또한 냉각부재(57)는 도 21b내지 도 21d에 도시된 바와같이 구성될수 있다. 즉, 도 21b에서 연결관(52')은 선형이고 냉각부재(57)는 부재(57)를 통과하는 냉각유체로 후자를 냉각하기 위해 관(52')을 둘러싸는 구형 구리관으로 이루어진다. 도 21c에서, 냉각관(52')은 관(52')을 둘러싸고 냉각유체를 통과시키는 외부튜브형태로 냉각부재(57)로 덮인다. 도 21d에서, 구리로 만든 냉각핀 형태의 냉각부재(57)는 연결관(52')의 외주부에 장착되어 송풍공기에 의해 냉각된다.

내용없음

Claims (20)

1. 시트형 합성수지재료와 금속박을 서로 적층시킨 적층조합물을 형성하는 단계,

   전류를 적층조합물내 금속박에 공급하면서 적층조합물을 가압하에 열성형하는 단계, 및

   열형성의 종료후에 압력을 유지하면서 적층체를 얻도록 적층조합물을 냉각하는 단계

   로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층체의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 열성형단계는 열성형 및 프레싱 장치로 실행되고 그후 냉각단계는 열성형 및 프레싱 장치로부터 별도의 냉각프레스로 이송된 적층조합물에 관하여 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
3. 제 1 항에 있어서, 유지되는 압력하의 냉각은 시트형 합성수지재료가 그 재료를 형성하는 수지의 유리전이온도 이하의 온도를 가질때까지 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
4. 시트형 합성수지재료와 금속박을 서로 적층시킨 복수개의 적층 조합물을 형성하는 단계,

   각각의 적층 조합물 사이에 전기절연 중간층을 개재시켜서 다단계로 적층 조합물을 스태킹함으로써 적층블록을 형성하는 단계,

   전류를 적층 조합물내 금속박에 공급하면서 적층조합물을 가압하에 열성형하는 단계, 및

   열성형의 종료후에 압력을 유지하면서 적층체를 얻도록 적층블록을 냉각하는 단계

   로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층체의 제조방법.
5. 제 4 항에 있어서, 열성형단계의 종료후에 적층블록은 각각의 적층조합물로 분해되어서 방출되고, 냉각단계는 가압하의 열성형 단계에서 사용된 성형프레스로부터 별도의 냉각프레스로 이송된 적층 조합물의 유니트로서 개개의 한 개에 관하여 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
6. 제 4 항에 있어서, 열성형 및 프레싱 장치로 실행된 열성형단계의 종료후에, 적층체는 각각의 적층 조합물로 분해되어서 방출되고 냉각단계는 가압하의 열성형단계에서 사용된 성형프레스로부터 별도의 냉각프레스로 이송된 적층조합물의 유니트로서 각각의 조합물에 관하여 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
7. 제 4 항에 있어서, 중간층은 측면에서 파상을 가지며 형성되고 시트형 합성수지재료의 냉각은 중간층의 파상에 냉각유체를 취입함으로써 냉각된 중간층에 의 하여 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
8. 제 4 항에 있어서, 적층블록의 냉각은 시트형 합성수지재료가 재료를 형성하는 수지의 유리전이온도 이하의 온도를 가질때까지 형성되고, 그후 적층블록은 개개하나의 적층 조합물로 분해되고 냉각은 유니트로서 개개의 적층 조합물에 관하여 계속되는 것을 특징으로 하는 방법.
9. 제 4 항에 있어서, 중간층은 중간층의 대향 단면사이에서 나란히 뻗는 냉각유체흐름경로를 갖도록 형성되고, 냉각은 냉각유체를 각각의 유체경로간에 상이한 방향으로 유체경로를 통하여 흐르게 함으로써 실행되어서 시트형 합성수지재료를 냉각하는 것을 특징으로 하는 방법.
10. 제 4 항에 있어서, 중간층은 냉각유체의 유체경로를 구비하고, 냉각은 냉각유체가 적층체 블록의 중심에 접근함에 따라서 더 증가된 유속으로 유체 경로를 통하여 흐르게 함으로써 실행되어서 수지형 합성수지재료를 냉각하는 것을 특징으로 하는 방법.
11. 제 4 항에 있어서, 중간층은 내부에 냉각유체의 유체경로를 각기 구비하고, 각각의 중간층의 유체경로는 연결관을 통하여 서로 연결되고, 냉각은 연결관을 냉각하면서 유체경로와 냉각관을 통하여 흐르는 냉각유체로 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
12. 시트형 합성수지재료와 금속박을 서로 적층시킨 적층조합물을 가압 성형하기 위한 성형 프레스,

    금속박에 전류를 공급하기 위한 전기가열장치, 및

    금속박에 전류공급을 종료한후 적층 조합물에 압력을 가하면서 적층조합물을 냉각하기 위한 냉각장치.

    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층제 제조장치.
13. 시트형 합성수지재료와 금속박을 서로 적층시킨 복수개의 적층조합물과 각각의 적층 조합물 사이에 각기 개재되고 다단계로 스태킹된 전기절연 중간층으로 형성된 적층 블록을 가압 성형하기 위한 성형프레스,

    전류를 각각의 금속박에 공급하기 위한 전기가열장치 및

    중간층을 냉각하기 위한 냉각장치

    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층체 제조장치.
14. 제 13 항에 있어서, 냉각장치는 적층블록의 주변부를 냉각하기 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 방법.
15. 제 13 항에 있어서, 성형프레스는 적층 블록과 접촉하는 가압판을 포함하고, 냉각장치는 성형프레스의 가압판을 냉각하기 위해 구비되는 것을 특징으로 하는 방법.
16. 제 13 항에 있어서, 중간층은 냉각유체의 유체경로를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
17. 제 16 항에 있어서, 중간층은 알루미늄의 사출성형품으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
18. 제 16 항에 있어서, 중간층은 중간층의 양면에 장착된 보호판을 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
19. 제 17 항에 있어서, 중간층은 유니트의 종방향으로 뻗는 유체경로를 가지며 나란히 배치되어 일체화된 복수개의 가늘고 긴 중간층 유니트로 각기 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
20. 제 16 항에 있어서, 중간층은 표면에 형성된 전기적연층을 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.