KR102586684B1 - 장치 및 진공 챔버 - Google Patents

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KR102586684B1
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볼프강 브라운
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막스-플랑크-게젤샤프트 츄어 푀르더룽 데어 비쎈샤프텐 에.파우.
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Abstract

본 발명은 진공에서 미끄럼 마찰 및 윤활유 없이 운동하기 위한 장치에 관한 것으로, 이 장치는 고정 위치 레일 및 자기력에 의해 고정 위치 레일에 대해 움직일 수 있는 레일을 포함한다. 본 발명은 또한 본 발명에 따른 장치를 갖는 예컨대 코팅 플랜트를 위한 진공 챔버에 관한 것이다.

Description

장치 및 진공 챔버
본 발명은 진공에서 미끄럼 마찰 및 윤활유 없이 운동하기 위한 장치에 관한 것으로, 이 장치는 고정 위치 레일 및 자기력에 의해 그 고정 위치 레일에 대해 움직일 수 있는 레일을 포함한다. 본 발명은 또한 본 발명에 따른 장치를 갖는, 예컨대 코팅 플랜트를 위한 진공 챔버에 관한 것이다.
많은 초고진공 플랜트 및 진공 플랜트는 진공에서의 운동을 위한 기구를 필요로 하는데, 이는 예컨대 잠금 푸시어와 같은 정치 부품을 운동시키거나 또는 예컨대 코팅 플랜트에서 작업물을 전달하기 위한 것이다. 기구는 진공 내에서의 운동을 가능케 해야 하고 또한 진공 외부에서 내측으로 또한 그 반대 방향으로 운동을 전달할 수 있어야 한다.
이에 대해, 적어도 초고진공 플랜트에 대해, 챔버에서 ＜ 10-7의 잔류 압력이 요구되므로, 챔버에서는 윤활유 또는 측정 가능한 증기압을 갖는 다른 재료는 사용될 수 없다. 그러한 초고진공 플랜트에서 미끄럼 마찰을 피하기 위해, 가장자리-홈 상호 작용에 의해 선형적으로 안내되는 구름 실린더를 사용하는 기구가 제안되었다.
그러나, 이들 롤러 및 관련된 안내 치부와 안내 트랙의 제조는, 부드러운 이동 및 긴 작동 시간(수명)을 달성하기 위해서는 매우 낮은 제조 공차로 일어나야 하는 것으로 밝혀졌다.
이로부터 시작하여, 본 발명의 목적은, 더 간단하게 제조될 수 있고 또한 기구가 더 긴 시간에 걸쳐 재현 가능하게 사용될 수 있도록 초고진공에서도 장치의 더 부드러운 이동 및 개선된 작동 시간을 가능하게 해주는 기구를 제안하는 것이다.
이 목적은 청구항 1의 특징적 사항을 갖는 주제로 달성된다.
진공에서 미끄럼 마찰 및 윤활유 없이 운동하기 위한 이러한 장치는,
고정 위치 레일,
자기력에 의해 움직일 수 있는 레일,
가동 레일이 상기 고정 위치 레일에 대해 움직일 수 있게, 바람직하게는 선형적으로 움직일 있게 해주도록 구성되고, 상기 고정 위치 레일과 가동 레일 사이에 배치되는 2개 또는 4개의 구형체 및/또는 볼, 및
자기적 결합에 의해 상기 가동 레일을 상기 고정 위치 레일에 대해 움직이고 또한 가동 레일의 성공적인 운동 후에는 그 가동 레일을 정지된 상태로 유지시키도록 구성된 유닛을 포함한다.
가장자리-홈 상호 작용 및 원통이 사용되지 않으므로, 장치는 매우 간단하게 또한 비용 효과적으로 제조될 수 있다. 예컨대, 볼 베어링용 볼로 판매되고 있는 통상적인 볼이 사용될 수 있어, 노치를 갖는 복잡한 원통 형상이 제공될 필요가 없다. 또한, 가동 레일 및 고정 위치 레일의 구성은 상당히 더 간단한 방식으로 이루어질 수 있는데, 이것들은 원통과 상호 작용하는 치부를 더 이상 가질 필요가 없기 때문이다.
또한, 구형체에 의해 이용 가능하게 되는 접촉점으로 더 긴 작동 시간이 실현될 수 있는 것으로 나타났다. 이는, 원통 표면의 사용이 규정되는 종래 기술과는 대조적인데, 이것들은 볼의 접촉점 보다 상당히 더 하중적이고 내마모성을 갖는 것으로 생각되기 때문이다. 그러나, 본 발명의 사용시, 반대가 되는 것으로 나타났는데, 즉, 공지된 원통 형상 보다 볼 및/또는 구형체의 접촉점에 의해 더 긴 작동 수명이 얻어질 수 있다.
구형체는 가동 레일의 선형 운동이 적어도 2개의 점 사이에서 규정되도록 가동 레일을 안내하기 위해 구성되어 있다. 접촉점의 사용을 통해, 마모 또는 마멸이 크게 감소될 수 있어, 공구 수명이 증가하게 된다.
자기력에 의해 움직일 수 있는 레일에 의해 이의 구동이 가능하게 되고, 구동은 외부에서 전달되며, 또한 구동은 예컨대 진공 챔버의 챔버 벽에서 인터페이스를 필요로 하지 않은데, 구동은 가기적 결합으로 일어날 수 있기 때문이다.
본 장치는 직선형 트랙 또는 평면 내에서 휘어져 있는 트랙(고정 위치 트랙)을 따르는 가동 부분(가동 레일)의 운동을 가능하게 해준다.
따라서 본 발명은 특히 초고진공(UHV)에서 윤할유 없이 미끄럼 마찰이 없는 선형 또는 준선형 운동 부분을 위한 역학을 설명한다. 이 운동은 구름 볼로 일어날 수 있고, 운동체의 마지막 두번째 자유도는 하우징을 통한 공기측으로부터 진공 내에서의 사용시 공기측으로부터 하우징을 통한 자기적 결합에 의해 결정된다. 이 결합은 동시에 힘과 운동을 전달하는 역할도 한다.
힘은 구름 마찰만 일어나고 미끄럼 마찰은 회피되도록 결정된다. 정마찰에 의한 볼의 안내를 통해, 장치는 미끄럼 마찰이 없고 또한 미끄럼 마찰이 없기 때문에 윤활이 필요 없으며, 그래서 이는 윤활유 없이 작동될 수 있다.
예컨대, 장치는 윤활(UHV에서의 윤활)이 일어날 필요 없이 3 x 107 이상의 사이클로 사용될 수 있다. 따라서, 메카니즘은 100 배 이상으로 종래 기술을 초과하는 신뢰성을 얻는다. 장치를 7.5 Hz에서 작동시킬 때의 압력 증가는 움직이지 않는 장치와 비교하여 ≤5 x 10-1 3mbar(5 x 10-11 Pa) 이어서, 얻어진 순도 특성도 마찬가지로 종래 기술을 100 배 이상 초과한다.
자기적 결합은 힘이 트랙을 따라 전달될 수 있도록 수행된다. 이는 가동 레일을 변위시키는 역할을 한다.
DE 10 2007 012 370 A1에는, 고정 위치 레일에 대한 가동 레일의 운동을 수행하기 위한 원통형 롤러가 구성되어 있는 장치가 나타나 있다. 여기서, 본체의 안정적인 보관이 적어도 3개의 접촉점, 각각 접촉선에 의해 설명된다. 그러나, 본 발명의 중요한 양태는, 본 발명에 따른 장치는 가동 레일의 안정적인 보관을 여전히 달성하기 위해 단지 2개의 접촉점을 필요로 한다는 것이다. 이는 본 발명에 따라, 가동 레일의 운동 축선에 대해 y-z 평면에서의 y 및 z 위치 설정이 구형 센터 및 자기적 결합과 관련한 x-축 주위로의 회전에 의해 일어나도록 볼의 정밀한 배치로 일어난다. 이러한 운동은 DE 10 2007 012 370 A1에 기재되어 있는 바와 같은 원통으로는 이해될 수 없고, 이러한 이유로, 원통을 볼로 교체하는 것은 결코 자명한 것이 아닌데, 당업자는 필요한 운동은 볼로 보장되지 않는다고 생각해야 할 것이기 때문이다.
통상적인 볼 베어링은 볼과 두 링 사이에 어떤 틈새를 가지고 있음을 유의해야 한다. 오염물질, 예컨대 미네랄 먼지 시드(seed)가 이제 볼과 한 링 사이에 도달하는 경우, 그 먼지 시드가 틈새 보다 작은 한 이는 문제가 되지 않는다. 그러나 먼지 시드가 틈새 보다 크면, 시트 및 볼 상의 그의 접촉 표면에 작용하는 힘은 매우 빠르게 증가하고 또한 시드의 크기에 크게 의존하는데, 볼 및 링은 경화강으로 형성되고 이러한 이유로 그의 변형에 큰 힘이 사용되어야 하기 때문이다. 그리하여, 특히 진공에서 볼 베어링의 빠른 마모 및 파손이 일어날 수 있다. 오염에 의해 노치 또는 마멸성 물질이 생기게 되는데, 이 물질은 진공 내의 볼에 부착되고 케이지에서 마찰하고 이렇게 해서 짧은 기간 내에 많은 재료 마멸을 야기하며, 그래서 통상적인 작동의 경우에 볼을 차단하는 케이지의 굽힘에 의해 볼 베어링이 파손된다.
본 교시에서 개시된 베어링에 대해, 이 효과는 존재하지 않는데, 표면 압력은 자기적이고 또한 힘은 강과 비교하여 간격으로 상당히 더 약하게만 변하기 때문이다. 방해적인 입자 위를 지나갈 때, 입자를 지나갈 때 볼에 작용하는 힘은 법선 방향의 표면 압력으로 제한되는데, 이 압력은 일반적으로 미네날 먼지 시드에 의한 볼 또는 트랙의 손상을 야기하지 않는다. 미끄럼 마찰의 회피를 통한 마모 감소 외에도, 내부 기구에 도달하는 이물질로 인한 마모도 최소화된다.
마지막으로, 개시된 베어링은 연속적으로 작용하는 자기력으로 인한 틈새를 갖지 않는다. 통상적인 볼 베어링과는 대조적으로, 볼과 레이스는 일정한 힘으로 간격 없이 항상 서로에 가압된다. 따라서 지지는 이 방향의 틈새가 없고 더 정밀하게 설정될 수 있다.
바람직하게 가동 레일은 각 구형체를 위한 개별적인 표면을 가지며, 이 개별적인 표면에 볼과 같은 구형체가 놓일 수 있다. 가동 레일이 유닛에 의해 움직이자 마자, 구형체는 고정 위치 레일을 따라 구르고 고정 위치 레일에 대한 가동 레일의 선형 운동을 가능하게 해준다.
바람직하게는 각 개별적인 표면은 2개의 접촉부를 가지며, 바람직하게는, 각 구형체는 두 접촉부 사이에서 전후로 선형적으로 안내되도록 구성되어 있다. 운동의 안내는 트랙의 면에 수직하게 배치되는 표면, 바람직하게는, 가동부 및 고정 위치 트랙에 제공되는 만곡된 표면에 의해 일어나고, 안내는 구형체, 예컨대 볼에 의해 전달되며, 볼은 가동 레일과 고정 위치 레일 사이에서 구르게 된다.
바람직하게는, 선형적으로 변위 가능한 가동 레일이 이동할 수 있는 경로 길이는 적어도 2개의 접촉부 사이의 간격에서 구형체의 직경을 뺀 것으로 형성된다.볼의 운동 범위는 접촉부에 의해 제한된다. 이렇게 해서, 전체적인 운동 또한 트랙의 유한한 부분에 제한된다.
이와 관련하여, 접촉부는 상기 가동 레일 또는 고정 위치 레일에 제공될 수 있음을 유의해야 한다. 바람직하게는 접촉부는 가동 레일에 제공된다.
볼은 가동 레일과 고정 위치 레일 사이에서 대응적으로 높은 자기력에 의해 접촉부 사이에 강하게 유지되어, 미끄럼 마찰이 일어나지 않는다. 주기적인 운동시, 이렇게 해서 볼이 단부 접촉부 사이에 위치되고, 그래서 전체 운동은 미끄럼 마찰 없이 일어난다. 이렇게 해서 마멸이 최소화된다.
바람직한 실시 형태에 따르면, 가동 레일은 적어도 2개의 오목부를 포함하며, 각 오목부는 구형체를 수용하도록 구성되어 있다. 오목부는 가동 레일이 이동할 수 있는 미리 규정된 운동 범위를 형성한다.
2개의 오목부가 상기 가동 범위의 일측에 배치되거나 또는 이에 대한 대안으로 가동 레일의 상호 반대 측에 배치될 수 있다.
바람직하게는, 각 오목부는 개별적인 표면 및 2개의 접촉부를 가지며, 2개의 접촉부는 개별적인 표면에 적어도 실질적으로 수직하게 또는 수직하게 배치되어 있고, 개별적인 표면은 고정 위치 레일에 적어도 실질적으로 평행하게 배치되어 있다. 이렇게 해서, 오목부는 가동 레일의 운동 범위를 간단하게 규정한다.
특히 바람직한 실시 형태에 따르면, 가동 레일은 상기 유닛과 자기적 결합을 하도록 구성된 결합 웨브를 포함한다. 그래서, 상기 고정 위치 레일에 대한 가동 레일의 운동은 그 결합 웨브의 운동에 의해 일어나게 된다.
바람직하게는, 결합 웨브는 적어도 하나의 오목부에 인접하여 제공되어 있다. 이렇게 해서, 가동 레일의 구동은 가동 레일의 운동 범위를 규정하는 가동 레일의 부분의 옆에서 일어날 수 있다. 특히 바람직하게는 결합 웨브는 그래서 두 오목부 사이에 제공된다.
바람직하게는, 적어도 하나의 안내 홈이 가동 레일에, 바람직하게는 개별적인 표면에 제공되고, 구형체가 가동 레일의 선형 운동을 미리 규정하기 위해 상기 안내 홈에서 안내된다. 더욱이, 특히, 구형체가 안내되는 적어도 하나의 안내 홈이 고정 위치 레일에 제공되어 있다. 이러한 안내 홈은 가동 레일을 안내 레일에 대해 정밀하게 선형적으로 안내하는 역할을 한다.
바람직하게는, 2개의, 바람직하게는 정확히 2개의 구형체가 가동 레일의 선형 운동 방향에 평행한 평면 내에 배치된다.
4개의 가동 구형체를 사용할 때, 바람직하게는 평면 당 2개의 구형체가 배치되며, 그 두 평면은 서로 적어도 실질적으로 수직하게 또는 서로에 수직하게 배치되어 있다.
이와 관련하여, 한편으로 볼은 구름 표면의 반경을 가능한 한 크게 하여 마모를 최소화하기 위해 가능한 한 크게 치수 결정되어야 함을 유의해야 한다. 다른 한편으로, 볼은 가속 운동 중의 관성력이 볼의 미끄럼을 야기하지 못하도록 가능한 한 작게 치수 결정되어야 한다.
빠른 운동을 위해서는, 일반적으로 가동 레일의 질량을 가능한 한 작게 유지하는 것이 유리하다. 이러한 이유로, 가동 레일은 가동 레일의 질량을 줄이기 우해 예컨대 중심 영역에서 예컨대 홈, 노치, 또는 보어와 같은 컷아웃을 가질 수 있다.
특히 바람직하게는, 고정 위치 레일은 유닛과 가동 레일 사이에 배치되고, 유닛은 가동 레일을 고정 위치 레일에 대해 움직이도록 구성되어 있다. 이렇게 해서, 컴팩트한 셋업이 보장될 수 있다.
바람직하게는, 가동 레일 및/또는 결합 웨브는 자성 재료, 바람직하게는 비강자성 재료를 포함한다. 이는, 진공에서 영구 자석이 제공되지 않음을 의미하고, 이렇게 해서, 장치는 UHV 범위에서도 작동될 수 있다. 이와 관련하여, 볼 및 가동 레일을 예컨대 진공 챔버 내의 한 위치에 유지시키도록 구성된 유지 요소 및 장치는 가능한 한 적은 수의 부품으로 구성되도록, 가동 레일은 바람직하게는 단일체로 구성된다. 이렇게 해서, 최소의 표면적이 진공 내에 도입될 수 있고 챔버의 순도가 가능한 적게 영향을 받는다.
바람직하게는, 유닛은, 상기 가동 레일을 특히 선형적으로 움직이고 또한 그 가동 레일을 정지된 상태로 유지시키도록 구성된 자석을 포함한다.
바람직하게는, 유닛은 자성 재료, 및 가동 레일에 대한 자기적 결합을 가능하게 해주는 반대로 분극된 적어도 한 쌍의 자석을 포함한다. 이러한 구성으로, 유닛과 가동 레일 사이의 자기적 결합 외에도 특히 작은 자기적 산란장(scatter field)을 형성시킬 수 있는 고리형 자기장 선이 생성된다.
특히 바람직하게는, 상기 유닛은 2개의 롤러를 포함하고, 유닛은 그 롤러에 의해 상기 고정 위치 레일에 대해 변위될 수 있다. 롤러는 고정 위치 레일에 대한 유닛의 비교적 낮은 마찰 운동을 가능하게 해준다.
선택적으로, 제 2 유닛이 유닛의 반대 (정상) 측에 배치될 수 있으며, 제 2 유닛은 제 1 유닛에 대해 운동 방향으로 기계적으로 고정 결합되는 더 약한 자석을 갖는다. 이는 가동 레일의 정상 측에 있는 2개의 추가적인 태핏에서 자기적으로 상호 작용하고, 전달될 수 있는 힘을 증가시킨다. 처음에 그것은 운동 방향의 축선을 중심으로 하는 회전력에 대해 가동 레일을 안정화사킨다. 추가적으로, 그것은 볼에 대한 접촉 압력을 줄여주어, 마모가 더 감소된다.
선택적으로, 유닛은 진공 내의 배치에 대해 거울상(mirror image)으로서 "2개의 층으로" 있는 2개의 부분으로 형성될 수 있다. 이와 관련하여, 하우징에 더 가까운 층은 절반의 속도로 움직이는데, 이는 진공 내의 볼과 유사함을 의미한다. 하우징으로부터 더 멀리 있는 층은 가동 레일과 유사하게 움직인다. 가동 레일을 위한 결합 자석은 더 멀리 떨어져 배치되는 이 면에 장착된다. (자성) 강 볼이 사용되면, 결합 자석은 진공 내의 볼의 위치에서 유닛에 더 가까운 면에 배치될 수 있고, 자석은 볼에 직접 작용한다. 이리하여, 볼이 운동 방향으로 더 강하게 안내되고, 이렇게 해서 미끄럼 마찰이 더 감소되고 그리고/또는 미끄럼 마찰에 의한 마모의 증가 전에 더 높은 가속도가 얻어질 수 있디.
선택적으로, 유닛은 유닛의 운동 범위를 규정하는 가이드에 배치된다. 가이드에 의해 외부로부터 가동 레일은 규정된 운동 범위에서 움직일 수 있다.
바람직하게는, 가동 레일은 푸시 로드에 배치되어 있는 대상물을 밀기 위해, 특히 대상물을 선형적으로 밀기 위해 푸시 로드로 구성되어 있다. 예컨대, 구멍, 타겟, 작업물 등이 사용시 들어 오고 제거될 수 있도록 가동 레일을 이것들을 진공 챔버 내에서 복수의 지점 사이에서 변위시킬 수 있다.
유리하게, 고정 위치 레일은 진공 챔버의 적어도 하나의 챔버 벽에 의해 형성되어 있다. 이렇게 해서, 진공 내에서의 운동의 전달은 자기력 및 고정 레일(챔버 벽으로 구성됨)과 가동 레일 사이에 있는 2개의 구름 구형체에 의해 이루어질 수 있다.
예컨대 진공 측에 있는 강 부품의 사용시, 진공 챔버는 매우 높게, 예컨대 400℃까지 가열될 수 있다. 공기 측에서 재료의 동시적인 대응하는 선택시, 여기서 ＞ 300℃의 작동 온도가 가능하다. 장치의 작동 온도는 단순히 재료, 예컨대 장치의 사용되는 강 합급의 고온 특성에 의해 제한된다.
추가 양태에 따르면, 본 발명은 진공 챔버, 예컨대 코팅 플랜트에 관한 것으로, 이는 여기서 설명한 바와 같은 장치 및 가동 레일에 배치되고 예컨대 공간 내의 두 점 사이에서 구멍을 변위시킬 수 있는 푸시 로드를 가지며, 그 장치는 진공 챔버 내에서 구멍에 대해 푸시 로드를 움직이도록, 바람직하게는 선형적으로 움직이도록 구성되어 있다.
본 발명에 따른 장치와 관련하여 논의된 이점은, 본 발명에 따른 진공 쳄버에도 유사하게 해당된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 순수히 예시적으로 설명한다
도 1은 본 발명에 따른 장치를 하우징을 절단한 종단면의 측면도로 개략적으로 도시한다.
도 2는 도 1의 장치의 등각도이다.
도 3은 도 2의 도면을 통해 A - A 단면선을 따르는 방향에서 본 길이방향 축선에 대한 횡단면을 나타낸다.
도 4는 도 1의 장치의 추가의 등각도로, 자성 트롤리 가이드 및 안전 클립이 나타나 있다.
도 5는 본 발명에 따른 추가의 장치의 개략도이다.
도 6은 본 발명에 따른 추가의 장치의 개략도이다.
도 7은 본 발명에 따른 추가의 장치의 개략도이다.
도 8은 본 발명에 따른 추가의 장치의 개략도이다.
도 9는 본 발명에 따른 추가의 장치의 개략도이다.
도 1은 셔터 기구(50')의 예로 본 발명에 따른 장치(50)를 하우징(1)을 절단한 종단면의 측면도로 개략적으로 도시한다. 이 예시적인 설계에서 하우징(1)은 초고진공 플랜지(1)(스테인레스강 크기 DN CF40)로 형성되고, 그에 용접되는 비자성 스테인레스강 관(2)(18 x 1의 크기) 및 그에 용접되는 커버 플레이트(3)를 갖는다.
푸시 로드(4)로 구성된 가동 레일(4') 및 2개의 강 보어(5)가 하우징(1)에 배치된다. 푸시 로드(4)는 스테인레스 강 1.4112의 특정한 경우에 자성, 비강자성 재료로 구성된다. 이렇게 해서 얻어질 수 있는 부착력은 푸시 로드(4)의 정확한 기능을 얻는데 충분하고 NdFeB 또는 CoSm와 같은 재료의 사용을 더 피하고, 이 재료는 영구 자석으로서는 상당히 더 강한 자기장을 갖지만 초고진공에는 쉽게 적합하지 않다.
푸시 로드(4)는 단지 두 지점에서 강 볼(5) 상에 있다. 강 볼(5)은 스테인레스강 관(2)의 하측 내면(6)을 따라 구르고 이렇게 해서 푸시 로드(4)의 선형 운동을 가능하게 해준다. 스테인레스강 관(2)은 고정 위치 레일(2')을 형성하고, 가동 레일(4')이 그 레일에 대해 움직일 수 있다.
장치(50, 50')는 푸시 로드(4), 고정 위치 레일(2'), 자성 트롤리(7')를 갖는 유닛(7), 및 고정 위치 레일(2')과 가동 레일(4') 사이에 배치되는 2개의 볼(5)을 포함한다. 가동 레일(4')은 동시에 유닛(7)에 의해 고정 위치 레일(2')에 대해 움직이고, 자기적 결합에 의해 그 유닛에 대해 유지된다. 이러한 목적으로, 유닛(7)은 2개의 둥근 자석(8)을 갖는 자성 트롤리(7')를 갖는다.
본 예에서, 레일 자석(8)은 5 mm의 높이에 대해 10 mm의 직경을 갖는다. 일반적으로 말해서, 둥근 자석은 5 mm 내지 20 mm의 직경 및 3 mm 내지 10 mm의 높이를 가질 수 있다. 둥근 자석(8)은 NdFeB로 만들어진다.
둥근 자석(8)은 가동 레일(4')에 제공되어 있는 태핏(tappet)(9)과 자기적으로 결합한다. 태핏(9)은 가동 레일(4')의 결합 웨브(10)에 배치되고, 태핏은 커플링 웨브(10)의 하측면으로부터 내면(6)의 방향으로 돌출한다. 고정 위치 레일(2')에 대한 가동 레일(4')의 운동은 유닛(7') 및 그래서 결합 웨브(10)의 운동에 의해 일어난다.
가동 레일(4')의 중량을 줄이기 위해, 결합 웨브(10)는 4개의 보어(11)를 더 포함한다. 이 예에서, 커플링 웨브(10)의 측벽은 또한 접촉부(14)를 형성한다. 오목부(12)가 가동 레일(4)의 일측, 즉 가동 레일(4')의 태핏(9)과 동일한 측에 배치되어 있다.
결합 웨브(10)는 2개의 오목부(12) 사이에 배치된다. 각 오목부(12)는 각각의 볼(5)이 놓이는 개별적인 표면(13) 및 개별적인 표면(13)에 수직하게 배치되는 2개의 접촉부(14)를 갖는다. 각각의 볼(4)은 오목부(12)의 두 접촉부(14) 사이에서 전후로 선형적으로 안내된다. 두 접촉부(14) 사이의 간격은, 선형적으로 변위 가능한 가동 레일(4')이 이동할 수 있는 경로 길이를 규정한다. 개별적인 표면(13)은 고정 위치 레일(2')에 평행하게 배치된다. 접촉부(14)와 개별적인 표면 사이의 천이부는, 이 위치에서의 피로 파손을 방지하기 위해 만곡된 표면으로 구성되어 있고, 직사각형 등으로 형성될 수도 있다. 볼(5)이 이들 천이부에 접촉하지 않고 먼저 접촉부(14)에 접촉하도록, 천이부의 곡률 반경은 각각의 볼(5)의 반경 보다 작게 되어 있다.
자성 트롤리(7)의 중심체(26)(도 2 참조)가 마찬가지로 자성 재료, 특히 스테인레스강 1.4112로 만들어진다. 둥근 자석(8)은 반대되는 분극(polarization)으로 자성 트롤리(7') 상에 배치되고, 둥근 자석(8)은 자신의 자성으로 그 자성 트롤리에 부착된다. 그래서 추가의 홀더는 필요 없다.
반대되는 분극을 통해(정상부에서 북극을 갖는 자석(8), 바닥부에서 북극을 갖는 자석(8)), 공기측과 진공측에 있는 작은 틈과는 별도로, 고투과성 재료를 통과하고 그래서 최소의 산란장(scatter field)을 생성하는 고리와 비슷한 자기장 선이 형성된다. 그래서, 서로 반대로 배향되는 결합 자석(8)을 가지며 쌍으로 배치되는 짝수 개의 결합 자석을 사용하는 것이 유리하다.
자기장 선에 의해, 두 태핏(9) 및 가동 레일(4')은 자석(8)에 대해 움직이지 않게 유지된다. 유닛(7)이 관(2)에 대해 움직일 때, 가동 레일(4')이 유닛(7)과 동일한 방향으로, 즉 길이 방향(L)의 방향으로 안내되도록 태핏(9)은 자기적 결합에 의해 유닛의 운동을 따라 이동한다.
자석(8)의 자기적 강도는, 가동 레일(4')이 유닛(7)의 방향으로 그래서 볼(5)의 방향으로 끌리도록 강하게 선택되며, 그래서 볼(5)은 가동 레일(4')과 고정 위치 레일(2') 사이에 클램핑된다. 그러나, 이 클램핑은, 볼(5)이 더 이상 두 레일(4', 2')에서 탄성적으로 구르지 않고 볼과 레일이 서로를 소성적으로 상호 변형시켜 결과적인 재료 마모("프렛팅(fretting)")에 의해 서로를 상호 파손시키기에 강하게 압축되도록 강하게 되도록 허용되지 않는다. 이 클램핑 압력의 설정은, 한편으로 높은 빈도의 운동을 달성하거나 다른 한편으로는 최소의 마모를 달성하기 위한 실질적인 최적화 과제이다.
자석(8)의 대칭 축선의 간격은 바람직하게는 다르게 선택되는데, 바람직하게는 태핏(9)의 중간 면의 간격 보다 약간 작게 선택된다. 이 결과, 운동 방향으로 더 강한 결합이 있게 되는데, 이는 가동 레일(4')과 유닛(7')의 서로에 대한 상대적인 편향시에 복원력의 더 빠른 증가가 있음을 의미한다. 태핏(9)의 폭의 운동 방향 편차, 자석(8) 직경의 편차 및 태핏(9)과 자석(8)의 일반적인 편차적인 형상은 동일한 효과를 가질 수 있고 추가의 최적화에 사용될 수 있다.
도 2는 도 1의 장치의 등각도를 나타낸다. 이 두 플라스틱 롤러(15)에는, 자성 트롤리(7')가 스테인레스강 관(2)의 외측면에서 구를 수 있도록 제공되어 있다.
이와 관련하여, 볼 베어링이 사용될 수 있지만, 폴리옥시메틸렌(POM)의 롤러가 극히 양호한 마로 탄력성을 가지며(일반적으로 3천만번 이상 사이클의 윤활로) 또한 작동시 상당히 더 조용한 것으로 나타났다.
자성 트롤리(7')는 2개의 활주 판(16)을 더 가지며, 반대쪽의 활주 판은 나타나 있는 도면에서는 보이지 않는다. 활주 판(16)은 마찬가지로 POM으로 만들어진다. 자성 트롤리(7')가 관의 길이방향 축선(L)에 평행한 직선을 따라 움직이도록, 활주 판(16)은 자성 트롤리 가이드(17)(도 4 참조)에서 자성 트롤리(7')를 지지한다.
도 3은 도 2의 도면을 통해 A - A 단면선을 따르는 뒤쪽 방향에서 본 길이방향 축선(L)에 대한 횡단면을 나타낸다. 푸시 로드(4)의 볼(5)에서 구르는 표면(13)은 안내 홈(18)으로서 만곡되어 제조된다. 안내 홈(18)은 볼(5)의 반경 보다 대략 4% 큰 반경을 갖는다. 이 반경 비는 대부분의 볼 베어링에 사용되고 또한 이 경우에 성공적인 것으로 입증되었다. 반경의 차는 이를 이미지에서 보기에는 너무 작다.
따라서 푸시 로드(4)의 횡방향 안내는 자석의 외측 위치 설정을 통해 일어나고, 이는, 가동 레일(4')이 볼에 가하는 그리고 볼로부터 고정 위치 레일(2') 및 운동 천이부에 가해지는 접촉력 외에도, 볼(5)에 있는 가동 레일(4')의 내측 만곡부 및 볼(5)이 구르는 관(2)의 내측 만곡부 둘다를 통해 횡방향 복원력을 가할 수 있다. 이렇게 해서 관(2)의 만곡부는 하측 안내 레일의 기능을 하게 되며, 이 하측 안내 레일은 최신 기술에서 여전히 추가의 개별적인 요소로 이루어지고 그래서 고정 위치 레일(2')에 제공되는 안내 홈을 형성한다.
고정 위치 레일(2')은 유닛(7)과 가동 레일(4') 사이에 배치되고, 가동 레일(4')은 고정 위치 레일(2')에 대해 움직일 수 있다.
도 4는 자성 트롤리 가이드(17)를 갖는 도 1의 장치의 추가의 등각도를 나타낸다. 자성 트롤리 가이드(17)는 일반적으로 양극 처리된(anodized) 알루미늄으로 만들어진다. 이는, 셔터 기구(50')가 연결되어 있는 진공 챔버(1)가 가열되어야 하는 경우에, 도구 없이 2개의 널링처리된(knurled) 스크류(나타나 있지 않음)에 의해 트롤리(7')와 함께 제거될 수 있다.
자성 트롤리 가이드(17)는 가이드 프레임(21) 및 이에 수직하게 배치되는 유지 링(20)을 포함한다. 가이드 프레임(21)은 개구(24)를 포함하고, 자성 트롤리(7')를 갖는 유닛(7)이 그 개구에서 안내된다. 개구(24)는 자성 트롤리(7'), 즉 활주 판(16)의 외면(16') 사이의 간격 보다 약간만(대략 0.2 mm) 더 넓으며, 그래서 상당한 횡방향 변위가 가능하지 않고, 그래서 선형 운동으로부터의 편차가 생기지 않는다. 개구(24)의 길이는 자성 트롤리(7')가 이동할 수 있는 경로 길이를 규정한다. 이렇게 해서 개구의 길이는 가동 레일(4')이 관(2)에서 이동할 수 있는 경로 길이에 대응한다. 자성 커플링은 강성적이지 않기 때문에, 볼(5)이 접촉부(14)에 접촉하기 전에, 개구(24)의 길이는 유리하게 가동 레일(4')의 경로 길이 보다 약간 작게 선택된다. 이렇게 해서, 볼(5)이 접촉부(14)에 접촉함이 없이, 단부 위치에 이를 때 가동 레일(4')의 과도 여기가 가능하다.
유지 링(20)과 가이드 프레임(21) 사이에 있는 연결 스크류(나타나 있지 않음)를 위한 만곡된 홈(22)에 의해, 자성 트롤리(7')의 방위 위치가 무단계적으로 설정될 수 있다. 하우징이 실제로 임의의 배향으로 진공 챔버 상에 나사 결합될 수 있도록, 만곡된 홈(22)은 플랜지(1')의 체결 구멍(23)의 부분 원 상에서 하나 이상의 각도 구멍 간격을 포함하도록 구성되어 있지만(이 경우에는 60°), 셔터 기구(10)는, 푸시 로드(4)가 볼 위에서 수직인 상태에서, 나타나 있는 수직 배치에서 항상 작동할 수 있다. 이는 기계 부품의 균일한 마모 및 그래서 최대 수명을 보장하기 위해 유리하다.
더 긴 작동 시간 후에 자성 트롤리의 방위 위치가 몇도 만큼 움직일 때 수명이 더 증가될 수 있는 것으로 나타났고, 고정된 레일(2') 상의 마모 트랙은 이전에 사용되지 않은 표면 상으로 변위된다.
도 4는 특히 장치(50)가 진공 챔버(나타나 있지 않음)에 수직하게 연결될 때, 가동 레일(4') 및 분리된 자성 트롤리(7')를 위한 볼(5)이 관(2)으로부터 빠지는 것을 방지하는 안전 클립(19)을 더 나타낸다. 안전 클립(19)은 관(2)의 내면(6)에 있는 홈에 체결된다. 따라서 안전 클립(19)은 일반적으로 이 목적으로 제공된 플라이어(plyer)로 삽입될 수 있고 다시 제거될 수 있다.
이렇게 해서, 장치(50)의 조립 및 분해를 위한 추가의 도구가 필요 없다. 특히, 나사 결합, 용접 연결 또는 리벳 연결이 필요 없고, 그래서 틈에 있는 오염물 또는 실질적으로 누출에 의한 초고 진공의 우발적인 오염이 회피된다. 하우징(1)을 제외하고, 진공과 접촉하는 모든 부분은 이 문제를 피하기 위해 단일체로 만들어진다.
하우징(1) 및 진공 챔버의 챔버 벽을 형성하는 관(2)은 고정된 위치 레일(2')로서 역할하고, 이렇게 해서 장치(50)는 제조시 간단하고 튼튼하고 비용 효과적이다.
도 5는 본 발명에 따른 추가 장치(50)를 개략적으로 도시한다. 이 장치(50)에서, 볼(5)은 가동 레일(4')의 상호 반대 측에 배치된다. 이 변형예는 약간 더 짧게 형성될 수 있는데, 자성 트롤리(7')는 더 이상 움직이지 않을 정도로 강하게 끌어 당겨질 필요가 없도록 일측에서 볼(5)에 대한 간격만 유지하면 되기 때문이다. 도 1 내지 4에 나타나 있는 변형예와는 달리, 결합 웨브(10)는 한 오목부(12)애만 인접하여 제공되어 있다. 이 경우 중심 접촉부(14)는 양 오목부(12)에 대한 접촉부를 형성한다.
그러나, 또한, 이 변형예에서 측방(도 5의 이미지 면에 수직) 평형 위치는 불안정한 것으로 나타났다. 이는 후방 볼(5)의 아래쪽 영역에서 바닥측에 있는 제 2 자성 트롤리(나타나 있지 않음)에 의해 교정될 수 있다. 그러나, 푸시 로드(4)의 형상, 볼(5)의 크기 및 관(2)의 내경에 대한 치수 공차는, 이 변형예의 불필요하게 정밀한 제조가 요구되도록 더해진다. 이는 또한 신뢰성에도 영향을 준다. 그러나, 반대쪽에 배치되는 볼(5)을 갖는 변형예는 서로에 수직하게 서 있는 2개의 평면(도 7 참조)에서 연장될 수 있는데, 이는 큰 행정에 대해 상당히 유리하다.
도 5의 변형예에 대해, 푸시 로드(4)에 구멍이 제공될 수 있다. 이러한 구멍은 예컨대 코팅 플랜트, 예컨대 분자 비임 증착 플랜트에서 사용될 수 있다.
가동 레일(4')은 구멍과 같은 대상물을 전후로 선형적으로 움직이기 위해 푸시 로드(4)로 구성되어 있고, 대상물은 푸시 로드(4)에 배치된다
도 6은 본 발명에 따른 추가의 장치를 개략적으로 도시한다. 도 1 내지 5에 나타나 있는 실시 형태에 대해, 정확히 2개의 볼(5)이 가동 레일(4')의 선형 운동 방향에 평행한 평면에 배치된다.
도 7의 변형예와 유사하게, 도 6에 나타나 있눈 변형예에 대해, 두 쌍의 볼(5)이 직사각형 관(2)에 제공된다. 도 6의 예에서, 직사각형 고정 위치 레일(2')이 관(2)으로서 제공된다. 가동 레일(4')은 고정 위치 레일(2')에 대해 45°만큼 회전되어 있다. 4개의 볼(5)이 가동 레일(4')의 평평한 측면과 고정 위치 레일(2')의 가장자리 사이의 간격에 배치된다. 이렇게 해서, 4개의 볼이 두 평면 내에 제공되어 있고, 그 두 평면은 서로에 수직하고 또한 운동 방향에 평행하다.
도 7은 본 발명에 따른 추가의 장치를 개략적으로 나타낸다. 이 실시 형태에 대해, 서로 반대편에 배치되는 볼(5)을 갖는 도 5에 나타나 있는 변형예는, 가동 레일(4')이 서로에 수직하게 서 있는, 도 5에 나타나 있는 것과 같은 2개의 가동 레일(4')로 형성되는 변형예로 확장되어 있다.
이렇게 해서, 4개의 오목부(12)가 가동 레일(4')의 상호 반대 측에서 십자가 형태로 배치되는 가동 레일(4')에 제공되어 있고, 두 오목부(12)는 서로에 대해 직각으로 가동 레일(4')의 전방 영역에 배치되어 있고, 그래서 그의 개별적인 표면(13)이 정사각형 관(2)의 내면(6)과 대향하여 존재한다. 두 오목부(12)는 마찬가지로 가동 레일(4')의 후방 영역에서 서로에 대해 직각으로 배치되어 있고, 그래서 그의 개별적인 표면(13)은 정사각형 관(2)의 내면과 대향하여 존재한다. 이렇게 해서, 중심에 배치되어 있는 십자가형 웨브(나타나 있지 않음)가 모든 4개의 오목부(12)에 대한 접촉부(14)를 형성한다.
4개의 볼(5)이 중심에서 고정 위치 레일(2')의 평평한 측에 배치되고, 이렇게 해서 가동 레일(4')을 지지한다. 이 변형예에 대해, 서로에 수직인 평면 당 2개의 개별적인 볼이 제공되어 있다.
이러한 목적으로, 도 5에 나타나 있는 가동 레일(4')과 유사한 가동 레일(4')이 각 평면에 구성되어 있는데, 이는 볼 쌍의 두 볼(5)은 가동 레일(4')의 전방 영역에 배치되고, 각 쌍의 다른 두 볼(5)은 가동 레일(4')의 후방 영역에 배치되어 있다.
도 8은 본 발명에 따른 추가의 장치(50'')를 개략적으로 도시한다. 이 변형예에 대해, 결과적인 운동은 선형적으로 일어나지 않고, 원호를 따라 일어난다. 이러한 배치는, 기능적 능력을 보장하기 위해 사용 영역에서 결합 자석(8)과 푸시 로드(4) 사이에 충분히 작은 간격이 유지되는 한, 볼록한 만곡 및 오목한 만곡 둘다로 가능하고, 심지어 원형 트랙에서 일어나지 않는 운동도 가능하다.
도 9는 도 6과 유사한 본 발명에 따른 추가의 장치(50')를 개략적으로 도시한다. 도 6과는 대조적으로, 볼(5)은 고정 위치 레일(2')로서 직사각형 관(2)이 아닌 원통형 관(2) 안에 배치된다. 각각 두쌍의 볼(5)이 가동 레일(4')의 상호 반대 측에 배치되어 있다. 4개의 볼(5)은 마찬가지로 2개의 평면에 제공되어 있고, 두 평면은 서로에 수직이고 또한 운동 방향에 평행하게 배치된다. 원통형 외측 관(2)의 배치를 통해, 각 볼(5)은 고정 위치 레일(2')에서 하나의 접촉점으로 접촉을 갖는다. 도 6에서, 볼은 각각 2개의 접촉점에서 고정 위치 레일(2')에 있다. 도 9의 배치를 통해, 도 7의 실시 형태의 구름 운동과 유사한, 접촉점을 중심으로 하는 추가 회전이 없는 구름 운동이 마찰 및 마모의 감소를 위해 일어난다.
추가적으로, 가동 레일(4)은, 안정화에 필요한 힘의 대응적인 공동 회전을 위해 평면에 수직인 축선 주위의 임의의 회전 위치로 회전될 수 있다.
변형예에 따라, 고정 위치 레일(2')은 가동 레일(4')의 운동 축선에 수직인 둥근, 정사각형 또는 직사각형 단면을 가질 수 있다.
앞에서 설명한 장치(50, 50', 50'')에 사용될 수 있는 코팅 플랜트를 위한 진공 챔버(나타나 있지 않음)는, ≤0.1 Pa, 바람직하게는 ≤5 x 10-3 Pa ≤ 5 x 10-7 Pa를 챔버에서 생성시킬 수 있는 적어도 하나의 진공 펌프, 및 예컨대 진공 챔버 내에서 구멍을 움직이기 위해 푸시 로드(4)의 가동 레일(4')을 이동시키도록 장치(50, 50', 50'')의 하우징(1)이 연결될 수 있는 플랜지를 포함할 수 있다.
이와 관련하여, 볼(5)은 0.5 mm 내지 최대 1 mm의 볼 직경을 가질 수 있지만, 바람직하게는 3 mm 내지 최대 15 mm의 볼 직경을 갖는 볼(5)이 사용됨을 유의해야 한다. 여기서 나타나 있는 볼(5)에 대해, 8 mm의 직경이 사용된다.
여기에 나타나 있는 결합 자석은 0.5 T의 자기장 강도를 갖는다. 관(2)의 재료 및 관(2)의 벽 두께에 따라, 0.2 T 내지 1 T의 자기장 강도가 사용될 수 있다.
바람직하게는 스테인레스강의 볼(5)이 장치(50, 50', 50'')에 사용되지만, 규소, 규소 합금으로 된 볼(5) 또는 예컨대 이산화지르코늄으로 된 세라믹 볼이 볼(5)로 사용될 수 있다.
1, 1' 하우징, 플랜지
2, 2' 스테인레스강 관, 고정 위치 레일
3 커버 플레이트
4, 4' 푸시 로드, 가동 레일
5 볼
6 2의 내면
7, 7' 유닛, 자성 트롤리
8 둥근 자석
9 태핏
10 결합 웨브
11 보어
12 오목부
13 개별적인 표면
14 접촉부
15 롤러
16, 16' 활주 판, 외면
17 자성 트롤리 가이드
18 안내 홈
19 안전 클립
20 유지 링
21 가이드 프레임
22 홈
23 체결 구멍
24 개구
26 중심체
50, 50', 50'' 장치, 셔텨 기구, 장치
L 길이방향 축선

Claims (30)

  1. 진공에서 미끄럼 마찰 및 윤활유 없이 운동하기 위한 장치(50, 50', 50'')로서,
    고정 위치 레일(2'),
    자기력에 의해 움직일 수 있는 가동 레일(4'),
    가동 레일(4')이 상기 고정 위치 레일(2')에 대해 움직일 수 있게 해주도록 구성되고, 상기 고정 위치 레일(2')과 가동 레일(4') 사이에 배치되는 2개 또는 4개의 구형체(5), 및
    자기적 결합에 의해 상기 가동 레일(4')을 상기 고정 위치 레일(2')에 대해 움직이고 또한 성공적인 운동 후에는 가동 레일(4')을 정지된 상태로 유지시키도록 구성된 유닛(7)을 포함하는, 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구형체(5)는 상기 고정 위치 레일(2')에 대한 가동 레일(4')의 선형 운동을 가능하게 하도록 구성되어 있는, 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4')은 각 구형체(5)를 위한 개별적인 표면(13)을 가지며, 이 개별적인 표면에 구형체(5)가 접촉하는, 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    각 개별적인 표면(13)은 2개의 접촉부(14)를 갖는, 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    각 구형체(5)는 두 접촉부(14) 사이에서 전후로 선형적으로 안내되도록 구성되어 있는, 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    선형적으로 변위 가능한 가동 레일(4')이 이동할 수 있는 경로 길이는 적어도 2개의 접촉부(14) 사이의 간격으로 형성되는, 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 접촉부(14)는 상기 가동 레일(4') 또는 고정 위치 레일(2')에 제공되어 있는, 장치.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4')은 적어도 2개의 오목부(12)를 가지며, 각 오목부(12)는 하나의 구형체(5)를 수용하도록 구성되어 있는, 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    각 오목부(12)는 개별적인 표면(13)을 갖고, 각 개별적인 표면(13)은 2개의 접촉부(14)를 갖는, 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 2개의 접촉부(14)는 개별적인 표면(13)에 수직하게 배치되어 있고, 개별적인 표면(13)은 상기 고정 위치 레일(2')에 적어도 평행하게 배치되어 있는, 장치.
  11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4')은 상기 유닛(7)과 자기적 결합을 하도록 구성된 결합 웨브(10)를 포함하고, 상기 고정 위치 레일(2')에 대한 가동 레일(4')의 운동은 상기 결합 웨브(10)의 운동에 의해 일어나는, 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4')은 상기 유닛(7)과 자기적 결합을 하도록 구성된 결합 웨브(10)를 가지며, 상기 고정 위치 레일(2')에 대한 가동 레일(4')의 운동은 상기 결합 웨브(10)의 운동에 의해 일어나고,
    상기 결합 웨브(10)는 적어도 하나의 오목부(12)에 인접하여 제공되어 있는, 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 결합 웨브(10)는 2개의 오목부(12) 사이에 제공되어 있는, 장치.
  14. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    적어도 하나의 안내 홈(18)이 가동 레일(4')에 제공되고, 상기 구형체(5)가 가동 레일(4')의 선형 운동을 미리 규정하기 위해 상기 안내 홈에서 안내되는, 장치.
  15. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 구형체(5)가 안내되는 적어도 하나의 안내 홈이 고정 위치 레일(2')에 제공되어 있는, 장치.
  16. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    2개의 구형체(5)가 상기 가동 레일(4')의 선형 운동 방향에 평행한 평면 내에 배치되는, 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    4개의 구형체(5)의 사용시, 평면 당 2개의 구형체가 제공되며, 2개의 평면은 적어도 서로 평행하게 또는 서로에 수직하게 배치되어 있는, 장치.
  18. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유닛(7)은 자성 재료, 및 가동 레일(4')에 대한 자기적 결합을 가능하게 해주는 반대로 분극된 적어도 한 쌍의 자석(8)을 포함하는, 장치.
  19. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유닛(7)은 2개의 롤러를 더 포함하고, 유닛(7)은 그 롤러에 의해 상기 고정 위치 레일(2')에 대해 변위될 수 있는, 장치.
  20. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유닛(7)은 이 유닛(7)의 운동 범위를 미리 규정하는 가이드(17)에 배치되는, 장치.
  21. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 고정 위치 레일(2')은 상기 유닛(7)과 가동 레일(4') 사이에 배치되며, 유닛(7)은 가동 레일(4')을 고정 위치 레일(2')에 대해 움직이도록 구성되어 있는, 장치.
  22. 제 11 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4') 및/또는 결합 웨브(10)는 자성 재료를 포함하는, 장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 자성 재료는 비강자성 재료를 포함하는, 장치.
  24. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유닛(7)은, 상기 가동 레일(4')을 움직이고 또한 그 가동 레일을 정지된 상태로 유지시키도록 구성된 자석(8)을 포함하는, 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 자석(8)은 가동 레일(4')을 선형적으로 움직이고 또한 가동 레일을 정지된 상태로 유지시키도록 구성되어 있는, 장치.
  26. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4')은 푸시 로드(4)에 배치되어 있는 대상물을 밀기 위해 푸시 로드(4)로 구성되어 있는, 장치.
  27. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가동 레일(4')은 푸시 로드(4)에 배치되어 있는 대상물을 선형적으로 움직이기 위해 푸시 로드(4)로 구성되어 있는, 장치.
  28. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 고정 위치 레일(2')은 진공 챔버(1)의 적어도 하나의 챔버 벽(2)에 의해 형성되어 있는, 장치.
  29. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 고정 위치 레일(2')은 가동 레일(4')의 운동 축선에 수직인 둥근, 정사각형 또는 직사각형 단면을 갖는, 장치.
  30. 코팅 플랜트를 위한 진공 챔버(1)로서, 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 장치(50, 50', 50''), 및 가동 레일(4')에 배치되는 푸시 로드(4)를 가지며, 상기 장치(50, 50', 50'')는 진공 챔버(1)에서 푸시 로드(4)를 움직이도록 구성되어 있는, 진공 챔버.
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