KR102353120B1 - 오토클레이브 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 오토클레이브 장치는, 패널 조립체가 실린 트레이가 투입될 수 있는 투입구와, 패널 조립체가 배출될 수 있는 배출구와, 상기 투입구와 상기 배출구 사이에 배치되는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버로 기체를 유입시키기 위한 복수의 기체 흡입구와, 상기 공정 챔버의 기체를 배기시키기 위한 복수의 기체 배기구를 구비하는 하우징; 상기 투입구를 개폐하기 위한 투입구 도어; 상기 배출구를 개폐하기 위한 배출구 도어; 상기 복수의 기체 흡입구를 통해 상기 공정 챔버에 가열된 기체를 공급하는 열처리 기체 공급장치; 상기 복수의 기체 흡입구와 각각 연결되도록 설치되어 상기 복수의 기체 흡입구를 통한 기체의 유동을 단속하는 복수의 흡기 밸브; 상기 복수의 기체 배기구와 각각 연결되도록 설치되어 상기 복수의 기체 배기구를 통한 기체의 유동을 단속하는 복수의 배기 밸브; 상기 공정 챔버 내의 온도를 검출하기 위해 상기 하우징에 설치되는 복수의 온도계; 상기 공정 챔버 내의 압력를 검출하기 위해 상기 하우징에 설치되는 복수의 압력계; 및 상기 복수의 온도계 및 상기 복수의 압력계로부터 검출 신호를 수신하고, 상기 트레이에 실린 패널 조립체가 상기 공정 챔버에서 사전 설정된 열처리 온도 및 열처리 압력으로 열처리되도록 장치의 전반적인 동작을 제어하는 제어장치;를 포함한다.

Description

오토클레이브 장치{Autoclave apparatus}

본 발명은 오토클레이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 패널 소자가 라미네이팅된 패널 조립체를 가열 가압 처리하여 패널 소자들 사이에 존재하는 기포를 제거하고 패널 소자 간의 접합력을 향상시킬 수 있는 오토클레이브 장치에 관한 것이다.

최근 스마트폰, 디지털 TV, 테블릿 PC, 노트북, 네비게이션 등 다양한 디지털 기기가 출시되면서 평판 표시 장치나 터치 스크린 등에 이용되는 디스플레이용 패널의 수요가 증가하고 있다.

평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(LCD), 유기 발광 다이오드(OLED) 등이 대표적이다. 이러한 각종 평판 표시 장치는 평판 표시 패널에 투명 보호판 등 다양한 기능의 패널을 부착하여 제조한다.

터치 스크린은 각종 평판 표시 장치의 표시면에 설치되어 사용자가 표시 장치를 보면서 원하는 정보를 선택하도록 하는데 이용되는 입력장치이다. 터치 스크린은 저항막 방식(resistive type), 정전용량 방식(capacitive type), 전기자기장형 방식(electro-magnetic type), 소오 방식(saw type) 및 적외선 방식(infrared type) 등이 있다. 이러한 터치 스크린은 투명한 재질의 윈도우 패널에 투명전극 패널을 부착하여 제조한다.

이와 같이 평판 표시 장치나 터치 스크린 등 패널형 디스플레이에 이용되는 디스플레이용 패널은 복수의 패널 소자를 부착하여 제조한다. 디스플레이용 패널을 구성하는 복수의 패널 소자를 부착하는 방법으로는, 어느 하나의 패널 소자의 한쪽 면 둘레에 양면 테이프를 부착하고 다른 패널 소자를 이에 합착하여 두 개의 패널 소자를 부착하는 방법이 있다. 이 밖에, OCA 등의 접착 필름으로 두 패널 소자 사이의 마주보는 면 전체를 접착하는 방법이나, 접착하고자 하는 두 패널 소자 사이에 경화성 용제를 도포하고 이를 경화시켜 접합하는 방법이 복수의 패널 소자를 접합하여 디스플레이용 패널을 제조하는데 이용된다.

통상적으로, 디스플레이용 패널의 제조에 있어서, 패널 소자들은 자동화 장치를 통해 부착되며, 패널 소자들이 부착되어 구성된 디스플레이용 패널은 패널 소자 사이의 기포 제거와 패널 소자 간의 접합력 향상을 위해 오토클레이브 장치를 통해 가열 가압 처리된다. 그리고 가열 가압 처리된 디스플레이용 패널은 검사장치에 의한 검사 공정을 거친 후 출하된다.

오토클레이브 장치는 도어에 의해 개폐되는 밀폐 하우징과, 디스플레이용 패널이 수용되는 밀폐 하우징 내부의 챔버에 열을 가하기 위한 히터와, 밀폐 하우징의 챔버 내로 기체를 공급하기 위한 기체 공급장치를 포함하는 것이 일반적이다. 이러한 오토클레이브 장치는 등록특허공보 제1139595호, 등록특허공보 제1119792호 등에 다양한 구조의 것이 개시되어 있다.

현재 다양한 구조의 오토클레이브 장치가 개발되어 있지만, 패널 소자들 사이에 존재하는 기포를 보다 효율적으로 제거하고, 페널 소자들 간의 접착력을 보다 향상시킬 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 오토클레이브 장치를 제공하기 위한 연구 개발이 지속적으로 이루어지고 있다.

등록특허공보 제1139595호(2012. 04. 17.) 등록특허공보 제1119792호(2012. 02. 16.)

본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 패널 조립체에 대한 가열 가압 처리를 연속적으로 신속하게 수행함으로써, 패널 조립체에 존재하는 기포를 보다 용이하게 제거하고, 패널 조립체의 접착력을 향상시키며, 생산성을 향상시킬 수 있는 오토클레이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 목적은 상술한 것에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 오토클레이브 장치는, 패널 조립체가 실린 트레이가 투입될 수 있는 투입구와, 패널 조립체가 배출될 수 있는 배출구와, 상기 투입구와 상기 배출구 사이에 배치되는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버로 기체를 유입시키기 위한 복수의 기체 흡입구와, 상기 공정 챔버의 기체를 배기시키기 위한 복수의 기체 배기구를 구비하는 하우징; 상기 투입구를 개폐하기 위한 투입구 도어; 상기 배출구를 개폐하기 위한 배출구 도어; 상기 복수의 기체 흡입구를 통해 상기 공정 챔버에 가열된 기체를 공급하는 열처리 기체 공급장치; 상기 복수의 기체 흡입구와 각각 연결되도록 설치되어 상기 복수의 기체 흡입구를 통한 기체의 유동을 단속하는 복수의 흡기 밸브; 상기 복수의 기체 배기구와 각각 연결되도록 설치되어 상기 복수의 기체 배기구를 통한 기체의 유동을 단속하는 복수의 배기 밸브; 상기 공정 챔버 내의 온도를 검출하기 위해 상기 하우징에 설치되는 복수의 온도계; 상기 공정 챔버 내의 압력를 검출하기 위해 상기 하우징에 설치되는 복수의 압력계; 및 상기 복수의 온도계 및 상기 복수의 압력계로부터 검출 신호를 수신하고, 상기 트레이에 실린 패널 조립체가 상기 공정 챔버에서 사전 설정된 열처리 온도 및 열처리 압력으로 열처리되도록 상기 투입구 도어와, 상기 배출구 도어와, 상기 열처리 기체 공급장치와, 상기 복수의 흡기 밸브와, 상기 복수의 배기 밸브를 제어하는 제어장치;를 포함하고, 상기 제어장치는, 상기 복수의 온도계 및 상기 복수의 압력계로부터 수신한 검출 신호에 따라 상기 복수의 흡기 밸브 및 상기 복수의 배기 밸브를 제어하되, 상기 공정 챔버 내에서 상기 열처리 온도 또는 상기 열처리 압력에 미치지 못하는 부분에 인접한 기체 흡입구 및 기체 배기구에 각각 대응하는 흡기 밸브 및 배기 밸브를 열림 제어하여 해당 부분에서 기체를 배기시키면서 상기 열처리 기체 공급장치에서 공급되는 기체를 공급하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 오토클레이브 장치는, 상기 공정 챔버 내에서 기류를 발생시킬 수 있도록 상기 하우징에 설치되는 팬 장치;를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 오토클레이브 장치는, 상기 공정 챔버 내에 열을 제공할 수 있도록 상기 하우징에 설치되는 히터;를 포함할 수 있다.

상기 기체 흡입구와 상기 기체 배기구는 하나씩 짝을 이루도록 상호 인접하여 설치될 수 있다.

상기 하우징에는, 상기 투입구와 상기 공정 챔버 사이에 배치되는 예열 챔버와, 상기 공정 챔버와 상기 배출구 사이에 배치되는 버퍼 챔버가 구비되고, 본 발명에 따른 오토클레이브 장치는, 상기 예열 챔버와 상기 공정 챔버 사이의 통로를 개폐하기 위한 제1 중간 도어; 상기 공정 챔버와 상기 버퍼 챔버 사이의 통로를 개폐하기 위한 제2 중간 도어; 상기 예열 챔버에 가열된 기체를 공급하는 예열 기체 공급장치; 상기 버퍼 챔버에 가열된 기체를 공급하는 후가열 기체 공급장치; 상기 트레이를 가이드하기 위해 상기 예열 챔버에 설치되는 예열 챔버 가이드레일; 상기 트레이를 가이드하기 위해 상기 공정 챔버에 설치되는 공정 챔버 가이드레일; 상기 트레이를 가이드하기 위해 상기 버퍼 챔버에 설치되는 버퍼 챔버 가이드레일; 상기 예열 챔버에서 상기 트레이를 상기 공정 챔버 측으로 이동시키는 예열 챔버 트레이 이송장치; 상기 공정 챔버에서 상기 트레이를 상기 버퍼 챔버 측으로 이동시키는 공정 챔버 트레이 이송장치; 및 상기 버퍼 챔버에서 상기 트레이를 상기 배출구 측으로 이동시키는 버퍼 챔버 트레이 이송장치;를 포함하고, 상기 제어장치는, 상기 트레이에 실린 패널 조립체가, 상기 예열 챔버에서 사전 설정된 예열 온도 및 예열 압력으로 예열된 후 상기 공정 챔버로 이송되고, 상기 공정 챔버에서 사전 설정된 열처리 온도 및 열처리 압력으로 열처리된 후 상기 버퍼 챔버로 이송되며, 상기 버퍼 챔버에서 사전 설정된 후가열 온도 및 후가열 압력으로 후가열된 후 상기 배출구를 통해 배출되도록 상기 투입구 도어와, 상기 배출구 도어와, 상기 제1 중간 도어와, 상기 제2 중간 도어와, 상기 예열 기체 공급장치와, 상기 열처리 기체 공급장치와, 상기 후가열 기체 공급장치와, 상기 예열 챔버 트레이 이송장치와, 상기 공정 챔버 트레이 이송장치와, 상기 버퍼 챔버 트레이 이송장치를 제어할 수 있다.

상기 하우징은, 상기 투입구와, 상기 예열 챔버와, 상기 예열 챔버에서 상기 트레이가 배출될 수 있도록 상기 예열 챔버와 연결되는 예열 하우징 출구를 갖는 예열 하우징과, 상기 공정 챔버와, 상기 예열 하우징 출구와 마주하여 상기 공정 챔버와 연결되는 공정 하우징 입구와, 상기 공정 챔버에서 상기 트레이가 배출될 수 있도록 상기 공정 챔버와 연결되는 공정 하우징 출구를 갖는 공정 하우징과, 상기 버퍼 챔버와, 상기 공정 하우징 출구와 마주하여 상기 버퍼 챔버와 연결되는 버퍼 하우징 입구와, 상기 배출구를 갖는 버퍼 하우징을 포함하고, 상기 제1 중간 도어는 상기 예열 하우징 출구와 상기 공정 하우징 입구를 동시에 개폐할 수 있도록 상기 예열 하우징과 상기 공정 하우징의 사이에 설치되고, 상기 제2 중간 도어는 상기 공정 하우징 출구와 상기 버퍼 하우징 입구를 동시에 개폐할 수 있도록 상기 공정 하우징과 상기 버퍼 하우징의 사이에 설치될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명에 따른 오토클레이브 장치는 패널 조립체가 열처리되는 공정 챔버 내에서 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분이 존재하면, 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분에서 기체를 배기시키면서 새로운 고온 고압의 기체를 공급함으로써, 해당 부분에서의 온도 또는 압력을 신속하게 상승시킬 수 있다. 따라서, 공정 챔버 전체를 균일한 온도 및 균일한 압력으로 유지시킬 수 있고, 공정 챔버로 투입된 모든 패널 조립체를 균일한 조건으로 열처리하여 불량률을 줄이고, 다수의 패널 조립체를 일괄 처리하여 작업 시간을 단축할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 오토클레이브 장치는 패널 조립체가 실린 트레이를 하우징의 내부의 예열 챔버와, 공정 챔버 및 버퍼 챔버를 따라 차례로 이송하면서 패널 조립체에 대해 예열 공정, 열처리 공정 및 후가열 공정을 차례로 수행할 수 있다. 따라서, 패널 조립체에 대한 열처리 작업을 효과적으로 수행할 수 있고, 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 오토클레이브 장치는 패널 조립체를 예열 챔버에서 예열한 후 공정 챔버에서 일정한 온도와 압력을 가해 열처리하고, 열처리된 패널 조립체를 버퍼 챔버에서 후가열한 후 배출시키므로, 패널 조립체 처리 과정에서 패널 조립체가 열충격을 받아 손상되는 문제를 방지할 수 있고, 기포가 제거되고 접합력이 향상된 고품질의 패널 조립체를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 오토클레이브 장치는 패널 조립체에 대한 예열 공정, 열처리 공정 및 후가열 공정이 연속적으로 수행되므로, 작업이 효율적이고 공정 시간을 단축할 수 있다.

본 발명의 효과는 상술한 것에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 일부 구성을 나타낸 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 공정 하우징을 나타낸 평단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 공정 하우징을 나타낸 정단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 투입구 도어를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 투입구 도어를 나타낸 측단면도이다.
도 7은 도 5 및 도 6에 나타낸 투입구 도어의 작용을 설명하기 위한 것이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 제1 중간 도어를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 제1 중간 도어를 나타낸 측단면도이다.
도 10은 도 8 및 도 9에 나타낸 제1 중간 도어의 작용을 설명하기 위한 것이다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치에 구비되는 트레이 반송장치의 작용을 설명하기 위한 것이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 설명함에 있어서, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의를 위해 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다.

또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 본 발명의 기술적 사상과 관계없는 부분의 설명은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 것이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치의 일부 구성을 나타낸 측단면도이다.

도면에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)를 수용할 수 있는 공간이 내부에 마련된 하우징(200)과, 하우징(200)의 내부로 패널 조립체(20)를 가열 및 가압하기 위한 기체를 공급하기 위한 예열 기체 공급장치(245)와 열처리 기체 공급장치(247) 및 후가열 기체 공급장치(249)와, 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)를 하우징(200)의 내부로 투입시키기 위한 트레이 투입장치(300)와, 하우징(200)을 통과하는 트레이(10)를 배출시키기 위한 트레이 배출장치(400)와, 트레이(10)를 트레이 투입장치(300) 측으로 반송시키기 위한 트레이 반송장치(500)와, 오토클레이브 장치(100)의 전반적인 동작을 제어하는 제어장치(600)를 포함한다.

하우징(200)의 일단에는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 투입되는 투입구(204)가 마련되고, 하우징(200)의 타단에는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 배출되는 배출구(235)가 구비된다. 투입구(204)와 배출구(235)의 사이에는 예열 챔버(203)와, 공정 챔버(218)와, 버퍼 챔버(233)가 차례로 배치된다. 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)는 투입구(204)를 통해 예열 챔버(203)로 투입된 후 공정 챔버(218)와 버퍼 챔버(233)를 차례로 통과하고, 배출구(235)를 통해 하우징(200)에서 배출된다. 트레이(10)에 실린 패널 조립체(20)는 예열 챔버(203)에서 열과 압력을 받아 예열되고, 공정 챔버(218)에서 가열 및 가압 처리된다. 그리고 공정 챔버(218)에서 가열 및 가압 처리된 패널 조립체(20)는 버퍼 챔버(233)에서 열과 압력을 받은 후 하우징(200)에서 배출된다.

본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 일련의 열처리 공정을 통해 패널 조립체(P)를 구성하는 패널 소자 사이의 기포를 제거하고, 패널 소자 간의 부착력을 향상시킴으로써 고품질의 패널 조립체(20)를 제공할 수 있다. 오토클레이브 장치(100)의 처리 대상이 되는 패널 조립체(P)로는 디스플레이용 패널이나, 광학 패널 등 복수의 패널 소자가 라미네이팅된 다양한 종류의 것일 수 있다.

하우징(200)은 내부에 예열 챔버(203)가 마련된 예열 하우징(202)과, 내부에 공정 챔버(218)가 마련된 공정 하우징(217)과, 내부에 버퍼 챔버(233)가 마련된 버퍼 하우징(232)을 포함한다. 예열 하우징(202)과 공정 하우징(217) 및 버퍼 하우징(232)은 일렬로 배치됨으로써, 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 예열 하우징(202)과 공정 하우징(217) 및 버퍼 하우징(232)을 차례로 통과할 수 있다. 예열 하우징(202)의 전방에는 투입구 도어(257)가 배치되고, 예열 하우징(202)과 공정 하우징(217)의 사이에는 제1 중간 도어(270)가 배치된다. 그리고 공정 하우징(217)과 버퍼 하우징(232)의 사이에는 제2 중간 도어(285)가 배치되고, 버퍼 하우징(232)의 후방에는 배출구 도어(290)가 배치된다.

예열 하우징(202)의 일단에는 투입구(204)가 예열 챔버(203)와 연결되도록 구비된다. 투입구(204)는 투입구 도어(257)에 의해 개폐될 수 있다. 예열 하우징(202)의 타단에는 예열 챔버(203)와 연결되어 공정 하우징(217)을 향해 개방되는 예열 하우징 출구(205)가 마련된다. 예열 하우징 출구(205)는 제1 중간 도어(270)에 의해 개폐될 수 있다. 예열 하우징(202)의 일측에는 기체를 예열 챔버(203)로 유입시키기 위한 적어도 하나의 예열 하우징 흡기구(206)가 구비된다. 예열 하우징 흡기구(206)에는 예열 기체 공급장치(245)와 연결되는 기체 공급관(246)이 연결된다. 예열 기체 공급장치(245)에서 공급되는 기체가 예열 하우징 흡기구(206)를 통해 예열 챔버(203)의 내부로 유입될 수 있다.

예열 기체 공급장치(245)는 예열 챔버(203)로 투입되는 패널 조립체(20)를 예열할 수 있도록 가열된 기체를 예열 챔버(203)에 공급한다. 예열 챔버(203)가 밀폐된 상태에서 예열 기체 공급장치(245)가 가열된 기체를 예열 챔버(203)에 공급함으로써 예열 챔버(203)가 사전 설정된 예열 온도와 예열 압력의 분위기로 유지될 수 있다. 따라서, 패널 조립체(20)가 예열 챔버(203)로 투입되어 사전 설정된 온도와 압력의 분위기 속에서 예열 공정을 거칠 수 있다.

상온에 있던 패널 조립체(20)를 바로 공정 챔버(218)로 유입시켜 고온 고압을 가하면 패널 조립체(20)가 열충격을 받을 수 있다. 따라서, 패널 조립체(20)를 예열 챔버(203)를 통과시켜 예열한 후 공정 챔버(218)로 유입시키면 열충격 문제를 방지할 수 있다. 예열 챔버(203) 내의 온도와 압력은 공정 챔버(218) 내의 온도와 압력보다 낮게 설정될 수 있다.

예열 하우징(202)의 내측에는 트레이(10)를 선형 이동하도록 가이드하는 예열 챔버 가이드레일(208)이 설치된다. 예열 챔버 가이드레일(208)은 복수의 롤러(209)와, 복수의 롤러(209)를 지지하는 가이드레일 바디(210)를 포함한다. 복수의 롤러(209)는 트레이(10)의 이송 방향을 따라 이격 배치된다. 또한, 롤러(209)는 가이드레일 바디(210)에 복열로 배치될 수 있다. 예열 챔버 가이드레일(208)은 한 쌍이 트레이(10)의 이송 방향과 수직 방향으로 이격되어 상호 평행하게 배치될 수 있다.

트레이(10)의 하부에는 롤러(209)가 삽입될 수 있는 복수의 트레이 홈(11)이 마련된다. 복수의 트레이 홈(11)은 예열 챔버(203)에 배치되는 복수의 롤러(209) 열에 대응하도록 배치된다. 트레이(10)는 복수의 트레이 홈(11)에 롤러(209)가 삽입되도록 예열 챔버 가이드레일(208) 위에 놓임으로써, 롤러(209)에 의해 선형 이동하도록 가이드될 수 있다.

예열 챔버 가이드레일(208)의 설치 개수나, 예열 챔버 가이드레일(208)에 구비되는 롤러(209)의 배치 구조는 다양하게 변경될 수 있다. 그리고 예열 챔버 가이드레일(208)은 도시된 것과 같이 복수의 롤러(209)를 포함하는 구조 이외에, 예열 하우징(202) 속에 설치되어 트레이(10)를 선형 이동하도록 가이드할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

예열 챔버(203) 속에서 트레이(10)는 예열 챔버 트레이 이송장치(212)에 의해 이송될 수 있다. 예열 챔버 트레이 이송장치(212)는 트레이(10)를 밀거나 당길 수 있는 이송 패드(213)와, 이송 패드(213)를 선형 이동시키는 패드 이송장치(214)와, 이송 패드(213)를 승강시키기 위해 패드 이송장치(214)와 연결되는 패드 승강장치(215)를 포함한다. 이송 패드(213)는 한 쌍의 예열 챔버 가이드레일(208) 사이의 공간에서 승강 및 선형 이동할 수 있다.

이러한 예열 챔버 트레이 이송장치(212)는 이송 패드(213)가 트레이(10)의 일단에 접한 상태에서 트레이(10)가 패드 이송장치(214)에 의해 공정 챔버(218) 측으로 이동함으로써 트레이(10)를 예열 챔버(203)에서 공정 챔버(218) 측으로 이동시킬 수 있다. 예열 챔버(203)로 트레이(10)가 투입될 때 이송 패드(213)는 패드 승강장치(215)에 의해 예열 챔버 가이드레일(208)으로부터 멀어지도록 상승하여 예열 챔버(203)로 투입되는 트레이(10)와 간섭되지 않는다. 그리고 트레이(10)를 이송시켜야 하는 경우, 이송 패드(213)는 패드 승강장치(215)에 의해 예열 챔버 가이드레일(208)에 가까워지는 방향으로 하강하여 트레이(10)에 접할 수 있다.

예열 챔버 트레이 이송장치(212)는 도시된 구조 이외에, 예열 챔버(203) 속에서 트레이(10)를 공정 챔버(218) 측으로 이동시킬 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 공정 하우징(217)의 일단에는 공정 챔버(218)와 연결되는 공정 하우징 입구(219)가 구비되고, 공정 하우징(217)의 타단에는 공정 챔버(218)와 연결되는 공정 하우징 출구(220)가 마련된다. 공정 하우징 입구(219)는 예열 하우징(202)의 예열 하우징 출구(205)와 마주하고, 공정 하우징 출구(220)는 버퍼 하우징(232)을 향해 개방된다. 공정 하우징 입구(219)는 제1 중간 도어(270)에 의해 개폐될 수 있다. 예열 하우징(202)과 공정 하우징(217)의 사이에는 제1 중간 도어(270)가 설치되는 공간이 마련되고, 이 공간은 제1 커버(242)에 의해 덮일 수 있다. 공정 하우징 출구(220)는 제2 중간 도어(285)에 의해 개폐될 수 있다. 공정 하우징(217)과 버퍼 하우징(232)의 사이에는 제2 중간 도어(285)가 설치되는 공간이 마련되고, 이 공간은 제2 커버(243)에 의해 덮일 수 있다. 공정 챔버(218)는 복수의 트레이(10)를 수용할 수 있는 크기로 이루어질 수 있다.

공정 하우징(217)에는 기체를 공정 챔버(218)로 유입시키기 위한 복수의 기체 흡입구(221)와, 기체를 공정 챔버(218)로부터 배출시키기 위한 복수의 기체 배기구(222)가 구비된다. 기체 배기구(222)는 기체 흡입구(221)와 짝을 이루도록 기체 흡입구(221)에 인접하여 배치된다. 각각의 기체 흡입구(221)는 흡기 밸브(223)에 의해 개폐되고, 각각의 기체 배기구(222)는 배기 밸브(224)에 의해 개폐될 수 있다. 또한, 각각의 흡기 밸브(223)에는 열처리 기체 공급장치(247)와 연결되는 기체 공급관(248)이 연결된다.

열처리 기체 공급장치(247)에서 공급되는 기체가 복수의 기체 흡입구(221)를 통해 공정 챔버(218)의 내부로 유입될 수 있다. 열처리 기체 공급장치(247)는 공정 챔버(218)로 투입되는 패널 조립체(20)를 열처리할 수 있도록 가열된 기체를 공정 챔버(218)에 공급한다. 공정 챔버(218)가 밀폐된 상태에서 열처리 기체 공급장치(247)가 가열된 기체를 공정 챔버(218)에 공급함으로써 공정 챔버(218)가 사전 설정된 열처리 온도 및 열처리 압력의 분위기로 유지될 수 있다. 따라서, 공정 챔버(218)로 투입되는 패널 조립체(20)는 열처리되어 패널 조립체(P)를 구성하는 패널 소자 사이의 기포가 제거되고, 패널 소자 간의 부착력이 증대될 수 있다.

복수의 기체 흡입구(221)는 공정 챔버(218)에서 트레이(10)의 이송 방향을 따라 이격 배치된다. 공정 챔버(218)에서 복수의 트레이(10)에 각각 실린 복수의 패널 조립체(20)를 동시에 가열 및 가압 처리하기 위해서 공정 챔버(218) 전체의 온도 및 압력이 균일하게 유지될 필요가 있다. 복수의 기체 흡입구(221)를 통해 공정 챔버(218)의 여러 위치에서 고온 고압의 기체를 동시에 공급함으로써 공정 챔버(218) 전체의 온도 및 압력을 균일하게 할 수 있다.

또한, 공정 챔버(218) 중에서 상대적으로 온도가 낮거나 상대적으로 압력이 낮은 부분에서 기체 배기구(222)를 통해 기체를 배기시키면서 기체 흡입구(221)를 통해 새로운 고온 고압의 기체를 공급하면, 그 부분에서의 온도 또는 압력을 신속하게 상승시킴으로써 공정 챔버(218) 전체의 온도 및 압력을 균일하게 만들 수 있다.

기체 흡입구(221)를 개폐하기 위한 흡기 밸브(223)와 기체 배기구(222)를 개폐하기 위한 배기 밸브(224)는 공정 하우징(217)에 설치되는 온도계(252) 및 압력계(253)의 검출 신호에 따라 제어될 수 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 온도계(252)는 복수의 기체 흡입구(221)에 각각 인접하도록 복수 개가 공정 챔버(218) 내에 설치된다. 온도계(252)와 마찬가지로, 압력계(253)도 복수의 기체 흡입구(221)에 각각 인접하도록 복수 개가 공정 챔버(218) 내에 설치된다. 온도계(252)의 검출 신호와, 압력계(253)의 검출 신호는 제어장치(600)에 제공되고, 제어장치(600)가 온도계(252)의 검출 신호 또는 압력계(253)의 검출 신호에 따라 흡기 밸브(223)와 배기 밸브(224)를 제어할 수 있다.

복수의 온도계(252) 및 복수의 압력계(253)가 공정 챔버(218) 내에 설치됨으로써 공정 챔버(218) 내의 복수의 개소에서 온도 및 압력의 검출이 가능하고, 공정 챔버(218) 내에서 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분을 확인하는 것이 가능하다. 그리고 사전 설정된 열처리 온도 또는 열처리 압력에 미치지 못하는 부분에 인접한 기체 흡입구(221) 및 기체 배기구(222)를 개방하여 해당 부분에서 기체를 배기시키면서 새로운 고온 고압의 기체를 공급함으로써, 해당 부분에서의 온도 또는 압력을 신속하게 상승시킬 수 있다.

또한, 공정 챔버(218)의 온도 및 압력을 신속하게 상승시키고, 공정 챔버(218) 전체의 온도 및 압력을 균일하게 할 수 있도록 공정 하우징(217)에는 복수의 팬 장치(254) 및 복수의 히터(255)가 설치된다. 복수의 팬 장치(254)는 공정 챔버(218) 내에서 기류를 발생시킴으로써, 공정 챔버(218)로 공급되는 기체가 공정 챔버(218) 전체에 고르게 퍼지게 하고, 히터(255)에서 발생하는 열을 공정 챔버(218) 전체에 고르게 분포시킬 수 있다.

공정 하우징(217)의 내측에는 트레이(10)를 선형 이동하도록 가이드하는 공정 챔버 가이드레일(226)이 설치된다. 공정 챔버 가이드레일(226)은 예열 챔버 가이드레일(208)과 같이, 복수의 롤러(209)와, 복수의 롤러(209)를 지지하는 가이드레일 바디(210)를 포함한다. 공정 챔버 가이드레일(226)은 한 쌍이 트레이(10)의 이송 방향과 수직 방향으로 이격되어 상호 평행하게 배치될 수 있다. 공정 챔버(218)에서 트레이(10)가 공정 챔버 가이드레일(226)을 따라 선형 이동할 수 있다.

공정 챔버 가이드레일(226)은 도시된 것과 같이 복수의 롤러(209)를 포함하는 구조 이외에, 공정 하우징(217) 속에 설치되어 트레이(10)를 선형 이동하도록 가이드할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

공정 챔버(218) 속에서 트레이(10)는 복수의 공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)에 의해 이송될 수 있다. 이들 공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)는 예열 하우징(202)에 설치되는 예열 챔버 트레이 이송장치(212)와 같이, 이송 패드(213)가 승강 및 선형 이동하여 트레이(10)를 밀거나 당기는 구조로 이루어질 수 있다. 각 공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)의 이송 패드(213)는 한 쌍의 공정 챔버 가이드레일(226) 사이의 공간에서 승강 및 선형 이동할 수 있다.

공정 챔버(218) 속에서 트레이(10)의 이송 거리가 상대적으로 길기 때문에, 복수의 공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)는 공정 챔버 가이드레일(226)의 상측 및 하측에 적절하게 배치되어 예열 챔버(203)를 통과하는 트레이(10)를 공정 챔버(218)를 거쳐 버퍼 챔버(233) 측으로 이송시킬 수 있다. 즉, 하나의 공정 챔버 트레이 이송장치(228)가 예열 챔버(203)를 통과하는 트레이(10)를 공정 챔버(218)의 중간 측으로 이송시키고, 다른 하나의 공정 챔버 트레이 이송장치(229)가 트레이(10)를 공정 챔버(218) 중간의 트레이(10)를 공정 하우징 출구(220)를 향해 일정 거리 이송시키고, 또 다른 공정 챔버 트레이 이송장치(230)가 트레이(10)를 버퍼 챔버(233) 측으로 이송시킬 수 있다.

각 공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)는 트레이(10)에 대한 이송 동작을 하지 않을 때, 각각의 이송 패드(213)가 이송되는 트레이(10)와 간섭되지 않도록 공정 챔버 가이드레일(226)에서 멀어지는 방향으로 상승 또는 하강할 수 있다.

공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)는 도시된 구조 이외에, 공정 챔버(218) 속에서 트레이(10)를 버퍼 챔버(233) 측으로 이동시킬 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다. 그리고 공정 하우징(217)에 설치되는 공정 챔버 트레이 이송장치(228)(229)(230)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다.

버퍼 하우징(232)의 일단에는 버퍼 챔버(233)와 연결되는 버퍼 하우징 입구(234)가 구비되고, 버퍼 하우징(232)의 타단에는 배출구(235)가 마련된다. 버퍼 하우징 입구(234)는 공정 하우징(217)의 공정 하우징 출구(220)와 마주한다. 버퍼 하우징 입구(234)는 제2 중간 도어(285)에 의해 개폐될 수 있고, 배출구(235)는 배출구 도어(290)에 의해 개폐될 수 있다.

버퍼 하우징(232)에는 기체를 버퍼 챔버(233)로 유입시키기 위한 적어도 하나의 버퍼 하우징 흡기구(236)가 구비된다. 버퍼 하우징 흡기구(236)에는 후가열 기체 공급장치(249)와 연결되는 기체 공급관(250)이 연결된다. 후가열 기체 공급장치(249)에서 공급되는 기체가 버퍼 하우징 흡기구(236)를 통해 버퍼 챔버(233)의 내부로 유입될 수 있다.

후가열 기체 공급장치(249)는 버퍼 챔버(233)로 투입되는 패널 조립체(20)를 후가열할 수 있도록 가열된 기체를 버퍼 챔버(233)에 공급한다. 버퍼 챔버(233)가 밀폐된 상태에서 후가열 기체 공급장치(249)가 가열된 기체를 버퍼 챔버(233)에 공급함으로써 버퍼 챔버(233)가 사전 설정된 온도와 압력의 분위기로 유지될 수 있다. 따라서, 패널 조립체(20)가 버퍼 챔버(233)로 투입되어 사전 설정된 후가열 온도와 후가열 압력의 분위기 속에서 후가열 공정을 거칠 수 있다.

공정 챔버(218)에서 가열 및 가압된 패널 조립체(20)를 바로 하우징(200)에서 배출시키면 패널 조립체(20)의 온도가 급격하게 낮아져 패널 조립체(20)가 열충격을 받을 수 있다. 따라서, 공정 챔버(218)를 통과하는 패널 조립체(20)를 바로 하우징(200)에서 배출시키지 않고 버퍼 챔버(233)에서 후가열한 후 하우징(200)에서 배출시키면 열충격 문제를 방지할 수 있다. 버퍼 챔버(233) 내의 온도와 압력은 공정 챔버(218) 내의 온도와 압력보다 낮게 설정될 수 있다.

버퍼 하우징(232)의 내측에는 트레이(10)를 선형 이동하도록 가이드하는 버퍼 챔버 가이드레일(238)이 설치된다. 버퍼 챔버 가이드레일(238)은 예열 챔버 가이드레일(208)과 같이, 복수의 롤러(209)와, 복수의 롤러(209)를 지지하는 가이드레일 바디(210)를 포함한다. 버퍼 챔버 가이드레일(238)은 한 쌍이 트레이(10)의 이송 방향과 수직 방향으로 이격되어 상호 평행하게 배치될 수 있다. 버퍼 챔버(233)에서 트레이(10)가 공정 챔버 가이드레일(226)을 따라 선형 이동할 수 있다.

버퍼 챔버 가이드레일(238)은 도시된 것과 같이 복수의 롤러(209)를 포함하는 구조 이외에, 버퍼 하우징(232) 속에 설치되어 트레이(10)를 선형 이동하도록 가이드할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

버퍼 챔버(233) 속에서 트레이(10)는 버퍼 챔버 트레이 이송장치(240)에 의해 이송될 수 있다. 버퍼 챔버 트레이 이송장치(240)는 앞서 설명한 예열 챔버 트레이 이송장치(212)와 같이, 이송 패드(213)가 승강 및 선형 이동하여 트레이(10)를 밀거나 당기는 구조로 이루어질 수 있다. 버퍼 챔버 트레이 이송장치(240)의 이송 패드(213)는 한 쌍의 버퍼 챔버 가이드레일(238) 사이의 공간에서 승강 및 선형 이동할 수 있다.

버퍼 챔버(233)로 트레이(10)가 투입될 때 이송 패드(213)는 버퍼 챔버 가이드레일(238)로부터 멀어지도록 상승하여 버퍼 챔버(233)로 투입되는 트레이(10)와 간섭되지 않는다. 그리고 트레이(10)를 이송시켜야 하는 경우, 이송 패드(213)는 버퍼 챔버 가이드레일(238)에 가까워지는 방향으로 하강하여 트레이(10)에 접할 수 있다.

버퍼 챔버 트레이 이송장치(240)는 도시된 구조 이외에, 버퍼 챔버(233) 속에서 트레이(10)를 배출구(235) 측으로 이동시킬 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

도 1, 도 2, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 투입구 도어(257)는 예열 하우징(202)의 일단에 배치되어 투입구(204)를 개폐한다. 투입구 도어(257)는 도어 바디(258)와, 도어 바디(258)의 내측에 배치되는 패킹(264)을 포함한다.

패킹(264)은 예열 하우징(202)의 투입구(204) 둘레를 둘러쌀 수 있도록 환형으로 이루어진다. 패킹(264)의 단면 형상은 일단에서 타단 측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 형상으로 이루어진다. 패킹(264)은 고무나 실리콘 등 탄성 변형 가능한 소재로 이루어질 수 있다.

도어 바디(258)의 내측에는 패킹(264)이 수용되는 도어 챔버(259)가 마련된다. 그리고 도어 바디(258)의 일면에는 도어 챔버(259)와 연결되어 예열 하우징(202) 측으로 개방되는 도어 개구(260)가 마련된다. 도어 개구(260)는 환형의 패킹(264)이 삽입될 수 있도록 패킹(264) 형상에 대응하는 환형으로 이루어진다. 도어 개구(260)는 도어 바디(258)의 내측에서 도어 바디(258)의 외측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 형상으로 이루어진다. 패킹(264)은 도어 개구(260)에 삽입되어 도어 개구(260) 속에서 움직일 수 있으며, 그 끝단이 도어 바디(258)의 일면으로부터 예열 하우징(202) 측으로 돌출될 수 있다.

도어 바디(258)의 일측에는 도어 챔버(259)와 연결되는 도어 흡기구(261)가 마련된다. 도어 흡기구(261)에는 공급 튜브(267)가 연결된다. 공급 튜브(267)는 도어 챔버(259)에 기체를 공급하기 위한 도어용 기체 공급기(266)와 연결되어 도어용 기체 공급기(266)에서 공급되는 기체를 도어 흡기구(261)로 유동시킬 수 있다. 도어용 기체 공급기(266)에서 기체가 도어 챔버(259)로 유입되면 도어 챔버(259)의 압력이 증가하여 패킹(264)이 도어 개구(260) 속에서 도어 바디(258)의 외측 방향으로 밀리게 된다. 이때, 패킹(264)의 끝단이 도어 바디(258)의 표면으로부터 돌출될 수 있다.

도어 바디(258)의 다른 일측에는 도어 챔버(259)와 연결되는 도어 배기구(262)가 구비된다. 도어 배기구(262)는 도어 챔버(259)의 기체를 배출하기 위한 것이다. 도어 배기구(262)에는 도어 배기구(262)를 개폐하기 위한 도어 배기 밸브(263)가 연결된다. 도어 흡기구(261)를 통해 도어 챔버(259)로 기체가 공급될 때 도어 배기 밸브(263)는 도어 배기구(262)를 차폐한다. 도어 배기 밸브(263)가 도어 배기구(262)를 개방하면 도어 챔버(259)의 기체가 도어 배기구(262)를 통해 배출될 수 있다.

투입구 도어(257)는 투입구 도어 이동장치(268)에 의해 승강할 수 있다. 도 6에 나타낸 것과 같이, 투입구 도어(257)는 투입구 도어 이동장치(268)에 의해 그 상단부가 예열 하우징(202)의 투입구(204)보다 낮게 하강함으로써 예열 하우징(202)의 투입구(204)를 개방할 수 있다. 그리고 투입구 도어(257)는 도 7의 (a)에 나타낸 것과 것과 같이, 투입구 도어 이동장치(268)에 의해 투입구(204)와 마주하는 높이까지 상승할 수 있다.

투입구 도어(257)가 투입구(204)를 막을 수 있는 높이까지 상승한 상태에서 도어용 기체 공급기(266)로부터 도어 챔버(259)에 기체가 공급되면, 도어 챔버(259)의 압력이 상승하여 패킹(264)이 도어 바디(258)의 외측 방향으로 밀리게 된다. 이때, 도 7의 (b)에 나타낸 것과 같이, 패킹(264)의 끝단이 도어 바디(258)의 표면으로부터 돌출되어 투입구(204)를 둘러싸면서 예열 하우징(202)의 외면에 밀착된다. 따라서, 투입구(204)가 안정적으로 밀폐될 수 있다.

한편, 도어 챔버(259)로 기체 공급이 중단되고 도어 배기 밸브(263)가 도어 배기구(262)를 개방하게 되면 도어 챔버(259)의 기체가 도어 배기구(262)를 통해 배출되어 도어 챔버(259)의 압력이 떨어지게 된다. 이때, 예열 하우징(202)의 외면에 밀착되었던 패킹(264)의 밀착력이 해제되며, 이 상태에서 투입구 도어(257)는 투입구 도어 이동장치(268)에 의해 투입구(204)를 개방하는 위치까지 원활하게 하강할 수 있다.

도 2, 도 8 내지 도 10을 참조하면, 제1 중간 도어(270)는 예열 하우징(202)과 공정 하우징(217)의 사이에 배치되어 예열 하우징(202)의 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징(217)의 공정 하우징 입구(219)를 동시에 개폐할 수 있다. 제1 중간 도어(270)는 도어 바디(271)와, 도어 바디(271)의 내측에 배치되는 제1 패킹(278) 및 제2 패킹(279)을 포함한다.

제1 패킹(278)은 예열 하우징(202)의 예열 하우징 출구(205) 둘레를 둘러쌀 수 있도록 환형으로 이루어진다. 제1 패킹(278)의 단면 형상은 일단에서 타단 측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 형상으로 이루어진다. 제1 패킹(278)은 고무나 실리콘 등 탄성 변형 가능한 소재로 이루어질 수 있다. 제2 패킹(279)은 공정 하우징(217)의 공정 하우징 입구(219) 둘레를 둘러쌀 수 있도록 환형으로 이루어진다. 제2 패킹(279)의 단면 형상은 일단에서 타단 측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 형상으로 이루어진다. 제1 패킹(278)과 마찬가지로 제2 패킹(279)은 고무나 실리콘 등 탄성 변형 가능한 소재로 이루어질 수 있다.

도어 바디(271)의 내측에는 제1 패킹(278) 및 제2 패킹(279)이 수용되는 도어 챔버(272)가 마련된다. 도어 바디(271)의 일면에는 도어 챔버(272)와 연결되어 예열 하우징(202) 측으로 개방되는 제1 도어 개구(273)가 마련되고, 도어 바디(271)의 타면에는 도어 챔버(272)와 연결되어 공정 하우징(217) 측으로 개방되는 제2 도어 개구(274)가 구비된다.

제1 도어 개구(273)는 환형의 제1 패킹(278)이 삽입될 수 있도록 제1 패킹(278) 형상에 대응하는 환형으로 이루어진다. 제1 도어 개구(273)는 제1 패킹(278)의 단면 형상에 대응하도록 도어 바디(271)의 내측에서 도어 바디(271)의 외측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 형상으로 이루어진다. 제1 패킹(278)은 제1 도어 개구(273)에 삽입되어 제1 도어 개구(273) 속에서 움직일 수 있으며, 그 끝단이 도어 바디(271)의 일면으로부터 예열 하우징(202) 측으로 돌출될 수 있다.

제2 도어 개구(274)는 환형의 제2 패킹(279)이 삽입될 수 있도록 제2 패킹(279) 형상에 대응하는 환형으로 이루어진다. 제2 도어 개구(274)는 제2 패킹(279)의 단면 형상에 대응하도록 도어 바디(271)의 내측에서 도어 바디(271)의 외측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 형상으로 이루어진다. 제2 패킹(279)은 제2 도어 개구(274)에 삽입되어 제2 도어 개구(274) 속에서 움직일 수 있으며, 그 끝단이 도어 바디(271)의 타면으로부터 공정 하우징(217) 측으로 돌출될 수 있다.

도어 바디(271)의 일측에는 도어 챔버(272)와 연결되는 도어 흡기구(275)가 마련된다. 도어 흡기구(275)에는 공급 튜브(282)가 연결된다. 공급 튜브(282)는 도어 챔버(272)에 기체를 공급하기 위한 도어용 기체 공급기(281)와 연결되어 도어용 기체 공급기(281)에서 공급되는 기체를 도어 흡기구(275)로 유동시킬 수 있다. 도어용 기체 공급기(281)에서 기체가 도어 챔버(272)로 유입되면 도어 챔버(272)의 압력이 증가하여 제1 패킹(278)이 제1 도어 개구(273) 속에서 도어 바디(271)의 외측 방향으로 밀리고, 제2 패킹(279)이 제2 도어 개구(274) 속에서 도어 바디(271)의 외측 방향으로 밀리게 된다. 이때, 제1 패킹(278)의 끝단이 도어 바디(271)의 일면으로부터 돌출되고, 제2 패킹(279)의 끝단이 도어 바디(271)의 타면으로부터 돌출될 수 있다.

도어 바디(271)의 다른 일측에는 도어 챔버(272)와 연결되는 도어 배기구(276)가 구비된다. 도어 배기구(276)는 도어 챔버(272)의 기체를 배출하기 위한 것이다. 도어 배기구(276)에는 도어 배기구(276)를 개폐하기 위한 도어 배기 밸브(277)가 연결된다. 도어 흡기구(275)를 통해 도어 챔버(272)로 기체가 공급될 때 도어 배기 밸브(277)는 도어 배기구(276)를 차폐한다. 도어 배기 밸브(277)가 도어 배기구(276)를 개방하면 도어 챔버(272)의 기체가 도어 배기구(276)를 통해 배출될 수 있다.

제1 중간 도어(270)는 제1 중간 도어 이동장치(283)에 의해 승강할 수 있다. 도 9에 나타낸 것과 같이, 제1 중간 도어(270)는 제1 중간 도어 이동장치(283)에 의해 그 상단부가 예열 하우징(202)의 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징(217)의 공정 하우징 입구(219)보다 낮게 하강함으로써 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징 입구(219)를 개방할 수 있다. 그리고 제1 중간 도어(270)는 도 10의 (a)에 나타낸 것과 것과 같이, 제1 중간 도어 이동장치(283)에 의해 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징 입구(219)와 마주하는 높이까지 상승할 수 있다.

제1 중간 도어(270)가 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징 입구(219)를 막을 수 있는 높이까지 상승한 상태에서 도어용 기체 공급기(281)로부터 도어 챔버(272)에 기체가 공급되면 도어 챔버(272)의 압력이 상승하여 제1 패킹(278) 및 제2 패킹(279)이 도어 바디(271)의 외측 방향으로 밀리게 된다. 이때, 도 10의 (b)에 나타낸 것과 같이, 제1 패킹(278)의 끝단이 도어 바디(271)의 일면으로부터 돌출되어 예열 하우징 출구(205)를 둘러싸면서 예열 하우징(202)의 외면에 밀착됨으로써, 예열 하우징 출구(205)가 안정적으로 밀폐될 수 있다. 그리고 제2 패킹(279)의 끝단이 도어 바디(271)의 타면으로부터 돌출되어 공정 하우징 입구(219)를 둘러싸면서 공정 하우징(217)의 외면에 밀착됨으로써, 공정 하우징 입구(219)가 안정적으로 밀폐될 수 있다.

한편, 도어 챔버(272)로 기체 공급이 중단되고 도어 배기 밸브(277)가 도어 배기구(276)를 개방하게 되면 도어 챔버(272)의 기체가 도어 배기구(276)를 통해 배출되어 도어 챔버(272)의 압력이 떨어지게 된다. 이때, 예열 하우징(202)의 외면에 밀착되었던 제1 패킹(278)의 밀착력이 해제되고 공정 하우징(217)이 외면에 밀착되었던 제2 패킹(279)의 밀착력이 해제된다. 이 상태에서 제1 중간 도어(270)는 제1 중간 도어 이동장치(283)에 의해 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징 입구(219)를 개방하는 위치까지 원활하게 하강할 수 있다.

제2 중간 도어(285)는 공정 하우징(217)과 버퍼 하우징(232)의 사이에 배치되어 공정 하우징(217)의 공정 하우징 출구(220) 및 버퍼 하우징(232)의 버퍼 하우징 입구(234)를 동시에 개폐할 수 있다. 제2 중간 도어(285)는 도 8에 나타낸 것과 같은 제1 중간 도어(270)와 같은 구조로 이루어진다.

즉, 제2 중간 도어(285)는 도어 챔버(272)와, 제1 도어 개구(273)와, 제2 도어 개구(274)와, 도어 흡기구(275)와, 도어 배기구(276)가 마련된 도어 바디(271)와, 제1 도어 개구(273) 및 제2 도어 개구(274)에 각각 삽입되도록 도어 챔버(272)에 배치되는 제1 패킹(278) 및 제2 패킹(279)과, 도어 배기구(276)를 개폐하기 위한 도어 배기 밸브(277)를 포함한다. 제1 도어 개구(273)는 공정 하우징(217)을 향해 개방되고, 제2 도어 개구(274)는 버퍼 하우징(232)을 향해 개방된다. 도어 흡기구(275)에는 기체를 공급하는 도어용 기체 공급기(286)에 연결되는 공급 튜브(287)가 연결된다.

제2 중간 도어(285)는 제2 중간 도어 이동장치(288)에 의해 공정 하우징 출구(220) 및 버퍼 하우징 입구(234)를 개방하는 위치 또는 공정 하우징 출구(220) 및 버퍼 하우징 입구(234)를 차단하는 위치로 움직일 수 있다.

제2 중간 도어(285)가 공정 하우징 출구(220) 및 버퍼 하우징 입구(234)와 마주하는 위치까지 상승한 상태에서 도어용 기체 공급기(286)에서 공급되는 기체가 도어 챔버(272)로 유입되면, 제1 패킹(278)이 공정 하우징(217) 측으로 돌출되고 제2 패킹(279)이 버퍼 하우징(232) 측으로 돌출된다. 이때, 제1 패킹(278)은 공정 하우징 출구(220)를 둘러싸면서 공정 하우징(217)에 밀착되어 공정 하우징 출구(220)를 밀폐하고, 제2 패킹(279)은 버퍼 하우징 입구(234)를 둘러싸면서 버퍼 하우징(232)에 밀착되어 버퍼 하우징 입구(234)를 밀폐할 수 있다.

배출구 도어(290)는 버퍼 하우징(232)의 일단에 배치되어 배출구(235)를 개폐한다. 배출구 도어(290)는 도 5에 나타낸 투입구 도어(257)와 같은 구조로 이루어진다. 즉, 배출구 도어(290)는 도어 챔버(259)와, 도어 개구(260)와, 도어 흡기구(261)와, 도어 배기구(262)가 형성된 도어 바디(258)와, 도어 개구(260)에 삽입되도록 도어 챔버(259)에 배치되는 패킹(264)과, 도어 배기구(262)를 개폐하기 위한 도어 배기 밸브(263)를 포함한다. 도어 개구(260)는 버퍼 하우징(232)을 향해 개방된다. 도어 배기구(262)에는 기체를 공급하는 도어용 기체 공급기(291)에 연결되는 공급 튜브(292)가 연결된다.

배출구 도어(290)는 배출구 도어 이동장치(293)에 의해 배출구(235)를 개방하는 위치 또는 배출구(235)를 차단하는 위치로 움직일 수 있다.

배출구 도어(290)가 배출구(235)와 마주하는 위치까지 상승한 상태에서 도어용 기체 공급기(291)에서 공급되는 기체가 도어 챔버(259)로 유입되면, 패킹(264)이 버퍼 하우징(232) 측으로 돌출된다. 이때, 패킹(264)은 배출구(235)를 둘러싸면서 버퍼 하우징(232)에 밀착되어 배출구(235)를 밀폐할 수 있다.

도 1을 참조하면, 트레이 투입장치(300)는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)를 하우징(200)의 투입구(204)를 통해 예열 챔버(203) 측으로 이송할 수 있다. 트레이 투입장치(300)는 트레이(10)가 로딩되는 로딩 받침대(310)가 설치된 위치에 설치될 수 있다. 트레이 투입장치(300)는 도시된 것과 같이 이송 패드(213)가 선형 이동하여 트레이(10)를 미는 구조, 또는 그 밖에 트레이(10)를 예열 챔버(203) 측으로 이송할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다.

트레이(10)는 패널 조립체(20)가 실린 상태로 로딩 받침대(310)에 로딩되거나, 패널 조립체(20)가 실리지 않은 상태로 로딩 받침대(310)에 로딩될 수 있다. 후자의 경우, 로딩 받침대(310)에 빈 트레이(10)가 로딩된 상태에서 복수의 패널 조립체(20)가 트레이(10)에 실릴 수 있다.

하우징(200)과 로딩 받침대(310)의 사이에는 트레이(10)를 이송하기 위한 투입 가이드레일(320)이 설치될 수 있다. 투입 가이드레일(320)은 도시된 것과 같이 복수의 롤러(209)를 포함하는 구조, 또는 그 밖에 트레이(10)를 가이드할 수 있는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.

트레이 배출장치(400)는 하우징(200)의 배출구(235) 측에 설치되어 예열 챔버(203)를 거친 트레이(10)를 하우징(200) 외부의 소정의 위치로 이송시킨다. 트레이 배출장치(400)는 트레이(10)를 언로딩 받침대(410)로 이송할 수 있다. 언로딩 받침대(410)에서 패널 조립체(20)가 분리된 후 트레이(10)가 트레이 반송장치(500)에 의해 반송될 수 있다. 트레이 배출장치(400)는 트레이(10)를 이송할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다.

하우징(200)과 언로딩 받침대(410)의 사이에는 트레이(10)를 이송하기 위한 배출 가이드레일(420)이 설치될 수 있다. 배출 가이드레일(420)은 도시된 것과 같이 복수의 롤러(209)를 포함하는 구조, 또는 그 밖에 트레이(10)를 가이드할 수 있는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.

도 1 및 도 11을 참조하면, 트레이 반송장치(500)는 열처리된 패널 조립체(20)가 분리된 트레이(10)를 하우징(200)으로 재투입시킬 수 있는 위치로 반송할 수 있다. 트레이 반송장치(500)는 제1 트레이 운반장치(510)와, 반송 컨베이어(520)와, 제2 트레이 운반장치(530)를 포함한다.

제1 트레이 운반장치(510)는 언로딩 받침대(410)에 위치한 트레이(10)를 반송 컨베이어(520)로 운반한다. 제1 트레이 운반장치(510)는 트레이(10)가 놓일 수 있는 트레이 운반대(511)와, 언로딩 받침대(410)에 놓인 트레이(10)를 트레이 운반대(511)로 이송시키는 반송용 트레이 이송장치(513)와, 트레이 운반대(511)에 놓이는 트레이(10)를 반송 컨베이어(520)로 이송하는 또 다른 반송용 트레이 이송장치(514)를 포함한다. 트레이 운반대(511)는 승강장치(512)에 의해 승강할 수 있다. 승강장치(512)는 트레이 운반대(511)를 언로딩 받침대(410)의 높이까지 상승시키거나, 반송 컨베이어(520)의 높이까지 하강시킬 수 있다.

트레이 운반대(511)가 언로딩 받침대(410)의 높이까지 상승한 상태에서 하나의 반송용 트레이 이송장치(513)가 작동하여 언로딩 받침대(410)에 놓이는 트레이(10)를 트레이 운반대(511)로 운반할 수 있다. 그리고 트레이 운반대(511)가 반송 컨베이어(520)의 높이로 하강한 상태에서 또 다른 반송용 트레이 이송장치(514)가 작동하여 트레이 운반대(511)에 놓이는 트레이(10)를 반송 컨베이어(520)로 운반할 수 있다.

제1 트레이 운반장치(510)에 구비되는 반송용 트레이 이송장치(513)(514)는 도시된 것과 같이 이송 패드(213)가 선형 이동하여 트레이(10)를 밀거나 당기는 구조, 또는 그 밖에 트레이(10)를 이송할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다. 또한, 제1 트레이 운반장치(510)는 도시된 것과 같이, 트레이 운반대(511)와 한 쌍의 반송용 트레이 이송장치(513)(514)를 포함하는 구조 이외에, 언로딩 받침대(410)에 놓이는 트레이(10)를 반송 컨베이어(520)로 운반할 수 있는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.

반송 컨베이어(520)는 제1 트레이 운반장치(510)와 제2 트레이 운반장치(530) 사이에 배치되어 제1 트레이 운반장치(510)가 운반하는 트레이(10)를 제2 트레이 운반장치(530)로 이송한다. 반송 컨베이어(520)는 도시된 것과 같은 벨트 컨베이어, 또는 그 밖의 다양한 구조의 컨베이어가 이용될 수 있다.

제2 트레이 운반장치(530)는 반송 컨베이어(520)에 의해 이송되는 트레이(10)를 로딩 받침대(310)로 운반한다. 제2 트레이 운반장치(530)는 트레이(10)가 놓일 수 있는 트레이 운반대(531)와, 반송 컨베이어(520)에 실려 이송되는 트레이(10)를 트레이 운반대(531)로 이송시키는 반송용 트레이 이송장치(533)와, 트레이 운반대(531)에 놓이는 트레이(10)를 로딩 받침대(310)로 이송하는 또 다른 반송용 트레이 이송장치(534)를 포함한다. 트레이 운반대(531)는 승강장치(532)에 의해 승강할 수 있다. 승강장치(532)는 트레이 운반대(531)를 로딩 받침대(310)의 높이까지 상승시키거나, 반송 컨베이어(520)의 높이까지 하강시킬 수 있다.

트레이 운반대(531)가 반송 컨베이어(520)의 높이로 하강한 상태에서 반송용 트레이 이송장치(533)가 작동하여 반송 컨베이어(520)에 실린 트레이(10)를 트레이 운반대(531)로 운반할 수 있다. 그리고 트레이 운반대(531)가 로딩 받침대(310)의 높이까지 상승한 상태에서 또 다른 반송용 트레이 이송장치(534)가 작동하여 트레이 운반대(531)에 놓이는 트레이(10)를 로딩 받침대(310)로 운반할 수 있다.

제2 트레이 운반장치(530)에 구비되는 반송용 트레이 이송장치(533)(534)는 도시된 것과 같이 이송 패드(213)가 선형 이동하여 트레이(10)를 밀거나 당기는 구조, 또는 그 밖에 트레이(10)를 이송할 수 있는 다양한 구조를 취할 수 있다. 또한, 제2 트레이 운반장치(530)는 도시된 것과 같이, 트레이 운반대(531)와 한 쌍의 반송용 트레이 이송장치(533)(534)를 포함하는 구조 이외에, 반송 컨베이어(520)에 실려 이송되는 트레이(10)를 로딩 받침대(310)로 운반할 수 있는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.

이와 같이, 트레이 반송장치(500)는 언로딩 받침대(410)에서 패널 조립체(20)가 분리된 트레이(10)를 로딩 받침대(310)로 반송시킬 수 있다. 그리고 트레이 반송장치(500)가 로딩 받침대(310)로 트레이(10)를 반송시키면, 로딩 받침대(310)에 놓인 트레이(10)에 복수의 패널 조립체(20)가 놓인 후, 새로운 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 트레이 투입장치(300)에 의해 다시 하우징(200)의 내부로 투입될 수 있다.

트레이 반송장치(500)는 도시된 것과 같이, 제1 트레이 운반장치(510)와, 반송 컨베이어(520)와, 제2 트레이 운반장치(530)를 포함하는 구조 외이에, 하우징(200)의 배출구(235)로 배출되는 트레이(10)를 다시 하우징(200)의 투입구(204) 측으로 반송시킬 수 있는 다양한 다른 구조로 이루어질 수 있다.

제어장치(600)는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 투입구(204)를 통해 하우징(200)의 내부로 투입되어 예열 챔버(203)와, 공정 챔버(218) 및 버퍼 챔버(233)를 차례로 통과하여 배출구(235)를 통해 하우징(200)에서 배출되도록 하고, 트레이(10)가 트레이 반송장치(500)에 의해 투입구(204) 측으로 반송되도록 오토클레이브 장치(100)의 전반적인 동작을 제어한다.

이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)의 작용에 대하여 설명한다.

로딩 받침대(310)에 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 로딩되고 투입구 도어(257)가 하우징(200)의 투입구(204)를 개방하는 위치로 이동한 후, 제어장치(600)가 트레이 투입장치(300)를 작동시켜 트레이(10)를 투입구(204)를 통해 예열 챔버(203)로 투입시킨다. 트레이(10)가 예열 챔버(203)로 투입된 후, 제어장치(600)는 투입구 도어(257)와 제1 중간 도어(270)를 작동시켜 하우징(200)의 투입구(204)와 예열 하우징 출구(205)를 밀폐한다. 이후, 제어장치(600)는 예열 기체 공급장치(245)를 작동시켜 예열 챔버(203)에 가열된 기체를 공급한다. 예열 챔버(203)에 가열된 기체가 공급됨에 따라 예열 챔버(203)는 사전 설정된 예열 온도와 예열 압력으로 유지되며, 예열 챔버(203)에 놓인 패널 조립체(20)는 사전 설정된 시간 동안 예열 공정을 거치게 된다.

패널 조립체(20)에 대한 예열 공정이 종료된 후, 제어장치(600)는 제1 중간 도어(270)를 작동시켜 예열 하우징 출구(205) 및 공정 하우징 입구(219)를 개방한다. 이후, 제어장치(600)는 예열 챔버 트레이 이송장치(212)를 작동시켜 예열 챔버(203)의 트레이(10)를 공정 챔버(218)로 이송시킨다. 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 공정 챔버(218)로 이송된 후, 제어장치(600)는 제1 중간 도어(270) 및 제2 중간 도어(285)를 작동시켜 공정 하우징 입구(219) 및 공정 하우징 출구(220)를 밀폐시킨다.

공정 챔버(218)가 밀폐된 후, 제어장치(600)는 열처리 기체 공급장치(247)를 작동시켜 가열된 기체를 공정 챔버(218)로 공급한다. 이때, 흡기 밸브(223)는 기체 흡입구(221)를 개방하도록 열림 제어되고 배기 밸브(224)는 기체 배기구(222)를 차단하도록 닫힘 제어된다. 공정 챔버(218)에 가열된 기체가 공급될 때, 제어장치(600)는 필요에 따라 공정 챔버(218)에 설치된 팬 장치(254)와 히터(255)를 작동시킨다. 열처리 기체 공급장치(247)와 팬 장치(254) 및 히터(255)의 작용으로 공정 챔버(218)는 사전 설정된 열처리 온도와 열처리 압력으로 유지되며, 공정 챔버(218)에 놓인 패널 조립체(20)는 사전 설정된 시간 동안 열처리된다. 이러한 공정 챔버(218)에서의 열처리 공정을 통해 패널 조립체(P)를 구성하는 패널 소자 사이의 기포가 제거하고, 패널 소자 간의 부착력이 증대될 수 있다. 패널 조립체(20)가 실린 트레이는 공정 챔버(218)에서 복수 개가 공정 하우징 입구(219)에서 공정 하우징 출구(220) 쪽으로 공정 챔버 트레이 이송장치들에 의해 순차적으로 이동하면서 열처리된다.

한편, 제어장치(600)는 공정 챔버(218)에 설치된 복수의 온도계(252) 및 복수의 압력계(253)로부터 검출 신호를 수신하여 공정 챔버(218) 내의 복수의 개소에서 온도 및 압력을 검출한다. 그리고 공정 챔버(218) 내에서 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분이 존재하면, 제어장치(600)는 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분에 인접한 기체 흡입구(221) 및 기체 배기구(222)에 각각 대응하는 흡기 밸브(223) 및 배기 밸브(224)를 열림 제어한다. 이때, 해당 부분에서 기체가 배기되면서 새로운 고온 고압의 기체가 공급되며, 그 부분에서의 온도 또는 압력을 신속하게 상승시킬 수 있다. 따라서, 공정 챔버(218) 전체가 균일한 온도 및 균일한 압력으로 유지될 수 있고, 공정 챔버(218)로 투입된 모든 패널 조립체(20)가 균일한 조건으로 열처리될 수 있다.

패널 조립체(20)에 대한 열처리 공정이 종료된 후, 제어장치(600)는 제2 중간 도어(285)를 작동시켜 공정 하우징 출구(220) 및 버퍼 하우징 입구(234)를 개방한다. 이후, 제어장치(600)는 공정 챔버 트레이 이송장치들(228)(229)(230)을 작동시켜 공정 챔버(218)의 트레이(10)를 버퍼 챔버(233)로 이송시킨다.

패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 버퍼 챔버(223)로 이송된 후, 제어장치(600)는 제2 중간 도어(285) 및 배출구 도어(290)를 작동시켜 버퍼 하우징 입구(234) 및 배출구(235)를 밀폐시킨다. 버퍼 챔버(233)가 밀폐된 후, 제어장치(600)는 후가열 기체 공급장치(249)를 작동시켜 가열된 기체를 버퍼 챔버(233)로 공급한다.

버퍼 챔버(233)에 가열된 기체가 공급됨에 따라 버퍼 챔버(233)는 사전 설정된 후가열 온도와 후가열 압력으로 유지되며, 버퍼 챔버(233)에 놓인 패널 조립체(20)는 사전 설정된 시간 동안 후가열 공정을 거치게 된다.

패널 조립체(20)에 대한 후가열 공정이 종료된 후, 제어장치(600)는 배출구 도어(290)를 작동시켜 배출구(235)를 개방한다. 이후, 제어장치(600)는 버퍼 챔버 트레이 이송장치(240)를 작동시켜 버퍼 챔버(233)의 트레이(10)를 배출구(235) 측으로 이송시키고, 트레이 배출장치(400)를 작동시켜 트레이(10)를 언로딩 받침대(410)로 이송시킨다.

트레이(10)가 언로딩 받침대(410)로 이송된 후, 트레이(10)에 놓인 패널 조립체(20)가 트레이(10)에서 분리된다. 패널 조립체(20)가 트레이(10)에서 분리된 후, 제어장치(600)는 트레이 반송장치(500)를 작동시켜 빈 트레이(10)를 로딩 받침대(310) 측으로 반송시킨다. 로딩 받침대(310)로 트레이(10)가 반송된 후, 로딩 받침대(310)에 놓인 트레이(10)에 패널 조립체(20)가 실리면, 제어장치(600)는 트레이 투입장치(300)를 작동시켜 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)를 다시 하우징(200)의 내부로 투입하게 된다.

이와 같이, 제어장치(600)는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)가 예열 챔버(203)와, 공정 챔버(218) 및 버퍼 챔버(233)를 차례로 통과하면서 패널 조립체(20)에 대한 예열 공정, 열처리 공정 및 후가열 공정이 연속적으로 이루어지도록 오토클레이브 장치(100)의 전반적인 동작을 제어한다. 또한, 제어장치(600)는 하우징(200)에서 배출되는 트레이(10)가 투입구(204) 측으로 이송되도록 트레이 반송장치(500)를 제어하여 패널 조립체(20)가 연속적으로 하우징(200)의 내부로 투입되도록 한다.

상술한 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 패널 조립체(20)가 실린 트레이(10)를 하우징(200)의 내부의 예열 챔버(203)와, 공정 챔버(218) 및 버퍼 챔버(233)를 따라 차례로 이송하면서 패널 조립체(20)에 대해 예열 공정, 열처리 공정 및 후가열 공정을 차례로 수행할 수 있다. 따라서, 패널 조립체(20)에 대한 기포 제거 및 부착력을 증대 작업을 효과적으로 수행할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 패널 조립체(20)를 예열 챔버(203)에서 예열한 후 공정 챔버(218)에서 일정한 온도와 압력을 가해 열처리하고, 열처리된 패널 조립체(20)를 버퍼 챔버(233)에서 후가열한 후 배출시키므로, 패널 조립체(20) 처리 과정에서 패널 조립체(20)가 열충격을 받아 손상되는 문제를 방지할 수 있고, 고품질의 패널 조립체(20)를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 패널 조립체(20)에 대한 예열 공정, 열처리 공정 및 후가열 공정이 연속적으로 수행되므로, 작업이 효율적이고 작업 시간을 단축할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 패널 조립체(20)가 열처리되는 공정 챔버(218) 내에서 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분이 존재하면, 사전 설정된 온도 또는 압력에 미치지 못하는 부분에서 기체를 배기시키면서 새로운 고온 고압의 기체를 공급함으로써, 그 부분에서의 온도 또는 압력을 신속하게 상승시킬 수 있다. 따라서, 공정 챔버(218) 전체를 균일한 온도 및 균일한 압력으로 유지시킬 수 있고, 공정 챔버(218)로 투입된 모든 패널 조립체(20)를 균일한 조건으로 열처리하여 불량률을 줄이고, 다수의 패널 조립체(20)를 일괄 처리하여 작업 시간을 단축할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 버퍼 챔버(233)를 통과한 트레이(10)를 자동으로 투입구(204) 측으로 반송시킴으로써, 작업 인력을 줄이고, 작업성을 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 오토클레이브 장치(100)는 패널 부착장치나 패널 검사장치 등 전후 공정 장치와 연계하여 패널 조립체(20)에 대한 열처리를 연속적으로 신속하게 수행할 수 있으므로, 제품의 생산성을 향상시킬 수 있다.

이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시되는 형태로 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 도면에는 하우징(200)이 예열 하우징(202)과, 공정 하우징(217)과, 버퍼 하우징(232)으로 구분되고, 예열 하우징(202)과 공정 하우징(217) 사이의 공간을 제1 커버(242)가 덮고, 공정 하우징(217)과 버퍼 하우징(232) 사이의 공간을 제2 커버(243)가 덮는 것으로 나타냈으나, 하우징(200)은 투입구(204)와, 예열 챔버(203)와, 공정 챔버(218)와, 버퍼 챔버(233)와, 배출구(235)를 갖는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

또한, 도면에는 하나의 열처리 기체 공급장치(247)가 공정 하우징(217)의 내부에 가열된 기체를 공급하는 것으로 나타냈으나, 공정 챔버(218)에 가열된 기체를 공급하는 열처리 기체 공급장치(247)는 복수일 수 있다.

또한, 도면에는 투입구 도어(257)와, 제1 중간 도어(270)와, 제2 중간 도어(285) 및 배출구 도어(290)가 하측에서 상측으로 이동하여 트레이(10)의 이송 통로를 개폐하는 것으로 나타냈으나, 이들 도어의 개폐 구조는 다양하게 변경될 수 있다.

또한, 투입구 도어(257)와, 제1 중간 도어(270)와, 제2 중간 도어(285) 및 배출구 도어(290)는 도어용 기체 공급기로부터 공급되는 기체에 의해 패킹이 도어 바디에서 돌출되는 구조 이외에, 예열 챔버(203)와, 공정 챔버(218)와, 버퍼 챔버(233)를 각각 밀폐할 수 있는 다양한 다른 구조로 변경될 수 있다.

또한, 도면에는 트레이 투입장치(300)와 트레이 배출장치(400)가 각각 하나씩인 것으로 나타냈으나 이들은 각각 복수개가 배치될 수 있다.

또한, 도면에는 예열 챔버 트레이 이송장치(212)와 버퍼 챔버 트레이 이송장치(240)가 각각 하나씩인 것으로 나타냈으나 이들 역시 공정 챔버 트러에 이송장치와 같이 복수개가 배치될 수 있다.

지금까지, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

100 : 오토클레이브 장치 200 : 하우징
202 : 예열 하우징 203 : 예열 챔버
204 : 투입구 208 : 예열 챔버 가이드레일
212 : 예열 챔버 트레이 이송장치 217 : 공정 하우징
218 : 공정 챔버 226 : 공정 챔버 가이드레일
228, 229, 230 : 공정 챔버 트레이 이송장치
232 : 버퍼 하우징 233 : 버퍼 챔버
235 : 배출구 238 : 버퍼 챔버 가이드레일
240 : 버퍼 챔버 트레이 이송장치 242 : 제1 커버
243 : 제2 커버 245 : 예열 기체 공급장치
247 : 열처리 기체 공급장치 249 : 후가열 기체 공급장치
252 : 온도계 253 : 압력계
254 : 팬 장치 255 : 히터
257 : 투입구 도어 258, 271 : 도어 바디
264 : 패킹
266, 281, 286, 291 : 도어용 기체 공급기
268 : 투입구 도어 이동장치 270 : 제1 중간 도어
278 : 제1 패킹 279 : 제2 패킹
283 : 제1 중간 도어 이동장치 285 : 제2 중간 도어
288 : 제2 중간 도어 이동장치 290 : 배출구 도어
293 : 배출구 도어 이동장치 300 : 트레이 투입장치
310 : 로딩 받침대 320 : 투입 가이드레일
400 : 트레이 배출장치 410 : 언로딩 받침대
420 : 배출 가이드레일 500 : 트레이 반송장치
510 : 제1 트레이 운반장치 511, 531 : 트레이 운반대
513, 514, 533, 534 : 반송용 트레이 이송장치
520 : 반송 컨베이어 530 : 제2 트레이 운반장치
600 : 제어장치

Claims (6)

1. 패널 조립체가 실린 트레이가 투입될 수 있는 투입구와, 패널 조립체가 배출될 수 있는 배출구와, 상기 투입구와 상기 배출구 사이에 차례로 배치되는 예열 챔버와, 공정 챔버와, 버퍼 챔버와, 상기 공정 챔버로 기체를 유입시키기 위한 복수의 기체 흡입구와, 상기 공정 챔버의 기체를 배기시키기 위한 복수의 기체 배기구를 구비하는 하우징;
   상기 투입구를 개폐하기 위한 투입구 도어;
   상기 배출구를 개폐하기 위한 배출구 도어;
   상기 예열 챔버와 상기 공정 챔버 사이의 통로를 개폐하기 위한 제1 중간 도어;
   상기 공정 챔버와 상기 버퍼 챔버 사이의 통로를 개폐하기 위한 제2 중간 도어;
   상기 예열 챔버에 가열된 기체를 공급하는 예열 기체 공급장치;
   상기 공정 챔버에 가열된 기체를 공급하는 열처리 기체 공급장치;
   상기 버퍼 챔버에 가열된 기체를 공급하는 후가열 기체 공급장치;
   상기 트레이를 가이드하기 위해 상기 예열 챔버에 설치되는 예열 챔버 가이드레일;
   상기 트레이를 가이드하기 위해 상기 공정 챔버에 설치되는 공정 챔버 가이드레일;
   상기 트레이를 가이드하기 위해 상기 버퍼 챔버에 설치되는 버퍼 챔버 가이드레일;
   상기 예열 챔버에서 상기 트레이를 상기 공정 챔버 측으로 이동시키는 예열 챔버 트레이 이송장치;
   상기 공정 챔버에서 상기 트레이를 상기 버퍼 챔버 측으로 이동시키는 공정 챔버 트레이 이송장치;
   상기 버퍼 챔버에서 상기 트레이를 상기 배출구 측으로 이동시키는 버퍼 챔버 트레이 이송장치;
   상기 복수의 기체 흡입구와 각각 연결되도록 설치되어 상기 복수의 기체 흡입구를 통한 기체의 유동을 단속하는 복수의 흡기 밸브;
   상기 복수의 기체 배기구와 각각 연결되도록 설치되어 상기 복수의 기체 배기구를 통한 기체의 유동을 단속하는 복수의 배기 밸브;
   상기 공정 챔버 내의 온도를 검출하기 위해 상기 하우징에 설치되는 복수의 온도계;
   상기 공정 챔버 내의 압력를 검출하기 위해 상기 하우징에 설치되는 복수의 압력계; 및
   상기 복수의 온도계 및 상기 복수의 압력계로부터 검출 신호를 수신하고, 상기 트레이에 실린 패널 조립체가 상기 예열 챔버에서 사전 설정된 예열 온도 및 예열 압력으로 예열된 후 상기 공정 챔버로 이송되고, 상기 공정 챔버에서 사전 설정된 열처리 온도 및 열처리 압력으로 열처리된 후 상기 버퍼 챔버로 이송되며, 상기 버퍼 챔버에서 사전 설정된 후가열 온도 및 후가열 압력으로 후가열된 후 상기 배출구를 통해 배출되도록 상기 투입구 도어와, 상기 배출구 도어와, 상기 제1 중간 도어와, 상기 제2 중간 도어와, 상기 예열 기체 공급장치와, 상기 열처리 기체 공급장치와, 상기 후가열 기체 공급장치와, 상기 예열 챔버 트레이 이송장치와, 상기 공정 챔버 트레이 이송장치와, 상기 버퍼 챔버 트레이 이송장치와, 상기 복수의 흡기 밸브와, 상기 복수의 배기 밸브를 제어하는 제어장치;를 포함하며,
   상기 제어장치는,
   상기 복수의 온도계 및 상기 복수의 압력계로부터 수신한 검출 신호에 따라 상기 복수의 흡기 밸브 및 상기 복수의 배기 밸브를 제어하되, 상기 공정 챔버 내에서 상기 열처리 온도 또는 상기 열처리 압력에 미치지 못하는 부분에 인접한 기체 흡입구 및 기체 배기구에 각각 대응하는 흡기 밸브 및 배기 밸브를 열림 제어하여 해당 부분에서 기체를 배기시키면서 상기 열처리 기체 공급장치에서 공급되는 기체를 공급하고,
   상기 하우징은,
   상기 투입구와, 상기 예열 챔버와, 상기 예열 챔버에서 상기 트레이가 배출될 수 있도록 상기 예열 챔버와 연결되는 예열 하우징 출구를 갖는 예열 하우징과,
   상기 공정 챔버와, 상기 예열 하우징 출구와 마주하여 상기 공정 챔버와 연결되는 공정 하우징 입구와, 상기 공정 챔버에서 상기 트레이가 배출될 수 있도록 상기 공정 챔버와 연결되는 공정 하우징 출구를 갖는 공정 하우징과,
   상기 버퍼 챔버와, 상기 공정 하우징 출구와 마주하여 상기 버퍼 챔버와 연결되는 버퍼 하우징 입구와, 상기 배출구를 갖는 버퍼 하우징을 포함하고,
   상기 제1 중간 도어는,
   상기 예열 하우징 출구와 상기 공정 하우징 입구를 동시에 개폐할 수 있도록 상기 예열 하우징과 상기 공정 하우징의 사이에 설치되되, 도어 바디와, 상기 도어 바디의 내측에 형성되는 도어 챔버와, 상기 예열 하우징 출구를 둘러쌀 수 있는 환형으로 이루어지고 상기 도어 챔버와 연결되어 상기 예열 하우징 측으로 개방되도록 상기 도어 바디에 형성되는 제1 도어 개구와, 상기 공정 하우징 입구를 둘러쌀 수 있는 환형으로 이루어지고 상기 도어 챔버와 연결되어 상기 공정 하우징 측으로 개방되도록 상기 도어 바디에 형성되는 제2 도어 개구와, 외부의 기체를 상기 도어 챔버로 유입시킬 수 있도록 상기 도어 바디에 형성되는 도어 흡기구와, 상기 제1 도어 개구에 대응하는 환형으로 이루어지고 끝단이 상기 제1 도어 개구를 통해 상기 도어 바디로부터 돌출되어 상기 예열 하우징에 밀착될 수 있도록 상기 제1 도어 개구에 삽입되어 움직일 수 있는 제1 패킹과, 상기 제2 도어 개구에 대응하는 환형으로 이루어지고 끝단이 상기 제2 도어 개구를 통해 상기 도어 바디로부터 돌출되어 상기 공정 하우징에 밀착될 수 있도록 상기 제2 도어 개구에 삽입되어 움직일 수 있는 제2 패킹을 포함하며,
   상기 제2 중간 도어는,
   상기 공정 하우징 출구와 상기 버퍼 하우징 입구를 동시에 개폐할 수 있도록 상기 공정 하우징과 상기 버퍼 하우징의 사이에 설치되되, 도어 바디와, 상기 도어 바디의 내측에 형성되는 도어 챔버와, 상기 공정 하우징 출구를 둘러쌀 수 있는 환형으로 이루어지고 상기 도어 챔버와 연결되어 상기 공정 하우징 측으로 개방되도록 상기 도어 바디에 형성되는 제1 도어 개구와, 상기 버퍼 하우징 입구를 둘러쌀 수 있는 환형으로 이루어지고 상기 도어 챔버와 연결되어 상기 버퍼 하우징 측으로 개방되도록 상기 도어 바디에 형성되는 제2 도어 개구와, 외부의 기체를 상기 도어 챔버로 유입시킬 수 있도록 상기 도어 바디에 형성되는 도어 흡기구와, 상기 제1 도어 개구에 대응하는 환형으로 이루어지고 끝단이 상기 제1 도어 개구를 통해 상기 도어 바디로부터 돌출되어 상기 공정 하우징에 밀착될 수 있도록 상기 제1 도어 개구에 삽입되어 움직일 수 있는 제1 패킹과, 상기 제2 도어 개구에 대응하는 환형으로 이루어지고 끝단이 상기 제2 도어 개구를 통해 상기 도어 바디로부터 돌출되어 상기 버퍼 하우징에 밀착될 수 있도록 상기 제2 도어 개구에 삽입되어 움직일 수 있는 제2 패킹을 포함하고,
   상기 제1 중간 도어의 도어 챔버에 상기 제1 패킹 및 상기 제2 패킹을 상기 도어 바디의 외측 방향으로 밀어내는 압력을 발생시킬 수 있도록 상기 도어 흡기구를 통해 상기 도어 챔버에 기체를 공급하는 도어용 기체 공급기와,
   상기 제2 중간 도어의 도어 챔버에 상기 제1 패킹 및 상기 제2 패킹을 상기 도어 바디의 외측 방향으로 밀어내는 압력을 발생시킬 수 있도록 상기 도어 흡기구를 통해 상기 도어 챔버에 기체를 공급하는 도어용 기체 공급기와,
   상기 제1 중간 도어를 상기 예열 하우징 출구 및 상기 공정 하우징 입구와 마주하는 위치 또는 상기 예열 하우징 출구 및 상기 공정 하우징 입구로부터 벗어난 위치로 이동시킬 수 있도록 상기 제1 중간 도어에 이동력을 제공하는 제1 중간 도어 이동장치와,
   상기 제2 중간 도어를 상기 공정 하우징 출구 및 상기 버퍼 하우징 입구와 마주하는 위치 또는 상기 공정 하우징 출구 및 상기 버퍼 하우징 입구로부터 벗어난 위치로 이동시킬 수 있도록 상기 제2 중간 도어에 이동력을 제공하는 제2 중간 도어 이동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 공정 챔버 내에서 기류를 발생시킬 수 있도록 상기 하우징에 설치되는 팬 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 공정 챔버 내에 열을 제공할 수 있도록 상기 하우징에 설치되는 히터;를 포함하는 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 기체 흡입구와 상기 기체 배기구는 하나씩 짝을 이루도록 상호 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
   
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