KR102356595B1 - 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 제조장치 - Google Patents

플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 디스플레이부를 덮는 보호층 외곽에 노출된 연성 기판의 가장자리부를 소정 잔류영역만 남기고 커팅하는 단계와, 그 잔류영역에 흡착력을 가하여 고정시키는 단계 및, 캐리어 기판을 당겨서 연성 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법을 개시한다.

Description

플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 제조장치 {A flexible display device manufacturing method and manufacturing apparatus}
본 발명은 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법과 제조장치에 관한 것으로서, 특히 캐리어 기판의 분리 작업이 원활하게 진행될 수 있도록 개선된 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법과 제조장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치와 같은 디스플레이 장치는 구동 특성상 박형화 및 플랙시블화가 가능하여 이에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다.
최근에는, 유연한 연성 기판 위에 디스플레이부를 형성하는 플렉시블 디스플레이 장치가 각광을 받고 있는 추세이다.
이러한 플렉시블 디스플레이 장치를 제조할 때에는 통상 글래스 재질의 단단한 캐리어 기판 위에 폴리이미드와 같은 연성 소재를 도포하여 연성 기판을 형성하고, 그 연성 기판 위에 디스플레이부를 형성한 다음, 나중에 캐리어 기판과 연성 기판을 분리해내는 식으로 제조를 진행한다.
그런데, 이와 같이 캐리어 기판과 연성 기판을 분리해낼 때 분리가 원활하게 이루어지지 않고, 오히려 반대편에 있는 디스플레이부 상의 보호필름이 떨어져버리는 등의 문제가 발생할 수 있다. 통상, 이러한 분리 작업 시에는 상기 보호필름 쪽을 흡착 고정시킨 상태에서 캐리어 기판을 연성 기판으로부터 당겨서 떼어내는데, 이때 캐리어 기판 대신에 오히려 보호필름이 떨어져버리는 현상이 빈발하는 것이다. 이렇게 되면 불량 제품이 만들어질 수밖에 없으므로, 이에 대한 해결방안이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 캐리어 기판과 연성 기판의 안정적인 분리를 보장할 수 있도록 개선된 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법과 제조장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법은 캐리어 기판 위에 연성 기판을 형성하는 단계; 상기 연성 기판의 중앙부에 디스플레이부를 형성하는 단계; 상기 연성 기판 영역 내에 상기 디스플레이부를 덮는 보호층을 형성하는 단계; 및 상기 보호층 외곽에 노출된 상기 연성 기판의 가장자리부를 소정 잔류영역만 남기고 커팅하는 단계; 상기 잔류영역에 흡착력을 가하는 단계; 및, 상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법을 제공한다.
상기 캐리어 기판과 상기 연성 기판 사이에 저점착성 층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 저점착성 층은 1~5gf/inch 범위의 점착력을 가질 수 있다.
상기 잔류영역에 흡착력을 가할 때 상기 보호층에도 상기 잔류영역보다 낮은 흡착력을 작용시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 보호층에 작용하는 흡착력은 상기 잔류영역에 작용하는 흡착력의 절반 이하일 수 있다.
상기 잔류영역에 대한 상기 흡착력 작용 위치를 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판으로부터 분리시키는 단계에서, 상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판과 평행한 상태로 당겨서 분리시킬 수 있다.
상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판으로부터 분리시키는 단계에서, 상기 캐리어 기판의 일측을 먼저 당겨서, 상기 일측에서 타측으로 점진적인 분리가 진행되게 할 수 있다.
상기 연성 기판의 가장자리부 커팅은 커팅휠에 의한 접촉 커팅과 레이저빔에 의한 비접촉 커팅 중 어느 하나로 진행할 수 있다.
상기 연성 기판은 폴리이미드 재질을 포함하며, 상기 캐리어 기판은 글라스 재질을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 연성 기판 상의 디스플레이부를 덮는 보호층 쪽에서 흡착력을 작용시키는 제1흡착유닛과, 상기 디스플레이부의 반대편에서 상기 연성 기판과 결합된 캐리어 기판에 흡착력을 작용시켜 당겨냄으로써 상기 연성 기판과 상기 캐리어 기판을 분리시키는 제2흡착유닛을 포함하며, 상기 제1흡착유닛은 상기 보호층에 상대적으로 낮은 흡착력을 작용시키는 저압부와, 상기 보호층 외곽에 노출된 상기 연성 기판의 가장자리부 잔류 영역에 상대적으로 높은 흡착력을 작용시키는 고압부를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치를 제공한다.
상기 고압부는 상기 저압부와의 간격 조정이 가능하도록 서로 분리될 수 있다.
상기 제2흡착유닛은 상기 제1흡착유닛의 흡착력 방향 및 그 반대방향으로 상기 캐리어 기판을 이동시키는 왕복구동부와, 상기 캐리어 기판의 일측을 당겨서 기울어진 상태가 되게 하는 틸트구동부를 포함할 수 있다.
상기 연성 기판의 가장자리부를 상기 잔류영역만 남도록 커팅하는 커팅유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 커팅유닛은 커팅휠과 레이저 조사기 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판과 상기 연성 기판 사이에 저점착성 층이 개재되며, 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛에 의해 상기 연성 기판으로부터 상기 캐리어 기판이 분리될 때 상기 저점착성 층도 상기 캐리어 기판과 함께 분리될 수 있다.
상기 저점착성 층은 1~5gf/inch 범위의 점착력을 가질 수 있다.
상기 저압부의 흡착력은 상기 고압부 흡착력의 절반 이하일 수 있다.
상기 고압부의 흡착력은 상기 잔류영역의 면적과 반비례하도록 설정될 수 있다.
상기 연성 기판은 폴리이미드 재질을 포함하며, 상기 캐리어 기판은 글라스 재질을 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법와 제조장치에 따르면 캐리어 기판과 연성 기판의 분리를 깔끔하고 안정적으로 수행할 수 있게 되며, 그에 따라 생산성을 향상시킬 수 있고 제품 손상의 위험도 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 제조방법으로 제조되는 플렉시블 디스플레이 장치의 캐리어 기판 결합 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치를 도시한 정면도이다.
도 4는 도 3의 A부위를 확대한 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 제조장치 중 제1흡착유닛의 평면도이다.
도 6a 내지 도 6f는 도 3에 도시된 제조장치로 캐리어 기판을 분리하는 과정을 도시한 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 플렉시블 디스플레이 장치의 디스플레이부 내부 구조를 예시한 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법으로 제조되는 플렉시블 디스플레이 장치의 캐리어 기판(10) 결합 상태를 각각 사시도와 단면도로 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 실시예의 플렉시블 디스플레이 장치는, 폴리이미드 재질의 연성 기판(20)과, 화상을 구현하는 디스플레이부(30), 이 디스플레이부(30)를 덮어서 보호하는 보호층(40)이 적층된 구조로 이루어져 있다. 즉, 기존의 두껍고 단단한 글라스 기판을 대신하여 극히 얇은 폴리이미드 재질의 연성 기판(20)과 박막으로 이루어진 보호층(40)으로 디스플레이부(30)를 밀봉하는 플렉시블 구조를 구현하고 있다.
따라서, 두꺼운 글라스 기판으로 디스플레이부(30)를 상하로 둘러싸는 기존의 전형적인 구조에 비해 유연성이 상당히 증가하게 되며, 화면이 휘어진 상태에서의 디스플레이도 가능해지게 된다.
이러한 연성 기판(20)은 그 유연한 특성 때문에 핸들링이 쉽지 않으므로, 제조 중에는 글라스 재질의 단단한 캐리어 기판(10) 위에 형성하여 함께 이송하고, 나중에 보호층(40)까지 다 형성한 후 서로 분리시킨다.
상기 디스플레이부(30)는 화상을 구현하는 유닛으로, 그 내부 구조는 예컨대 도 7에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.
도 7을 참조하여 디스플레이부(30)의 내부 구조를 간략히 살펴보면, 우선 상기 연성 기판(20) 위에 버퍼층(33)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(33) 위에 박막트랜지스터(31)와 유기 발광 소자(32)가 형성되어 있다.
박막트랜지스터(31)는 활성층(31a)과, 이 활성층(31a)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(34)과, 게이트 절연막(34) 상부의 게이트 전극(31b)을 갖는다.
게이트 전극(31b)을 덮도록 층간 절연막(35)이 형성되며, 층간 절연막(35)의 상부에 소스전극(31c) 및 드레인 전극(31d)이 형성된다.
소스전극(31c) 및 드레인 전극(31d)은 게이트 절연막(34) 및 층간 절연막(35)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(31a)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.
그리고, 상기 드레인 전극(31d)에 유기 발광 소자(32)의 화소전극(32a)이 연결된다. 화소전극(32a)은 평탄화막(36) 상부에 형성되어 있으며, 이 화소전극(32a) 위에 서브화소 영역을 구획하는 화소정의막(Pixel defining layer: 37)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(37)의 개구부에 유기 발광 소자(32)의 발광층(32b)이 형성되고, 이들 상부에 대향전극(32c)이 증착된다. 즉, 화소정의막(37)으로 둘러싸인 개구부가 적색화소(R), 녹색화소(G), 및 청색화소(B)와 같은 한 서브화소의 영역이 되며, 그 안에 해당 색상의 발광층(32b)이 형성되는 것이다. 여기서는 하나의 서브화소를 도시한 것이고, 실제 디스플레이부(30)에는 이러한 서브화소들이 행과 열의 방향으로 다수개가 배치되어 있다고 보면 된다.
그리고, 상기 보호층(40)은 외부로부터의 수분의 침투나 충격으로부터 디스플레이부(30)를 보호해주는 역할을 한다. 참조부호 15는 1~5gf/inch 범위의 점착력을 가지는 저점착성 층을 나타내며, 캐리어 기판(10)과 연성 기판(20) 사이가 적당한 점도로 붙어있다가 나중에 약간의 힘으로도 잘 떨어지게 하는 릴리즈(release)층의 역할을 한다.
한편, 이렇게 보호층(40)까지 형성된 플렉시블 디스플레이 장치를 캐리어 기판(20)과 분리하기 위한 장치로서, 본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같은 제조장치를 사용한다.
일단, 분리를 위해 상방에서 캐리어 기판(10)을 흡착해서 당겨주는 흡착유닛(200)과, 하방에서 보호층(40) 쪽을 흡착해서 잡아주는 흡착유닛(100)을 구비하는데, 이하 하방의 것을 제1흡착유닛(100)으로, 상방의 것을 제2흡착유닛(200)으로 칭하기로 한다.
상기 제1흡착유닛(100)은 디스플레이부(20)를 덮고 있는 보호층(40)에 흡착력을 작용시키는 저압부(120)와, 그 보호층(40) 외곽에 노출된 연성 기판(20)에 흡착력을 작용시키는 고압부(110)를 구비한다. 상기 고압부(110)는 캐리어 기판(10)을 분리시킬 때 연성 기판(20)이 끌려가지 않게 붙잡아주는 역할을 하며, 도면과 같이 보호층(40) 외곽으로 노출된 연성 기판(20)의 가장자리 좁은 영역을 직접 흡착하여 고정시키게 된다. 실제 작업 시에는 연성 기판(20) 가장자리의 최외곽부, 즉 상기 저점착성 층(15) 바깥 쪽에서 캐리어 기판(10)과 직접 맞붙은 부분을 커팅유닛(300)으로 잘라낸 후 잔류영역을 흡착하기 때문에, 도 1에 도시된 연성 기판(20)의 노출된 가장자리부 보다 더 좁은 영역을 고압부(110)가 흡착하게 된다. 이러한 커팅 공정을 포함한 전체 작업 과정에 대해서는 후술하기로 한다. 참조부호 P1은 고압부(110)의 흡착홀(미도시)에 부압을 걸어주는 제1펌프를 나타내며, 고압부(110)의 부압은 그 고압부(110)에 의해 흡착되는 잔류영역의 면적에 반비례하도록 설정된다.
그리고, 상기 저압부(120)는 고압부(110)에 비해 상대적으로 낮은 압력으로 보호층(40) 부위를 흡착하는 것으로, 예컨대 고압부(110)가 70kPa의 압력을 작용시킨다면, 저압부(120)는 제2펌프(P2)를 가동하여 그 절반인 35kPa 이하의 압력만 작용시킨다. 만일 저압부(120)에도 고압부(110)와 같은 압력을 작용시키면, 캐리어 기판(10)을 떼어내는 과정에서 보호층(40)도 박리되는 문제가 생길 수도 있으므로 그 절반 이하의 낮은 압력만 걸어주는 것이다. 극단적으로는 저압부(120)에 압력을 전혀 걸지 않아도 분리 작업에는 문제가 없다. 다만, 너무 극단적인 압력 차이가 있으면 분리 과정에서 주름(curl)이 심하게 생길 위험이 있으므로, 고압부(110) 압력의 절반 이하이면서 0보다는 큰 압력을 저압부(120)에 걸어서 어느 정도 평평한 상태가 유지되도록 해주는 것이 좋다.
상기 고압부(110)와 저압부(120) 사이에는 도 4에 도시된 바와 같이 단차(d)가 형성되어 있는데, 이것은 보호층(40)의 두께 때문에 생기는 연성 기판(20)과의 단차와 맞춰주기 위한 구조이다. 그리고, 상기 고압부(110)는 도 5에 도시된 바와 같이 중앙에 고정된 저압부(120)에 대해 간격 조정이 가능하도록 분리되어 있다. 이렇게 되면, 고압부(110)로 흡착할 연성 기판(20)의 노출된 가장자리부 잔류영역의 규격이 바뀔 경우에도 고압부(110)의 위치를 조금씩 이동시켜서 대처할 수 있게 된다.
상기 제2흡착유닛(200)은 제3펌프(P3)를 가동하여 캐리어 기판(10)을 흡착하는 흡착부(230)와, 흡착부(230)를 연성 기판(20)으로부터 떼어내는 방향으로 이동시키거나 반대로 복원시키는 왕복구동부(210)와, 흡착부(230)를 약 5도 정도의 각도로 기울어지게 하는 틸트구동부(220)를 포함한다.
따라서, 흡착부(230)가 캐리어 기판(10)을 흡착한 상태에서 왕복구동부(210)가 흡착부(230)를 그대로 당기면, 캐리어 기판(10)이 연성 기판(20)과 평행한 상태에서 분리가 일어나게 된다. 그리고 틸트구동부(220)가 캐리어 기판(10)이 기울어지도록 흡착부(230)를 틸트시키면, 캐리어 기판(10)와 연성 기판(20) 사이가 일단측에서부터 타단측으로 가면서 점진적으로 벌어지며 분리된다. 즉, 왕복구동부(210)만으로 분리시킬 수도 있고, 왕복구동부(210)와 틸트구동부(220)를 함께 사용하면서 분리시킬 수도 있다.
그리고, 도 3의 참조부호 300은 상기한 바와 같이 연성 기판(20)의 가장자리 최외곽부를 커팅하기 위한 커팅유닛을 나타내며, 연성 기판(20)에 직접 접촉하여 커팅하는 커팅휠(310)이나, 레이저빔을 조사하여 비접촉 상태로 커팅하는 레이저 조사기(320) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
이와 같은 구성의 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치를 이용한 제조과정은 도 6a 내지 도 6f에 도시된 바와 같이 진행될 수 있다.
우선, 도 6a에 도시된 바와 같이 글라스 재질의 캐리어 기판(10) 위에 저점착성 층(15)을 형성한 후, 그 위에 폴리이미드를 도포하여 연성 기판(20)을 형성한다. 그리고, 그 위에 디스플레이부(20)와 보호층(40)을 차례로 형성한다. 이때 보호층(40)은 디스플레이부(20)를 덮고 있으면서 연성 기판(20)의 영역을 벗어나지 않고 그 안쪽에 위치한다. 따라서, 연성 기판(20)의 가장자리부는 도 6a의 상방에서 내려다볼 때 보호층(40)에 가려지지 않고 노출된 상태가 된다. (도 1 참조)
이 상태에서 이제 캐리어 기판(10)을 분리시키기 위한 작업을 시작하게 되는데, 이를 위해 먼저 도 6b와 같이 연성 기판(20) 가장자리의 최외곽부, 즉 상기 저점착성 층(15) 바깥 쪽에서 캐리어 기판(10)과 직접 맞붙은 부위를 커팅유닛(300)으로 잘라낸다. 이렇게 되면, 노출된 연성 기판(20)의 가장자리는 잘려진 제거영역(20b)과 남겨진 잔류영역(20a)으로 나뉘게 된다. 상기 제거영역(20b)은 저점착성 층(15) 없이 캐리어 기판(10)에 직접 붙어있는 부위가 많이 포함된 부분으로, 나중에 캐리어 기판(10)과 함께 떨어져나가게 된다.
이후, 이렇게 커팅이 완료된 대상체를 도 6c와 같이 제1흡착유닛(100)에 고정시킨다. 즉, 보호층(40) 쪽이 제1흡착유닛(100)에 흡착되어 고정되는 것으로, 그 보호층(40)은 제1흡착유닛(100)의 저압부(120)에 낮은 부압으로 흡착되며, 보호층(40) 외곽에 노출된 상기 연성 기판(20)의 잔류영역(20a)은 고압부(110)의 높은 부압으로 흡착 고정된다. 이때 만일 연성 기판(20)의 규격 차이로 고압부(110)의 위치를 조정할 필요가 있으면, 도 5에 도시된 바와 같이 고압부(110)를 이동시켜서 저압부(120)와의 간격을 조정할 수 있다.
이어서, 도 6d와 같이 제2흡착유닛(200)이 왕복구동부(210)에 의해 하강하여 캐리어 기판(10)을 흡착부(230)로 흡착한다. 이제 제1,2흡착유닛(100)(200) 사이를 벌리기만 하면 캐리어 기판(10)이 연성 기판(20)으로부터 떨어지는 것인데, 이때 전술한 바대로 캐리어 기판(10)을 연성 기판(20)과 평행한 상태로 들어올릴 수도 있고, 선택적으로는 틸트시켜서 점진적으로 사이가 벌어지며 떨어지게 할 수도 있다.
도 6e가 평행한 상태로 들어올리는 경우를 도시한 것인데, 말 그대로 흡착부(230)가 캐리어 기판(10)을 흡착한 상태에서, 틸트구동부(220)는 가동하지 않고 왕복구동부(210)만 가동하여 제1흡착유닛(100)의 흡착력과 반대방향으로 캐리어 기판(10)을 당겨내는 것이다. 그러면, 캐리어 기판(10) 전면이 연성 기판(20)으로부터 거의 동시에 떨어지게 된다.
또는, 도 6f에 도시된 바와 같이 틸트구동부(220)를 가동하여 캐리어 기판(10)이 약 5도 정도 기울어지도록 흡착부(230)를 먼저 틸트시켜서 일측단에서 타측단으로 점진적으로 사이가 벌어지며 떨어지게 하고, 이 상태에서 왕복구동부(210)를 추가로 가동하여 캐리어 기판(10)과 연성 기판(20) 사이를 완전히 분리시키는 방식으로 운영할 수도 있다.
그리고, 이렇게 캐리어 기판(10)을 제2흡착유닛(200)으로 당겨서 떼어내는 동안, 제1흡착유닛(100)은 연성 기판(20)의 가장자리부 잔류영역(20a)을 강하게 흡착하여 붙잡아줌으로써 분리가 안정적으로 진행되도록 한다. 물론, 상기 보호층(40)에도 저압부(120)의 부압이 가해지고는 있지만, 그것은 전술한 대로 분리 과정 중 플렉시블 디스플레이 장치가 심하게 구겨지지 않도록 평평하게 유지해주는 정도이고, 실제로 캐리어 기판(10)이 떨어질 때 연성 기판(20)이 끌려가지 않게 견고하게 붙잡아주는 부압은 고압부(110)에 의해 가장자리 잔류영역(20a)에 가해지는 것이므로, 이러한 분리 과정에서 보호층(40)이 박리될 위험은 사라지게 된다.
따라서, 도 6e나 도 6f와 같이 캐리어 기판(10)이 안정적으로 깨끗하게 분리되며, 연성 기판(20) 상의 디스플레이부(20)나 보호층(40)은 박리와 같은 문제가 전혀 없는 깨끗한 상태로 남게 된다.
그러므로, 이와 같이 제1흡착유닛(100)으로 연성 기판(20)의 가장자리에 노출된 잔류영역(20a)을 강하게 흡착한 상태에서 캐리어 기판(10)을 떼어내면, 보호층(40)의 박리나 주름 발생과 같은 문제를 전혀 일으키지 않으면서 원활한 분리 작업을 수행할 수 있게 된다.
한편, 전술한 실시예에서는 연성 기판(20)의 가장자리 최외곽부 커팅 시 도 6b과 같이 커팅휠(310)을 사용하는 경우를 예시하였는데, 도 3에 도시된 레이저 조사기(320)를 사용하여 레이저빔으로 커팅할 수도 있으며, 이때 레이저빔을 연성 기판(20)에 직접 조사할 수도 있고, 또는 캐리어 기판(10)을 투과하도록 반대편에서 조사할 수도 있다. 즉, 레이저 조사 방향은 자유롭게 변화시킬 수 있다.
이상에서 설명한 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법과 제조장치를 이용하면, 캐리어 기판과 연성 기판의 분리를 깔끔하고 안정적으로 수행할 수 있게 되며, 그에 따라 생산성을 향상시킬 수 있고 제품 손상의 위험도 줄일 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10: 캐리어 기판 20: 연성 기판
15: 저점착성 층 30: 디스플레이부
40: 보호층
100: 제1흡착유닛 110: 고압부
120: 저압부 200: 제2흡착유닛
210: 왕복구동부 220: 틸트구동부
230: 흡착부 300: 커팅유닛
310: 커팅휠 320: 레이저 조사기

Claims (20)

  1. 캐리어 기판 위에 연성 기판을 형성하는 단계;
    상기 연성 기판의 중앙부에 디스플레이부를 형성하는 단계;
    상기 연성 기판 영역 내에 상기 디스플레이부를 덮는 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층 외곽에 노출된 상기 연성 기판의 가장자리부를 소정 잔류영역만 남기고 커팅하는 단계;
    상기 잔류영역에 흡착력을 가하는 단계; 및,
    상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판과 상기 연성 기판 사이에 저점착성 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 저점착성 층은 1~5gf/inch 범위의 점착력을 가지는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 잔류영역에 흡착력을 가할 때 상기 보호층에도 상기 잔류영역보다 낮은 흡착력을 작용시키는 단계를 더 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 보호층에 작용하는 흡착력은 상기 잔류영역에 작용하는 흡착력의 절반 이하인 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 잔류영역에 대한 상기 흡착력 작용 위치를 조정하는 단계를 더 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판으로부터 분리시키는 단계에서, 상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판과 평행한 상태로 당겨서 분리시키는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 상기 연성 기판으로부터 분리시키는 단계에서, 상기 캐리어 기판의 일측을 먼저 당겨서, 상기 일측에서 타측으로 점진적인 분리가 진행되게 하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 연성 기판의 가장자리부 커팅은 커팅휠에 의한 접촉 커팅과 레이저빔에 의한 비접촉 커팅 중 어느 하나로 진행하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 연성 기판은 폴리이미드 재질을 포함하며, 상기 캐리어 기판은 글라스 재질을 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  11. 연성 기판 상의 디스플레이부를 덮는 보호층 쪽에서 흡착력을 작용시키는 제1흡착유닛과, 상기 디스플레이부의 반대편에서 상기 연성 기판과 결합된 캐리어 기판에 흡착력을 작용시켜 당겨냄으로써 상기 연성 기판과 상기 캐리어 기판을 분리시키는 제2흡착유닛을 포함하며,
    상기 제1흡착유닛은 상기 보호층에 상대적으로 낮은 흡착력을 작용시키는 저압부와, 상기 보호층 외곽에 노출된 상기 연성 기판의 가장자리부 잔류 영역에 상대적으로 높은 흡착력을 작용시키는 고압부를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 고압부는 상기 저압부와의 간격 조정이 가능하도록 서로 분리된 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2흡착유닛은 상기 제1흡착유닛의 흡착력 방향 및 그 반대방향으로 상기 캐리어 기판을 이동시키는 왕복구동부와, 상기 캐리어 기판의 일측을 당겨서 기울어진 상태가 되게 하는 틸트구동부를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 연성 기판의 가장자리부를 상기 잔류영역만 남도록 커팅하는 커팅유닛을 더 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 커팅유닛은 커팅휠과 레이저 조사기 중 어느 하나를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판과 상기 연성 기판 사이에 저점착성 층이 개재되며, 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛에 의해 상기 연성 기판으로부터 상기 캐리어 기판이 분리될 때 상기 저점착성 층도 상기 캐리어 기판과 함께 분리되는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 저점착성 층은 1~5gf/inch 범위의 점착력을 가지는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 저압부의 흡착력은 상기 고압부 흡착력의 절반 이하인 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 고압부의 흡착력은 상기 잔류영역의 면적과 반비례하도록 설정되는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 연성 기판은 폴리이미드 재질을 포함하며, 상기 캐리어 기판은 글라스 재질을 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조장치.
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