KR102074103B1 - 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치 - Google Patents

운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 모니터링부가 탑재된 캐비닛 어셈블리를 대차 어셈블리로 운반할 수 있으며, 운반보조 어셈블리가 사용자의 안전과 운반 및 하역의 편의를 도모할 수 있도록 하는 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치에 관한 것이다.

Description

운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치{MONITORING APPARATUS FOR MANUFATURING LINE OF SEMICONDUCTOR WITH TRANPORTING CART}
본 발명은 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조라인의 지속적인 모니터링과 즉각적인 대처가 가능함은 물론, 해당 모니터링 장치의 이송에 편의를 제공하고 작업자의 안전을 확보할 수 있도록 한 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체장치는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하게 됨으로써 이루어지고, 이들 반도체장치 제조공정 중 식각, 확산, 화학기상증착 등의 공정은 밀폐된 공정챔버 내에 소정의 분위기하에서 공정가스를 투입함으로써 공정챔버 내의 웨이퍼 상에서 반응토록 하는 공정을 수행하게 된다.
이러한 반도체 제조공정은 대부분 진공상태에서 진행되고 있으며, 진공상태가 설정된 값에서 정확하게 유지되어야만 정밀한 반도체 제조공정을 수행할 수 있다.
한편 열이나 플라즈마를 사용하여 반도체웨이퍼를 물리화학적으로 가공하는 반도체제조장치에서는 장치 내부의 화학반응에 의해 생성되는 반응생성물 등이 장치의 내벽에 부착하여 잔류하고, 시간과 함께 웨이퍼의 처리상태를 변화시킨다.
이 때문에 웨이퍼의 처리를 몇매나 겹쳐짐에 따라 웨이퍼상의 반도체디바이스의 가공형상이 서서히 변화하여 성능이 열화한다.
이 문제에 대응하기 위하여 통상은 챔버내벽의 부착물을 플라즈마에 의해 세정하거나, 챔버벽의 온도를 올려 부착물이 부착하기 어렵게 하는 등의 대책이 취해진다.
그러나 대부분의 경우 이들 대책은 완전하지 않아, 결국 반도체디바이스의 가공형상은 서서히 변화하여 버린다.
공개특허 제10-1998-077892호의 "반도체 이온주입장치의 가스 흐름량 모니터링 시스템"(이하 선행기술)과 같은 것을 통하여 가스 흐름량의 조절후 조절된 가스 흐름량을 육안으로 확인하여 원하는 가스 흐름량을 설정하는 작업시간을 단축할 수 있도록 한 것이다.
그러나, 선행기술과 같은 시스템의 경우 가스의 흐름량을 육안으로 살펴볼 수 있다는 점은 유용하지만, 최근 반도체 제조라인의 대규모화함에 따라 해당 제조라인에 투입되는 작업유체들이 흐르는 배관과 밸브류의 양과 점검 개소는 일일이 육안에 의존하여 확인하는 것은 한계가 있다.
공개특허 제10-1998-077892호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 발명된 것으로, 반도체 제조라인의 지속적인 모니터링과 즉각적인 대처가 가능함은 물론, 해당 모니터링 장치의 이송에 편의를 제공하고 작업자의 안전을 확보할 수 있도록 하는 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 제조라인의 작업공정에 사용되는 작업유체가 흐르는 배관상에 장착되는 밸브의 입구 및 출구측에 장착되어 상기 작업유체의 유량을 실시간으로 감지하는 센서와 통신 가능한 것으로, 상기 밸브의 개폐 조작에 따른 상기 작업유체의 유량 범위가 기설정값 이내인지 비교 검출하는 모니터링부; 상기 모니터링부가 탑재된 컨트롤 배전반이 내장되는 캐비닛 본체와, 상기 캐비닛 본체의 전면을 개폐 가능한 점검 도어를 포함하는 캐비닛 어셈블리; 상기 캐비닛 어셈블리의 바닥면에 탈착 가능하게 구비되며 상기 캐비닛 어셈블리를 운반 가능하게 받침 지지하는 상면을 가진 기대와, 상기 기대의 저면에 복수로 장착되어 지면과 구름 접촉하는 방향성 캐스터와, 상기 기대의 일측으로부터 돌출되어 작업자가 파지하여 밀거나 당길 수 있도록 한 손잡이를 포함하는 대차 어셈블리; 및 상기 기대의 일측에 구비되어 상기 지면을 향하여 연장되고, 상기 대차 어셈블리를 밀며 운반하는 상기 작업자의 신발이 상기 기대의 하면과 상기 지면 사이에 끼어드는 것을 규제하는 제1 편과, 상기 기대의 상면 일측 가장자리로부터 출입 가능하도록 상기 기대의 상면에 구비되고, 상기 캐비닛 어셈블리를 상기 기대의 상면으로부터 인출 가능한 제2 편을 포함하는 운반보조 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치를 제공할 수 있다.
여기서, 상기 제1 편은, 상기 기대의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 상기 방향성 캐스터의 측방을 커버하도록 상기 기대의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 측면 가이드와, 상기 전방 측면 가이드의 일측 가장자리로부터 연장되고, 상기 기대의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 상기 방향성 캐스터의 전방을 커버하도록 상기 기대의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 가이드와, 상기 전방 측면 가이드 및 상기 전방 가이드의 상부측에 형성되어 상기 기대에 탈착 가능하게 구비된 전방 탈착 브라켓과, 상기 기대의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 상기 방향성 캐스터의 측방을 커버하도록 상기 기대의 바닥면 하부측에 배치도는 후방 측면 가이드와, 상기 후방 측면 가이드의 일측 가장자리로부터 연장되고, 상기 기대의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 상기 방향성 캐스터의 후방을 커버하도록 상기 기대의 바닥면 하부측에 배치되는 후방 가이드와, 상기 후방 측면 가이드 및 상기 후방 가이드의 상부측에 형성되어 상기 기대에 탈착 가능하게 구비된 후방 탈착 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
우선, 본 발명은 반도체 제조라인의 작업공정에 사용되는 작업유체가 흐르는 배관상에 장착되는 밸브의 입구 및 출구측에 장착되어 작업유체의 유량을 실시간으로 감지하는 센서와 통신 가능한 것으로, 밸브의 개폐 조작에 따른 작업유체의 유량 범위가 기설정값 이내인지 비교 검출하는 모니터링부; 모니터링부가 탑재된 컨트롤 배전반이 내장되는 캐비닛 본체와, 캐비닛 본체의 전면을 개폐 가능한 점검 도어를 포함하는 캐비닛 어셈블리; 캐비닛 어셈블리의 바닥면에 탈착 가능하게 구비되며 캐비닛 어셈블리를 운반 가능하게 받침 지지하는 상면을 가진 기대와, 기대의 저면에 복수로 장착되어 지면과 구름 접촉하는 방향성 캐스터와, 기대의 일측으로부터 돌출되어 작업자가 파지하여 밀거나 당길 수 있도록 한 손잡이를 포함하는 대차 어셈블리; 및 기대의 일측에 구비되어 지면을 향하여 연장되고, 대차 어셈블리를 밀며 운반하는 작업자의 신발이 기대의 하면과 지면 사이에 끼어드는 것을 규제하는 제1 편과, 기대의 상면 일측 가장자리로부터 출입 가능하도록 기대의 상면에 구비되고, 캐비닛 어셈블리를 기대의 상면으로부터 인출 가능한 제2 편을 포함하는 운반보조 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하여, 반도체 제조라인의 지속적인 모니터링과 즉각적인 대처가 가능함은 물론, 해당 모니터링 장치의 이송에 편의를 제공하고 작업자의 안전을 확보할 수 있게 될 것이다.
그리고, 본 발명에 따른 제1 편은, 기대의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터의 측방을 커버하도록 기대의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 측면 가이드와, 전방 측면 가이드의 일측 가장자리로부터 연장되고, 기대의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터의 전방을 커버하도록 기대의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 가이드와, 전방 측면 가이드 및 전방 가이드의 상부측에 형성되어 기대에 탈착 가능하게 구비된 전방 탈착 브라켓과, 기대의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터의 측방을 커버하도록 기대의 바닥면 하부측에 배치도는 후방 측면 가이드와, 후방 측면 가이드의 일측 가장자리로부터 연장되고, 기대의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터의 후방을 커버하도록 기대의 바닥면 하부측에 배치되는 후방 가이드와, 후방 측면 가이드 및 후방 가이드의 상부측에 형성되어 기대에 탈착 가능하게 구비된 후방 탈착 브라켓을 포함함으로써, 캐비닛 어셈블리와 같은 중량물을 이송함에 있어서 작업의 편의를 제공하고 방향성 캐스터에 작업자의 발이 낌으로 인하여 발생할 우려가 있는 안전사고를 미연에 방지하여 작업자의 안전을 확보할 수 있게 될 것이다.
또한, 본 발명에 따른 제2 편은, 기대의 상면에 단차지게 형성된 수납 단차홈과, 기대의 상면 일측 가장자리로부터 수납 또는 인출 가능하게 수납 단차홈에 안착되는 출입 패널과, 출입 패널의 가장자리 내측의 저면으로부터 돌출되어 지면에 구름 접촉 가능하게 형성되는 보조 캐스터와, 기대의 일측면에 함몰되어 보조 캐스터를 수납 가능한 캐스터 수납홈을 포함함으로써, 캐비닛 어셈블리와 같은 중량물의 이송과 하역 등 운반과 설치 시공 등 작업의 편의성을 대폭적으로 향상시켜 작업 효율을 증대시킬 수 있게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 전체적인 구성을 도시한 개념도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 주요부인 운반보조 어셈블리 중 제1 편의 구조를 도시한 사시 개념도로, 도 2(a)는 대차 어셈블리의 상부측에서 비스듬하게 내려다 본 시점을, 도 2(b)는 대차 어셈블리의 하부측에서 비스듬하게 올려다 본 시점을 각각 나타낸 도면
도 3은 도 1의 III 시점에서 바라본 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 주요부인 운반보조 어셈블리 중 제2 편의 작동 과정을 도시한 저면 개념도로, 도 3(a)는 출입 패널이 수납된 상태를, 도 3(b)는 출입 패널이 기대로부터 인출된 상태를 각각 나타낸 도면
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다.
본 명세서에서 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
또한, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하고, 본 명세서에서 사용된(언급된) 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함하며, '포함(또는, 구비)한다'로 언급된 구성 요소 및 동작은 하나 이상의 다른 구성요소 및 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
참고로, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 전체적인 구성을 도시한 개념도이다.
그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 주요부인 운반보조 어셈블리(400) 중 제1 편(410)의 구조를 도시한 사시 개념도로, 도 2(a)는 대차 어셈블리(300)의 상부측에서 비스듬하게 내려다 본 시점을, 도 2(b)는 대차 어셈블리(300)의 하부측에서 비스듬하게 올려다 본 시점을 각각 나타낸 도면이다.
또한, 도 3은 도 1의 III 시점에서 바라본 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 주요부인 운반보조 어셈블리(400) 중 제2 편(420)의 작동 과정을 도시한 저면 개념도로, 도 3(a)는 출입 패널(422)이 수납된 상태를, 도 3(b)는 출입 패널(422)이 기대(310)로부터 인출된 상태를 각각 나타낸 도면이다.
참고로, 도면 이해의 편의상 도 2에서는 제2 편(420)의 도시를 생략하였으며, 도 3에서는 제1 편(410)의 도시를 생략하였다.
아울러, 도 2에서 괄호안의 도면부호는 기대(310)의 후방에 배치되는 제1 편(410)의 각 구성부(414, 415, 416)를 가리키는 것이다.
우선, 본 발명은 도시된 바와 같이 모니터링부(100)가 탑재된 캐비닛 어셈블리(200)를 대차 어셈블리(300)로 운반할 수 있으며, 운반보조 어셈블리(400)가 사용자의 안전과 운반 및 하역의 편의를 도모하는 구조임을 파악할 수 있다.
그리고, 모니터링부(100)는 반도체 제조라인의 작업공정에 사용되는 작업유체가 흐르는 배관상에 장착되는 밸브의 입구 및 출구측에 장착되어 작업유체의 유량을 실시간으로 감지하는 센서와 통신 가능한 것으로, 밸브의 개폐 조작에 따른 작업유체의 유량 범위가 기설정값 이내인지 비교 검출하는 것이다.
그리고, 캐비닛 어셈블리(200)는 모니터링부(100)가 탑재된 컨트롤 배전반(이하 미도시)이 내장되는 캐비닛 본체(210)와, 캐비닛 본체(210)의 전면을 개폐 가능한 점검 도어(220)를 포함하는 것이다.
또한, 대차 어셈블리(300)는 캐비닛 어셈블리(200)의 바닥면에 탈착 가능하게 구비되며 캐비닛 어셈블리(200)를 운반 가능하게 받침 지지하는 상면을 가진 기대(310)와, 기대(310)의 바닥면에 복수로 장착되어 지면과 구름 접촉하는 방향성 캐스터(320)와, 기대(310)의 일측으로부터 돌출되어 작업자가 파지하여 밀거나 당길 수 있도록 한 손잡이(330)를 포함하는 것이다.
아울러, 운반보조 어셈블리(400)는 기대(310)의 일측에 구비되어 지면을 향하여 연장되고, 대차 어셈블리(300)를 밀며 운반하는 작업자의 신발이 기대(310)의 바닥면과 지면 사이에 끼어드는 것을 규제하는 제1 편(410)과, 기대(310)의 상면 일측 가장자리로부터 출입 가능하도록 기대(310)의 상면에 구비되고, 캐비닛 어셈블리(200)를 기대(310)의 상면으로부터 인출 가능한 제2 편(420)을 포함하는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 실시예의 적용이 가능하며 다음과 같은 다양한 실시예의 적용 또한 가능함은 물론이다.
우선, 모니터링부(100)는, 제1 내지 제3 비교검출부(110, 120, 130)를 포함할 수 있다.
제1 비교검출부(110)는 배관상에서 제1 입구와 제1 출구를 가진 2방 밸브의 개폐 조작에 따른 유량 변화가 기설정값과 비교하여 정상 범위인지 실시간으로 검지하는 것이다.
제2 비교검출부(120)는 배관상에서 제2 입구를 가지고, 제2 입구로부터 배관이 두 방향으로 분지되어 형성되는 제1 분지관과 제2 분지관에 각각 형성되는 제1 분지출구와 제2 분지출구를 가지는 3방 밸브의 개폐 조작에 따른 유량 변화가 기설정값과 비교하여 정상범위인지 실시간으로 검지하는 것이다.
아울러, 제3 비교검출부(130)는 배관상에서 제3 입구를 가지고, 제3 입구로부터 배관이 세 방향으로 분지되어 형성되는 제3분지관과 제4 분지관 및 제5 분지관에 각각 형성되는 제3 분지출구와 제4 분지출구 및 제5 분지출구를 가지는 4방 밸브의 개폐 조작에 따른 유량 변화가 기설정값과 비교하여 정상범위인지 실시간으로 검지하는 것이다.
이러한 모니터링부(100)는, 도 1과 같이 네트워크(600)를 통하여 관제센터의 서버(700)와 PC 또는 작업자의 휴대용 단말(800)과 실시간으로 통신할 수 있게 될 것이다.
따라서, 모니터링부(100)에 의하여 실시간으로 감시되는 제조라인의 작업유체 배관상의 유량 변화를 통하여 이상 발생시 즉각적인 무선 통신에 따른 상황 전파가 이루어지고, 관제센터와 해당 제조라인 부근의 작업자나 관리자는 문제가 발생한 구역에 출동하여 즉각적인 대처를 할 수 있게 될 것이다.
한편, 제1 편(410)은, 도 2를 참조하여 구체적으로 살펴보면, 기대(310)의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 측방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 측면 가이드(411)를 포함할 수 있다.
그리고, 제1 편(410)은, 전방 측면 가이드(411)의 일측 가장자리로부터 연장되고, 기대(310)의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 전방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 가이드(412)를 포함할 수 있다.
그리고, 제1 편(410)은, 전방 측면 가이드(411) 및 전방 가이드(412)의 상부측에 형성되어 기대(310)에 탈착 가능하게 구비된 전방 탈착 브라켓(413)을 포함할 수 있다.
그리고, 제1 편(410)은, 기대(310)의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 측방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치도는 후방 측면 가이드(414)를 포함할 수 있다.
또한, 제1 편(410)은, 후방 측면 가이드(414)의 일측 가장자리로부터 연장되고, 기대(310)의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 후방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 후방 가이드(415)를 포함할 수 있다.
아울러, 제1 편(410)은, 후방 측면 가이드(414) 및 후방 가이드(415)의 상부측에 형성되어 기대(310)에 탈착 가능하게 구비된 후방 탈착 브라켓(416)을 포함할 수도 있을 것이다.
여기서, 전방 탈착 브라켓(413)은, 전방 측면 가이드(411) 및 전방 가이드(412) 각각의 상단부 가장자리를 따라 전방 측면 가이드(411) 및 전방 가이드(412) 각각의 외측으로 연장되고, 기대(310)의 전방 모서리 바닥면과 접촉하는 쐐기 형상의 전방 탈착편(413a)을 포함할 수 있다.
이때, 전방 탈착 브라켓(413)은, 전방 탈착편(413a)의 외측 가장자리를 따라 돌출되어 기대(310)의 전방 모서리 측면에 접촉하며 기대(310)의 상면으로부터 돌출되는 쐐기 형상의 전방위치 결정편(413b)을 포함할 수 있다.
또한, 후방 탈착 브라켓(416)은, 후방 측면 가이드(414) 및 후방 가이드(415) 각각의 상단부 가장자리를 따라 후방 측면 가이드(414) 및 후방 가이드(415) 각각의 외측으로 연장되고, 기대(310)의 후방 모서리 바닥면과 접촉하는 쐐기 형상의 후방 탈착편(416a)을 포함할 수도 있다.
아울러, 후방 탈착 브라켓(416)은, 후방 탈착편(416a)의 외측 가장자리를 따라 돌출되어 기대(310)의 후방 모서리 측면에 접촉하며 기대(310)의 상면으로부터 돌출되는 쐐기 형상의 후방위치 결정편(416b)을 포함할 수도 있음은 물론이다.
한편, 제2 편(420)은, 기대(310)의 상면에 단차지게 형성된 수납 단차홈(421)과, 기대(310)의 상면 일측 가장자리로부터 수납 또는 인출 가능하게 수납 단차홈(421)에 안착되는 출입 패널(422)을 포함할 수 있다.
또한, 제2 편(420)은, 출입 패널(422)의 가장자리 내측의 저면으로부터 돌출되어 지면에 구름 접촉 가능하게 형성되는 보조 캐스터(423)와, 기대(310)의 일측면에 함몰되어 보조 캐스터(423)를 수납 가능한 캐스터 수납홈(424)을 포함할 수 있다.
따라서, 작업자가 캐비닛 어셈블리(200)를 설치 및 시공할 장소까지 대차 어셈블리(300)를 이용하여 이송해 왔다면 도 3(a)의 상태에서 출입 패널(422)를 도 3(b)와 같이 인출함으로써, 캐비닛 어셈블리(200)의 하역에 도움을 줄 수 있게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치의 작용 및 효과에 대하여 다음과 같이 살펴보고자 한다.
우선, 본 발명은 반도체 제조라인의 작업공정에 사용되는 작업유체가 흐르는 배관상에 장착되는 밸브의 입구 및 출구측에 장착되어 작업유체의 유량을 실시간으로 감지하는 센서와 통신 가능한 것으로, 밸브의 개폐 조작에 따른 작업유체의 유량 범위가 기설정값 이내인지 비교 검출하는 모니터링부(100); 모니터링부(100)가 탑재된 컨트롤 배전반(이하 미도시)이 내장되는 캐비닛 본체(210)와, 캐비닛 본체(210)의 전면을 개폐 가능한 점검 도어(220)를 포함하는 캐비닛 어셈블리(200); 캐비닛 어셈블리(200)의 바닥면에 탈착 가능하게 구비되며 캐비닛 어셈블리(200)를 운반 가능하게 받침 지지하는 상면을 가진 기대(310)와, 기대(310)의 바닥면에 복수로 장착되어 지면과 구름 접촉하는 방향성 캐스터(320)와, 기대(310)의 일측으로부터 돌출되어 작업자가 파지하여 밀거나 당길 수 있도록 한 손잡이(330)를 포함하는 대차 어셈블리(300); 및 기대(310)의 일측에 구비되어 지면을 향하여 연장되고, 대차 어셈블리(300)를 밀며 운반하는 작업자의 신발이 기대(310)의 바닥면과 지면 사이에 끼어드는 것을 규제하는 제1 편(410)과, 기대(310)의 상면 일측 가장자리로부터 출입 가능하도록 기대(310)의 상면에 구비되고, 캐비닛 어셈블리(200)를 기대(310)의 상면으로부터 인출 가능한 제2 편(420)을 포함하는 운반보조 어셈블리(400)를 포함하는 것을 특징으로 하여, 반도체 제조라인의 지속적인 모니터링과 즉각적인 대처가 가능함은 물론, 해당 모니터링 장치의 이송에 편의를 제공하고 작업자의 안전을 확보할 수 있게 될 것이다.
그리고, 본 발명에 따른 제1 편(410)은, 기대(310)의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 측방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 측면 가이드(411)와, 전방 측면 가이드(411)의 일측 가장자리로부터 연장되고, 기대(310)의 바닥면 전방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 전방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 가이드(412)와, 전방 측면 가이드(411) 및 전방 가이드(412)의 상부측에 형성되어 기대(310)에 탈착 가능하게 구비된 전방 탈착 브라켓(413)과, 기대(310)의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 측방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치도는 후방 측면 가이드(414)와, 후방 측면 가이드(414)의 일측 가장자리로부터 연장되고, 기대(310)의 바닥면 후방 양측에 각각 구비된 방향성 캐스터(320)의 후방을 커버하도록 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 후방 가이드(415)와, 후방 측면 가이드(414) 및 후방 가이드(415)의 상부측에 형성되어 기대(310)에 탈착 가능하게 구비된 후방 탈착 브라켓(416)을 포함함으로써, 캐비닛 어셈블리(200)와 같은 중량물을 이송함에 있어서 작업의 편의를 제공하고 방향성 캐스터에 작업자의 발이 낌으로 인하여 발생할 우려가 있는 안전사고를 미연에 방지하여 작업자의 안전을 확보할 수 있게 될 것이다.
또한, 본 발명에 따른 제2 편(420)은, 기대(310)의 상면에 단차지게 형성된 수납 단차홈(421)과, 기대(310)의 상면 일측 가장자리로부터 수납 또는 인출 가능하게 수납 단차홈(421)에 안착되는 출입 패널(422)과, 출입 패널(422)의 가장자리 내측의 저면으로부터 돌출되어 지면에 구름 접촉 가능하게 형성되는 보조 캐스터(423)와, 기대(310)의 일측면에 함몰되어 보조 캐스터(423)를 수납 가능한 캐스터 수납홈(424)을 포함함으로써, 캐비닛 어셈블리(200)와 같은 중량물의 이송과 하역 등 운반과 설치 시공 등 작업의 편의성을 대폭적으로 향상시켜 작업 효율을 증대시킬 수 있게 될 것이다.
이상과 같이 본 발명은 반도체 제조라인의 지속적인 모니터링과 즉각적인 대처가 가능함은 물론, 해당 모니터링 장치의 이송에 편의를 제공하고 작업자의 안전을 확보할 수 있도록 하는 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치를 제공하는 것을 기본적인 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다.
그리고, 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서 당해 업계 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형 및 응용 또한 가능함은 물론이다.
100...모니터링부
110...제1 비교검출부
120...제2 비교검출부
130...제3 비교검출부
200...캐비닛 어셈블리
210...캐비닛 본체
220...점검 도어
300...대차 어셈블리
310...기대
320...방향성 캐스터
330...손잡이
400...운반보조 어셈블리
410...제1 편
411...전방 측면 가이드
412...전방 가이드
413...전방 탈착 브라켓
413a...전방 탈착편
413b...전방위치 결정편
414...후방 측면 가이드
415...후방 가이드
416...후방 탈착 브라켓
416a...후방 탈착편
416b...후방위치 결정편
420...제2 편
421...수납 단차홈
422...출입 패널
423...보조 캐스터
424...캐스터 수납홈
600...네트워크
700...서버
800...PC 또는 작업자의 휴대용 단말

Claims (2)

  1. 반도체 제조라인의 작업공정에 사용되는 작업유체가 흐르는 배관상에 장착되는 밸브의 입구 및 출구측에 장착되어 상기 작업유체의 유량을 실시간으로 감지하는 센서와 통신 가능한 것으로, 상기 밸브의 개폐 조작에 따른 상기 작업유체의 유량 범위가 기설정값 이내인지 비교 검출하는 모니터링부(100);
    상기 모니터링부(100)가 탑재된 컨트롤 배전반이 내장되는 캐비닛 본체(210)와, 상기 캐비닛 본체(210)의 전면을 개폐 가능한 점검 도어(220)를 포함하는 캐비닛 어셈블리(200);
    상기 캐비닛 어셈블리(200)의 바닥면에 탈착 가능하게 구비되며 상기 캐비닛 어셈블리(200)를 운반 가능하게 받침 지지하는 상면을 가진 기대(310)와, 상기 기대(310)의 저면에 복수로 장착되어 지면과 구름 접촉하는 방향성 캐스터(320)와, 상기 기대(310)의 일측으로부터 돌출되어 작업자가 파지하여 밀거나 당길 수 있도록 한 손잡이(330)를 포함하는 대차 어셈블리(300); 및
    상기 기대(310)의 일측에 구비되어 상기 지면을 향하여 연장되고, 상기 대차 어셈블리(300)를 밀며 운반하는 상기 작업자의 신발이 상기 기대(310)의 하면과 상기 지면 사이에 끼어드는 것을 규제하는 제1 편(410)과, 상기 기대(310)의 상면 일측 가장자리로부터 출입 가능하도록 상기 기대(310)의 상면에 구비되고, 상기 캐비닛 어셈블리(200)를 상기 기대(310)의 상면으로부터 인출 가능한 제2 편(420)을 포함하는 운반보조 어셈블리(400)를 포함하며,
    상기 제1 편(410)은, 상기 기대(310)의 바닥면 전방 또는 후방 양측에 각각 구비된 상기 방향성 캐스터(320)의 측방을 커버하도록 상기 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 측면 가이드(411 또는 414)와, 상기 측면 가이드(411 또는 414)의 일측 가장자리로부터 연장되고, 상기 기대(310)의 바닥면 전방 또는 후방 양측에 각각 구비된 상기 방향성 캐스터(320)의 전방 또는 후방을 커버하도록 상기 기대(310)의 바닥면 하부측에 배치되는 전방 또는 후방 가이드(412 또는 415)와, 상기 측면 가이드(411 또는 414) 및 상기 전방 또는 후방 가이드(412 또는 415)의 상부측에 형성되어 상기 기대(310)에 탈착 가능하게 구비된 탈착 브라켓(413 또는 416)을 포함하고,
    상기 탈착 브라켓(413 또는 416)은, 상기 측면 가이드(411 또는 414) 및 상기 전방 또는 후방 가이드(412 또는 415)의 상단부 가장자리를 따라 상기 측면 가이드(411 또는 414) 및 상기 전방 또는 후방 가이드(412 또는 415)의 외측으로 연장되어 상기 기대(310)의 전방 또는 후방 코너 부근 바닥면과 평면대 평면으로 접촉하는 탈착편(413a 또는 416a)과, 상기 탈착편(413a 또는 416a)의 외측 가장자리를 따라 상측으로 돌출되어 상기 기대(310)의 전방 또는 후방 코너의 측면 및 전방 또는 후방면에 접촉하며 상기 기대(310)의 상면보다 더 돌출되는 위치 결정편(413b 또는 416b)를 포함하며, 상기 측면 가이드(411 또는 414) 및 상기 전방 또는 후방 가이드(412 또는 415)는 상기 기대(310)의 바닥면으로부터 멀어질수록 외측으로 벌어지도록 경사져 있으며,
    상기 기대(310)의 상면에는 수납 단차홈(421)이 단차지게 형성되고, 상기 제2 편(420)은, 상기 기대(310)의 상면 일측 가장자리로부터 수납 또는 인출 가능하게 수납 단차홈(421)에 안착되는 출입 패널(422)과, 상기 출입 패널(422)의 가장자리 내측의 저면으로부터 돌출되어 지면에 구름 접촉 가능하게 형성되는 보조 캐스터(423)를 포함하고, 상기 보조 캐스터(423)를 수납 가능한 캐스터 수납홈(424)이 상기 기대(310)의 일측면에 함몰되어 형성된 것을 특징으로 하는 운반대차를 구비한 반도체 제조라인 모니터링 장치.
  2. 삭제
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