JP2003021138A - リニアガイド装置 - Google Patents

リニアガイド装置

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JP2003021138A
JP2003021138A JP2001205299A JP2001205299A JP2003021138A JP 2003021138 A JP2003021138 A JP 2003021138A JP 2001205299 A JP2001205299 A JP 2001205299A JP 2001205299 A JP2001205299 A JP 2001205299A JP 2003021138 A JP2003021138 A JP 2003021138A
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Japan
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guide rail
slider
guide device
linear guide
linear
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JP2001205299A
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Hiromasa Fukuyama
寛正 福山
Shigeru Endo
茂 遠藤
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NSK Ltd
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NSK Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/12—Arrangements for adjusting play

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構造で軽量化および低摩擦化を達成す
る。 【解決手段】 第１の案内レール５１と、該第１の案内
レール５１に沿って移動可能に第１の案内レール５１に
支持された第１のスライダ５２とを備えたリニアガイド
装置５０において、第１の案内レール５１は、強磁性体
とされて断面Ｌ字状の軸受面５３，５４を有し、第１の
スライダ５２は、第１の案内レール５１との間で磁気回
路７０を形成する永久磁石６３を含む強磁性の第１のコ
ア部材５５，５６を有し、磁気回路７０の外側で第１の
スライダ５２と第１の案内レール５１の軸受面５３，５
４との間に転動体としてのボールＢを介装する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業機械等に用い
られるリニアガイド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のリニアガイド装置として
は、例えば図３０に示すように、軸方向に延びる案内レ
ール１と、該案内レール１上に軸方向に移動可能に跨架
されたスライダ２とを備えたものが知られている。案内
レール１の両側面にはそれぞれ軸方向に延びる直線状の
転動体転動溝３が形成されており、スライダ２のスライ
ダ本体２Ａには、その両袖部４の内側面に、それぞれ転
動体転動溝３に対向する直線状の転動体転動溝３１が形
成されている。
【０００３】そして、これらの向き合った両転動体転動
溝３，３１の間には転動体としての多数のボールＢが転
動自在に装填され、そのボールＢの転動を介してスライ
ダ２が案内レール１上を軸方向に沿って移動できるよう
になっている。この移動につれて、案内レール１とスラ
イダ２との間に介在するボールＢは転動してスライダ２
の端部に移動するが、スライダ２を軸方向に継続して移
動させていくためには、これらのボールＢを無限に循環
させる必要がある。
【０００４】このため、スライダ本体２Ａの袖部４内に
更に軸方向に貫通する直線状の転動体通路８を形成する
と共に、スライダ本体２Ａの前後両端にそれぞれ転動体
循環部品としてのエンドキャップ５を固定し、このエン
ドキャップ５に上記両転動体転動溝３，３１間と上記転
動体通路８とを連通する半円弧状に湾曲した転動体循環
部６を形成することにより、転動体無限循環軌道を構成
している。
【０００５】なお、図において符号１０はスライダ本体
２Ａの端面にエンドキャップ５を固定するためのタップ
穴、１１はサイドシール、１２はタップ穴１０に締め付
けられるねじである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のリニアガイド装置においては、構造が複雑で軽量化
および低摩擦化に限界がある。本発明はこのような課題
を解決するためのなされたものであり、簡単な構造で軽
量化および低摩擦化を達成することができるリニアガイ
ド装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、請求項１に係る発明は、第１の案内レールと、該
第１の案内レールに沿って移動可能に前記第１の案内レ
ールに支持された第１のスライダとを備えたリニアガイ
ド装置において、前記第１の案内レールは、磁性体とさ
れて２つの軸受面を有し、前記第１のスライダは、前記
第１の案内レールとの間で磁気回路を形成する永久磁石
を含む磁性体の第１のコア部材を有し、前記磁気回路の
外側で前記第１のスライダと前記第１の案内レールの軸
受面との間に転動体を介装したことを特徴とする。
【０００８】請求項２に係る発明は、互いに平行配置さ
れた第１および第２の案内レールと、該第１の案内レー
ルに沿って移動可能に前記第１の案内レールに支持され
た第１のスライダと、前記第２の案内レールに沿って移
動可能に該第２の案内レールに支持された第２のスライ
ダと、前記第１のスライダと前記第２のスライダとを連
結する連結体とを備えたリニアガイド装置において、前
記第１の案内レールは、磁性体とされて２つの軸受面を
有し、前記第１のスライダは、前記第１の案内レールと
の間で磁気回路を形成する永久磁石を含む磁性体の第１
のコア部材を有し、前記磁気回路の外側で前記第１のス
ライダと前記第１の案内レールの軸受面との間に転動体
を介装し、前記第２の案内レールは、１つの軸受面を有
し、前記第２のスライダは、前記第２の案内レールとの
間で磁気回路を形成する永久磁石を含む磁性体の第２の
コア部材を有し、前記磁気回路の外側で前記第２のスラ
イダと前記第２の案内レールの軸受面との間に転動体を
介装したことを特徴とする。
【０００９】請求項３に係る発明は、請求項２におい
て、前記第１の案内レール又は前記第２の案内レールに
沿ってリニアモータを設置して該リニアモータの可動部
を前記連結体に連結したことを特徴とする。請求項４に
係る発明は、請求項１〜３のいずれか一項において、前
記転動体がボール又はローラーであることを特徴とす
る。
【００１０】請求項５に係る発明は、請求項１〜３のい
ずれか一項において、前記転動体が無限循環する多数の
転動体であることを特徴とする。請求項６に係る発明
は、請求項１〜５のいずれか一項において、前記転動体
が非磁性材料であることを特徴とする。請求項７に係る
発明は、請求項１〜３のいずれか一項において、前記転
動体が前記転がり軸受の外輪であることを特徴とする。
【００１１】請求項８に係る発明は、請求項１〜３のい
ずれか一項において、前記転動体に代えてすべり部材を
用いたことを特徴とする。請求項９に係る発明は、請求
項１〜３のいずれか一項において、前記転動体に代えて
静圧軸受を配置したことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例で
あるリニアガイド装置を説明するための説明的断面図、
図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３〜図２９は本発明の
他の実施の形態であるリニアガイド装置を説明するため
の説明図である。
【００１３】図１および図２を参照して、このリニアガ
イド装置５０は、軸方向に沿って直線状に延びる第１の
案内レール５１を備えており、この第１の案内レール５
１には第１のスライダ５２が該第１の案内レール５１に
沿って移動可能に支持されている。第１の案内レール５
１は強磁性材で形成されて断面Ｌ字状とされており、そ
の内側に互いに略直交する２つの軸受面５３，５４を有
している。
【００１４】第１のスライダ５２は第１の案内レール５
１の軸受面５３，５４側に配置された２つの第１のコア
部材５５，５６を備えており、第１のコア部材５５，５
６は該第１のコア部材５５，５６の前記軸受面５３，５
４から離間する側に配置された本体５７と一体に接合さ
れている。第１のコア部材５５は軸受面５３に微小なす
き間Ｓを介して対向配置されると共に、軸受面５３との
間に転動体としてのボールＢを収納する空間部５８を形
成するための凹部５９を有しており、また、第１のコア
部材５６についても軸受面５４に微小なすき間Ｓを介し
て対向配置されると共に、軸受面５４との間に転動体と
してのボールＢを収納する空間部６０を形成するための
凹部６１を有している。
【００１５】空間部５８および６０にはそれぞれ転動体
としてのボールＢ（図では２個）がプレート状の保持器
６２に保持された状態で収納されており、これにより、
第１のコア部材５５と軸受面５３との間、および第１の
コア部材５６と軸受面５４との間にそれぞれボールＢが
介装されて該ボールＢの転動を介して第１のスライダ５
２が第１の案内レール５１に沿って軸方向に移動可能と
されている。
【００１６】ここで、この実施の形態では、第１のコア
部材５５と第１のコア部材５６との間に永久磁石６３を
介装して各第１のコア部材５５，５６によって永久磁石
６３を挟み込み、これにより、永久磁石６３と第１のコ
ア部材５５と第１の案内レール５１と第１のコア部材５
６との間にループ状の磁気回路７０を形成すると共に、
該磁気回路７０の外側に前記空間部５８および６０が配
置されるような位置関係としている。
【００１７】これにより、第１のスライダ５２が磁気回
路７０による磁気吸引力によって第１の案内レール５１
側に常に吸引され、この状態で微小すき間Ｓを維持しつ
つボールＢの転動を介して第１のスライダ５２が第１の
案内レール５１に沿って軸方向に移動するようになって
いる。なお、ボールＢの素材としては、磁気回路７０へ
影響を考慮して非磁性材料であるセラミックを用いるの
が好ましい。また、図において符号４００はシール部材
である。
【００１８】上記の説明から明らかなように、この実施
の形態では、第１のスライダ５２が第１の案内レール５
１側に常に磁気吸引された状態で微小すき間Ｓを維持し
つつボールＢの転動を介して第１の案内レール５１に沿
って軸方向に移動するため、簡単な構造で高い運動精度
を確保することができ、同時に低振動化および低摩擦化
を達成することができる。
【００１９】また、第１のスライダ５２が第１の案内レ
ール５１に常に磁気吸引された状態であるため、取り付
けに際しては、天地左右を気にする必要がなく、取り付
け性の容易化を図ることができる。図３〜図２９に本発
明の他の実施の形態を示す。なお、上記実施の形態と重
複する部分および同等部分については、各図に同一符号
を付してその説明を省略する。
【００２０】図３および図４に示すリニアガイド装置８
０は、凹部５９，６１の各底部にそれぞれ別部材（例え
ばセラミック板等の非磁性体）８１を取り付けてある。
ボールＢが軸受鋼のような磁性体である場合に磁気回路
７０への影響を回避できる。図５および図６に示すリニ
アガイド装置９０は、２つの第１のコア部材９１，９２
を同一形状として、部品の種類の削減を図るようにした
ものである。
【００２１】図７および図８に示すリニアガイド装置１
００は、軸受面５３と凹部５９との間、および軸受面５
４と凹部６０との間にそれぞれ多数のボールＢを無限循
環させるようにして高負荷及び長ストロークに対応でき
るようにしたものであり、本体５７に軸方向に貫通する
直線状の２本の転動体通路１０１，１０２を形成すると
共に、本体５７の前後両端にそれぞれ転動体循環部品１
０３を固定し、転動体循環部品１０３に、上記軸受面５
３と凹部５９との間と上記転動体通路１０１とを連通す
る半円弧状に湾曲した転動体循環部１０４を形成すると
共に、上記軸受面５４と凹部６１との間と上記転動体通
路１０２とを連通する半円弧状に湾曲した転動体循環部
（図示せず。）を形成したものである。
【００２２】図９および図１０に示すリニアガイド装置
１１０は、第１のコア部材５５，５６と第１の案内レー
ル５１とによって囲まれる断面略正方形状の空間に非磁
性材からなるボール１１１を第１のコア部材５５，５６
および第１の案内レール５１に対して４点で点接触させ
た状態で収納し、これにより支持点を増やして第１のス
ライダ５２の走行安定性を向上させるようにしたもので
ある。
【００２３】図１１および図１２に示すリニアガイド装
置１２０、および図１３および図１４に示すリニアガイ
ド装置１３０は、いずれも軸受面５３のボール接触面お
よび凹部５９底部のボール接触面に断面Ｖ字状の溝１２
１を形成すると共に軸受面５４のボール接触面および凹
部６０底部のボール接触面に断面Ｖ字状の溝１２１を形
成して各ボールＢを溝１２１に対して二点接触させ、こ
れにより、支持点を増やして第１のスライダ５２の走行
安定性を向上させるようにしたものである。
【００２４】図１５および図１６に示すリニアガイド装
置１４０は、凹部５９，６０を除いて、本体５７から軸
受面５３側に延出した延出部１４１にピン１４２を固定
して該ピン１４２に転がり軸受１４３の内輪１４４を嵌
合固定して外輪１４５を転動体として軸受面５３を転動
させると共に、本体５７から軸受面５４側に延出した延
出部１４６にピン１４２を固定して該ピン１４２に転が
り軸受１４３の内輪１４４を嵌合固定して外輪１４５を
転動体として軸受面５４を転動させるようにしたもので
ある。
【００２５】図１７および図１８に示すリニアガイド装
置１５０は、凹部５９，６０を除いて、本体５７から軸
受面５３側に延出した延出部１５１の先端にすべり部材
１５２を取り付けて該すべり部材１５２を軸受面５３に
接触させてすべり軸受を構成すると共に、本体５７から
軸受面５４側に延出した延出部１５３の先端にすべり部
材１５２を取り付けて該すべり部材１５２を軸受面５４
に接触させてすべり軸受を構成したものである。
【００２６】図１９および図２０に示すリニアガイド装
置１６０は、凹部５９，６０を除いて、本体５７から軸
受面５３側に延出した延出部１６１の先端面を軸受面５
３に接近配置して該先端面と軸受面５３との間に微小す
き間Ｓ2 を形成すると共に、本体５７から軸受面５４側
に延出した延出部１６２の先端面を軸受面５４に接近配
置して該先端面と軸受面５４との間に微小すき間Ｓ2 を
形成し、且つ、各微小すき間Ｓ2 に加圧流体を供給する
ことにより、静圧軸受を形成したものである。従って、
この場合は第１のスライダ５２は第１の案内レール５１
に非接触で支持される。
【００２７】図２１および図２２は二組のリニアガイド
装置５０および２００をベースプレートＰ上に互いに平
行に取り付けてリニアガイド装置５０の第１のスライダ
５２とリニアガイド装置２００の第２のスライダ２０２
とを連結体３００によって連結したものである。なお、
リニアガイド装置５０については図１および図２で説明
したものと同一であるので、図に同一符号を付してその
説明を省略し、リニアガイド装置２００についてのみ説
明する。
【００２８】このリニアガイド装置２００は、リニアガ
イド装置５０の第１の案内レール５１に平行配置された
第２の案内レール２０１を備えており、この第２の案内
レール２０１には第２のスライダ２０２が該第２の案内
レール２０１に沿って移動可能に支持されている。第２
の案内レール２０１は強磁性材で形成されて断面矩形状
とされており、その上面が軸受面２０３とされている。
【００２９】第２のスライダ２０２は第２の案内レール
２０１の軸受面２０３に微小なすき間Ｓを介して対向配
置された２つの第２のコア部材２０５，２０６を備えて
おり、第２のコア部材２０５，２０６は共に同一形状と
されて第２のスライダ２０２の幅方向に互いに対称配置
され、該第２のコア部材２０５，２０６の上方に配置さ
れた本体２０７と一体に接合されている。
【００３０】第２のコア部材２０５，２０６は共に軸受
面２０３との間に転動体としてのボールＢを収納する空
間部２０８を形成するための凹部２０９を有しており、
空間部２０８にはボールＢ（図では２個）がプレート状
の保持器２１２に保持された状態で収納されている。こ
れにより、第２のコア部材２０５，２０６と軸受面２０
３との間にそれぞれボールＢが介装されて該ボールＢの
転動を介して第２のスライダ２０２が第２の案内レール
２０１に沿って軸方向に移動可能とされている。
【００３１】ここで、この実施の形態では、第２のコア
部材２０５と第２のコア部材２０６との間に永久磁石２
１３を介装して各第２のコア部材２０５，２０６によっ
て永久磁石２１３を挟み込み、これにより、永久磁石２
１３と第２のコア部材２０５と第２の案内レール２０１
と第２のコア部材２０６との間にループ状の磁気回路７
０を形成すると共に、該磁気回路７０の外側に前記空間
部２０８が配置されるような位置関係としている。
【００３２】これにより、第２のスライダ２０２が磁気
回路７０による磁気吸引力によって第２の案内レール２
０１側に常に吸引され、この状態で微小すき間Ｓを維持
しつつボールＢの転動を介して第２のスライダ２０２が
第２の案内レール２０１に沿って軸方向に移動するよう
になっている。なお、ボールＢの素材としては、磁気回
路７０への磁力の影響を考慮して非磁性材料であるセラ
ミックを用いるのが好ましい。
【００３３】そして、リニアガイド装置２００の第２の
スライダ２０２の本体２０７とリニアガイド装置５０の
第１のスライダ５２の本体５７が連結体３００によって
連結されており、これにより、連結体３００、第２のス
ライダ２０２および第１のスライダ５２が一体となって
第１および第２の案内レール５１，２０１に沿って軸方
向に移動できるようになっている。
【００３４】上記の説明から明らかなように、この実施
の形態では、連結体３００が軸方向に移動する際には、
第１のスライダ５２が第１の案内レール５１側に常に磁
気吸引された状態で微小すき間Ｓを維持しつつボールＢ
の転動を介して第１の案内レール５１に沿って軸方向に
移動すると共に第２のスライダ２０２についても第２の
案内レール２０１側に常に磁気吸引された状態で微小す
き間Ｓを維持しつつボールＢの転動を介して第２の案内
レール２０１に沿って軸方向に移動するため、簡単な構
造で高い運動精度を確保することができ、同時に低振動
化および低摩擦化を達成することができる。
【００３５】また、第１のスライダ５２および第２のス
ライダ２０２がそれぞれ第１の案内レール５１および第
２の案内レール２０１に常に磁気吸引された状態である
ため、取り付けに際しては、天地左右を気にする必要が
なく、取り付け性の容易化を図ることができる。図２３
および図２４は、図２１および図２２に対して、リニア
ガイド装置５０の第１の案内レール５１の外側にリニア
モータ２１１を該第１の案内レール５１に平行に設置し
て、該リニアモータ２１１の可動部２１２を連結体３０
０に連結したものである。
【００３６】図２５および図２６は、図２３および図２
４に対して、リニアガイド装置５０に代えてリニアガイ
ド装置１００を配置すると共に、リニアガイド装置２０
０に代えてリニアガイド装置２２０を配置したものであ
る。なお、リニアガイド装置１００については、図７お
よび図８で説明したものと同一であるので図に同一符号
を付してその説明を省略する。
【００３７】リニアガイド装置２２０は、第２のコア部
材２０５，２０６の凹部２０９と軸受面２０３との間に
多数のボールＢを無限循環させるようにして高負荷及び
長ストロークに対応できるようにしたものであり、本体
２０７に軸方向に貫通する直線状の２本の転動体通路２
２１，２２２を形成すると共に、本体２０７の前後両端
にそれぞれ転動体循環部品２２３を固定し、転動体循環
部品２２３に、上記軸受面２０３と第２のコア部材２０
５側の凹部２０９との間と、上記転動体通路２２１とを
連通する半円弧状に湾曲した転動体循環部２２４を形成
すると共に、上記軸受面２０３と第２のコア部材２０６
側の凹部２０９との間と、上記転動体通路２２２とを連
通する半円弧状に湾曲した転動体循環部２２５を形成し
たものである。
【００３８】図２７は、図２３および図２４に対して、
リニアガイド装置５０に代えてリニアガイド装置１４０
を配置すると共に、リニアガイド装置２００に代えてリ
ニアガイド装置２３０を配置したものである。なお、リ
ニアガイド装置１４０については、図１５および図１６
で説明したものと同一であるので図に同一符号を付して
その説明を省略する。
【００３９】リニアガイド装置２３０は、第２のコア部
材２０５，２０６の各凹部２０９を除いて、本体２０７
から第２のコア部材２０５，２０６の両側で軸受面２０
３にに向けて延出した一対の延出部２３１にピン２３２
を固定して該ピン２３２に転がり軸受２３３の内輪２３
４を嵌合固定して外輪２３５を転動体として軸受面２０
３を転動させるようにしたものである。
【００４０】図２８は、図２３および図２４に対して、
リニアガイド装置５０に代えてリニアガイド装置２４０
を配置すると共に、リニアガイド装置２００に代えてリ
ニアガイド装置２５０を配置したものである。リニアガ
イド装置２４０は、凹部５９，６１および本体５７を除
いて、本体５７の部分まで第１のコア部材５６を張り出
すと共に、磁気回路７０の外側で第１のコア部材５５の
軸受面５３側にすべり部材２４１を取り付けると共に第
１のコア部材５６の軸受面５４側にすべり部材２４２を
取り付けて、すべり部材２４１を軸受面５３に接触させ
てすべり軸受を構成すると共に、すべり部材２４２を軸
受面５４に接触させてすべり軸受を構成したものであ
る。
【００４１】一方、リニアガイド装置２５０は、第２の
コア部材２０５，２０６の各凹２０９および本体２０７
を除いて、本体２０７の部分まで第２のコア部材２０５
を張り出すと共に、磁気回路７０の外側で第２のコア部
材２０５の軸受面２０３側にすべり部材２５１を取り付
けると共に第２のコア部材２０６の軸受面２０３側にす
べり部材２５２を取り付けて、すべり部材２５１を軸受
面２０３に接触させてすべり軸受を構成すると共に、す
べり部材２５２を軸受面２０３に接触させてすべり軸受
を構成したものである。
【００４２】図２９は、図２３および図２４に対して、
リニアガイド装置５０に代えてリニアガイド装置１６０
を配置すると共に、リニアガイド装置２００に代えてリ
ニアガイド装置２６０を配置したものである。なお、リ
ニアガイド装置１６０については、図１９および図２０
で説明したものと同一であるので図に同一符号を付して
その説明を省略する。
【００４３】リニアガイド装置２６０は、第２のコア部
材２０５，２０６の各凹部２０９を除いて、本体２０７
から第２のコア部材２０５，２０６の両側で軸受面２０
３側に延出した一対の延出部２６１の各先端面を軸受面
２０３に接近配置して各先端面と軸受面２０３との間に
微小すき間Ｓ2 を形成し、且つ、各微小すき間Ｓ2 に加
圧流体を供給することにより、静圧軸受を形成したもの
である。従って、この場合は第２のスライダ２０２は、
リニアガイド装置１６０と同様に、第２の案内レール２
０１に非接触で支持される。
【００４４】
【発明の効果】上記の説明から明らかなように、本発明
によれば、スライダが案内レール側に常に磁気吸引され
た状態で転動体の転動を介して案内レールに沿って軸方
向に移動するため、簡単な構造で高い運動精度を確保す
ることができ、同時に低振動化および低摩擦化を達成す
ることができるという効果が得られる。
【００４５】また、スライダが案内レールに常に磁気吸
引された状態であるため、取り付けに際しては、天地左
右を気にする必要がなく、取り付け性の容易化を図るこ
とができるという効果が得られる。更に、転動体として
非磁性材料を用いることにより、磁気回路への影響をな
くすことができるという効果が得られる。
【００４６】更に、多数の転動体を無限循環させること
により、高負荷及び長ストロークに対応できるという効
果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド装
置を説明するための説明的断面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド装
置を説明するための説明的断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド装
置を説明するための説明的断面図である。
【図８】図７のＡ−Ａ線断面図である。
【図９】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド装
置を説明するための説明的断面図である。
【図１０】図９のＡ−Ａ線断面図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図１２】図１１のＡ−Ａ線断面図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図１４】図１３のＡ−Ａ線断面図である。
【図１５】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図１６】図１５の矢印Ｂ方向から見た図である。
【図１７】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図１８】図１７の矢印Ｂ方向から見た図である。
【図１９】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２０】図１９の矢印Ｂ方向から見た図である。
【図２１】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２２】図２１の矢印Ｃ方向から見た図である。
【図２３】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２４】図２３の矢印Ｃ方向から見た図である。
【図２５】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２６】図２５の矢印Ｃ方向から見た図である。
【図２７】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２８】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図２９】本発明の他の実施の形態であるリニアガイド
装置を説明するための説明的断面図である。
【図３０】従来のリニアガイド装置を説明するための一
部を破断した斜視図である。
【符号の説明】
５０…リニアガイド装置 ５１…第１の案内レール ５２…第１のスライダ ５３，５４…断面Ｌ字状の軸受面 ５５，５６…第１のコア部材 ６３，２１３…永久磁石 ７０…磁気回路 １０３，２２３…転動体循環部品 １４３…転がり軸受 １４５…外輪 １５２，２５２…すべり部材 ２００…リニアガイド装置 ２０１…第２の案内レール ２０２…第２のスライダ ２０３…第２の案内レールの軸受面 ２０５，２０６…第２のコア部材 ２１１…リニアモータ ２１２…可動部 ３００…連結体 Ｂ…転動体 Ｓ2 …微小すき間（静圧軸受）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J102 AA01 BA05 CA26 DA10 DA28 FA16 GA20 3J104 AA03 AA23 AA25 AA52 DA02 DA06 DA10

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の案内レールと、該第１の案内レー
    ルに沿って移動可能に前記第１の案内レールに支持され
    た第１のスライダとを備えたリニアガイド装置におい
    て、 前記第１の案内レールは、磁性体とされて２つの軸受面
    を有し、前記第１のスライダは、前記第１の案内レール
    との間で磁気回路を形成する永久磁石を含む磁性体の第
    １のコア部材を有し、前記磁気回路の外側で前記第１の
    スライダと前記第１の案内レールの軸受面との間に転動
    体を介装したことを特徴とするリニアガイド装置。
  2. 【請求項２】 互いに平行配置された第１および第２の
    案内レールと、該第１の案内レールに沿って移動可能に
    前記第１の案内レールに支持された第１のスライダと、
    前記第２の案内レールに沿って移動可能に該第２の案内
    レールに支持された第２のスライダと、前記第１のスラ
    イダと前記第２のスライダとを連結する連結体とを備え
    たリニアガイド装置において、 前記第１の案内レールは、磁性体とされて２つの軸受面
    を有し、前記第１のスライダは、前記第１の案内レール
    との間で磁気回路を形成する永久磁石を含む磁性体の第
    １のコア部材を有し、前記磁気回路の外側で前記第１の
    スライダと前記第１の案内レールの軸受面との間に転動
    体を介装し、 前記第２の案内レールは、１つの軸受面を有し、前記第
    ２のスライダは、前記第２の案内レールとの間で磁気回
    路を形成する永久磁石を含む磁性体の第２のコア部材を
    有し、前記磁気回路の外側で前記第２のスライダと前記
    第２の案内レールの軸受面との間に転動体を介装したこ
    とを特徴とするリニアガイド装置。
  3. 【請求項３】 前記第１の案内レール又は前記第２の案
    内レールに沿ってリニアモータを設置して該リニアモー
    タの可動部を前記連結体に連結したことを特徴とする請
    求項２記載のリニアガイド装置。
  4. 【請求項４】 前記転動体がボール又はローラーである
    ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の
    リニアガイド装置。
  5. 【請求項５】 前記転動体が無限循環する多数の転動体
    であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に
    記載のリニアガイド装置。
  6. 【請求項６】 前記転動体が非磁性材料であることを特
    徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のリニアガ
    イド装置。
  7. 【請求項７】 前記転動体が前記転がり軸受の外輪であ
    ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載
    のリニアガイド装置。
  8. 【請求項８】 前記転動体に代えてすべり部材を用いた
    ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の
    リニアガイド装置。
  9. 【請求項９】 前記転動体に代えて静圧軸受を配置した
    ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の
    リニアガイド装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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