JPH09254310A - 積層体の製造方法およびその製造装置 - Google Patents

積層体の製造方法およびその製造装置

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JPH09254310A
JPH09254310A JP8219542A JP21954296A JPH09254310A JP H09254310 A JPH09254310 A JP H09254310A JP 8219542 A JP8219542 A JP 8219542A JP 21954296 A JP21954296 A JP 21954296A JP H09254310 A JPH09254310 A JP H09254310A
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laminate
sheet
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剛 岡本
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Hirohiko Tougeyama
裕彦 峠山
Yasushi Maeda
裕史 前田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層組み合わせ材がその中心部まで均一に加
熱されて、均一な品質の積層体が得られるとともに、製
造リードタイムを短縮でき、また、表面粗度が小さい積
層体の製造方法およびその製造装置の提供。 【解決手段】 シート状合成樹脂材１に金属箔２を重ね
合わせて積層組み合わせ材３を形成し、この積層組み合
わせ材３の金属箔２に通電しながら加圧成形する積層体
の製造方法において、通電加圧終了後、さらに加圧しな
がら冷却する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は積層体の製造方法お
よびその装置に関し、より詳しくは、シート状合成樹脂
材と金属箔とを重ね合わせ、金属箔に通電加熱してこの
金属箔を有する積層体を一体に熱圧成形する積層体の製
造方法およびその製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、金属箔を表面に有する積層体
は、金属箔とシート状合成樹脂材とを一体に積層成形し
て得られている。金属箔として銅箔などを用い、シート
状合成樹脂材としてプリプレグなどを用いる積層体は、
プリント回路板などによく使用されている。このような
積層体は、金属箔とプリプレグとを、または金属箔と内
層材とプリプレグとを、もしくは金属箔と内層材と外層
材とプリプレグとを積層し、加熱、加圧することによっ
て、プリプレグを構成する合成樹脂を溶融させ、さらに
熱硬化または冷却させるなどして成形されている。ま
た、上記の加熱、加圧を行うには、蒸気または電熱など
の熱源を用いるホットプレスまたは真空プレスなどを用
いて行われている。
【０００３】ホットプレスは加圧プレートを加熱し、こ
の加圧プレートによって、積み重ねられたプリプレグな
どの部材を上下両面から加圧するようにしたものであ
る。また、真空プレスは、積み重ねられた部材をパッキ
ング材によって気密に覆い、その内部を真空化するとと
もに、その周囲に高温、高圧のガスを導入するようにし
たものである。このようなホットプレスまたは真空プレ
スなどによって、積層成形を行うときには、一般に、１
枚の積層体となる複数枚のプリプレグなどの１組の部材
を積層組み合わせ材とし、このような積層組み合わせ材
の間に中間板を挟み、複数組積み重ねて積層ブロックと
し、この積層ブロックを加熱、加圧することによって、
同時に複数枚の積層体が得られるようにしている。中間
板は、各製品の平面度が確保されるようにするために用
いられるものであって、通常はステンレス板等が用いら
れている。
【０００４】ところで、以上のように多重に積み重ねら
れた積層組み合わせ材を、ホットプレスによって加熱、
加圧するようにしたときには、成形プレスの加圧プレー
トによって積層ブロックが上下から加熱される。したが
って、伝熱の遅れおよび積層ブロック側面からの放熱な
どによって、加圧プレート側の積層組み合わせ材と中間
部の積層組み合わせ材とでは加熱温度が異なったものと
なる。このような加熱温度の不均一は、得られる積層体
製品の品質のばらつきとなって好ましいものではない。
したがって、ホットプレスでは、積み重ねることができ
る積層組み合わせ材の組数は限られるものとなってい
る。
【０００５】一方、真空プレスでは、積層ブロックの周
囲から熱が加えられるので、各積層組み合わせ材の温度
はほぼ均一に上昇することになるが、その外周周辺部と
中心部との間には、やはり伝熱の遅れによって温度差が
生じてしまう。そのために、大面積の積層体の成形は難
しいものとなっている。
【０００６】このような問題を解決する方法として、た
とえばイギリス特許１３２１３０５に示される方法があ
る。この方法では、金属板の間にシート状合成樹脂材を
介装し、多段に積み上げ、金属板に通電して加熱を行う
ことによって、多数枚の積層体を同時に成形している。
このような加熱方法によれば、積み上げ方向および積層
体の平面方向ともに加熱温度が均一となって、品質ばら
つきが少なくなっている。また、特公昭６２−５８９０
３号公報によれば、金属ロール上に金属箔と熱可塑性樹
脂フィルムとを重ね合わせた材料を、送りローラを経て
供給し、金属ロールを電極として金属箔に電流を流すこ
とによって、金属箔を直接発熱体として利用して、高温
加熱接着を行う方法が記載されている。このような加熱
方法によれば、積層体の平面方向に加熱温度が均一とな
って、積層体の面内品質ばらつきが少なくなっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例にあっては、冷却を加圧せずに行う自然放冷とせ
ねばならない点で問題がある。この点に関し、以下にプ
リプレグをエポキシ樹脂含浸ガラスクロスとし、このよ
うなプリプレグと銅箔とを組み合わせて、積層体として
銅張り積層板を成形する場合について説明する。
【０００８】つまり、このような積層体の製造では、冷
却時にエポキシ樹脂がガラス転移温度に達するまでは、
エポキシ樹脂の収縮が大きく、加圧力がないとガラスク
ロスの織り目、特にガラス繊維を束ねたヤーンとヤーン
との交差部分が銅箔表面に浮き出て、銅張り積層板表面
の表面粗度が悪化するのである。このような無加圧で自
然放冷によって冷却した場合には、触針式表面粗さ計で
ヤーンに対して斜め方向の表面粗度を測定すると、表面
粗度はRmaxで４〜７μｍとなり、加圧しながら冷却を行
う場合の１μｍレベルに比較して非常に大きくなる。こ
のため、得られた積層体をプリント配線板に加工するた
めに、エッチングなどによって回路形成を行うと、ファ
インな回路パターンが形成しにくくなるのである。
【０００９】また、上記のように自然放冷で冷却する
と、製造リードタイムが長くなるという問題もある。
【００１０】本発明は、以上のような問題点を解決する
ためになされたものであり、その目的は、積層組み合わ
せ材がその中心部まで均一に加熱されて、均一な品質の
積層体が得られるとともに、製造リードタイムを短縮で
き、また、表面粗度が小さい積層体の製造方法およびそ
の製造装置を提供することである。
【００１１】特に、積層体をプリント配線板用に使用し
たときに、ファインな回路パターンが容易に形成される
積層体の製造方法およびその製造装置を提供することで
ある。
【００１２】さらに、多数枚の積層体を同時に製造する
場合にあっては、多段に積み重ねられた積層体間での品
質ばらつきが小さい積層体の製造方法およびその製造装
置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明の積層体の製造方法は、シート状合成樹
脂材１に金属箔２を重ね合わせて積層組み合わせ材３を
形成し、この積層組み合わせ材３の金属箔２に通電しな
がら加圧成形する積層体の製造方法において、通電加圧
終了後、さらに加圧しながら冷却することを特徴として
構成している。
【００１４】このような積層体の製造方法によれば、金
属箔２に通電することによって、金属箔２が抵抗体とし
て発熱し、加熱される。また、冷却時の加圧によって、
積層体がその表面の平滑度を維持して硬化し、冷却時間
が短縮される。
【００１５】請求項２記載の発明の積層体の製造装置
は、シート状合成樹脂材１に金属箔２を重ね合わせた積
層組み合わせ材３を加圧成形する成形プレス４と、前記
金属箔２に通電する通電加熱装置５とを有する積層体の
製造装置において、金属箔２への通電を終了した前記積
層組み合わせ材３を加圧しながら冷却する冷却装置を備
えて成ることを特徴として構成している。
【００１６】このような積層体の製造装置によれば、冷
却時に積層体を加圧して、その表面の平滑度を維持させ
た状態で硬化させることができる。また、冷却時間が短
縮される。
【００１７】請求項３記載の発明の積層体の製造方法
は、シート状合成樹脂材１に金属箔２を重ね合わせて積
層組み合わせ材３を複数個形成し、電気絶縁性の中間板
６を介在させて、前記積層組み合わせ材３を多段に積み
重ねて積層ブロック９を形成し、前記積層ブロック９の
それぞれの金属箔２に通電しながら加圧成形する積層体
の製造方法において、金属箔２への通電終了後、さらに
加圧しながら冷却することを特徴として構成している。
【００１８】このような積層体の製造方法によれば、多
段に積み重ねられたそれぞれの積層組み合わせ材３の金
属箔２が同じ通電状態となって、略同じ温度に加熱され
る。また、冷却時間が短縮される。
【００１９】請求項４記載の発明の積層体の製造装置
は、シート状合成樹脂材１に金属箔２を重ね合わせて積
層組み合わせ材３を複数個形成し、電気絶縁性の中間板
６を介在させて、前記積層組み合わせ材３を多段に積み
重ねて形成される積層ブロック９を加圧成形する成形プ
レス４と、前記金属箔２のそれぞれに通電する通電加熱
装置５とを有する積層体の製造装置において、前記中間
板６を冷却可能に形成して成ることを特徴として構成し
ている。
【００２０】このような積層体の製造装置によれば、そ
れぞれの積層組み合わせ材３が、それぞれ中間板６によ
って略同一の温度に、均一に冷却されるとともに、冷却
時間が短縮される。
【００２１】請求項５記載の発明は、請求項４記載の発
明において、積層ブロック９の周囲を冷却するように冷
却装置を構成して成ることを特徴として構成している。
【００２２】このような積層体の製造装置によれば、周
囲に設けた冷却装置によって、それぞれの積層組み合わ
せ材３が、外周への伝熱によって冷却される。したがっ
て、積層組み合わせ材３を多数積み上げても、一様に冷
却することができ、同時に多数枚の積層体を効率よく冷
却することができる。
【００２３】請求項６記載の発明は、請求項４または５
のいずれかに記載の発明において、成形プレス４の前記
積層ブロック９に接する部分の加圧プレート７を冷却可
能に形成して冷却装置を構成して成ることを特徴として
構成している。
【００２４】このような積層体の製造装置によれば、通
電加熱終了後に、通電加熱時に加圧していた成形プレス
４の加圧プレート７によって、引き続き加圧しながら冷
却を行うことができる。
【００２５】請求項７記載の発明は、請求項２、４、５
または７のいずれかに記載の発明において、ペルチェ素
子10を冷却源に用いて冷却装置を構成して成ることを特
徴として構成している。
【００２６】このような積層体の製造装置によれば、ペ
ルチェ素子10によって加熱または冷却を選択することが
できる。
【００２７】請求項８記載の発明は、請求項１ないし３
のいずれかに記載の発明において、加熱加圧を終了した
のちに、積層組み合わせ材３を加熱時に加圧を行う成形
プレス４とは別体の冷却プレス50に移して冷却を行うこ
とを特徴として構成している。
【００２８】このような積層体の製造方法によれば、積
層組み合わせ材３の加熱と冷却を並行して行うことがで
きる。
【００２９】請求項９記載の発明は、請求項３記載の発
明において、加熱加圧を終了したのちに、積層ブロック
９を個別の積層組み合わせ材３に分解して取り出すとと
もに、加熱時に加圧を行う成形プレス４とは別体の冷却
プレス50に移して、個別の積層組み合わせ材３の単位で
冷却を行うことを特徴として構成している。
【００３０】このような積層体の製造方法によれば、個
別の積層組み合わせ材３単位の冷却であるので、冷却時
に奪う熱量が少なくてすみ、冷却スピードが向上する。
【００３１】請求項10記載の発明は、請求項３記載の発
明において、加熱加圧を終了したのちに、積層ブロック
９を複数の積層組み合わせ材３を一つの単位として、積
層ブロック９を分解して取り出すとともに、加熱時に加
圧を行う成形プレス４とは別体の冷却プレス50に移し
て、前記複数の積層組み合わせ材３の単位で冷却を行う
ことを特徴として構成している。
【００３２】このような積層体の製造方法によれば、積
層ブロック９の分解、取り出しの際に、複数の積層組み
合わせ材３を単位としているので、一つずつに分解、取
り出しを行うよりも、簡単に作業がなされる。
【００３３】請求項11記載の発明は、請求項４記載の発
明において、中間板６に冷却流体の流路51を具備させて
成ることを特徴として構成している。
【００３４】このような積層体の製造装置によれば、中
間板６に冷却流体を流すことによって、冷却を行うこと
ができる。
【００３５】請求項12記載の発明は、請求項11記載の発
明において、アルミニウムの押し出し材にて中間板６を
形成して成ることを特徴として構成している。
【００３６】このような積層体の製造装置では、中間板
６を押し出して形成すると同時に、押し出し方向に一致
する流路51が中間板６に形成される。
【００３７】請求項13記載の発明は、請求項12記載の発
明において、流路51内壁面に凸条51a を形成して成るこ
とを特徴として構成している。
【００３８】このような積層体の製造装置によれば、流
路51内壁の表面積が凸条51a によって増大し、冷却効率
が向上している。
【００３９】請求項14記載の発明は、請求項11記載の発
明において、上下面に保護板52を設けて中間板６を形成
して成ることを特徴として構成している。
【００４０】このような積層体の製造装置によれば、中
間板６に傷をつけたりして損傷させた場合に、保護板52
を取り替えまたは研磨等することによって、中間板６が
補修される請求項15記載の発明は、請求項12記載の発明
において、長手方向に流路51を具備させて中間板ユニッ
ト51b を形成し、この中間板ユニット51b を並設一体化
させて中間板６を形成して成ることを特徴として構成し
ている。
【００４１】このような積層体の製造装置によれば、中
間板ユニット51b の並設方向の数を選択して、並設方向
の幅の異なる中間板６が形成される。また、損傷した場
合には、損傷部の中間板ユニット51b のみを取り替える
ことによって、中間板６全体を補修できる。
【００４２】請求項16記載の発明は、請求項11記載の発
明において、中間板６の表面に電気絶縁層を形成して成
ることを特徴として構成している。
【００４３】このような積層体の製造装置によれば、電
気絶縁層によって、中間板６が電気絶縁性に形成されて
いる。
【００４４】請求項17記載の発明は、請求項３記載の発
明において、中間板６側面に凹凸形状6bを形成し、この
凹凸形状6bに冷却流体を吹きつけて、シート状合成樹脂
材１を冷却することを特徴として構成している。
【００４５】このような積層体の製造方法によれば、凹
凸形状6bが冷却フィンの働きをして、効率よく冷却され
る。
【００４６】請求項18記載の発明は、請求項１ないし３
のいずれかに記載の発明において、シート状合成樹脂材
１の温度が、このシート状合成樹脂材１を構成する樹脂
のガラス転移温度以下になるまで、加圧しながら冷却す
ることを特徴として構成している。
【００４７】このような積層体の製造方法によれば、ガ
ラス転移温度以下になるまで加圧されて、積層体表面の
平滑度が固定化される。
【００４８】請求項19記載の発明は、請求項３記載の発
明において、シート状合成樹脂材１の温度が、このシー
ト状合成樹脂材１を構成する樹脂のガラス転移温度以下
になるまで加圧しながら冷却し、こののち、積層ブロッ
ク９を個別の積層組み合わせ材３に分解して、個別の積
層組み合わせ材３の単位で冷却することを特徴として構
成している。
【００４９】このような積層体の製造方法によれば、ガ
ラス転移温度以下になるまで加圧されて、積層体表面の
平滑度が固定化されたのち、個別の積層組み合わせ材３
の単位で冷却されるので、容易にさらに低い温度に冷却
することができる。
【００５０】請求項20記載の発明は、請求項３記載の発
明において、中間板６の対向する端面に向けて冷却流体
を通す流路51を並設し、流れ方向を流路51間で異ならせ
て冷却流体を流し、シート状合成樹脂材１を冷却するこ
とを特徴として構成している。
【００５１】このような積層体の製造方法によれば、流
れ方向が流路51間で異なることによって、流路51の入口
側と出口側の冷却流体の温度差による冷却効果の差が平
均化されている。
【００５２】請求項21記載の発明は、請求項３記載の発
明において、中間板６内部に冷却流体の流路51を具備さ
せ、積層ブロック９の中心部に向けて流量が大きくなる
ように冷却流体を流し、シート状合成樹脂材１を冷却す
ることを特徴として構成している。
【００５３】このような積層体の製造方法によれば、冷
却が遅れやすい積層ブロック９の中心部に、冷却流体の
流量が大きくなっているので、積層ブロック９全体が均
一に冷却される。
【００５４】請求項22記載の発明は、請求項３記載の発
明において、中間板６内部に冷却流体の流路51を具備さ
せ、流路51間を接続パイプ52にて連通させ、51流路に冷
却流体を流すとともに、前記接続パイプ52を冷却して、
シート状合成樹脂材１を冷却することを特徴として構成
している。
【００５５】このような積層体の製造方法によれば、流
路51ごとに冷却流体を流す必要がなくて、接続パイプ52
を経て各流路51に冷却流体が送られる。また、接続パイ
プ52が冷却されて、各流路51に一定温度の冷却流体が送
られる。また、冷却流体を接続パイプ52にて冷却しなが
ら再利用し、冷却流体の供給量が少なくなる。
【００５６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に説明
する。
【００５７】第一の実施の形態を、図１ないし図２を参
照して以下に説明する。図１は積層体を製造している状
態を示す概略側面図であり、図２は同積層体の製造装置
の冷却装置を示す概略側面図である。
【００５８】図１に示すように、この積層体の製造装置
は、成形プレス４と通電加熱装置５とを組み合わせて成
るものである。成形プレス４は、シート状合成樹脂材１
と金属箔２とを重ね合わせて形成される積層組み合わせ
材３を加圧成形するものである。また、同時に通電加熱
装置５によって、前記金属箔２が通電加熱され、シート
状合成樹脂材１が加熱されて、積層組み合わせ材３は積
層体に熱圧成形される。
【００５９】また、金属箔２は長尺であり、この長尺の
一端部から他端部へと通電される。また、シート状合成
樹脂材１は、以下のようにして多数枚が同時に処理され
るものである。
【００６０】つまり、金属箔２の一端部側にシート状合
成樹脂材１を載せて、このシート状合成樹脂材１を包む
ように金属箔２を折り畳み、このシート状合成樹脂材１
の両面に金属箔２を配して積層組み合わせ材３を形成し
ている。そして、この積層組み合わせ材３の金属箔２の
外面に、表面平滑な電気絶縁性の中間板６を載せて、こ
の中間板６を包むように金属箔２を反対方向に折り畳
み、以下、さらにシート状合成樹脂材１と中間板６とを
交互に、同様に金属箔２を間に介在させて積み上げ、積
層組み合わせ材３の間に中間板６を配して、多段に積み
重ねた積層ブロック９を形成している。
【００６１】なお、この図に示すものでは、金属箔２を
一枚の長尺物としているが、二枚の金属箔２を積層組み
合わせ材３の表裏に一枚ずつ配するようにして用いるこ
ともできる。
【００６２】そして、上記積層ブロック９を上下から成
形プレス４の前記積層ブロック９に接する部分の加圧プ
レート７によって加圧して、この図に示すものでは三枚
の積層体を同時に製造している。積み重ねる枚数を増や
すことによってさらに多数枚の同時成形が可能になる。
【００６３】なお、この場合、成形プレス４の加圧方向
は、図中の上下方向に変えて左右方向であってもよい。
また、想像線にて示すように、成形プレス４は、真空チ
ャンバー22にてプレス本体を覆うように形成した真空積
層プレスとすることもできる。
【００６４】また、図２に示すように、この積層体の製
造装置における冷却装置は、内部に水冷却管などを具備
して冷却可能な冷却プレート20を有する冷却機能を備え
た冷却兼用成形プレス８であり、このような冷却兼用成
形プレス８は、同時に製造される三枚の積層体を同時に
冷却するために、同じ仕様のもの三台を並べて用いてい
る。上述したようにして、金属箔２への通電加熱が終了
して成形プレス４によって積層体となった前記積層組み
合わせ材３が取り出され、冷却兼用成形プレス８によっ
てそれぞれほぼ同時に加圧されながら冷却される。
【００６５】以下に、より具体的に各材料を例示して説
明する。シート状合成樹脂材１としては、内層回路を両
面に形成したガラスクロス基材エポキシ樹脂内層基板の
両側に、エポキシ樹脂含浸ガラスクロスであるプリプレ
グを配した一組が用いられる。金属箔２としては厚み１
８μｍの銅箔を用いており、以上の構成によれば四層構
成の多層回路板を積層体として製造することができる。
また、中間板６としては、表面平滑な金属板などが用い
られる。
【００６６】また、金属箔２は１枚の連続銅箔とし、各
積層組み合わせ材３の折り曲げ部2aが交互に反対側にく
るような蛇行状としている。成形プレス４としては真空
積層プレスを用い、この真空積層プレスの真空チャンバ
ー23内を１０トールの圧力まで真空排気した後、上下両
面から１０kgf/cm2 の圧力で加圧を行うと同時に、両端
を通電加熱装置５の電源に接続された一枚の連続銅箔に
直流電流を流して電気抵抗体として発熱させ、加熱を行
っている。加熱時の積層組み合わせ材３の温度は熱電対
を用いて計測し、１８０℃になるように電流値をフィー
ドバック制御しながら１００分の加熱、加圧を行ってい
る。
【００６７】加熱、加圧後、得られた各積層体を分離し
て取り出し、同様に冷却兼用成形プレス８にて１０kgf/
cm2 の圧力で加圧しながら、得られる積層体を構成する
樹脂のガラス転移温度以下まで冷却を行っている。
【００６８】冷却時に加圧せずに自然放冷させた積層体
では、表面粗度がＲｍａｘで３〜７μｍであるのに対
し、上記のようにガラス転移温度以下まで、冷却時に加
圧を行った積層体の表面粗度は１μｍ以下と小さい。ま
た、積層体を成形プレス４内で加圧したまま自然放冷さ
せた場合は、ガラス転移温度以下まで積層体の温度が降
下するのに約３０分を要するが、上記のように冷却兼用
成形プレス８にて冷却する場合は、ガラス転移温度以下
までの温度降下は約３０秒であり、製造リードタイムが
短縮される。
【００６９】なお、図１に示す成形プレス４の加圧プレ
ート７内部に、冷媒となる水または空気などを通す冷却
管を埋設し、通電加熱終了後この加圧プレート７内の冷
却管に水または空気を送って冷却することにより、積層
ブロック９を冷却するような構成とすることもできる。
この場合は、同じ成形プレス４によって熱いままの積層
体を取り出すことなく冷却できて便利であるとともに、
同様に表面粗度は１μｍ以下と小さく、ガラス転移温度
以下までの温度降下は約４０秒であり、製造リードタイ
ムも短縮されている。
【００７０】また、このような冷却兼用成形プレス８に
よる加圧冷却は、以下に説明する実施の形態の冷却装置
と組み合わせて構成することもできる。
【００７１】第二の実施の形態を以下に図３を参照して
説明する。図３はこの実施の形態における積層体の製造
装置の冷却装置を示す説明図であって、（Ａ）は装置全
体の概略側面図を、（Ｂ）は冷却ローラー21の斜視図を
概略示している。
【００７２】この冷却装置は、上記第一の実施の形態の
冷却装置である冷却兼用成形プレス８を、図３に示すよ
うなローラー21によるものとしている。つまり、この冷
却装置は冷却ローラー21を上下に対向させて三組備え、
分離して取り出した積層体を順次１０kgf/cm2 の圧力で
加圧しながら、得られる積層体のエポキシ樹脂のガラス
転移温度以下まで冷却するような送りスピードで通過さ
せている。また、この冷却装置の冷却ローラー21は、
（Ｂ）に示すように、その内部に水または空気などの冷
却媒体を通過させるように構成している。
【００７３】このような冷却装置による加圧冷却によっ
ても、得られる積層体の表面粗度が１μｍ以下と小さ
く、また、積層体を冷却ローラー21に通す作業が連続的
であって行いやすく、ガラス転移温度以下までの温度降
下を短くして、製造リードタイムが短縮される。
【００７４】第三の実施の形態を以下に図４ないし図５
を参照して説明する。図４は積層体を製造している状態
を示す概略側面図であり、図５は冷却装置を示す斜視図
であって、（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ異なるものを示し
ている。
【００７５】図４ないし図５に示すように、この積層体
の製造装置は、第一の実施の形態において示した冷却装
置を、成形プレス４にセットされた積層ブロック９の周
囲に配した冷却管22とし、この冷却管22に水または空気
などの冷媒を流し、エポキシ樹脂のガラス転移温度以下
まで冷却を行うようにしている。つまり、通電加熱終了
後、加圧状態をそのまま継続しながら冷却管22によっ
て、得られた積層体を冷却するように構成している。
（Ａ）は水を流す場合を示しているが、（Ｂ）に示すよ
うに空気を流す場合には、この冷却管９の適宜箇所に吹
き出し口を積層ブロック９に向けて設け、冷たい空気を
積層ブロック９に吹きつけるようにするとより効率よく
冷却することができる。
【００７６】このような冷却装置による加圧冷却によっ
ても、得られる積層体の表面粗度が１μｍ以下と小さく
することができる。
【００７７】また、積層ブロック９をプレス内で加圧し
たまま自然放冷させた場合は、積層体を構成する樹脂の
ガラス転移温度以下までに、積層体の温度が降下するの
に約３０分を要するが、上記のように周囲の冷却管９に
より冷却した場合は、ガラス転移温度以下までの温度降
下は約２分であり、製造リードタイムを短縮することが
できる。
【００７８】さらに、冷却装置を積層体の周囲に設けた
ことにより、積層体を多段に多数積み上げて同時に冷却
することが可能になり、生産数を増やすことができる。
【００７９】第四の実施の形態を以下に図６を参照して
説明する。図６は積層体を製造している状態を示す概略
側面図である。
【００８０】図６に示すように、この積層体の製造装置
は、第一の実施の形態において示した成形プレス４を特
に真空積層プレスとしている。そして、通電加熱終了後
に、この真空積層プレスを構成する真空チャンバー23に
空気、窒素、アンモニア等の冷媒ガスをクーラー24を経
由させて流し、積層体を構成するエポキシ樹脂のガラス
転移温度以下まで冷却を行うようにしている。
【００８１】このような積層体の製造装置によっても、
加圧しながら冷却するので、得られる積層体の表面粗度
は１μｍ以下と小さくすることができる。
【００８２】また、冷却による積層体を構成する樹脂の
ガラス転移温度以下までの温度降下は約２分であり、製
造リードタイムを短縮することができる。さらに、冷却
装置を積層体の周囲に設けたことにより、積層体を多段
に多数積み上げて同時に冷却することが可能になり、生
産数を増やすことができる。
【００８３】第五の実施の形態を以下に図７を参照して
説明する。図７は積層体を冷却している状態を示す概略
断面図である。
【００８４】図７に示すように、この実施の形態では、
第一の実施の形態において示したように成形プレス４を
用いて通電加熱を終了した後に、積層ブロック９全体を
上下から圧締する加圧用治具25にセットして、水または
アルコールなどの冷媒を満たした水槽26に浸漬すること
によって、積層体を構成するエポキシ樹脂のガラス転移
温度以下まで冷却する。この加圧治具25は圧締プレート
25a と圧締棒26b とから成り、上下の圧締プレート25a
間に積層ブロック９を挟んで圧締棒26b によって締めつ
けるように構成されている。
【００８５】このような積層体の製造装置によっても、
上記第四の実施の形態と同様に、加圧しながら冷却する
ので、得られる積層体の表面粗度は１μｍ以下と小さく
することができる。また、このように水槽26への浸漬に
より冷却した場合は、ガラス転移温度以下までの温度降
下は約５秒であり、製造リードタイムを短縮することが
できる。さらに、冷却装置を積層体の周囲に設けたこと
により、積層体を多段に多数積み上げて同時に冷却する
ことが可能になり、生産数を増やすことができる。
【００８６】第六の実施の形態を以下に図８を参照して
説明する。図８は積層体を製造している状態を示す概略
側面図である。
【００８７】図８に示すように、この積層体の製造装置
は、第一の実施の形態において示した冷却装置を、成形
プレス４にセットされた積層ブロック９の周囲に配した
冷却体27とし、この冷却体27を金属箔２の周囲に押し当
て、金属箔２の伝導伝熱により、積層体を構成するエポ
キシ樹脂のガラス転移温度以下まで冷却を行っている。
このような冷却体27は、内部に水または空気などを冷媒
として通すように構成されている。
【００８８】このような積層体の製造装置によっても、
加圧しながら冷却するので、積層体の表面粗度を１μｍ
以下と小さくすることができる。また、このように冷却
体27を金属箔２の周囲に押し当て冷却した場合は、ガラ
ス転移温度以下までの温度降下に要する時間は約３分で
あり、製造リードタイムを短縮することができる。さら
に、冷却装置を積層体の周囲に設けたことにより、積層
体を多段に多数積み上げて同時に冷却することが可能に
なり、生産数を増やすことができる。
【００８９】第七の実施の形態を以下に図９を参照して
説明する。図９は中間板６を概略示す斜視図である。
【００９０】図９に示すように、この積層体の製造装置
は、第一の実施の形態において示した冷却装置を、成形
プレス４にセットされた中間板６内に設けられる冷却管
28として構成している。そして、この冷却管28を水また
は空気など冷却流体が通る流路51として、積層体を構成
するエポキシ樹脂のガラス転移温度以下まで冷却を行っ
ている。
【００９１】このような積層体の製造装置によっても、
得られる積層体の表面粗度を１μｍ以下と小さくするこ
とができる。特に、中間板６によって積層ブロック９の
内部より冷却するので、温度分布の均一な冷却を行うこ
とができ、複数枚の積層体間および中心部、周辺部とも
に表面粗度の均一化が達成できる。このような中間板６
による冷却によれば、ガラス転移温度以下までの温度降
下に要する時間は約３分であり、製造リードタイムを短
縮することができる。
【００９２】第八の実施の形態を以下に図10を参照して
説明する。図10は中間板６の冷却状態を概略示す斜視図
であり、（Ａ）または（Ｂ）はそれぞれ異なる冷却状態
を示している。
【００９３】図10に示すように、この積層体の製造装置
は、第一の実施の形態において示した冷却装置を、成形
プレス４にセットされた中間板６をヒートシンク方式と
し、この中間板６の側面から冷却する冷却手段を備えた
ものとしている。このような冷却手段としては、（Ａ）
に示すように送風ファン29または（Ｂ）に示すような送
風ノズル30などとすることができる。
【００９４】このような積層体の製造装置によっても、
加圧しながら周囲から冷却するので、得られる積層体の
表面粗度は中心部、周辺部ともに１μｍ以下と小さくす
ることができる。また、このようにヒートシンク方式の
中間板６により冷却した場合は、積層体を構成する樹脂
のガラス転移温度以下までの温度降下は約５秒であり、
製造リードタイムを短縮することができる。
【００９５】第九の実施の形態を以下に図11を参照して
説明する。図11は積層体を製造している状態を示す概略
側面図である。
【００９６】図11に示すように、この積層体の製造装置
は、第六の実施の形態において示した冷却体27を、側方
に突き出させた中間板６に押し当てて、中間板６の伝導
伝熱によって冷却するようにしている。また、冷却体27
を押し当てる代わりに、中間板６の突き出た部分をフィ
ン形状などに形成し、この部分に冷却エアーなどを吹き
かけるように構成してもよい。なお、この図において
は、前出の図と異なり金属箔２は手前または奥方に折り
返されるような長尺一枚物を用いている。
【００９７】このような積層体の製造装置によっても、
加圧しながら周囲から冷却するので、得られる積層体の
表面粗度は１μｍ以下と小さくすることができる。特に
中間板６で積層ブロック９の内部より冷却をおこなうた
め、温度分布の均一な冷却をすることができ、複数枚の
積層体間および一枚の積層体の中央部と周辺部との間の
表面粗度の均一化が達成できる。
【００９８】また、このように中間板６の伝導伝熱によ
り冷却した場合は、積層体を構成する樹脂のガラス転移
温度以下までの温度降下は約２５秒であり、製造リード
タイムを短縮することができる。
【００９９】第十の実施の形態を以下に図12を参照して
説明する。図12は中間板６を概略示す分解斜視図であ
る。
【０１００】図12に示すように、この積層体の製造装置
における中間板６は、入れ子式のものであって、外ケー
ス31に冷却体27を嵌挿しない状態で、第一の実施の形態
に示したような製造装置における積層ブロック９のもの
と同様に使用して、積層体を熱圧成形することができる
ものである。そして、通電加熱を終了した後、外ケース
31に第六の実施の形態において示したような冷却体27を
嵌挿し、この冷却体27内部に冷媒を流すことによって、
加圧しながら積層ブロック９内部より、均一な冷却が可
能になるものである。
【０１０１】このような積層体の製造装置によっても、
加圧しながら周囲から冷却するので、得られる積層体の
表面粗度は１μｍ以下と小さくすることができ、複数枚
の積層体間および一枚の積層体の中央部と周辺部との間
の表面粗度の均一化が達成できる。
【０１０２】また、このように中間板６の伝導伝熱によ
り冷却した場合は、積層体を構成するエポキシ樹脂のガ
ラス転移温度以下までの温度降下は約１分であり、製造
リードタイムを短縮することができる。
【０１０３】第十一の実施の形態を以下に図13を参照し
て説明する。図13は中間板６を概略示す斜視図である。
【０１０４】図13に示すように、この積層体の製造装置
における中間板６は、連通多孔質のものであり、この中
間板６に圧縮空気を噴射して内部の多孔質部を冷却し、
積層ブロック９を冷却することができる。
【０１０５】このような積層体の製造装置によっても、
加圧しながら冷却するので、得られる積層体の表面粗度
を１μｍ以下と小さくすることができる。また、積層ブ
ロック９内部からの冷却となるので、複数枚の積層体間
のおよび一枚の積層体の中央部と周辺部との間の表面粗
度の均一化が達成できる。
【０１０６】また、このように中間板６の伝導伝熱によ
り冷却した場合は、積層体を構成する樹脂のガラス転移
温度以下までの温度降下は約２５秒であり、製造リード
タイムを短縮することができる。第十二の実施の形態を
以下に図14ないし図15を参照して説明する。図14または
図15は積層体の製造状態を示す概略側面図であって、そ
れぞれ異なる積層体の製造装置を使用したものを示して
いる。
【０１０７】図14に示すように、この積層体の製造装置
では、第六または第九の実施の形態に示した冷却体27内
部にペルチェ素子10を埋め込むことにより、ペルチェ素
子10への電流の向きの切り換えで、加熱と冷却の両方を
選択可能にしている。
【０１０８】また、図15に示すように、成形プレス４の
上下の加圧プレート７内部にペルチェ素子10を埋め込む
ようにして、加熱、冷却を切り換えて行うこともでき
る。
【０１０９】このようなペルチェ素子10は、Ｎ型半導体
とＰ型半導体を交互に導体によって接続したものであっ
て、電流をＮ型半導体、導体、Ｐ型半導体の順序で流し
た場合、導体は、外部から熱を奪う機能を発揮する。こ
の場合には冷却効果を奏する。電流を逆方向に流した場
合は、導体は熱を放出する機能を発揮する。この場合に
は、加熱効果を奏するのである。このようなペルチェ効
果を利用して、加熱または冷却の温度制御を行うことが
できるのである。
【０１１０】加熱または冷却時の温度は、ペルチェ素子
９に流す電流の大きさを調整することにより容易に制御
することができる。通電加熱のみの場合には、加える電
流を増加させて加熱温度を上げることは容易であるが、
冷却が遅れがちになるという不都合がある。しかし、こ
の実施の形態におけるペルチェ素子９によれば、このよ
うな不都合を改善することが特に容易になっている。
【０１１１】第十三の実施の形態の製造方法および製造
装置を、以下に図16ないし図18を参照して以下に説明す
る。図16ないし図18は、積層体を製造している状態を示
す説明図である。
【０１１２】この製造方法では、前述したような通電に
よる加熱加圧を終了したのちに、積層組み合わせ材３を
加熱時に加圧を行う成形プレス４とは別体の冷却プレス
50に移して冷却を行うようにしている。
【０１１３】図16はその一つの方法によって、積層ブロ
ック９を加熱加圧終了後に取り出して、冷却プレス50で
冷却している状態を示している。この図の冷却プレス50
は、前述した図２の冷却兼用成形プレス８と同種のもの
であって、成形プレス４の加圧プレート７内部に流路を
内蔵させ、この流路に冷却流体を流すことによって冷却
可能な冷却プレート27としているものである。この場
合、積層ブロック９を構成する中間板６の全部または一
部を、前述した図９に示すように冷却可能となして、積
層ブロック９内部からも冷却し、効率よく冷却するよう
にしてもよい。
【０１１４】このような積層体の製造方法によれば、積
層組み合わせ材３の加熱と冷却を並行して行うことがで
き、製造スピードを向上させることができる。
【０１１５】また、図17の（Ａ）に冷却している状態を
示すように、加熱加圧を終了したのちに、積層ブロック
９を個別の積層組み合わせ材３に分解して取り出して、
冷却プレス50に移し、個別の積層組み合わせ材３の単位
で冷却を行うようにし、冷却スピードが向上させるよう
にすることもできる。この冷却プレス50では、多数の冷
却プレート27を有し、それぞれの冷却プレート27間にそ
れそれの積層組み合わせ材３を配するようにしている。
【０１１６】また、この場合、図17の（Ｂ）に示すよう
に、個別の積層組み合わせ材３への分解は、金属箔２の
折り返し部に金属ワイヤー53を通し、この金属ワイヤー
53を一端を引っ張るなどして切断することができる。
【０１１７】また、図18の（Ａ）に冷却している状態を
示すように、加熱加圧を終了したのちに、積層ブロック
９を複数の積層組み合わせ材３を一つの単位として、積
層ブロック９を分解して取り出し、冷却プレス50に移
し、前記複数の積層組み合わせ材３の単位で冷却を行う
ようにすることもできる。この場合、図18の（Ｂ）に示
すように、中間板６の何枚かを搬送用プレート54とし、
この搬送用プレート54に前記複数の積層組み合わせ材３
の単位を載せて冷却プレス50に移すとよい。
【０１１８】上記の複数の積層組み合わせ材３を単位と
して分解する場合では、積層ブロック９の分解、取り出
しの際に、一つずつに分解、取り出しを行うよりも、簡
単に作業がなされる。また、個別の積層組み合わせ材３
に分解すれば、それだけ冷却が速く行われる利点があ
る。
【０１１９】第十四の実施の形態の製造方法および製造
装置を、以下に図19ないし図27を参照して以下に説明す
る。この実施の形態では、冷却の方法およびその装置の
種々の例を説明する。
【０１２０】すでに、中間板６を冷却可能に形成する例
を図９などに示しているが、以下に説明する図19ないし
図22は、同様な中間板６の一例を示している。
【０１２１】図19の斜視図に示す中間板６は、アルミニ
ウムの押し出し材にて形成されるものであって、（Ｂ）
に示すように、長手方向に冷却流体の流路51を具備させ
て、断面長方形の長尺棒状の中間板ユニット51b を形成
し、（Ａ）に示すように、この中間板ユニット51b を並
設一体化させて、偏平板状の中間板６を形成しているも
のである。この場合、それぞれの中間板ユニット51b は
キャップであるマニホールド51c を用いて一体化されて
おり、このマニホールド51c には流路51に連通する接続
口51d が、流路51の入口側および出口側に突設されてい
る。
【０１２２】このような中間板６によれば、流路51に冷
却流体として空気などを流して冷却することができるも
のである。そして、中間板ユニット51b の並設方向の数
を選択して、並設方向の幅の任意に異なる中間板６を形
成することができるとともに、損傷した場合には、損傷
部の中間板ユニット51b のみを取り替えることによっ
て、中間板６全体を補修できるものである。
【０１２３】また、以下のように異なる形態に形成する
ことも好ましいものである。すなわち、図20の斜視図に
示すように、上下面に保護板52を設けてより確実に中間
板ユニット51b を一体化させてるとともに、中間板６に
傷をつけたりして損傷させた場合に、この中間板６の保
護板52を取り替えまたは研磨等することによって、この
中間板６が補修されるように形成することもできる。
【０１２４】また、図21の断面図に示すように、流路51
内壁面に凸条51a を形成し、流路51内壁の表面積を増大
させて、冷却効率が向上するように形成してもよい。
【０１２５】また、中間板６を最初から一体のものに押
し出し形成してもよいのである。また、中間板６の表面
に電気絶縁層を形成するために、硬質アルマイト処理後
に、このアルマイト処理面に４フッ化エチレンを含浸さ
せるなどのテフロン処理等を行うとよい。この電気絶縁
層は約30〜60μｍ厚みに形成され、中間板６が電気絶縁
性になるので、この中間板６表面に直接金属箔２を接触
させて積層ブロック９を形成することができる。つま
り、絶縁シートなどを介在させることがないので、積層
ブロック９の形成作業が容易になるのである。そして、
この場合、特に、硬質アルマイト処理によって表面硬度
をあげ、テフロン処理によって摺動性を向上させ、表面
に傷がつきにくくしているのである。なお、このような
電気絶縁層は、保護板52を設ける場合には、保護板52表
面に形成されるとよい。
【０１２６】また、図22における（Ａ）の斜視図に示す
ように、内部に冷却流体の流路51を具備させずに、側面
に凹凸形状6bを形成し、同図における（Ｂ）の断面図に
使用状態を示すように、この凹凸形状6bに冷却エアーを
吹きつけて冷却するように構成することも好ましい。こ
のような凹凸形状6bは冷却フィンの働きをして、効率よ
く冷却されるのである。また、冷却エアーに代えて、液
体窒素などを用いてより冷却効率を挙げることもでき
る。
【０１２７】また、以上のようなシート状合成樹脂材１
の冷却は、このシート状合成樹脂材１を構成する樹脂の
ガラス転移温度以下になるまで、加圧しながら冷却する
ことが好ましく、ガラス転移温度以下になれば特に加圧
を必要としないのである。つまり、ガラス転移温度以上
で圧力を解除すると、ガラス基材の目が浮き出たりし
て、得られる積層体の表面粗度が悪くなるが、ガラス転
移温度以下になれば、積層体表面の平滑度が固定化され
て、表面平滑度のよい積層体を得ることができるのであ
る。
【０１２８】したがって、ガラス転移温度以下になって
から、積層ブロック９を個別の積層組み合わせ材３に分
解すれば、個別の積層組み合わせ材３の単位で、空気を
吹きつけるなどして急冷し、さらに取扱いやすい低い温
度に、効率よく迅速に冷却することが可能になる。
【０１２９】図23には、以上のような冷却時におけるシ
ート状合成樹脂材１の温度測定の具体例を示す説明図で
ある。
【０１３０】たとえば、この図の（Ａ）に示すように、
熱電対を取り付けたダミー板55を、積層ブロック９の中
心部に入れておいて、このダミー板55の温度を測定して
加圧終了を判定することができる。または、（Ｂ）に示
すように放射温度計56を用いて、非接触で積層ブロック
９の温度を測定し、シート状合成樹脂材１の温度を推定
して、加圧終了を判定することもできる。または、
（Ｃ）に示すように、中間板６を冷却する冷却流体であ
る空気の出口における温度を測定し、シート状合成樹脂
材１の温度を推定して、加圧終了を判定することもでき
る。または、（Ｄ）に示すように、金属箔２の電気抵抗
値を測定し、シート状合成樹脂材１の温度を推定して、
加圧終了を判定することもできる。
【０１３１】また、以上のような積層ブロック９の冷却
は、以下のようにして均一に冷却されるように構成する
ことがより好ましい。
【０１３２】すなわち、図24に示すように、中間板６に
は対向する端面に向けて冷却流体を通す流路51が並設さ
れている訳であるが、この冷却流体の流れ方向を流路51
間で異ならせて流し、シート状合成樹脂材１を冷却する
とよいのである。
【０１３３】より具体的には、中間板６は、同図の
（Ａ）および（Ｂ）に示すように、中間板ユニット51b
を５本一体に並設して形成されている。そして、この中
間板ユニット51b には冷却流体の流路51が三本形成さ
れ、この三本の流路51に対して接続口51d が一本づつ連
通している。そして、隣の中間板ユニット51b で交互に
流れ方向が異なるようにして、冷却流体を流しているの
である。さらに、同図の（Ｃ）に示すように、上下の中
間板６で交互に異なるように、冷却流体を流すようにし
ているのである。
【０１３４】このように冷却流体の流れ方向を流路51間
で異ならせて流すことによって、流路51の入口側と出口
側の冷却流体の温度差による冷却効果の差が、水平方向
および垂直方向で平均化され、積層ブロック９全体が均
一に冷却される。
【０１３５】また、積層ブロック９の中心部ほど冷却さ
れにくいため、この点に配慮して、以下のように構成す
ることも好ましい形態の一つである。
【０１３６】すなわち、図25の断面図に示すように、積
層ブロック９の中心部に向けて流量が大きくなるように
冷却流体を流して、シート状合成樹脂材１を冷却するこ
とによって、積層ブロック９全体を均一に冷却すること
ができるのである。より具体的には、同図の（Ａ）に示
すように、中間板６における冷却流体の流路51を、その
中心部ほど密になるように設けるか、または、同図の
（Ｂ）に示すように、略等間隔に配している場合には、
その中心部ほど断面積が大きくなるように流路51を形成
するのである。
【０１３７】なお、略等間隔に略同一の断面積の流路51
が配されている場合には、この中間板６の中心部ほど、
流量が大きくなるように、または、温度が低い冷却流体
を供給するように制御して冷却しても、上記（Ａ）また
は（Ｂ）の中間板６を用いる場合と、略同様の効果が得
られ、均一に積層ブロック９内部まで冷却することがで
きる。
【０１３８】また、積層ブロック９の高さ方向について
も、同様に、その中心部ほど、図25の（Ｃ）に示すよう
に、流路51を密に配するか、または、同図の（Ｄ）に示
すように、断面積を大とした中間板６を用いることによ
って、均一に積層ブロック９内部まで冷却することがで
きる。また、積層ブロック９の中心部ほど、冷却流体の
流量を大または温度を低くしても、略同様の効果が得ら
れ、均一に積層ブロック９内部まで冷却することができ
る。
【０１３９】また、図25の（Ｅ）に示すように、冷却プ
レート27間のシート状合成樹脂材１の枚数を、積層ブロ
ック９の中心部ほど少なくなるようにして冷却してもよ
く、同様に、中心部ほどよく冷却されるので、均一に積
層ブロック９内部まで冷却することができる。
【０１４０】また、図26に示すように、積層ブロック９
を形成している上下の中間板６の流路51間を接続パイプ
52にて連通させ、前記接続パイプ52を冷却しながら、連
通させた流路51のそれぞれに温度が低い冷却流体を流し
て、シート状合成樹脂材１を冷却することも、以下の点
で好ましい。
【０１４１】つまり、流路51ごとに冷却流体を流す必要
がないので、接続パイプ52を経て各流路51に冷却流体が
送られることになり、流路51への冷却流体の供給口およ
び出口が減少する。したがって、冷却流体の供給を簡単
に行うことができるものである。そして、冷却流体とし
て空気を用い、出口から放出するようにしている場合に
は、冷却流体の供給量を減少させることができ、冷却流
体の排出音が低く抑えることができるのである。
【０１４２】より詳しく、図26に基づいて以下に説明す
ると、同図の（Ａ）では、上下に隣り合う中間板６の流
路51を接続する接続パイプ52としてテフロンチューブな
どを用い、銅製のＵ字管またはスパイラル管などの冷却
部57を介して、流路51を連通させている。そして、上記
のような冷却部57を冷却器58を接続した冷却水槽59に浸
漬して、冷却流体を冷却するようにしている。
【０１４３】また、上記の冷却部57としては、同図の
（Ｂ）ないし（Ｄ）に示すように構成することができ
る。すなわち、（Ｂ）では、冷却部57を直線状の銅管と
し、この銅管に冷却水を通すパイプを巻き付けるように
している。また、（Ｃ）では、同様な冷却部57を冷却水
が通過する管体の内部に納めている。また、（Ｄ）では
冷却部57を冷却フィンを有する銅管として、空冷するよ
うにしている。
【０１４４】また、図27に示すように、吹き出しパイプ
60を出口側の接続口51d に、積層ブロック９側面に向け
て設け、空気などの冷却流体を積層ブロック９周囲に向
けて排出させて、より冷却効率をあげることもできる。
【０１４５】
【発明の効果】請求項１記載の発明の積層体の製造方法
または請求項２記載の発明の積層体の製造装置では、冷
却時の加圧によって、積層体がその表面の平滑度を維持
して硬化するので、表面粗度の小さい積層体を製造する
ことができる。また、自然放冷に比べて冷却時間が短縮
し、製造リードタイムを短縮することができる。
【０１４６】請求項３記載の発明の積層体の製造方法ま
たは請求項４記載の発明の積層体の製造装置では、多段
に積み重ねられた多数枚の積層組み合わせ材を、同時に
均一な温度に熱圧成形することができ、同時に多数枚の
均一な熱履歴を経た積層体を製造することができる。そ
の上、それぞれの積層組み合わせ材ごとに冷却するよう
にして、冷却時間を短縮することができ、製造リードタ
イムを短縮することができる。
【０１４７】請求項５記載の発明では、冷却装置を周囲
に設けたので、積層組み合わせ材を多数枚積み重ねて積
層体を製造することができ、同時成形の生産数を増やす
ことができる。
【０１４８】請求項６記載の発明では、通電加熱終了後
に、通電加熱時に加圧していた成形プレスの加圧プレー
トを冷却手段として、引き続き加圧しながら冷却を行う
ことができる。したがって、熱圧成形した積層体を冷却
のために取り出したりすることがなく、積層体の製造を
容易に行うことができる。
【０１４９】請求項７記載の発明では、ペルチェ素子に
よって加熱または冷却を選択することができ、冷却また
は加熱の制御を容易に行うことができる。
【０１５０】請求項８記載の発明では、積層組み合わせ
材の加熱と冷却を並行して行うことができ、効率よく積
層体を製造することができる。
【０１５１】請求項９記載の発明では、個別の積層組み
合わせ材単位で冷却することができるので、冷却スピー
ドが向上し、効率よく積層体を製造することができる。
【０１５２】請求項10記載の発明では、複数の積層組み
合わせ材を単位として分解、取り出しを容易に行うこと
ができ、スピーディに加熱から冷却に移すことができ
る。したがって、無加圧の時間が短縮し、表面平滑性が
よい積層体を製造することができる。
【０１５３】請求項11記載の発明では、中間板に冷却流
体を流すことによって、積層ブロック内部から冷却を行
うことができ、冷却スピードが向上し、効率よく積層体
を製造することができる。
【０１５４】請求項12記載の発明では、中間板の押し出
しによる形成時に、押し出し方向に一致する流路が容易
に形成され、簡単に冷却流体の流路を内蔵する中間板が
得られている。
【０１５５】請求項13記載の発明では、流路内壁の表面
積が凸条によって増大し、冷却効率が向上している。
【０１５６】請求項14記載の発明では、中間板に傷をつ
けまたは損傷させた場合に、保護板を取り替えまたは研
磨等して、中間板を容易に補修することができる。
【０１５７】請求項15記載の発明では、押し出しユニッ
トを並設する数を変えることによって、並設方向の幅を
任意に決定して中間板を形成することができる。また、
損傷した場合には、損傷部の押し出しユニットのみを取
り替えることによって、中間板全体を容易に補修するこ
とができる。
【０１５８】請求項16記載の発明では、電気絶縁層によ
って、中間板が電気絶縁性に形成されるので、この中間
板表面に直接金属箔を接触させて積層ブロックを形成す
ることができる。つまり、絶縁シートなどを介在させる
ことがないので、積層ブロックの形成作業が容易になっ
ている。
【０１５９】請求項17記載の発明では、凹凸形状が冷却
フィンの働きをして、冷却効率が向上している。
【０１６０】請求項18記載の発明では、ガラス転移温度
以下になるまで加圧されて、積層体表面の平滑度が固定
化されるので、表面平滑性のよい積層体を製造すること
ができる。
【０１６１】請求項19記載の発明では、積層体表面の平
滑度が固定化されたのち、個別の積層組み合わせ材の単
位で冷却されるので、容易にさらに低い温度に冷却する
ことができる。
【０１６２】請求項20記載の発明では、流路の入口側と
出口側との冷却流体の温度差による冷却効果の差が、流
れ方向が流路間で異なることによって平均化されて、均
一な冷却を行うことができる。
【０１６３】請求項21記載の発明では、冷却が遅れやす
い積層ブロックの中心部に、冷却流体の流量が大きくな
っているので、積層ブロック全体を均一に冷却すること
ができる。
【０１６４】請求項22記載の発明では、流路ごとに冷却
流体を流すことがなく、流路間の接続パイプを冷却して
いるので、流路間に一定温度の冷却流体を流すことがで
きるとともに、冷却流体の全流量を低減させることがで
きる。また、特に冷却流体を冷却空気として流路を通過
後に放出するように構成した場合には、放出部が減少し
て、冷却流体の放出音を低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態における積層体の製
造状態を示す概略側面図である。
【図２】同上の積層体の製造装置における冷却装置を示
す概略側面図である。
【図３】本発明の第二の実施の形態における積層体の製
造装置の冷却装置を示す説明図であって、（Ａ）は装置
全体の概略側面図を、（Ｂ）は冷却ローラーの斜視図を
示している。
【図４】本発明の第三の実施の形態における積層体の製
造状態を示す概略側面図である。
【図５】同上の積層体の製造装置における冷却装置を示
す斜視図であって、（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ異なるも
のを示している。
【図６】本発明の第四の実施の形態における積層体の製
造状態を示す概略側面図である。
【図７】本発明の第五の実施の形態における積層体の冷
却状態を示す概略断面図である。
【図８】本発明の第六の実施の形態における積層体の製
造状態を示す概略側面図である。
【図９】本発明の第七の実施の形態における積層体の製
造装置を構成する中間板を概略示す斜視図である。
【図１０】本発明の第八の実施の形態における中間板の
冷却状態を概略示す斜視図であり、（Ａ）または（Ｂ）
はそれぞれ異なる冷却状態を示している。
【図１１】本発明の第九の実施の形態における積層体の
製造状態を示す概略側面図である。
【図１２】本発明の第十の実施の形態における中間板を
概略示す分解斜視図である。
【図１３】本発明の第十一の実施の形態における中間板
を概略示す斜視図である。
【図１４】本発明の第十二の実施の形態における積層体
の製造状態を示す概略側面図である。
【図１５】本発明の第十二の実施の形態における異なる
積層体の製造状態を示す概略側面図である。
【図１６】本発明の第十三の実施の形態の積層体の製造
状態を示す概略側面図である。
【図１７】同上実施の形態の異なる製造状態を示す説明
図である。
【図１８】同上のさらに異なる説明図である。
【図１９】本発明の第十四の実施の形態における中間板
を示す斜視図である。
【図２０】同上の実施の形態における異なる中間板を示
す斜視図である。
【図２１】同上の実施の形態におけるさらに異なる中間
板を示す斜視図である。
【図２２】同上の実施の形態におけるさらに異なる中間
板を示し、（Ａ）は斜視図であり、（Ｂ）は使用状態の
側面図である。
【図２３】同上の実施の形態における冷却時のシート状
合成樹脂材の温度測定の具体例を示す説明図であり、
（Ａ）ないし（Ｄ）にそれぞれ異なる例を示している。
【図２４】同上の実施の形態における中間板の冷却を説
明する図であり、（Ａ）は中間板の斜視図、（Ｂ）は同
断面図、（Ｃ）は積層ブロックの側面図である。
【図２５】同上の実施の形態における中間板の冷却を説
明する図であり、（Ａ）および（Ｂ）は中間板の断面
図、（Ｃ）および（Ｄ）は積層ブロックの側面図であ
る。
【図２６】同上の実施の形態における中間板の冷却を説
明する図であって、（Ａ）は積層ブロックおよびその周
辺の冷却部等の側面図、（Ｂ）ないし（Ｄ）は冷却部の
異なる例を示す側面図である。
【図２７】同上の実施の形態における中間板および積層
ブロックの冷却を説明する図であって、積層ブロック等
の側面図である。
【符号の説明】
１ シート状合成樹脂材 ２ 金属箔 ３ 積層組み合わせ材 ４ 成形プレス ５ 通電加熱装置 ６ 中間板 6b 凹凸形状 ７ 加圧プレート ８ 冷却兼用成形プレス ９ 積層ブロック 10 ペルチェ素子 20 冷却プレート 21 冷却ローラー 22 冷却管 23 真空チャンバー 24 クーラー 25 加圧治具 26 水槽 27 冷却プレート 28 冷却管 29 ファン 30 ノズル 31 外ケース 50 冷却プレス 51 流路 51a 凸条 51b 中間板ユニット 51c マニホールド 51d 接続口 52 保護板 53 金属ワイヤー 54 搬送用プレート 55 ダミー板 56 放射温度計 57 冷却部 58 冷却器 59 冷却水槽
フロントページの続き (72)発明者 前田 裕史 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シート状合成樹脂材に金属箔を重ね合わ
    せて積層組み合わせ材を形成し、前記積層組み合わせ材
    の金属箔に通電しながら加圧成形する積層体の製造方法
    において、通電加圧終了後、さらに加圧しながら冷却す
    ることを特徴とする積層体の製造方法。
  2. 【請求項２】 シート状合成樹脂材に金属箔を重ね合わ
    せた積層組み合わせ材を加圧成形する成形プレスと、前
    記金属箔に通電する通電加熱装置とを有する積層体の製
    造装置において、金属箔への通電を終了した前記積層組
    み合わせ材を加圧しながら冷却する冷却装置を備えて成
    ることを特徴とする積層体の製造装置。
  3. 【請求項３】 シート状合成樹脂材に金属箔を重ね合わ
    せて積層組み合わせ材を複数個形成し、電気絶縁性の中
    間板を介在させて、前記積層組み合わせ材を多段に積み
    重ねて積層ブロックを形成し、前記積層ブロックのそれ
    ぞれの金属箔に通電しながら加圧成形する積層体の製造
    方法において、金属箔への通電終了後、さらに加圧しな
    がら冷却することを特徴とする積層体の製造方法。
  4. 【請求項４】 シート状合成樹脂材に金属箔を重ね合わ
    せて積層組み合わせ材を複数個形成し、電気絶縁性材の
    中間板を介在させて、前記積層組み合わせ材を多段に積
    み重ねて形成される積層ブロックを加圧成形する成形プ
    レスと、前記金属箔のそれぞれに通電する通電加熱装置
    とを有する積層体の製造装置において、前記中間板を冷
    却可能に形成して冷却装置を構成して成ることを特徴と
    する積層体の製造装置。
  5. 【請求項５】 積層ブロックの周囲を冷却するように冷
    却装置を構成して成ることを特徴とする請求項４記載の
    積層体の製造装置。
  6. 【請求項６】 成形プレスの前記積層ブロックに接する
    部分の加圧プレートを冷却可能に形成して冷却装置を構
    成して成ることを特徴とする請求項４または５記載の積
    層体の製造装置。
  7. 【請求項７】 ペルチェ素子を冷却源に用いて冷却装置
    を構成して成ることを特徴とする請求項２、４、５また
    は７記載の積層体の製造装置。
  8. 【請求項８】 加熱加圧装置にて加熱加圧を終了したの
    ちに、積層組み合わせ材を加熱時に加圧を行う成形プレ
    スとは別体の冷却プレスに移して冷却を行うことを特徴
    とする請求項１ないし３のいずれかに記載の積層体の製
    造方法。
  9. 【請求項９】 加熱加圧を終了したのちに、積層ブロッ
    クを個別の積層組み合わせ材に分解して取り出すととも
    に、加熱時に加圧を行う成形プレスとは別体の冷却プレ
    スに移して、個別の積層組み合わせ材の単位で冷却を行
    うことを特徴とする請求項３記載の積層体の製造方法。
  10. 【請求項10】 加熱加圧装置にて加熱加圧を終了したの
    ちに、複数の積層組み合わせ材を一つの単位として、積
    層ブロックを分解して取り出すとともに、加熱時に加圧
    を行う成形プレスとは別体の冷却プレスに移して、前記
    複数の積層組み合わせ材の単位で冷却を行うことを特徴
    とする請求項３記載の積層体の製造方法。
  11. 【請求項11】 中間板に冷却流体の流路を具備させて成
    ることを特徴とする請求項４記載の積層体の製造装置。
  12. 【請求項12】 アルミニウムの押し出し材にて中間板を
    形成して成ることを特徴とする請求項11記載の積層体の
    製造装置。
  13. 【請求項13】 流路内壁面に凸条を形成して成ることを
    特徴とする請求項12記載の積層体の製造装置。
  14. 【請求項14】 上下面に保護板を設けて中間板を形成し
    て成ることを特徴とする請求項11記載の積層体の製造装
    置。
  15. 【請求項15】 長手方向に流路を具備させて中間板ユニ
    ットを形成し、この中間板ユニットを並設一体化させて
    中間板を形成して成ることを特徴とする請求項12記載の
    積層体の製造装置。
  16. 【請求項16】 中間板の表面に電気絶縁層を形成して成
    ることを特徴とする請求項11記載の積層体の製造装置。
  17. 【請求項17】 中間板側面に凹凸形状を形成し、この凹
    凸形状に冷却流体を吹きつけて、シート状合成樹脂材を
    冷却することを特徴とする請求項３記載の積層体の製造
    方法。
  18. 【請求項18】 シート状合成樹脂材の温度が、このシー
    ト状合成樹脂材を構成する樹脂のガラス転移温度以下に
    なるまで、加圧しながら冷却することを特徴とする請求
    項１ないし３のいずれかに記載の積層体の製造方法。
  19. 【請求項19】 シート状合成樹脂材の温度が、このシー
    ト状合成樹脂材を構成する樹脂のガラス転移温度以下に
    なるまで加圧しながら冷却し、こののち、積層ブロック
    を個別の積層組み合わせ材に分解して、個別の積層組み
    合わせ材の単位で冷却することを特徴とする請求項３記
    載の積層体の製造方法。
  20. 【請求項20】 中間板の対向する端面に向けて冷却流体
    を通す流路を並設し、流れ方向を流路間で異ならせて冷
    却流体を流し、シート状合成樹脂材を冷却することを特
    徴とする請求項３記載の積層体の製造方法。
  21. 【請求項21】 中間板内部に冷却流体の流路を具備さ
    せ、積層ブロックの中心部に向けて流量が大きくなるよ
    うに冷却流体を流し、シート状合成樹脂材を冷却するこ
    とを特徴とする請求項３記載の積層体の製造方法。
  22. 【請求項22】 中間板内部に冷却流体の流路を具備さ
    せ、流路間を接続パイプにて連通させ、流路に冷却流体
    を流すとともに、前記接続パイプを冷却して、シート状
    合成樹脂材を冷却することを特徴とする請求項３記載の
    積層体の製造方法。
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