KR102538425B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판이 지지되는 스테이지의 상부에 설치되는 지지 유닛; 지지 유닛에 지지되는 제1 이송 유닛; 제1 이송 유닛에 연결되는 연결 유닛; 연결 유닛에 연결되는 제2 이송 유닛; 및 제2 이송 유닛에 연결되며 상기 기판을 파지하는 파지 유닛을 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 수직 방향으로 이송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판을 제조하는 공정에서는, 유리와 같은 취성의 글라스 기판을 이송하는 과정이 수행된다.
기판을 수평 및 수직 방향으로 이송하기 위해 다양한 구조를 갖는 기판 이송 장치가 사용된다. 특히, 기판을 수직 방향으로 이송시키는 장치는 기판을 중력 방향에 반대되는 방향으로 들어올려야 하므로, 기판을 파지하는 파지 유닛을 슬라이드 이동시키는 구조를 갖는다. 파지 유닛을 슬라이드 이동시키기 위한 구조로서, 볼 스크류를 수직으로 배치하고 파지 유닛과 연결된 볼 너트를 볼 스크류를 따라 이동시키는 구조 또는 파지 유닛과 연결된 로드를 유압 또는 공압을 이용하여 수직 방향으로 이동시키는 구조 등이 기판 이송 장치에 적용될 수 있다.
볼 스크류를 수직으로 배치하고 파지 유닛과 연결된 볼 너트를 볼 스크류를 따라 이동시키는 구조의 경우에는, 볼 스크류가 수직으로 세워져 있어야 하므로, 기판 이송 장치를 설치하기 위해 소정의 높이가 확보되어야 한다.
또한, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 파지 유닛(25)과 연결된 로드(26)를 구동 유닛(23)을 사용하여 수직 방향으로 이동시키는 기판 이송 장치(20)의 경우에는, 로드(26)를 수용하는 구동 유닛(23)이 소정의 높이를 가지기 때문에, 기판 이송 장치(20)를 설치하기 위해서는 지면으로부터 구동 유닛(23)의 상단까지의 높이 이상의 높이를 갖는 공간이 확보되어야 한다.
한편, 기판을 가공하는 공정 및 기판을 절단하는 공정과 같이 기판을 처리하는 복수의 공정을 각각 수행하는 복수의 장치를 수직으로 배치하는 방안이 고려되고 있다. 복수의 장치가 수직으로 배치되면, 복수의 장치가 수평으로 배치되는 경우에 비하여 작업 공간의 넓이를 줄일 수 있다. 복수의 장치가 수직으로 배치되는 경우에는, 기판이 수직 방향으로 이동되면서 각각 장치들로 전달된다. 이를 위해서는, 기판 이송 장치의 높이 이상의 높이를 갖는 작업 공간이 확보되어야 한다. 그러나, 건물 내에서의 작업 공간의 높이는 정해져 있고, 일단 작업 공간의 높이가 정해져 있는 경우에는, 작업 공간의 높이를 증가시키는 것이 어렵다. 따라서, 장치들을 수직으로 배치하여 작업 공간의 넓이를 줄이고자 하는 방안을 실시하기 어렵다는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 수직 이송 거리를 확보하면서 기판 이송 장치의 설치에 요구되는 공간의 수직 높이를 줄일 수 있도록 하는 기판 이송 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 기판이 지지되는 스테이지의 상부에 설치되는 지지 유닛; 지지 유닛에 지지되는 제1 이송 유닛; 제1 이송 유닛에 연결되는 연결 유닛; 연결 유닛에 연결되는 제2 이송 유닛; 및 제2 이송 유닛에 연결되며 상기 기판을 파지하는 파지 유닛을 포함할 수 있다.
제2 이송 유닛은 연결 유닛에 수직으로 이동 가능하게 연결될 수 있다.
제1 이송 유닛은, 지지 유닛에 지지되며 수직으로 연장되는 제1 가이드와, 제1 가이드를 따라 이동되는 제1 이동 부재를 포함할 수 있고, 제2 이송 유닛은, 연결 유닛에 지지되며 수직으로 연장되는 제2 가이드와, 제2 가이드를 따라 이동되는 제2 이동 부재를 포함할 수 있고, 제1 이동 부재가 상승할 때 제2 가이드의 상단이 상기 지지 유닛의 높이 이상의 높이에 위치될 수 있다.
연결 유닛과 제2 가이드 사이에는 제2 가이드를 수직으로 이동시키는 이동 장치가 구비될 수 있다.
제1 가이드 및 제2 가이드는 제1 이동 부재가 최고 높이로 상승되고 제2 이동 부재가 최고 높이로 상승된 상태에서 제2 가이드의 상단이 제1 가이드의 상단의 위치와 동일한 위치 또는 제1 가이드의 상단 아래의 위치에 위치되도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 수직으로 이송하기 위해, 수직으로 배치된 제1 및 제2 이송 유닛이 함께 작동되는 구성을 가지므로, 파지 유닛을 최대로 상승시키기 위한 기판 이송 장치의 최대 높이를 종래 기술에 따른 기판 이송 장치에 비하여 줄일 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치의 설치에 요구되는 공간의 높이를 줄일 수 있으므로, 기판 이송 장치의 설치 자유도를 증가시킬 수 있다. 또한, 장치들을 수직으로 배치하여 작업 공간의 넓이를 줄이고자 하는 방안을 용이하게 구현할 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 기판 이송 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동이 순차적으로 도시된 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치를 종래 기술에 따른 기판 이송 장치와 비교하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동이 순차적으로 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치를 종래 기술에 따른 기판 이송 장치와 비교하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 설명한다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치(200)는, 기판(S)이 지지되는 스테이지(10)의 상부에 설치되는 지지 유닛(230)과, 지지 유닛(230)에 지지되는 제1 이송 유닛(210)과, 제1 이송 유닛(210)에 연결되는 연결 유닛(240)과, 연결 유닛(240)에 연결되는 제2 이송 유닛(220)과, 제2 이송 유닛(220)에 연결되며 기판(S)을 파지하는 파지 유닛(250)을 포함할 수 있다.
지지 유닛(230)은 수평 방향으로 연장된 지지바의 형태로 구성될 수 있다.
제1 이송 유닛(210) 및 제2 이송 유닛(220)은 수직으로 배치될 수 있다. 제2 이송 유닛(220)은 연결 유닛(240)을 통하여 제1 이송 유닛(210)에 연결될 수 있다.
제1 이송 유닛(210)은 지지 유닛(230)에 수평 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 제1 이송 유닛(210)은 지지 유닛(230)을 따라 이동될 수 있다. 이를 위해, 제1 이송 유닛(210)과 지지 유닛(230) 사이에는 제1 이송 유닛(210)을 지지 유닛(230)을 따라 이동시키는 구동 장치(260)가 구비될 수 있다. 구동 장치(260)는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구일 수 있다.
제1 이송 유닛(210)은 연결 유닛(240) 및 연결 유닛(240)에 연결된 제2 이송 유닛(220)을 함께 수직 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 제1 이송 유닛(210)은 지지 유닛(230)에 지지되며 수직으로 연장되는 제1 가이드(211)와, 제1 가이드(211)를 따라 이동되는 제1 이동 부재(212)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 이송 유닛(210)은 제1 가이드(211)가 실린더로 구성되고 제1 이동 부재(212)가 제1 가이드(211) 내의 유압 또는 공압의 변화에 따라 제1 가이드(211)를 따라 이동하는 로드로 구성된 액추에이터일 수 있다. 여기에서, 제1 이동 부재(212)는 수직으로 길게 연장될 수 있다. 다른 예로서, 제1 이송 유닛(210)은 제1 가이드(211)가 볼 스크류를 포함하는 가이드로 구성되고 제1 이동 부재(212)가 볼 스크류와 연결되어 볼 스크류와 상호 작용을 하는 볼 너트를 포함하는 볼 스크류 기구일 수 있다. 또 다른 예로서, 제1 이송 유닛(210)은 제1 가이드(211)가 수직으로 연장된 형태를 가지며 제1 이동 부재(212)가 소정의 구동원으로부터의 동력에 의해 제1 가이드(211)를 따라 수직으로 이동되는 이송 기구일 수 있다.
한편, 도면에서는, 2개의 제1 이송 유닛(210)이 수평 방향으로 배치된 구성이 도시되지만, 본 발명은 제1 이송 유닛(210)의 개수 및 배치 형태에 한정되지 않는다. 즉, 제1 이송 유닛(210)에 의해 수직으로 이송되는 대상(즉, 제2 이송 유닛(220), 파지 유닛(250) 및 기판(S))의 중량, 크기, 형상 등을 고려하여, 제1 이송 유닛(210)의 개수가 적절하게 설정될 수 있다.
제2 이송 유닛(220)은 파지 유닛(250)을 수직 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 제2 이송 유닛(220)은 제1 이송 유닛(210)의 작동과 동기화 및 연동하여 작동될 수 있거나, 제1 이송 유닛(210)의 작동에 독립적으로 작동될 수 있다. 또한, 제2 이송 유닛(220)은 제1 이송 유닛(210)의 작동과 동시에 작동될 수 있다. 다만, 설명의 편의를 위해, 도 4에서는 제1 이송 유닛(210)이 먼저 작동되고, 그런 다음, 제2 이송 유닛(220)이 작동되는 과정이 도시되지만, 본 발명은 제1 이송 유닛(210) 및 제2 이송 유닛(220)의 작동 순서에 한정되지 않는다. 즉, 제2 이송 유닛(220)이 제1 이송 유닛(210)의 작동에 선행하여 작동될 수 있다.
제2 이송 유닛(220)은 연결 유닛(240)에 지지되며 수직으로 연장되는 제2 가이드(221)와, 제2 가이드(221)를 따라 이동되는 제2 이동 부재(222)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제2 이송 유닛(220)은 제2 가이드(221)가 실린더로 구성되고 제2 이동 부재(222)가 제2 가이드(221) 내의 유압 또는 공압의 변화에 따라 제2 가이드(221)를 따라 이동하는 로드로 구성된 액추에이터일 수 있다. 여기에서, 제2 이동 부재(222)는 수직으로 길게 연장될 수 있다. 다른 예로서, 제2 이송 유닛(210)은 제2 가이드(221)가 볼 스크류를 포함하는 가이드로 구성되고 제2 이동 부재(222)가 볼 스크류와 연결되어 볼 스크류와 상호 작용을 하는 볼 너트를 포함하는 볼 스크류 기구일 수 있다. 또 다른 예로서, 제2 이송 유닛(220)은 제2 가이드(221)가 수직으로 연장된 형태를 가지며 제2 이동 부재(222)가 소정의 구동원으로부터의 동력에 의해 제2 가이드(221)를 따라 수직으로 이동되는 이송 기구일 수 있다.
한편, 도면에서는, 1개의 제2 이송 유닛(220)이 2개의 제1 이송 유닛(210)에 연결된 구성이 도시되지만, 본 발명은 제2 이송 유닛(220)의 개수 및 배치 형태에 한정되지 않는다. 즉, 제2 이송 유닛(220)에 의해 수직으로 이송되는 대상(즉, 파지 유닛(250) 및 기판(S)의 중량, 크기, 형상 등을 고려하여, 제2 이송 유닛(220)의 개수가 적절하게 설정될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 제1 이송 유닛(210) 및 제2 이송 유닛(220)을 포함하는 구성을 제시하지만, 예를 들면, 보다 많은 수의 이송 유닛이 수직으로 배치될 수 있으며, 복수의 이송 유닛 사이에 연결 유닛이 배치되어 복수의 이송 유닛이 서로 연결될 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 기판(S)을 수직으로 이동시키기 위해 복수의 이송 유닛이 함께 작동하므로, 파지 유닛(250)을 최대로 상승시키기 위한 기판 이송 장치(200)의 최대 높이(H2)를 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(20)에 비하여 줄일 수 있다.
연결 유닛(240)은 제1 이송 유닛(210)과 제2 이송 유닛(220)을 연결하는 블럭 형태로 구성될 수 있다.
연결 유닛(240)에는 제1 이송 유닛(210)의 제1 이동 부재(212)가 연결될 수 있다. 또한, 연결 유닛(240)에는 제2 이송 유닛(220)의 제2 가이드(221)가 연결될 수 있다. 따라서, 제1 이송 유닛(210)이 작동될 때, 연결 유닛(240)에 연결된 제2 이송 유닛(220)이 연결 유닛(240)과 함께 수직으로 승하강될 수 있다.
파지 유닛(250)은 기판(S)의 양면을 가압하면서 기판(S)을 파지하는 클램프를 포함하는 구조 또는 기판(S)의 일면을 진공을 사용하여 흡착하는 구조를 가질 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 이송 유닛(210)이 작동되면, 제1 이동 부재(212)가 제1 가이드(211)를 따라 승하강될 수 있다. 그리고, 제1 이동 부재(212)의 승하강에 의해 연결 유닛(240) 및 제2 이송 유닛(220)이 승하강될 수 있다.
먼저, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 이송 유닛(210)의 제1 이동 부재(212)가 제1 가이드(211)를 따라 상승하면, 연결 유닛(240) 및 제2 이송 유닛(220)이 상승한다. 이에 따라, 파지 유닛(250) 및 기판(S)이 소정의 높이로 상승될 수 있다. 그리고, 도 4b 및 도 4c에 도시된 바와 같이, 제2 이송 유닛(220)이 작동되어 제2 이동 부재(222)가 제2 가이드(221)를 따라 상승하면, 파지 유닛(250) 및 기판(S)이 더 상승될 수 있다. 이에 따라, 도 4c에 도시된 바와 같이, 제1 이송 유닛(210)의 작동에 의한 제2 이송 유닛(220)의 상승 및 제2 이송 유닛(220)의 작동에 의한 파지 유닛(250)의 상승에 의해, 기판(S)이 큰 상승폭으로 상승하게 된다.
여기에서, 제1 가이드(211) 및 제2 가이드(221)는 제1 이동 부재(212)가 최고 높이로 상승되고 제2 이동 부재(222)가 최고 높이로 상승된 상태에서 제2 가이드(221)의 상단(E2)이 제1 가이드(211)의 상단(E1)의 위치와 동일한 위치 또는 제1 가이드(211)의 상단(E1) 아래의 위치에 위치되도록 구성될 수 있다. 즉, 제1 가이드(211) 및 제2 가이드(221)는 기판(S)이 최대 높이로 상승된 상태에서 제2 가이드(221)의 상단(E2)이 제1 가이드(211)의 상단(E1)의 위치와 동일한 위치 또는 제1 가이드(211)의 상단(E1) 아래의 위치에 위치되도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 제2 가이드(221)의 길이가 제1 가이드(211)의 길이를 기준으로 설계될 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 기판(S)이 최대 높이로 상승된 상태에서 제2 가이드(221)의 상단(E2)이 제1 가이드(211)의 상단(E1)의 높이를 벗어나지 않으므로, 기판 이송 장치(200)의 설치 높이가 더 증가하지 않을 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 기판(S)을 승하강시키기 위해 제1 이송 유닛(210) 및 제2 이송 유닛(220)이 함께 작동하는 구성으로 인하여, 파지 유닛(250)이 최상 위치로 상승했을 때의 기판 이송 장치(200)의 최대 높이(H2)가 로드(26)만이 최대 높이로 상승되는 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(20)의 최대 높이(H1)에 비하여 낮아 진다. 즉, 종래 기술에 따른 파지 유닛(25)의 수직 이동 높이(H)와 파지 유닛(250)의 수직 이동 높이(H)가 동일하다고 가정했을 때, 본 발명의 제1 이송 유닛(210)의 최대 높이(H2)가 종래 기술에 따른 구동 유닛(23)의 최대 높이(H1)에 비하여 낮다.
따라서, 본 발명의 구성에 따르면, 기판 이송 장치(200)의 설치에 요구되는 공간의 높이를 줄일 수 있다.
이하, 도 6 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치(200)에 따르면, 제2 이송 유닛(220)이 연결 유닛(240)에 수직으로 이동 가능하게 연결될 수 있다. 이를 위해, 연결 유닛(240)과 제2 가이드(221) 사이에는 제2 가이드(221)를 수직으로 이동시키는 이동 장치(270)가 구비될 수 있다. 이에 따라, 이동 장치(270)가 제2 가이드(221)를 수직으로 이동시키는 것에 의해, 파지 유닛(250)이 연결 유닛(240)에 대하여 수직으로 이동될 수 있다.
이동 장치(270)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구일 수 있다.
한편, 이동 장치(270)에 의해 제2 이송 유닛(220)이 승강되는 과정은 제1 이동 유닛(210)의 작동과 동시에 수행될 수 있거나 이와 별개로 수행될 수 있다. 다만, 설명의 편의를 위해, 도 7에서는 제1 이송 유닛(210)이 먼저 작동되고, 제2 이송 유닛(220)이 작동된 후, 이동 장치(270)가 작동되는 과정이 도시되지만, 본 발명은 제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(220) 및 이동 장치(270)의 작동 순서에 한정되지 않는다. 즉, 제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(220) 및 이동 장치(270)는 동시에 작동될 수 있거나, 이동 장치(270)가 제1 이송 유닛(210) 또는 제2 이송 유닛(220)의 작동에 선행하여 작동될 수 있다. 제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(220) 및 이동 장치(270)는 서로 동기화 및 연동하여 작동될 수 있거나, 서로에 대하여 독립적으로 작동될 수 있다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 이송 유닛(220)이 연결 유닛(240)에 대하여 승강될 수 있으므로, 파지 유닛(250)의 높이를 보다 정확하고 자유롭게 조절할 수 있다. 또한, 제2 이송 유닛(220)이 연결 유닛(240)에 대하여 승강될 수 있으므로 파지 유닛(250)의 수직 이동 높이(H)가 더욱 증가될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 제1 이송 유닛(210)의 제1 이동 부재(212)가 제1 가이드(211)를 따라 상승하면, 연결 유닛(240) 및 제2 이송 유닛(220)이 상승한다. 이에 따라, 파지 유닛(250) 및 기판(S)이 소정의 높이로 상승될 수 있다. 그리고, 도 7b 및 도 7c에 도시된 바와 같이, 제2 이송 유닛(220)이 작동되어 제2 이동 부재(222)가 제2 가이드(221)를 따라 상승하면, 파지 유닛(250) 및 기판(S)이 더 상승될 수 있다. 또한, 도 7c 및 도 7d에 도시된 바와 같이, 이동 장치(270)가 작동되어 제2 이송 유닛(220)이 상승하면, 파지 유닛(250) 및 기판(S)이 더 상승될 수 있다. 따라서, 도 7d에 도시된 바와 같이, 제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(220) 및 이동 장치(270)의 작동에 의한 파지 유닛(250)의 상승에 의해, 기판(S)이 큰 상승폭으로 상승하게 된다.
본 발명의 제1 실시예와 마찬가지로, 제1 가이드(211) 및 제2 가이드(221)는 제1 이동 부재(212)가 최고 높이로 상승되고 제2 이동 부재(222)가 최고 높이로 상승된 상태에서 제2 가이드(221)의 상단(E2)이 제1 가이드(211)의 상단(E1)의 위치와 동일한 위치 또는 제1 가이드(211)의 상단(E1) 아래의 위치에 위치되도록 구성될 수 있다. 따라서, 기판(S)이 최대 높이로 상승된 상태에서 제2 가이드(221)의 상단(E2)이 제1 가이드(211)의 상단(E1)의 높이를 벗어나지 않으므로, 기판 이송 장치(200)의 설치 높이가 더 증가하지 않을 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 기판(S)을 승하강시키기 위해 제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(220) 및 이동 장치(270)이 함께 작동하는 구성으로 인하여, 파지 유닛(250)이 최상 위치로 상승했을 때의 기판 이송 장치(200)의 최대 높이(H2)가 로드(26)만이 최대 높이로 상승되는 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(20)의 최대 높이(H1)에 비하여 낮아 진다. 즉, 종래 기술에 따른 파지 유닛(25)의 수직 이동 높이(H)와 파지 유닛(250)의 수직 이동 높이(H)가 동일하다고 가정했을 때, 본 발명의 제1 이송 유닛(210)의 최대 높이(H2)가 종래 기술에 따른 구동 유닛(23)의 최대 높이(H1)에 비하여 낮다.
따라서, 본 발명의 구성에 따르면, 기판 이송 장치(200)의 설치에 요구되는 공간의 높이를 줄일 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치(200)는, 기판(S)을 수직으로 이동시키기 위해, 수직으로 배치되는 제1 및 제2 이송 유닛(210, 220)이 함께 작동되는 구성을 가지므로, 파지 유닛(250)을 최대로 상승시키기 위한 기판 이송 장치(200)의 최대 높이(H2)를 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(20)에 비하여 줄일 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치(200)의 설치에 요구되는 공간의 높이를 줄일 수 있으므로, 기판 이송 장치(200)의 설치 자유도를 증가시킬 수 있다. 또한, 장치들을 수직으로 배치하여 작업 공간의 넓이를 줄이고자 하는 방안을 용이하게 구현할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 스테이지 200: 기판 이송 장치
210: 제1 이송 유닛 220: 제2 이송 유닛
230: 지지 유닛 240: 연결 유닛
250: 파지 유닛 270: 이동 장치

Claims (5)

  1. 기판이 지지되는 스테이지의 상부에 설치되는 지지 유닛;
    상기 지지 유닛에 설치되며 상기 지지 유닛을 따라 이동 가능한 제1 이송 유닛;
    상기 제1 이송 유닛에 연결되는 연결 유닛;
    상기 연결 유닛에 연결되는 제2 이송 유닛; 및
    상기 제2 이송 유닛에 연결되며 상기 기판을 파지하는 파지 유닛을 포함하고,
    상기 제1 이송 유닛은, 상기 지지 유닛에 지지되며 수직으로 연장되는 제1 가이드와, 상기 제1 가이드를 따라 이동되는 제1 이동 부재를 포함하고,
    상기 제2 이송 유닛은, 상기 연결 유닛에 지지되며 수직으로 연장되는 제2 가이드와, 상기 제2 가이드를 따라 이동되는 제2 이동 부재를 포함하고,
    상기 제1 이동 부재가 상승할 때 상기 제2 가이드의 상단이 상기 지지 유닛의 높이 이상의 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 이송 유닛은 상기 연결 유닛에 이동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결 유닛과 상기 제2 가이드 사이에는 상기 제2 가이드를 수직으로 이동시키는 이동 장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드는 상기 제1 이동 부재가 최고 높이로 상승되고 상기 제2 이동 부재가 최고 높이로 상승된 상태에서 상기 제2 가이드의 상단이 상기 제1 가이드의 상단의 위치와 동일한 위치 또는 상기 제1 가이드의 상단 아래의 위치에 위치되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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