KR102414593B1 - 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 뱅크 상의 스페이서의 형상을 변경하여, 유기물 증착시 금속 마스크가 직접적으로 화소 영역에 영향을 미침을 방지하고, 또한, 스페이서와 금속 마스크의 접촉 면적을 조절하여, 파티클 불량을 해소한 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 스페이서가 서로 다른 테이퍼를 갖는 2층으로 이루어지는데, 이를 각각 서로 다른 광 반응성을 갖는 물질을 도포한 뒤 한번의 노광 공정으로 형성하여, 마스크 저감을 꾀할 수 있으며, 각각 상측의 정테이퍼로 증착 마스크의 접착 면적을 줄어 파티클을 줄일 수 있으며, 동시에 역 스페이서 구조를 적용하여 반복적인 폴딩시의 유기물의 박리를 줄일 수 있다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법{Organic Light Emitting Display Device and Method for Manufacturing the Same}
본 발명은 표시 장치에 관한 것으로, 특히 뱅크 상의 스페이서의 형상을 변경하여, 유기물 증착시 금속 마스크가 직접적으로 화소 영역에 영향을 미침을 방지하고, 또한, 스페이서와 금속 마스크의 접촉 면적을 조절하여, 파티클 불량을 해소한 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
평판 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Emitting Display Device), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel device: PDP), 양자점 표시 장치(Quantum Dot Display Device), 전계방출 표시 장치(Field Emission Display device: FED), 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device: EPD) 등을 들 수 있는데, 이들은 공통적으로 화상을 구현하는 평판 표시패널을 필수적인 구성요소로 하는 바, 평판 표시패널은 고유의 발광 또는 편광 혹은 그 밖의 광학 물질층을 사이에 두고 한 쌍의 투명 절연기판을 대면 합착시킨 구성을 갖는다.
최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면 표시 장치로서의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 요구는 증진되어, 최근에는 평면 표시 장치를 플렉서블한 형태로 이용하고자 하는 요구가 있다. 특히, 유기 발광 표시 장치는 별도의 광원이 생략되며, 자체 화소로 발광이 가능하여 플렉서블화가 용이하여 주로 플렉서블 표시 장치로 이용되고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치는 유기물 증착시 증착 부위에 대응하여 개구부를 갖는 금속 마스크를 이용하는데, 금속 마스크는 화소를 구분하는 뱅크와 만날 때, 뱅크 처짐을 유발하거나 파티클을 유발할 수 있어, 이를 위해 스페이서를 뱅크 상에 형성하여, 금속 마스크의 표면이 직접적으로 뱅크와 닿지 않게 구성하는 바가 제안되고 있다.
그러나, 스페이서를 구비시 플렉서블한 형태로 유기 발광 표시 장치를 구현시 폴딩 동작이 반복되는데, 이 과정에서 스페이서에 의해 유발되는 불량들이 관찰되어 이를 해결하고자 하는 노력이 제기된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 뱅크 상의 스페이서의 형상을 변경하여, 유기물 증착시 금속 마스크가 직접적으로 화소 영역에 영향을 미침을 방지하고, 또한, 스페이서와 금속 마스크의 접촉 면적을 조절하여, 파티클 불량을 해소한 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 스페이서가 서로 다른 테이퍼를 갖는 2층으로 이루어지는데, 이를 각각 서로 다른 광 반응성을 갖는 물질을 도포한 뒤 한번의 노광 공정으로 형성하여, 마스크 저감을 꾀할 수 있으며, 각각 상측의 정테이퍼로 증착 마스크의 접착 면적을 줄어 파티클을 줄일 수 있으며, 동시에 역 스페이서 구조를 적용하여 반복적인 폴딩시의 유기물의 박리를 줄일 수 있다.
본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 복수개의 화소를 매트릭스 상으로 갖는 기판과, 상기 각 화소 상에 구비된 제 1 전극과, 상기 제 1 전극을 노출시키는 뱅크와, 상기 뱅크 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 역 테이퍼를 갖는 제 1 층과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층으로 이루어진 스페이서와, 상기 뱅크와 상기 제 1 전극 상에 구비되며, 유기 발광층을 포함한 유기층 및 상기 뱅크, 스페이서 및 유기층 상에 위치한 제 2 전극을 포함한다.
상기 유기 발광층은 상기 스페이서를 경계로 각 화소에서 서로 이격되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 화소는 상기 기판의 양 대각선 방향으로 배열될 수 있다. 그리고, 상기 화소는 각각 마름모꼴을 가지며, 상기 유기 발광층의 색상별로 다른 크기를 가질 수 있다.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 복수개의 화소를 매트릭스 상으로 갖는 기판을 준비하는 단계와, 상기 각 화소 상에 제 1 전극을 구비하는 단계와, 상기 제 1 전극을 노출시키는 뱅크를 형성하는 단계와, 상기 뱅크 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 1 층과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 2 층을 도포하는 단계와, 상기 제 2 층 상부에 상기 뱅크 상의 소정 부위를 오픈하는 개구부를 갖는 마스크를 통해 노광하여 역 테이퍼를 갖는 제 1 층과, 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층으로 이루어진 스페이서를 동시에 형성하는 단계와, 상기 뱅크와 상기 제 1 전극 상에 유기 발광층을 포함한 유기층을 형성하는 단계 및 상기 뱅크, 스페이서 및 유기층 상에 제 2 전극을 구비하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 뱅크 상의 스페이서의 형상을 변경하여, 유기물 증착시 금속 마스크가 직접적으로 화소 영역에 영향을 미침을 방지할 수 있다.
둘째, 스페이서의 상측을 정테이퍼로 하여 증착 마스크의 접촉 면적을 줄여 파티클 불량을 해소하며, 동시에 하측에 역테이퍼를 적용하여 반복적인 폴딩 동작에 유기물의 박리를 방지할 수 있다.
셋째, 서로 다른 광반응성을 갖는 네거티브 감광 재료를 2층 구조로 도포한 후, 일회의 노광 공정으로 서로 다른 테이퍼를 갖는 2층 구조의 스페이서를 형성하여, 마스크를 저감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 평면도
도 2는 도 1의 단면도
도 3은 본 발명의 유기 발광 표시 장치를 구체적으로 나타낸 단면도
도 4는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 뱅크 및 스페이서를 나타낸 단면도
도 5는 도 4의 스페이서 제조시 이용되는 물질 및 마스크를 나타낸 공정 단면도
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 스페이서 제조시 동일 마스크에 대해 스페이서를 이루는 제 1, 제 2 층의 광 반응성을 나타낸 공정 단면도
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 스페이서 제조 방법을 나타낸 공정 단면도
도 8은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 공정 순서도
이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 실질적으로 동일한 구성 요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기술 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 이하의 설명에서 사용되는 구성요소 명칭은 명세서 작성의 용이함을 고려하여 선택된 것으로, 실제 제품의 부품 명칭과 상이할 수 있다.
도 1은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 평면도이며, 도 2는 도 1의 단면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 유기 발광 표시 장치를 구체적으로 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2와 같이, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 복수개의 화소를 매트릭스 상으로 갖는 기판(100)과, 상기 각 화소 상에 구비된 제 1 전극(121)과, 상기 제 1 전극을 노출시키는 뱅크(122)와, 상기 뱅크 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 역 테이퍼를 갖는 제 1 층(125a)과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층(125b)으로 이루어진 스페이서(125)와, 상기 뱅크와 상기 제 1 전극 상에 구비되며, 유기 발광층을 포함한 유기층(123a, 123b, 123c) 및 상기 뱅크, 스페이서 및 유기층 상에 위치한 제 2 전극(124)을 포함한다.
도 1에 도시된 화소들은 평면 상에 양 대각선으로 분포되어 있고, 각 화소들 내에 유기층(123a, 123b, 123c)은 색상별로 다른 형상으로 구비되어 있다. 이러한 유기층(123a, 123b, 123c)의 형상은 발광 효율이 낮을수록 크게 구비하는데, 예를 들어, 가장 큰 마름모꼴의 화소의 유기층 123c은 청색 발광층을 나타내며, 그보다 작은 마름모꼴의 유기층 123a는 적색 발광층을 나타내며, 좌측 혹은 우측으로 방향성을 갖는 유기층 123b는 녹색 발광층을 나타낸다. 여기서, 녹색 발광층(123b)은 평행 사변형으로 구비되어 있으나, 적색 발광층(123a)과 유사하게 마름모꼴로 구비되어도 좋다. 한편, 상기 화소들이 기판(100)의 양 대각선 방향으로 분포되었을 때, 스페이서(125)가 유기물 증착시 증착 마스크와 접할 때, 패널 전체에 일종의 대칭적인 힘을 작용시켜, 특정 부위에 파티클이 집중됨을 방지할 수 있고, 균일한 발광 분포가 가능하다.
여기서, 상기 각 화소에는 제 1 전극(121), 유기 발광층을 포함한 유기층(123) 및 제 2 전극(124)을 세트 구성으로 하는 유기 발광 다이오드(OLED)를 포함하며, 상기 유기 발광 다이오드는 개별 구동을 위해 각 화소별로 2개 이상의 박막 트랜지스터와 1개 이상의 캐패시터를 포함하는 회로 구성을 갖는다.
그리고, 상기 각 화소별 회로 구성은 박막 트랜지스터 어레이(110)라 하며, 도 3과 같이, 상기 유기 발광 다이오드 하측에 구비된다. 즉, 제 1 기판(100) 상에, TFT 버퍼층(105)을 구비하고, 상기 박막 트랜지스터 어레이(110)는 화소별로 나뉘는 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 화소별로 2개 이상의 박막 트랜지스터(TFT)를 구비한다.
상기 박막 트랜지스터 어레이(110)의 화소 내 박막 트랜지스터(TFT)는, TFT 버퍼층(105) 상의 액티브층(111)과, 상기 액티브층(111)을 덮으며 TFT 버퍼층(105) 상에 형성된 게이트 절연막(112)과, 상기 액티브층(111)과 중첩하는 게이트 전극(113)과, 상기 게이트 전극(113)과 상기 게이트 절연막(112) 상에 형성된 층간 절연막(114)과, 상기 층간 절연막(114), 게이트 절연막(112)을 관통하여 상기 액티브층(112)의 양단과 접속한 소오스 전극(115a) 및 드레인 전극(115b)을 포함한다. 여기서, 상기 게이트 전극(113)은 게이트 라인과 동일층에 위치할 수 있으며, 소오스 전극(115a) 및 드레인 전극(116a)은 데이터 라인과 동일층에 위치할 수 있다.
상기 박막 트랜지스터 어레이의 외곽 영역에는 게이트 라인 및 데이터 라인용 패드 전극과 유기 발광 다이오드 어레이의 제 2 전극을 접지시키거나 혹은 일정한 전압을 인가하는 제 2 전극 패드 전극을 구비한다.
또한, 유기 발광 다이오드 어레이(120)의 각 서브 픽셀에 구비된 유기 발광 다이오드(OLED)는 상기 드레인 전극(115b)과 접속되는 제 1 전극(121)과, 발광 영역을 정의하는 뱅크(122) 내에 형성된 유기 발광층을 포함한 유기층(123) 및 상기 유기층(123)을 덮는 제 2 전극(124)을 포함한다.
여기서, 상기 뱅크(122) 상부에는 본 발명의 스페이서(125)를 구비하여, 유기 발광 물질의 증착 과정에서, 소정 개구부를 갖는 금속 성분의 증착 마스크가 뱅크(122)에 직접 닿지 않게 방지하여, 발광부 영역을 정의하는 뱅크(122)가 무너짐을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 뱅크 및 스페이서를 나타낸 단면도이다.
도 4와 같이, 상기 스페이서(125)는 상기 뱅크 상에, 2층 구조로 이루어져 하측의 제 1 층(125a)은, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 역 테이퍼를 갖는다. 또한, 그 상부의 제 2 층(125b)는 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는다. 제 1, 제 2 층(125a, 125b)은 서로 다른 광 반응성으로 인해 한번의 노광으로 다른 형상으로 정의된다. 또한, 네거티브 포토 아크릴로 이루어져 광을 받은 부분이 남아있게 되며, 에지부에서 상이한 광의 프로파일에 의해 테이퍼가 다른 형태로 정의되는 것이다.
한편, 상기 제 1 전극(121)은 반사 전극이며, 상기 제 2 전극(124)은 투명 전극으로, 외부광이 입사시 반사는, 유기 발광 다이오드(OLED)를 통과하여 상기 제 1 전극(121)에서 이루어지며, 반사시 투명한 제 2 전극(124)을 통과하여 광이 진행되게 된다.
그리고, 상기 유기 발광 다이오드 어레이(120) 상에는 내부 유기 발광 다이오드(OLED)를 상부 및 측부에서 모두 덮도록 봉지층(140)을 형성한다.
유기 발광 표시 장치의 최외층에는 편광판이 구비되어, 외부광 시인 방지에 이용될 수 있다. 예를 들어, 도시된 도면은 표시 장치로서 유기 발광 표시 장치를 나타내고 있으나, 경우에 따라, 봉지층(140) 상부에 별도의 접착층을 개재하여 다른 패널과 합착할 수 있다. 합착하는 패널의 예로는 터치 센싱 어레이 패널 등을 들 수 있으며, 이 경우에는, 편광판을 상기 터치 센싱 어레이 패널 내부에 포함되거나 혹은 이의 최외측에 포함된다.
한편, 본 발명의 기판(100)의 성분은 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리 에스테르를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리 이미드를 포함하는 공중합체, 올레핀계 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene) 또는 폴리스테린을 포함하는 공중합체, 폴리설페이트(polysulfate) 또는 폴리설페이트를 포함하는 공중합체, 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 폴리 카보네이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid) 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine) 및 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(polyvinylalcohol), 폴리 알릴아민(polyallyamine)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 고분자 화합물을 포함할 수 있으며, 그 두께는 5㎛ 내지 100㎛일 수 있다. 이는 유기 발광 표시 장치의 폴딩 동작 및 유연성을 위해서이며, 터치 센싱 어레이 패널이 부가될 경우, 상기 터치 센싱 어레이 패널의 기재도 동일 재료이거나 유사한 폴리머 기재를 이용할 수 있다.
또한, 상부 발광 방식의 경우, 상기 기판(100)은 유색 재료를 이용할 수 있다.
한편, 도시된 바와 같이, 유기 발광층을 포함한 유기층(123)은 상기 스페이서(125)를 경계로 각 화소에서 서로 이격되는 것이 바람직하다. 특히, 제 1, 제 2 전극(121, 124) 사이의 유기층(123) 중 유기 발광층은 화소별로 이격되어야 혼색이 방지되고, 각 화소별 독립적인 색상 구동이 가능하다. 유기층(123)은 유기 발광층과 동일 증착 마스크를 이용하여 형성할 수도 있고, 혹은 유기 발광층만 증착 마스크를 이용하고, 나머지 유기층은 증착 마스크 없이 전면 증착될 수 있다. 그런데, 어느 경우, 스페이서(125)각 하측이 역테이퍼로, 상측이 정테이퍼를 가질 때, 유기층(123)의 증착시 증착 마스크의 개구부와 스페이서(125)의 에지 부위에서 간섭이 있어, 유기물이 상기 스페이서(125)의 에지부에 대응되더라도, 스페이서의 제 1 층(125a)의 역 테이퍼 형상으로, 역 테이퍼에서 쌓이지 않아, 화소별 유기물 이격이 가능하고, 이 때문에, 화소간 유기 발광 물질 중첩에 의한 혼색이 방지될 수 있다.
또한, 상기 스페이서(125)의 상부 층인 제 2 층(125b)은 정테이퍼 형상을 가져, 유기물의 증착 마스크가 상기 제 2 층(125b) 표면에 닿을 때, 작은 면적으로 접촉하여, 접촉 부위에서 발생하는 파티클의 발생을 현저히 줄일 수 있으며, 제 1 층(125a) 과 인접한 유기 발광층을 포함한 유기층(123)을 보호할 수 있다.
또한, 스페이서(125)가 이층 구성으로 이루어져, 폴딩과 같은 외력이 인가될 때, 스페이서(125)의 형성 단위로 힘이 분산되어, 폴딩에 대한 내성을 가질 수 있으며, 이로 인해 폴딩 동작이 반복됨에 일어나는 점등 불량을 방지할 수 있다.
또한, 상부에 위치한 제 2 층(125b)이 정테이퍼이며, 하부에 위치한 제 1 층(125a)이 역테이퍼로, 유기 물질 증착시 역테이퍼와 정테이퍼 사이의 유기 물질이 분리됨과 동시에, 각각 분리되어 역테이퍼인 제 1층(125a)의 안쪽의 유기물 증착의 접합성이 좋아, 외부의 외력으로 작용하는 반복된 폴딩 동작에서도 안정적이다. 즉, 만일 유기물이 영역 구분없이 증착되었을 때, 폴딩 동작이 있게 되면, 국부적으로 외력이 가해진 부위에서 유기물의 박리가 일어나 이는 전체 패널로 파생될 수 있는데, 본 발명의 유기 발광 표시 장치에 있어서는, 스페이서(125)의 제 1 층(125a) 역테이퍼로부터 분리되어 스페이서(125)의 안쪽으로 각 유기 발광층을 포함한 유기층(123)이 나누어 위치하여, 일부의 유기물 박리가 전체 패널에 영향을 주지 못한다.
따라서, 화소별 유기물의 접합성을 좋게 하여, 반복적인 폴딩 동작에도 안정적이다.
한편, 도시된 바와 같이, 상기 화소는 상기 기판의 양 대각선 방향으로 배열될 수 있다.
또한, 상기 화소는 각각 마름모꼴을 가지며, 상기 유기 발광층의 색상별로 다른 크기를 가질 수 있다.
발광 효율에 따라 유기 발광층의 크기를 달리할 수 있으며, 발광 효율이 낮은 유기 발광층을 보다 큰 화소로 형성하고, 발광 효율이 높은 유기 발광층을 보다 작은 화소로 형성한다. 이러한 유기 발광층의 크기는 상기 뱅크로 정해질 수 있다.
이하, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명한다.
도 5는 도 4의 스페이서 제조시 이용되는 물질 및 마스크를 나타낸 공정 단면도이며, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 스페이서 제조시 동일 마스크에 대해 스페이서를 이루는 제 1, 제 2 층의 광 반응성을 나타낸 공정 단면도이며, 도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 스페이서 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 5 및 도 7a와 같이, 본 발명의 스페이서의 형성은, 먼저 뱅크(122) 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 1 층(1251)과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 2 층(1252)을 도포하여 이루어진다.
이어, 도 7b와 같이, 상기 제 2 층(1252) 상부에 상기 뱅크 상의 소정 부위를 오픈하는 개구부(1300a)를 갖는 마스크(1300)를 통해 역 테이퍼를 갖는 제 1 층(125a)과, 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층(125b)으로 이루어진 스페이서(125)를 동시에 형성한다.
여기서, 일반적으로 마스크(1300)의 개구부(1300a)가 있을 때, 개구부(1300a)를 통해 노광이 진행된다. 그리고, 개구부(1300a)의 중앙이 가장 광의 세기가 크며, 개구부(1300a)의 에지부는 광의 세기가 작다.
따라서, 감광 재료에 상기 개구부(1300a)를 구비한 마스크(1300)를 대응시켜 노광을 진행하며, 감광 재료가 갖는 광 반응성에 따라, 최종 패턴의 형상이 변화한다.
본 발명의 스페이서 제조시는, 각각 광을 노광하는 부분에 패턴이 남는 네거티브 감광 재료를 제 1, 제 2 층에 사용하되, 도 5a 및 도 5b와 같이, 각각 제 1 층(1251)에는 광반응성이 적은 네거티브 감광 재료를, 제 2 층(1252)에는 광반응성이 큰 재료를 배치시켜, 각각 서로 다른 테이퍼를 갖게 한다. 즉, 하측의 제 1 층(1251)은 노광 후 역 테이퍼를 갖고, 상측의 제 2 층(1252)은 노광 후 정 테이퍼를 가져, 폴딩시 스트레스 저감과 동시에 증착 마스크와는 작은 접촉 면적으로 접하여 유기물 증착시의 파티클 불량을 방지할 수 있다.
특히, 이러한 스페이서의 네거티브 감광 재료는 네거티브 포토 아크릴일 수 있다. 일 예로, 상기 광 반응성이 큰 제 2 층(1252)은 HDN-300, 광 반응성이 작은 제 1 층(1251)은 ZPN-2464를 이용할 수 있다.
이러한 과정을 통해 노광 진행 후, 도 6c와 같이, 광 반응성에 따라, 노광 후 상기 제 1 층(125a) 및 제 2 층(125b)은 형상은 각각 역테이퍼와 정테이퍼를 갖는 형상으로 패터닝되며, 상기 제 1, 제 2 층(125a, 125b)은 합하여 스페이서를 이룬다.
도 8은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 공정 순서도이다.
도 3과 도 7을 참조하여, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 공정 순서를 살펴본다.
먼저, 글래스 기판(미도시) 상에, 연성을 갖는 플렉서블 기재 성분의 기판(100)을 형성하고, 이어, 복수개의 화소를 매트릭스로 상으로 가지며, 도 3과 같은 구성으로 각 화소에 2개 이상의 박막 트랜지스터와 한 개 이상의 캐패시터를 구비한 박막 트랜지스터 어레이(110)를 형성한다(S100).
이어, 상기 박막 트랜지스터 어레이(110)의 각 화소에 구비된 구동 박막 트랜지스터와 접속되는 제 1 전극(121)을 형성한다(S110).
이어, 상기 화소의 경계부에, 각 유기 발광층의 형성 영역을 정의하는 뱅크(122)를 형성한다(S120).
이어, 도 6a와 같이, 상기 뱅크 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 1 층과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 2 층을 도포한다(S130).
이어, 도 6b와 같이, 상기 제 2 층 상부에 상기 뱅크 상의 소정 부위를 오픈하는 개구부를 갖는 마스크를 통해 노광하여 도 6c와 같이, 역 테이퍼를 갖는 제 1 층(125a)과, 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층(125b)으로 이루어진 스페이서(125)를 동시에 형성한다(S140).
이어, 상기 뱅크 및 상기 제 1 전극 상에 유기 발광층을 포함한 유기층(123)을 형성한다(S150).
이어, 상기 뱅크, 스페이서 및 유기층 상에 제 2 전극(124)을 구비한다(S160).
이어, 상기 제 2 전극(124)을 포함한 전면에 봉지층(140)을 형성하여, 유기 발광 표시 장치의 공정을 완료한다.
상술한 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 스페이서는 서로 다른 테이퍼를 갖는 2층으로 이루어지는데, 이를 각각 서로 다른 광 반응성을 갖는 물질을 도포한 뒤 한번의 노광 공정으로 형성하여, 마스크 저감을 꾀할 수 있으며, 각각 상측의 정테이퍼로 증착 마스크의 접착 면적을 줄어 파티클을 줄일 수 있으며, 동시에 역 스페이서 구조를 적용하여 반복적인 폴딩시의 유기물의 박리를 줄일 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
121: 제 1 전극 122: 뱅크
123: 유기층 124: 제 2 전극
125: 스페이서 1251a: 제 1 층
1251b: 제 2 층

Claims (5)

  1. 복수개의 화소를 갖는 기판;
    상기 각 화소 상에 구비된 제 1 전극;
    상기 제 1 전극을 노출시키는 뱅크;
    상기 뱅크 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 역 테이퍼를 갖는 제 1 층과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어지며 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층으로 이루어진 스페이서;
    상기 뱅크 및 상기 제 1 전극 상에 구비되며, 유기 발광층을 포함한 유기층; 및
    상기 뱅크, 스페이서 및 유기층 상에 위치한 제 2 전극을 포함한 유기 발광 표시 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 발광층은 상기 스페이서를 경계로 각 화소에서 서로 이격된 유기 발광 표시 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 화소는 상기 기판의 양 대각선 방향으로 배열된 유기 발광 표시 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 화소는 각각 마름모꼴을 가지며, 상기 유기 발광층의 색상별로 다른 크기를 갖는 유기 발광 표시 장치.
  5. 복수개의 화소를 갖는 기판을 준비하는 단계;
    상기 각 화소 상에 제 1 전극을 구비하는 단계;
    상기 제 1 전극을 노출시키는 뱅크를 형성하는 단계;
    상기 뱅크 상에, 차례로, 제 1의 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 1 층과, 상기 제 1 광반응성보다 큰 제 2 광 반응성의 네거티브 포토 아크릴로 이루어진 제 2 층을 도포하는 단계;
    상기 제 2 층 상부에 상기 뱅크 상의 소정 부위를 오픈하는 개구부를 갖는 마스크를 통해 노광하여 역 테이퍼를 갖는 제 1 층과, 상기 제 1 층 상에 정 테이퍼를 갖는 제 2 층으로 이루어진 스페이서를 동시에 형성하는 단계;
    상기 뱅크 및 상기 제 1 전극 상에 유기 발광층을 포함한 유기층을 형성하는 단계; 및
    상기 뱅크, 스페이서 및 유기층 상에 제 2 전극을 구비하는 단계를 포함한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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