KR102551580B1 - 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 패드부 미세얼룩 발생 현상을 개선할 수 있는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 표시장치용 어레이 기판은 패드부 끝단에서 무기 절연막이 유기 절연막을 덮는 구조, 보다 구체적으로는 패드부 끝단에서 유기 절연막이 외부에 노출되지 않는 구조를 갖는다.
이에 의해 예를 들어 플라즈마를 이용한 패드부 폴리이미드 제거 공정과 같이 플라즈마가 적용되는 공정에서 유기 절연막이 플라즈마에 직접 노출되는 것을 차단할 수 있어, 플라즈마에 기인하는 패드부 미세얼룩 발생 현상이 개선된 표시장치를 제공할 수 있다.

Description

표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치 {ARRAY SUBSTRATE FOR DISPLAY DEVICE AND DISPLAY DEVICE HAVING THE SAME}
본 발명은 패드부 미세 얼룩 발생 현상을 개선할 수 있는 표시장치용 어레이 기판에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 상기의 어레이 기판을 포함하는 표시장치에 관한 것이다.
이동통신 단말기, 노트북 컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평판 표시 장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 증대되고 있다.
널리 알려진 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 유기발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device) 등이 있다. 이러한 평판 표시장치 중에서 최근에는 양산 기술의 발전, 구동수단의 용이성, 저전력 소비, 고화질, 대화면 구현 등 여러 장점이 있는 액정 표시장치 및 유기발광다이오드 표시장치에 많은 연구가 집중되고 있다.
일반적인 액정 표시장치는 액정층을 사이에 두고 TFT(thin film transistor)가 구현된 하부 기판과 컬러필터가 구현된 상부 기판이 대향되도록 합착된 표시 패널과 화상 표시를 위해 면광을 제공하는 백라이트 유닛을 포함한다. 이러한, 액정 표시장치는 데이터 전압에 따라 복수의 화소(cell) 각각의 액정층을 투과하는 광의 투과율을 조절하여 영상 신호에 따른 화상을 표시하게 된다. 반면, 일반적인 유기발광다이오드 표시장치는 액정층과 백라이트 유닛을 생략하고, 대신 하부 기판에 자체 발광이 가능한 유기발광다이오드를 구현한다.
액정 표시장치 제조 공정 또는 유기발광다이오드 표시장치 제조 공정에서 플라즈마를 적용하는 공정이 있을 수 있다. 예를 들어, 액정 표시장치 제조 공정에서, 표면이 러빙 처리되어 액정 분자를 일정한 방향으로 배열해주기 위한 폴리이미드 배향막을 형성한 후에는 패드부 쪽의 폴리이미드를 제거하기 위해 플라즈마를 적용한다.
또한 액정 표시장치의 어레이 기판에는 유기 절연막과 무기 절연막이 다수 배치되어 있다. 유기 절연막은 주로 코팅 공정에 의해 형성되고, 무기 절연막의 경우 주로 증착 공정에 의해 형성된다. 이 중 유기 절연막은 플라즈마에 취약하다.
도 1은 일반적인 표시장치(100)를 개략적으로 나타낸 것으로, 보다 구체적으로는 액정 표시장치의 예이다.
도 1을 참조하면, 표시장치(100)는 어레이 기판(110) 및 컬러필터 기판(120)을 포함한다.
어레이 기판(110)은 표시부(101)과 패드부(102)를 포함한다. 표시부(101)에는 박막트랜지스터가 구현되어 있다. 그리고 패드부(102)에는 이 박막트랜지스터를 구동하기 위한 각종 패드 전극들이 배치된다. 패드 전극들은 예를 들어, 게이트 전극 패드와 데이터 전극 패드를 포함할 수 있다.
어레이 기판(110) 상부에는 컬러필터 기판(120)이 합착되어 있으며, 액정 표시장치의 경우, 어레이 기판(110)과 컬러필터 기판(120) 사이에 액정층이 개재된다.
컬러필터 기판(120) 상부에는 편광판(140)이 배치된다. 컬러필터 기판(120)과 편광판(140) 사이에는 ESD 보호를 위한 방전 전극(130)이 배치된다. 이 방전 전극(130)은 도전 라인(133)을 통해 패드부(102)의 방전 패드(135)와 연결될 수 있다.
도 2는 도 1의 A-A' 단면의 예을 나타낸 것으로, 종래의 패드부 끝단의 단면에 해당한다.
도 2를 참조하면, 패드부 끝단 부분에는 베이스 기판(111) 상에 게이트 절연막(GI, 112), PAC(Photo Acrylic Compound)와 같은 재질의 유기 절연막(PAS1, 113), SiNx와 같은 재질의 다수의 무기 절연막(PAS2~PAS4, 114~116)이 순차로 배치되어 있다. 이러한 유기 및 무기 절연막들은 표시부(101)에서 각종 금속층들에 대한 층간 절연막 내지는 보호막으로서의 역할을 한다. 패드부(102) 끝단에서는 금속층이 존재하지 않는 바, 이러한 유기 및 무기 절연막들만이 순차 적층되어 있다.
도 3은 플라즈마를 이용한 패드부 폴리이미드 배향막 제거 장치를 나타낸 것이다.
폴리이미드 배향막은 널리 알려진 바와 같이, 액정 배향을 위한 것이다. 폴리이미드 배향막 형성을 위하여 액상의 폴리이미드를 도포한 후 경화하는데, 도포시 패드부까지 도포가 이루어진다. 모바일용 액정 표시장치와 같이 네로우 베젤 및 인접한 셀들끼리의 간격이 매우 작은 바, 이러한 패드부만을 제외하고 도포가 이루어지기는 어렵다.
폴리이미드의 경우 전기 절연 특성을 나타낸다. 따라서, 패드부에서 폴리이미드가 잔류하게 되면 도전성 불량을 가져올 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 예와 같은 장치를 이용하여 패드부 폴리이미드를 제거한다.
도 3에 도시된 플라즈마를 이용하여 패드부 폴리이미드를 제거하기 위한 장치는, 액정 표시장치(100)가 지지되는 스테이지(310), 액정표시장치(100)를 얼라인하는 얼라인 핀(320) 및 플라즈마를 인가하는 플라즈마 헤드(330)를 포함한다.
플라즈마 헤드(330)에서는 액정 표시장치(100)의 패드부로부터 외측 방향으로 플라즈마를 인가한다. 그런데, 인가된 플라즈마(330)는 얼라인 핀(320)에서 반사되어 다시 액정 표시장치(100)의 패드부 쪽에 영향을 주기도 한다.
이때, 도 2에 도시된 패드부 끝단 구조의 경우, 상술한 얼라인 핀에서 반사된 플라즈마에 의해 유기 절연막이 데미지를 받는다. 이러한 데미지에 의해 유기 절연막과 무기 절연막의 계면에서 들뜸 현상이 발생하고 이로 인하여 패드부 쪽에 얼룩이 발생하게 된다. 폴리이미드 제거 효율을 높이기 위해 플라즈마 파워를 증대시키면 이러한 문제점이 더 크게 발생한다.
원하지 않는 플라즈마의 반사를 제거하기 위해 얼라인 핀(320)을 사용하지 않는 방법을 고려할 수 있다. 그러나, 이 경우 액정 표시장치가 정확하게 얼라인되지 않는 문제점이 있다. 또한 유기 절연막이 플라즈마에 노출되어 있는 한, 플라즈마에 의한 영향이 어느 정도 있을 수 밖에 없으므로, 미세한 얼룩 발생까지 방지하기는 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 플라즈마에 기인하는 패드부 미세얼룩 발생을 개선할 수 있는 표시장치용 어레이 기판을 제공하는 것을 과제로 한다.
또한, 본 발명은 상기의 표시장치용 어레이 기판을 포함하는 표시장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 어레이 기판은 표시부와 패드부를 포함한다. 상기 표시부는 베이스 기판 상에 배치된 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상에 배치된 박막 트랜지스터를 포함한다. 상기 패드부는 상기 베이스 기판 상의 상기 표시부 측면에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터를 구동하기 위한 전극 패드를 포함한다.
이때, 상기 패드부 끝단에는, 상기 게이트 절연막 상에 배치되고 상기 박막 트랜지스터를 덮는 유기 절연막과, 상기 유기 절연막을 덮는 적어도 1층의 무기 절연막이 구비되어 있다.
바람직하게는 본 발명의 경우, 패드부 끝단에서 유기 절연막이 외부에 노출되지 않는 구조를 가질 수 있다. 이를 위해 상기 패드부의 끝단에서 상기 무기 절연막에 의해 상부면 및 측면이 감싸져 있을 수 있다.
또한, 본 발명의 경우, 패드부 끝단에서 무기 절연막과 상기 게이트 절연막의 적어도 일부분이 접할 수 있다.
이러한 패드부 끝단 구조의 경우, 유기 절연막의 상면 뿐만 아니라 측면이 외부에 노출되지 않는다. 따라서, 플라즈마를 적용하는 공정에서, 플라즈마에 취약한 유기 절연막의 노출을 방지할 수 있어, 유기 절연막이 받는 데미지를 억제할 수 있다. 그 결과, 패드부 끝단의 미세 얼룩 발생 현상을 개선할 수 있다.
바람직하게는, 상기 무기 절연막의 끝단 외곽에 상기 게이트 절연막이 노출되어 있다. 이는 스크라이브 라인이 무기 절연막과 중첩되지 않는 것을 의미한다. 이를 통해 스크라이브 공정에서 절연막이 받는 데미지를 억제할 수 있다.
본 발명에 따른 표시장치는 표시부와 패드부를 구비하는 어레이 기판과, 상기 어레이 기판에 합착되는 컬러필터 기판을 포함한다. 이때, 어레이 기판은 베이스 기판 상에 배치되는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 상의 상기 표시부에 대응되는 영역에 배치되며 상기 패드부에 배치되는 전극 패드와 전기적으로 연결되는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터를 덮는 유기 절연막, 상기 유기 절연막 상에 배치되는 적어도 1층의 무기 절연막을 포함한다. 이때, 상기 유기 절연막은 전술한 바와 같이, 상기 패드부의 끝단에서 상기 무기 절연막에 의해 상부면 및 측면이 감싸져 있다.
본 발명에 따른 표시장치는 주로 액정 표시장치가 될 수 있으나, 유기발광다이오드 표시장치 등과 같은 다른 표시장치에도 적용 가능하다.
본 발명에 따른 표시장치용 어레이 기판의 경우, 패드부 끝단에 유기 절연막의 측면이 외부로 노출되지 않음에 따라, 예를 들어 액정 표시장치 제조 공정들 중 플라즈마를 이용한 폴리이미드 제거 공정과 같은 플라즈마를 적용하는 공정에서, 유기 절연막이 받는 데미지를 억제할 수 있다. 그 결과, 유기 절연막의 데미지에 의한 무기 절연막과 유기 절연막의 계면 들뜸 현상을 저감할 수 있으며, 결과적으로 패드부 끝단의 미세 얼룩 발생 현상을 개선할 수 있다.
아울러, 무기 절연막의 끝단 외곽에 게이트 절연막이 노출되어 있는 실시예의 경우, 스크라이브 라인이 무기 절연막과 중첩되지 않음으로써 스크라이브 공정에서 절연막이 받는 데미지를 또한 억제할 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 기판 구조를 적용한 패널의 경우, 플라즈마 공정이 적용될 수 있는 액정 표시장치나 유기발광다이오드 표시장치에 적용 가능하다. 액정 표시장치의 경우, 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 액정층이 개재되고, 별도의 백라이트 유닛이 추가로 포함된다. 한편, 유기발광다이오드 표시장치의 경우, 어레이 기판에 유기발광다이오드가 추가로 구현된다.
도 1은 일반적인 액정 표시장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 도 1의 A-A' 단면의 예을 나타낸 것으로, 종래의 패드부 끝단의 단면에 해당한다.
도 3은 플라즈마를 이용한 패드부 폴리이미드 배향막 제거 장치를 나타낸 것이다.
도 4는 도 1의 A-A' 단면의 다른 예를 나타낸 것으로, 본 발명에 따른 패드부 끝단의 단면에 해당한다.
도 5는 도 1의 B-B' 단면의 일부 예를 나타낸 것으로, 본 발명에 적용될 수 있는 표시부의 예를 나타낸 것이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치의 다양한 실시예를 설명한다.
이하에서 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
또한, 본 발명에서 "~~ 상에 있다"라고 함은 "어떠한 부분이 다른 부분과 접촉한 상태로 바로 위에 있다"를 의미할 뿐만 아니라 "어떠한 부분이 다른 부분과 비접촉한 상태이거나 제3의 부분이 중간에 더 형성되어 있는 상태로 다른 부분의 위에 있다"를 의미할 수도 있다.
도 4는 도 1의 A-A' 단면의 다른 예를 나타낸 것으로, 본 발명에 따른 패드부 끝단의 단면에 해당한다. 또한, 도 5는 도 1의 B-B' 단면의 일부 예를 나타낸 것이다.
도 4에 도시된 기판(111)과 도 5에 도시된 기판(SUBS)은 동일 요소이며, 도 4에 도시된 게이트 절연막(112, GI)과 도 5에 도시된 게이트 절연막(GI)은 동일 요소이며, 도 4에 도시된 유기 절연막(113, PAS1)과 도 5에 도시된 유기 절연막(PAS1)은 동일 요소이며, 도 4에 도시된 제1 내지 제3 무기 절연막들(114, 115, 116)과 도 5에 도시된 제1 내지 제3 무기 절연막(PAS2, PAS3, PAS4)들과 각각 동일 요소들이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판은 표시부(101) 및 패드부(102)를 포함한다.
이러한 표시부(101) 및 패드부(102)는 글래스 기판과 같은 베이스 기판(111) 상에 위치한다.
표시부(101)는 베이스 기판(111) 상에 배치된 게이트 절연막(112)과, 상기 게이트 절연막(112) 상에 배치된 박막 트랜지스터를 포함한다.
패드부(102)는 베이스 기판(111) 상의 표시부(101) 측면(가장자리)에 배치되며, 배선(151)을 통해 박막 트랜지스터를 구동하기 위한 각종 전극 패드(150), 본딩 패드 등을 포함한다. 패드 전극들은 예를 들어, 게이트 전극 패드와 데이터 전극 패드를 포함할 수 있다. 본딩 패드는 FOG(Film On Galss), COG(Chip On Glass) 등을 위한 패드들이 될 수 있다.
보다 구체적으로 도 5에 도시된 표시부의 예를 참조하면, 베이스 기판(111) 상에 게이트 전극(GE)이 배치되고, SiNx, SiOx 등의 재질의 게이트 절연막(GI, 112)이 게이트 전극(GE)을 덮는 형태로 베이스 기판(111) 상에 배치된다. 게이트 절연막(112) 상에는 반도체 재질의 액티브층(ACT)이 배치되고, 액티브층(ACT) 상에는 드레인 전극(DE) 및 소스 전극(SE)이 서로 이격 배치된다.
또한, 표시부(101)와 패드부(102)에는 게이트 절연막(112) 상에 배치되고 상기 박막 트랜지스터를 덮는 유기 절연막(113)이 포함된다. 유기 절연막은 널리 알려진 바와 같이 PAC(Photo Acrylic Compound) 재질이 될 수 있다.
그리고, 유기 절연막을 덮는 적어도 1층의 무기 절연막(114, 115, 116) 이 구비되어 있다. 무기 절연막은 SiNx, SiON, SiOx 등의 재질일 수 있다. 유기 절연막 하부에는 패시베이션층(도 5의 PAS0)이 추가로 배치될 수 있다.
보다 구체적으로 도 5에 도시된 표시부의 예를 참조하면, 유기 절연막(PAS1) 상에 제1 무기 절연막(PAS2)이 배치되고, 제1 무기 절연막 상에 공통 전극(COM)이 배치되고, 공통전극(COM) 상에 제2 무기 절연막(PAS3)이 배치되고, 제2 무기 절연막 상에 화소 전극(PXL)이 컨택홀을 통하여 소스 전극 또는 드레인 전극과 연결되도록 배치된다.
아울러, 도 5에 도시된 예와 같이, 화소 전극을 덮는 제4 무기 절연막(도 5의 PAS4)이 추가로 배치될 수 있다. 그리고, 도 5에서는 화소 전극이 공통 전극 상에 형성된 구조로 설명하였지만 이에 한정되지는 않으며, 화소 전극 상에 절연막이 형성되고 절연막 상에 공통 전극이 형성되어 있는 구조도 포함된다.
한편, 도 5는 본 발명에 적용될 수 있는 표시부의 예를 나타낸 것으로, 도 5에 도시된 표시부 구조 대신에 공지된 다양한 표시부 구조가 적용될 수 있다.
이때, 본 발명에서는, 유기 절연막(113)은 패드부(102)의 끝단에서 무기 절연막(114, 115, 116)에 의해 상부면 및 측면이 감싸져 있는 것이 특징이다. 이러한 패드부 구조에 의하면, 유기 절연막(113)은 상기 적어도 1층의 무기 절연막(114, 115, 116)에 의해, 상면 뿐만 아니라 측면이 외부에 노출되지 않는다. 대신 무기 절연막(114)의 측면이 노출된다. 무기 절연막의 경우, 유기 절연막에 비하여 플라즈마에 취약하지 않은 바, 플라즈마를 적용하는 공정, 예를 들어 플라즈마를 이용한 패드부 폴리이미드 제거 공정 등에서 종래 기술에서 언급한 바와 같은 유기 절연막과 무기 절연막의 계면에서의 들뜸 현상을 억제할 수 있다. 이에 따라, 패드부 미세 얼룩 제거에 효과적이다.
유기 절연막(113)의 측면이 노출되지 않는 패드부(102) 구조의 다른 예로는 유기 절연막(113) 자체를 사용하지 않고, 절연막들(113, 114, 115, 116)을 모두 무기물로 형성하는 방법이 고려될 수 있다. 그러나, 이 방법은 다음과 같은 이유로 적합하지 않다.
우선, 박막트랜지스터 상에는 수 마이크로미터 두께의 두꺼운 절연막이 요구되는데, 유기물의 경우 코팅 및 광중합 반응에 의해 수 마이크로 두께의 절연막이 쉽게 형성될 수 있다. 그러나, 무기 절연막의 경우 주로 증착에 의해 형성되는데, 증착을 통하여 주로 수십 내지 수백 나노미터 두께의 막이 형성되며, 증착법을 이용하여 수 마이크로 두께의 막을 형성하기에는 어레이 기판 나아가 표시장치 전체의 제조 비용 상승이 크게 증가한다.
또한, 코팅에 의한 유기 절연막의 경우, 평탄화가 용이하다. 그러나, 박막 증착에 의할 때 하부층에 높이 편차가 있을 때, 증착에 의한 절연막 역시 동일한 형태의 높이 편차를 가지게 된다. 이러한 높이 편차가 계속 유지되는 경우, 파손, 크랙 등의 불량 발생 가능성이 높아질 수 있다.
이에, 유기 절연막(113)의 존재는 필수적이라 볼 수 있다. 일 예로, 수 마이크로 미터 두께의 유기 절연막은 무기 절연막 전체의 두께보다 더 두꺼울 수 있다.
본 발명의 경우, 패드부(102)의 끝단에서 유기 절연막(113)이 무기 절연막(114, 115, 116)에 의해 상부면 및 측면이 감싸져 있는 구조를 통하여, 유기 절연막의 존재에도 불구하고 플라즈마에 강건한 패드부 구조를 가질 수 있다.
무기 절연막(114, 115, 116)에 의해 유기 절연막(113)의 상부면 및 측면이 감싸져 있는 구조는 유기 절연막(113) 형성을 위한 코팅 공정에서 마스크를 이용하여, 패드부 끝단 부분에 유기 절연막이 형성되지 않도록 하는 방법, 패드부 끝단 부분까지 유기 절연막을 형성한 후 식각을 통하여 패드부 끝단 부분을 제거하는 방법이 이용될 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 패드부의 끝단에서 무기 절연막(114)과 게이트 절연막(112)의 적어도 일부분이 접한다. 이는 패드부 끝단에서 무기 절연막(114)이 유기 절연막(113)의 측면을 감싸는 형태에 기인한다.
이때, 유기 절연막의 끝단으로부터 무기 절연막의 끝단까지의 길이(a)는 20~50㎛인 것이 바람직하다. 즉, 유기 절연막의 끝단으로부터 무기 절연막의 끝단까지의 길이(a)는 최소 20㎛ 이상인 것이 바람직하다. 이에 의해, 도 3에 도시된 예와 같은 플라즈마가 적용되는 공정에서, 유기 절연막이 플라즈마에 의한 데미지를 받는 것을 충분히 보호할 수 있다. 다만, 유기 절연막의 끝단으로부터 무기 절연막의 끝단까지의 길이(a)가 50㎛를 증가하더라도 플라즈마로부터의 유기 절연막 보호 효과가 더 이상 증가하지 않고, 패드부의 면적만 증대될 수 있다.
한편, 도 4를 다시 참조하면, 무기 절연막의 끝단 외곽에 게이트 절연막이 노출되어 있을 수 있다. 도 2에 도시된 구조의 경우 스크라이브 라인(210)과 모든 절연막들이 중첩되는 구조를 가지나, 도 4에 도시된 구조의 경우, 게이트 절연막(112)을 제외한 유기 및 무기 절연막 모두(113, 114, 115, 116)가 스크라이브 라인(210)과 중첩되지 않는다. 이와 같이 유기 및 무기 절연막들이 스크라이브 라인과 중첩되지 않음으로써, 스크라이브 공정 마진 확보가 용이하고, 아울러, 스크라이브 공정에서 유기 및 무기 절연막에 가해지는 데미지에 의한 불량 요소를 제거할 수 있다.
이때, 노출되어 있는 게이트 절연막의 길이(b)가 60~100㎛인 것이 바람직하다. 노출되어 있는 게이트 절연막의 길이(b)가 60㎛ 미만일 경우, 스크라이브 공차 범위 향상 효과가 크지 않을 수 있다. 반대로, 노출되어 있는 게이트 절연막의 길이(b)가 100㎛를 초과하는 경우, 더 이상의 효과없이 패드부 사이즈만 증가할 수 있다.
다시 도 1, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 표시 장치는 어레이 기판(110) 및 컬러필터 기판(120)을 포함한다.
어레이 기판(110)은 표시부(101)와 패드부(102)를 포함한다.
컬러필터 기판(120)은 어레이 기판(110)의 표시부 상에 배치된다.
도 1에 도시된 표시장치가 액정 디스플레이 장치인 경우, 어레이 기판(110)과 컬러필터 기판(120) 사이에 액정층이 개재된다. 그리고, 컬러필터 기판(120) 상에 편광판(140)이 배치된다. 필요에 따라서는 어레이 기판(110) 하부에 또 다른 편광판이 배치될 수 있다. 그리고, 어레이 기판(110) 하부에는 어레이 기판(110)에 균일한 면광을 제공하기 위해, 광원 및 각종 광학 시트를 포함하는 백라이트 유닛이 배치된다.
아울러, 도 1에 도시된 표시장치가 유기발광다이오드 표시장치인 경우, 어레이 기판(110)에 박막 트랜지스터와 함께 유기발광다이오드가 구현되며, 별도의 백라이트 유닛 및 편광판은 요구되지 않는다. 유기발광다이오드는 애노드(Anode)와 캐소드(Cathode) 사이에 적층된 정공주입층(Hole Injection layer), 정공수송층(Hole transport layer), 발광층(Emission layer, EML), 전자수송층(Electron transport layer, ETL) 및 전자주입층(Electron Injection layer, EIL) 등을 포함한다.
어레이 기판(110)은, 도 4를 기준으로, 패드부에 베이스 기판(111), 게이트 절연막(112), 유기 절연막(113), 적어도 1층의 무기 절연막(114, 115, 116)을 포함한다.
도 5의 표시부 예를 기준으로 설명하면, 기판(SUBS, 111)과 게이트 절연막(GI, 112) 사이에는 게이트 전극(GE)이 배치되고, 게이트 절연막(GI, 112)과 유기 절연막(PAS1, 113) 사이에는 액티브층(ACT), 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE)이 배치된다. 제1 무기 절연막(PAS2, 114)과 제2 무기 절연막(PAS3, 115) 사이에는 공통 전극(COM)이 배치되고, 제2 무기 절연막(PAS3) 상에는 화소 전극(PXL)이 배치된다. 화소 전극 상에는 제3 무기 절연막이 배치될 수 있다.
이때, 전술한 바와 같이, 본 발명의 경우, 패드부(102)의 끝단에서 유기 절연막(113)이 상기 무기 절연막(114, 115, 116)에 의해 상부면 및 측면이 감싸져 있는 형태이다.
한편, 도 1에 도시된 예와 같이, 표시장치는 컬러필터 기판(120) 상부에 배치되는 방전 전극(130)을 더 포함할 수 있다. 이러한 방전 전극(130)은 ITO와 같은 투명 전도성 산화물 재질이며, 주로 터치 기능이 있는 모바일용 표시장치에 있어서, ESD에 대한 방전 전극으로 활용될 수 있다. 방전 전극(130)은 도전 라인(133)을 통해 패드부(102)의 방전 패드(135)와 연결될 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 표시장치용 어레이 기판의 경우, 패드부 끝단에 유기 절연막의 측면이 외부로 노출되지 않음에 따라, 유기 절연막의 플라즈마 데미지를 저감할 수 있고, 이에 따라 유기 절연막과 무기 절연막 간의 들뜸 현상 억제 및 이를 통해 패드부 끝단의 미세 얼룩 발생 현상을 개선할 수 있다.
아울러, 무기 절연막의 끝단 외곽에 게이트 절연막이 노출되어 있는 경우, 스크라이브 라인이 무기 절연막과 중첩되지 않음으로써 스크라이브 공정에서 절연막이 받는 데미지를 또한 억제할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 통상의 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 따라서, 이러한 변경과 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명의 범주 내에 포함되는 것으로 이해할 수 있을 것이다.
100 : 표시장치
101 : 표시부
102 : 패드부
110 : 어레이 기판
111 : 베이스 기판
112 : 게이트 절연막
113 : 유기 절연막
114, 115, 116 : 무기 절연막
120 : 컬러필터 기판
130 : 방전 전극
133 : 도전 라인
135 : 방전 패드
140 : 편광판
210 : 스트라이브 라인
310 : 스테이지
320 : 얼라인 핀
330 : 플라즈마 헤드

Claims (14)

  1. 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상에 배치된 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상에 배치된 박막 트랜지스터를 포함하는 표시부;
    상기 베이스 기판 상의 상기 표시부 측면에 배치되며, 상기 박막 트랜지스터를 구동하기 위한 전극 패드를 포함하는 패드부를 포함하고,
    상기 표시부와 상기 패드부에는 상기 게이트 절연막 상에 배치되고 상기 박막 트랜지스터를 덮는 유기 절연막과, 상기 패드부의 끝단에서 상기 유기 절연막을 덮는 적어도 1층의 무기 절연막이 구비되고,
    상기 유기 절연막은 상기 적어도 1층의 무기 절연막에 의해 외부에 노출되지 않는, 표시장치용 어레이 기판.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 게이트 절연막의 적어도 일부분은 상기 적어도 1층의 무기 절연막과 접하는 표시장치용 어레이 기판.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유기 절연막의 끝단으로부터 상기 무기 절연막의 끝단까지의 길이가 20~50㎛인, 표시장치용 어레이 기판.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유기 절연막은 상기 무기 절연막 전체의 두께보다 더 두꺼운, 표시장치용 어레이 기판.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 무기 절연막의 끝단 외곽에 상기 게이트 절연막이 노출되어 있는, 표시장치용 어레이 기판.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 노출되어 있는 게이트 절연막의 길이가 60~100㎛인, 표시장치용 어레이 기판.
  8. 표시부와, 상기 표시부 측면의 패드부를 포함하고,
    베이스 기판 상에 게이트 절연막, 박막 트랜지스터, 유기 절연막 및 적어도 하나의 무기 절연막이 배치되어 있되, 상기 패드부의 끝단에서 상기 무기 절연막과 상기 게이트 절연막의 적어도 일부분이 접하는, 표시장치용 어레이 기판.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 무기 절연막 외곽에 상기 게이트 절연막의 일부분이 노출된, 표시장치용 어레이 기판.
  10. 표시부와 패드부를 포함하는 어레이 기판;
    상기 어레이 기판의 표시부 상에 배치되는 컬러필터 기판;을 포함하고,
    상기 어레이 기판은 베이스 기판 상에 배치되는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 상의 상기 표시부에 대응되는 영역에 배치되며 상기 패드부에 배치되는 전극 패드와 전기적으로 연결되는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터를 덮는 유기 절연막, 상기 유기 절연막 상에 배치되는 적어도 1층의 무기 절연막을 포함하고,
    상기 적어도 1층의 무기 절연막은 상기 패드부의 끝단에서 상기 유기 절연막을 덮고,
    상기 유기 절연막은 상기 적어도 1층의 무기 절연막에 의해 외부에 노출되지 않는, 표시장치.
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서,
    상기 게이트 절연막의 적어도 일부분은 상기 적어도 1층의 무기 절연막과 접하는 표시장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 표시장치는
    상기 컬러필터 기판 상부에 배치되는 방전 전극을 더 포함하는, 표시장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 무기 절연막의 끝단 외곽에 상기 게이트 절연막이 노출되어 있는, 표시장치.
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