KR102503283B1 - 클린룸용 작업대 - Google Patents

Abstract

클린룸용 작업대가 개시된다. 상기 작업대는, 작업자를 지지하기 위한 서포트 패널과, 상부가 개방된 사각 박스 형태의 작업 공간을 형성하기 위한 측벽들과, 상기 서포트 패널을 지지하기 위한 포스트들과, 상기 작업 공간 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위해 상기 서포트 패널에 장착된 팬 필터 유닛을 포함한다.

Description

클린룸용 작업대{Workbench for clean room}

본 발명의 실시예들은 클린룸용 작업대에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 클린룸 내부의 천장 부위와 같은 높은 위치에서의 고소 작업을 위한 클린룸용 작업대에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자, 디스플레이 등의 제조는 외부로부터의 이물질 유입을 차단할 수 있는 클린룸 내에서 이루어질 수 있으며, 상기 클린룸 내부의 청정도는 제조 대상에 따라 다소 다르게 조절될 수 있다. 최근, 반도체 소자의 집적도가 크게 향상됨에 따라 클린룸 내부를 10 내지 100 Class 정도의 고청정 상태로 유지할 필요가 있다. 상기 클린룸의 천장에는 청정 공기를 제공하기 위한 팬 필터 유닛들이 배치될 수 있으며 이에 의해 상기 클린룸 내부에는 수직 하방 기류가 형성될 수 있다.

한편, 상기 클린룸 내부에서 고소 작업이 필요한 경우 예를 들면 클린룸 천장 부위에서의 작업이 필요한 경우 고소 작업대를 이용할 수 있으나, 작업시 파티클이 발생될 수 있으며 또한 클린룸 내부에서 상기 고소 작업대에 의해 와류가 발생될 수 있다. 특히, 상기 와류는 클린룸 내부에서 파티클을 확산시키는 추가적인 문제를 발생시킬 수 있으므로 고청정도 유지가 필요한 클린룸의 내부 작업을 가능하게 하는 작업대가 요구되고 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2004-0040790 (2004.05.13)

본 발명의 실시예들은 클린룸의 청정도를 저하시키지 않으면서 상기 클린룸 내부에서의 고소 작업을 가능하게 하는 클린룸용 작업대를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따르면, 클린룸 내에서의 고소 작업을 위한 클린룸용 작업대에 있어서, 상기 작업대는, 작업자를 지지하기 위한 서포트 패널과, 상부가 개방된 사각 박스 형태의 작업 공간을 형성하기 위한 측벽들과, 상기 서포트 패널을 지지하기 위한 포스트들과, 상기 작업 공간 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위해 상기 서포트 패널에 장착된 팬 필터 유닛을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 패널은 상부 패널과 하부 패널을 포함할 수 있으며, 상기 팬 필터 유닛은 상기 상부 패널과 하부 패널 사이에 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 패널과 하부 패널에는 상기 팬 필터 유닛과 연통하는 통풍 커버가 각각 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 포스트들 각각은 상기 서포트 패널의 높이를 조절하기 위하여 중공 형태의 제1 포스트와 상기 제1 포스트에 축 방향으로 삽입되는 제2 포스트를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 포스트들 중 적어도 하나에는 위치 결정공들이 수직 방향으로 형성될 수 있으며, 상기 서포트 패널은 상기 위치 결정공들 중 하나에 삽입되는 서포트 핀에 의해 지지될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 포스트들의 하단부에는 이동을 위한 바퀴가 각각 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 포스트들의 하부에는 위치 고정을 위한 아우트리거가 각각 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 측벽들의 상부에는 상기 작업 공간으로부터 발생된 파티클이 외부로 비산되는 것을 방지하기 위한 상부 커버들이 각각 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 커버들은 외측으로 점차 벌어지는 구조를 가질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 측벽들 중 적어도 하나에는 상기 작업자의 출입을 위한 도어가 구비되고 상기 도어 아래에는 사다리가 구비될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 클린룸용 작업대는, 작업자를 지지하기 위한 서포트 패널과, 상부가 개방된 사각 박스 형태의 작업 공간을 형성하기 위한 측벽들과, 상기 서포트 패널을 지지하기 위한 포스트들과, 상기 작업 공간 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위해 상기 서포트 패널에 장착된 팬 필터 유닛을 포함할 수 있다.

상기 팬 필터 유닛은 상기 작업 공간으로부터 상기 서포트 패널 아래를 향한 하방 기류를 형성할 수 있으며, 이에 따라 상기 작업대에 의해 상기 클린룸 내부에서의 와류 발생이 충분히 감소될 수 있다. 또한, 상기 클린룸 내부에서의 작업시 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클은 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있으므로 상기 클린룸 내부의 청정도가 저하되는 것을 충분히 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸용 작업대(100)(이하, ‘작업대’라 한다)는 고청정도 유지가 필요한 클린룸 내부에서 천장 부위 등과 같은 상대적으로 높은 위치에서의 고소 작업을 위해 사용될 수 있다. 상기 작업대(100)는 작업자의 고소 작업을 위해 작업자를 지지하는 서포트 패널(110)과, 상부가 개방된 사각 박스 형태의 작업 공간을 형성하기 위한 측벽들(120)과, 상기 서포트 패널(110)을 지지하기 위한 포스트들(130)과, 상기 작업 공간 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위해 상기 서포트 패널(110)에 장착된 팬 필터 유닛들(140)을 포함할 수 있다.

일 예로서, 상기 서포트 패널(110)은 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며 상부 패널(112)과 하부 패널(114)을 포함할 수 있다. 상기 팬 필터 유닛들(140)은 상기 상부 패널(112)과 하부 패널(114) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 상부 패널(112)과 하부 패널(114)에는 상기 팬 필터 유닛들(140)과 연통하는 통풍 커버들(116)이 각각 장착될 수 있다. 상기 통풍 커버들(116)은 그물망 형태 또는 배플 플레이트 형태를 가질 수 있다. 다른 예로서, 상기 상부 패널(112) 및 하부 패널(114) 전체가 그물망 형태 또는 배플 플레이트 형태로 제작될 수도 있다.

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 팬 필터 유닛들(140)은 하방 기류를 형성하기 위한 팬과 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위한 필터를 각각 포함할 수 있다. 특히, 상기 팬 필터 유닛들(140)은 상기 작업 공간으로부터 상기 서포트 패널(110) 아래를 향한 하방 기류를 형성할 수 있으므로, 상기 클린룸 내부의 전체적인 하방 기류를 변화시키지 않으며 이를 통해 상기 작업대에 의한 와류 발생을 충분히 감소시킬 수 있다.

상기 포스트들(130)은 상기 작업 공간의 높이를 조절할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 포스트들(130) 각각은 상기 서포트 패널(110)의 높이를 조절하기 위하여 중공 형태를 갖는 제1 포스트(132)와 상기 제1 포스트(132)에 축 방향으로 삽입되는 제2 포스트(134)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면 상기 제1 포스트(132)가 상부에 배치되고 상기 제2 포스트(134)가 하부에서 상방으로 상기 제1 포스트(132)에 삽입되고 있으나, 상기 제1 및 제2 포스트들(132, 134)의 위치는 반대로 구성될 수도 있다.

상기 제1 및 제2 포스트들(132, 134) 중 적어도 하나에는 위치 결정공들(136)이 수직 방향으로 형성될 수 있으며 상기 위치 결정공들(136)에는 서포트 핀들(138)이 삽입될 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 상기 제1 포스트들(132)과 제2 포스트들(134)을 관통하여 서포트 핀들(138)이 삽입되고 있으며, 상기 서포트 패널(110)은 상기 서포트 핀들(138)에 의해 지지될 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 상기 서포트 핀들(138)은 상기 제2 포스트들(134)만 관통할 수도 있으며, 이 경우 상기 제1 포스트들(132)의 하단부가 상기 서포트 핀들(138)에 의해 지지될 수 있다.

상기 포스트들(130)의 하단부들에는 이동을 위한 바퀴(150)가 각각 장착될 수 있다. 특히, 상기 바퀴들(150)은 이동시 방향 전환을 용이하게 하기 위해 360° 회전 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 이동시 안전 사고를 방지하기 위하여 상기 바퀴들(150)을 감싸는 휠 커버들(152)이 상기 포스트들(130)의 하단부에 구비될 수 있다. 또한, 상기 포스트들(130)의 하부에는 작업시 상기 작업대(100)의 위치를 고정시키기 위한 아우트리거(154)가 각각 장착될 수 있다.

상기 측벽들(120)의 상부에는 상기 작업 공간으로부터 발생된 파티클이 외부로 비산되는 것을 방지하기 위한 상부 커버들(160)이 각각 배치될 수 있다. 특히, 상기 작업대(100) 상부의 공기가 상기 작업 공간 내부로 유입되도록 상기 상부 커버들(160)은 외측으로 점차 벌어지는 형태로 구성될 수 있으며, 이를 통해 상기 작업 공간 외부로 파티클들이 비산되는 것을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 상부 커버들(160)은 이동시 간섭을 방지하기 위하여 상기 작업 공간 내에 수납 가능하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 상부 커버들(160)은 슬라이드 방식으로 상기 측벽들(120) 내측에 수납될 수 있다.

상기 측벽들(120) 중 적어도 하나에는 작업자의 출입을 위한 도어(170)가 구비될 수 있으며, 상기 도어(170) 아래에는 작업자의 출입을 위한 사다리(172)가 구비될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 작업대(100)의 길이 방향으로 양측에 각각 도어(170)와 사다리(172)가 구비되고 있으나, 상기 도어(170)와 사다리(172)의 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 클린룸용 작업대(100)는, 작업자를 지지하기 위한 서포트 패널(110)과, 상부가 개방된 사각 박스 형태의 작업 공간을 형성하기 위한 측벽들(120)과, 상기 서포트 패널(110)을 지지하기 위한 포스트들(130)과, 상기 작업 공간 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위해 상기 서포트 패널(110)에 장착된 팬 필터 유닛(140)을 포함할 수 있다.

상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 작업 공간으로부터 상기 서포트 패널(110) 아래를 향한 하방 기류를 형성할 수 있으며, 이에 따라 상기 작업대에 의해 상기 클린룸 내부에서의 와류 발생이 충분히 감소될 수 있다. 또한, 상기 클린룸 내부에서의 작업시 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클은 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 제거될 수 있으므로 상기 클린룸 내부의 청정도가 저하되는 것을 충분히 방지할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 클린룸용 작업대 110 : 서포트 패널
120 : 측벽 130 : 포스트
140 : 팬 필터 유닛 150 : 바퀴
152 : 휠 커버 154 : 아우트리거
160 : 상부 커버 170 : 도어
172 : 사다리

Claims (11)

1. 클린룸 내에서의 고소 작업을 위한 클린룸용 작업대에 있어서,
   작업자를 지지하기 위한 서포트 패널;
   상부가 개방된 사각 박스 형태의 작업 공간을 형성하기 위한 측벽들;
   상기 서포트 패널을 지지하기 위한 포스트들;
   상기 작업 공간 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위해 상기 서포트 패널에 장착된 팬 필터 유닛; 및
   상기 측벽들의 상부에 각각 배치되며 상기 작업 공간으로부터 발생된 파티클이 외부로 비산되는 것을 방지하기 위한 상부 커버들을 포함하되,
   상기 상부 커버들은 외측으로 점차 벌어지는 구조를 갖고, 슬라이드 방식으로 상기 측벽들 내에 수납 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
2. 제1항에 있어서, 상기 서포트 패널은 상부 패널과 하부 패널을 포함하며 상기 팬 필터 유닛은 상기 상부 패널과 하부 패널 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
3. 제2항에 있어서, 상기 상부 패널과 하부 패널에는 상기 팬 필터 유닛과 연통하는 통풍 커버가 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
4. 제1항에 있어서, 상기 포스트들 각각은 상기 서포트 패널의 높이를 조절하기 위하여 중공 형태의 제1 포스트와 상기 제1 포스트에 축 방향으로 삽입되는 제2 포스트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 포스트들 중 적어도 하나에는 위치 결정공들이 수직 방향으로 형성되며, 상기 위치 결정공들 중 하나에 삽입되는 서포트 핀에 의해 상기 서포트 패널이 지지되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
6. 제1항에 있어서, 상기 포스트들의 하단부에는 이동을 위한 바퀴가 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
7. 제6항에 있어서, 상기 포스트들의 하부에는 위치 고정을 위한 아우트리거가 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제
11. 제1항에 있어서, 상기 측벽들 중 적어도 하나에는 상기 작업자의 출입을 위한 도어가 구비되고 상기 도어 아래에는 사다리가 구비되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.

Images