KR101863252B1 - 게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치 - Google Patents

게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 출입구의 폐쇄에 있어 출입구 상에 배치된 기판이 파손 또는 훼손되는 것을 방지할 수 있는 게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치를 제공하기 위하여, 플렉시블 기판이 출입되는 출입구가 형성되는 게이트 몸체 및 상기 게이트 몸체 내측에서 이송되며 상기 출입구를 개폐하는 게이트 및 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 게이트 제어유닛을 포함하는 바, 출입구 폐쇄 시 기판이 파손 또는 훼손되는 것을 방지할 수 있어 기판의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치{GATE VALVE, METHOD FOR CONTROLLING GATE VALVE AND APPARATUS FOR PROCESSING FLEXIBLE SUBSTRATE INCLUDING GATE VALVE}
본 발명은 게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버 내부로 기판이 출입되는 출입구를 형성하는 게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 플렉시블 디스플레이는 플라스틱 등과 같은 플렉시블 소재의 기판으로 만들어진 디스플레이다. 이러한, 디스플레이는 우수한 표시특성을 그대로 가지면서 접거나 구부리거나 두루마리 형태로 변형이 가능하기 때문에 현재의 디스플레이 시장의 차세대 기술로 평가되고 있다.
또한, 플렉시블 디스플레이는 종래의 유리 기판을 사용하여 클러스터 방식으로 제조되는 디스플레이와 비교하여, 롤투롤 방식을 사용한 연속제조가 가능하므로, 플렉시블 디스플레이는 제조단가를 절감할 수 있으며 대량 생산으로 인해 생산성이 향상될 수 있다는 점에서 시장의 기대를 모으고 있다.
이러한, 종래의 플렉시블 디스플레이의 롤투롤 방식의 제조방법에 대해서는 이미, "대한민국 공개특허공보 제2013-0015068호; 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 장비 및 제조방법(2013.02.13)"에 의해 개시된 바 있다.
한편, 상기 공개특허를 비롯한 종래의 롤투롤 방식의 플렉시블 디스플레이 제조방법에서는 기판이 반입되는 챔버의 일측방에 게이트 밸브가 배치될 수 있다. 여기서, 게이트 밸브는 챔버로 반입되는 기판의 출입구를 형성한다. 그러나 게이트 밸브는 공정 중 또는 장비의 유지보수 시 공정 중지를 위하여 기판이 출입경로 상에 배치된 상태로 출입구를 차단할 수 있다. 이에, 출입경로 상에 배치된 기판이 파손 또는 훼손될 수 있는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제2013-0015068호; 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 장비 및 제조방법(2013.02.13)
본 발명의 목적은 출입구의 폐쇄에 있어 출입구 상에 배치된 기판이 파손 또는 훼손되는 것을 방지할 수 있는 게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 게이트 밸브를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 게이트 밸브는 플렉시블 기판이 출입되는 출입구가 형성되는 게이트 몸체 및 상기 게이트 몸체 내측에서 이송되며 상기 출입구를 개폐하는 게이트 및 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 게이트 제어유닛을 포함한다.
상기 게이트 제어유닛은 상기 플렉시블 기판의 가압시점을 센싱하는 센서 및 상기 센서와 연동되어 상기 가압시점에 따라 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 제어부를 포함할 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트에 배치되어 상기 게이트 저면과 상기 플렉시블 기판 간의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고, 상기 제어부는 상기 가압시점에 따라 기설정된 위치에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시킬 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 센서와 상기 플렉시블 기판의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고, 상기 제어부는 상기 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시킬 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트와의 접촉에 따라 발생되는 상기 플렉시블 기판의 밴딩을 기반으로 거리 변화를 측정할 수 있다.
상기 게이트 밸브는 상기 게이트의 일단에 배치되는 실링부 및 상기 실링부에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 출입구에 배치된 상기 플렉시블 기판으로 인가되는 충격이 완화되도록 하는 완충부를 더 포함할 수 있다.
상기 실링부는 상기 완충부보다 높은 경성을 갖는 재질로 마련될 수 있다.
상기 완충부는 상기 게이트 몸체의 내측 바닥면에 지지되는 제 1완충부재 및 상기 실링부에 대응되도록 상기 완충부재에 삽입 지지되는 제 2완충부재를 포함할 수 있다.
상기 제 2완충부재는 상기 제 1완충부재보다 낮은 경성과 낮은 점성을 갖는 재질로 마련될 수 있다.
상기 제 1완충부재의 면적은 상기 제 2완충부재의 면적보다 넓게 마련될 수 있다.
상기 게이트는 상기 게이트 몸체 내측에서 승강되며 상기 출입구를 개폐하는 개폐부 및 상기 개폐부로부터 돌출되는 게이트 완충부를 포함하고, 상기 개폐부가 상기 출입구를 폐쇄함에 따라, 상기 게이트 완충부는 상기 게이트 몸체의 내측에 배치된 완충 플레이트에 접하여 상기 개폐부로 인가되는 충격이 완화되도록 할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 게이트의 제어 방법은 (a) 게이트 몸체의 출입구로 플렉시블 기판이 반입되는 단계 및 (b) 상기 게이트 몸체 내측에 배치된 게이트가 상기 출입구를 향해 이송되는 단계 및 (c) 상기 게이트가 이송됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에서 게이트 제어유닛이 상기 게이트의 이송을 정지시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 (c) 단계는 상기 플렉시블 기판의 가압시점이 센서에 의해 센싱되는 센싱단계 및 상기 센서에 연동되는 제어부가 상기 가입시점에 따라 상기 게이트의 이송을 정지시키는 게이트 정지단계를 포함할 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트에 배치되고, 상기 센싱단계는 상기 게이트 저면과 상기 플렉시블 기판 간의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고, 상기 게이트 정지단계는 상기 가압시점에 따라 기설정된 위치에서 상기 게이트의 이송을 정지시킬 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되고, 상기 센싱단계는 상기 센서와 상기 플렉시블 기판 간의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고, 상기 게이트 정지단계는 상기 플렉시블 기판이 밴딩되는 시점에 상기 게이트의 이송을 정지시킬 수 있다.
상기 센싱단계는 상기 게이트와의 접촉에 따라 발생되는 상기 플렉시블 기판의 밴딩을 기반으로 거리 변화를 측정할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 플렉시블 기판 처리장치는 플렉시블 기판이 출입되는 챔버 및 상기 챔버의 일측에 배치되어 상기 챔버로 상기 플렉시블 기판이 출입되는 출입구를 형성하는 게이트 몸체 및 상기 게이트 몸체 내측에서 이송되며 상기 출입구를 개폐하는 게이트 및 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 게이트 제어유닛을 포함한다.
상기 게이트 제어유닛은 상기 플렉시블 기판의 가압시점을 센싱하는 센서 및 상기 센서와 연동되어 상기 가압시점에 따라 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 제어부를 포함할 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트에 배치되어 상기 게이트 저면과 상기 플렉시블 기판 간의 거를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고, 상기 제어부는 상기 가압시점에 따라 기설정된 위치에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시킬 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 센서와 상기 플렉시블 기판의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고, 상기 제어부는 상기 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시킬 수 있다.
상기 센서는 상기 게이트와의 접촉에 따라 발생되는 상기 플렉시블 기판의 밴딩을 기반으로 거리 변화를 측정할 수 있다.
상기 플렉시블 기판 처리장치는 상기 게이트의 일단에 배치되는 실링부 및 상기 실링부에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 출입구에 배치된 상기 플렉시블 기판으로 인가되는 충격이 완화되도록 하는 완충부를 더 포함할 수 있다.
상기 실링부는 상기 완충부보다 높은 경성을 갖는 재질로 마련될 수 있다.
상기 완충부는 상기 제 1게이트 몸체의 내측 바닥면에 지지되는 제 1완충부재 및 상기 실링부에 대응되도록 상기 완충부재에 삽입 지지되는 제 2완충부재를 포함할 수 있다.
상기 제 2완충부재는 상기 제 1완충부재보다 낮은 경성과 낮은 점성을 갖는 재질로 마련될 수 있다.
상기 제 1완충부재의 면적은 제 2완충부재의 면적보다 넓게 마련될 수 있다.
상기 게이트는 상기 게이트 몸체 내측에서 승강되며 상기 출입구를 개폐하는 개폐부 및 상기 개폐부로부터 돌출되는 게이트 완충부를 포함하고, 상기 개폐부가 상기 출입구를 폐쇄함에 따라 상기 게이트 완충부는 상기 게이트 몸체의 내측에 배치된 완충 플레이트에 접하여 상기 개폐부로 인가되는 충격이 완화되도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 게이트 밸브, 게이트 밸브의 제어방법 및 이를 포함하는 플렉시블 기판 처리장치는 출입구 폐쇄 시 기판이 파손 또는 훼손되는 것을 방지할 수 있어 기판의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 플렉시블 기판 처리장치를 간략하게 나타낸 구성도이고,
도 2는 본 실시예에 따른 플렉시블 기판 처리장치의 게이트 밸브를 나타낸 단면 사시도이고,
도 3은 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 완충부를 나타낸 평면도이고,
도 4는 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 나타낸 구성도이고,
도 5는 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 나타낸 순서도이고,
도 6은 다른 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 나타낸 구성도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
더불어, 이하에서 설명되는 본 실시예에 따른 플렉시블 기판 처리장치에 의해 처리되는 플렉시블 기판은 높은 공정온도에서 잘 견뎌내고 낮은 열팽창계수 (CTE;Coefficient of Thermal Expantion), 우수한 내화학성, 낮은 제조원가를 가질 수 있는 소재로, FRP(Fiber Reinforced Plastic), PET, PEN, PC, PES, AryLite, COC 등이 사용될 수 있다. 그리고 이러한 플렉시블 기판에는 박막플랜지스터의 형성을 위해 이미 소정의 패턴이 형성된 상태로, 플렉시블 기판은 롤(Roll) 형태로 감겨져 제공될 수 있다. 이때, 롤 형태의 기판에는 기판 표면에 형성된 패턴을 보호하기 위한 배리어 필름(Barrier Film)이 점착된 상태로 제공될 수 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 플렉시블 기판 처리장치를 간략하게 나타낸 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 플렉시블 기판 처리장치(100, 이하 처리장치라 칭한다.)는 기판 공급부(110), 기판 회수부(130), 이송챔버(150), 공정챔버(170), 버퍼챔버(190)를 포함한다. 그리고 각각의 챔버에는 게이트 밸브(200)가 설치될 수 있다.
먼저, 기판 공급부(110)는 플렉시블 기판(S)을 공급한다. 기판 공급부(110)는 기판 공급롤(111) 및 배리어 배출롤(113)을 포함할 수 있다.
기판 공급롤(111)에는 롤 형태로 제공되는 플렉시블 기판(S)이 지지될 수 있다. 그리고 배리어 배출롤(113)은 기판 공급롤(111)의 일측방에 배치된다. 배리어 배출롤(113)은 플렉시블 기판(S)으로부터 박리되는 배리어 필름(B1)이 감긴다.
그리고 기판 공급롤(111)과 배리어 배출롤(113) 사이에는 립롤(LR)이 배치될 수 있다. 립롤(LR)은 플렉시블 기판(S)으로부터 박리된 배리어 필름(B1)이 다시 플렉시블 기판(S)에 합착될 경우, 플렉시블 기판(S)과 배리어 필름(B1) 사이에 기포가 발생되는 것이 방지되도록 한다.
보다 구체적으로, 최초 장비의 셋팅 과정에서의 플렉시블 기판(S)의 장력 등을 사전에 확인하기 위해 플렉시블 기판(S)은 기판 공급롤(111)로부터 권출되며, 배리어 필름(B1)이 박리될 수 있다. 그리고 배리어 필름(B1)이 박리된 플렉시블 기판(S)은 실제 공정을 위하여 다시 배리어 필름(B1)이 합착되며 기판 공급롤(111)에 회수될 수 있다. 이때, 립롤(LR)은 다시 합착되는 플렉시블 기판(S)과 배리어 필름(B1) 사이에서 기포가 발생되는 것이 방지되도록 할 수 있다.
한편, 기판 회수부(130)는 기판 공급롤(111)에서 권출되는 플렉시블 기판(S)을 권취한다. 기판 회수부(130)는 기판 회수롤(131) 및 배리어 공급롤(133)을 포함할 수 있다.
기판 회수롤(131)에는 플렉시블 기판(S)이 기판 회수롤(131)에 감기도록 동력을 제공하는 구동모터(미도시)가 설치될 수 있다. 따라서 기판 공급롤(111)에 롤 형태로 지지되는 플렉시블 기판(S)은 기판 회수롤(131)의 회전에 따라 기판 공급롤(111)로부터 인출되고 기판 회수롤(131)에 회수될 수 있다. 그리고 배리어 공급롤(133)은 기판 회수롤(131)의 일측방에 배치된다. 배리어 공급롤(133)은 플렉시블 기판(S)의 표면을 보호하기 위한 배리어 필름(B2)을 공급한다. 이에, 기판 회수롤(131)에 회수되는 플렉시블 기판(S)의 표면에는 배리어 필름(B2)이 부착되어 플렉시블 기판(S)의 표면이 보호될 수 있다.
그리고 기판 회수롤(131)과 배리어 공급롤(133) 사이에는 립롤(LR)이 배치될 수 있다. 립롤(LR)은 플렉시블 기판(S)과 배리어 필름(B2)의 합착과정에서 플렉시블 기판(S)과 배리어 필름(B2) 사이에 기포가 발생되는 것이 방지되도록 한다.
한편, 이러한 기판 공급부(110)와 기판 회수부(130)는 이송챔버(150)의 내부에 배치된다. 여기서, 이송챔버(150)는 플렉시블 기판(S)이 이송되는 공간을 외부로부터 차단하여 청정환경을 제공한다. 그리고 이송챔버(150)에는 챔버 내부를 배기하는 제 1배기펌프(미도시)가 연결되어, 이송챔버(150)의 내부가 소정 압력으로 유지될 수 있다.
그리고 공정챔버(170)의 내부에서는 플렉시블 기판(S)에 대한 일련의 처리 공정이 수행된다. 여기서, 공정챔버(170)는 버퍼챔버(190)에 의해 이송챔버(150)와 연통되는 구조를 가지기 때문에 공정챔버(170) 내측으로 제공되는 공정가스나 기판에 대한 공정 중 발생되는 파티클이 이송챔버(150)로 유입될 수 있다.
그러나 본 실시예에서는 공정챔버(170)가 일측에 연결된 제 2배기펌프(미도시)에 의해 내부 압력이 이송챔버(150)의 내부 압력보다 저압으로 유지된다. 이에, 공정챔버(170) 내부의 가스 또는 파티클이 이송챔버(150)로 유출되지 않을 수 있다.
한편, 공정챔버(170) 내측에는 플렉시블 기판(S)에 대한 식각공정 또는 증착공정을 위해 플라즈마 발생부(171) 및 플렉시블 기판(S)을 이송시키기 위한 이송부(173)가 배치될 수 있다. 여기서, 플라즈마 발생부(171)는 공정가스를 기반으로 공정챔버(170) 내부로 반입되는 플렉시블 기판(S)에 대하여 플라즈마를 발생시켜, 플렉시블 기판(S)에 대한 식각공정 또는 증착공정이 수행되도록 한다.
이러한, 플라즈마 발생부(171)는 유도 결합 플라즈마를 발생시키기 위한 ICP안테나, 용량결합 플라즈마를 발생시키기 위한 복수 개의 전극, 또는 ECCP를 발생시키기 위한 전극과 바이어스 전극으로 구비될 수 있으며, 이러한 플라즈마 발생부(171)에 대한 상세한 설명은 이미 공지된 기술로 이해 가능하므로 생략하도록 한다.
또한, 본 실시예에서는 이송부(173)가 단일의 롤러, 즉 드럼 형태로 마련되어 플렉시블 기판(S)을 곡면에 지지한 상태로 회전 이송시키는 것을 설명하고 있으나, 이송부(173)의 형태는 다양하게 변경 실시될 수 있다.
한편, 버퍼챔버(190)는 이송챔버(150)와 공정챔버(170) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 버퍼챔버(190)는 이송챔버(150)의 출구와 공정챔버(170)의 입구 사이에 배치되는 제 1버퍼챔버(191), 공정챔버(170)의 출구와 이송챔버(150)의 입구 사이에 배치되는 제 2버퍼챔버(193)로 이루어질 수 있다.
여기서, 각각의 버퍼챔버(190)에는 챔버 내부를 배기하는 제 3배기펌프(미도시)가 연결된다. 이때, 버퍼챔버(190)의 내부 압력은 공정챔버(170)의 내부 압력보다 고압으로 유지되고, 이송챔버(150)의 내부 압력보다는 저압으로 유지될 수 있다. 이에, 버퍼챔버(190)에는 공정챔버(170)로부터의 가스 또는 파티클의 유입이 방지될 수 있다.
그리고 버퍼챔버(190)의 내부로는 공정챔버(170)로부터 유입된 가스 또는 파티클을 저지할 수 있는 비활성가스가 공급될 수 있다. 이에, 버퍼챔버(190)는 공정챔버(170)로부터 가스 또는 파티클이 유입되더라도 비활성 가스와 공정챔버(170)로부터 유입된 가스 또는 파티클을 함께 제 3배기펌프를 통해 챔버 외측으로 배출할 수 있다. 이에, 버퍼챔버(190)는 가스 또는 파티클이 이송챔버(150)로 유입되는 것을 저지하여 이송챔버(150) 내부가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
다만, 본 실시예에서는 버퍼챔버(190)의 내부압력이 공정챔버(170)의 내부압력보다는 고압으로 유지되고, 이송챔버(150)의 내부압력보다는 저압으로 유지되는 것을 설명하고 있으나, 버퍼챔버(190)는 이송챔버(150)의 내부를 배기하고 있는 제 1배기펌프에 연결되어 내부압력이 이송챔버(150)의 내부압력과 동일한 압력을 유지하도록 구성될 수 있다.
한편, 게이트 밸브(200)는 공정챔버(170)의 입구 측과 출구 측에 각각 배치될 수 있다. 여기서, 게이트 밸브(200)는 동일한 구성으로 구비될 수 있는 바, 이하에서는 공정챔버(170)의 입구 측에 배치되는 게이트 밸브(200)에 대하여 설명하도록 한다. 또한, 본 실시예에서는 게이트 밸브(200)가 공정챔버(170)의 입구 측과 출구 측에 각각 배치되는 것을 설명하고 있으나, 게이트 밸브(200)는 필요에 따라 버퍼챔버(190)의 입출구 및 이송챔버(150)의 입출구에도 설치될 수 있다.
도 2는 본 실시예에 따른 플렉시블 기판 처리장치의 게이트 밸브를 나타낸 단면 사시도이고, 도 3은 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 완충부를 나타낸 평면도이다. 그리고 도 4는 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 나타낸 구성도이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 게이트 밸브(200)는 게이트 몸체(210), 게이트(230), 실링부(250), 완충부(270) 및 게이트 제어유닛(290)을 포함할 수 있다.
먼저, 게이트 몸체(210)에는 플렉시블 기판(S)이 출입되는 출입구(211)가 형성된다. 여기서, 게이트 몸체(210)는 버퍼챔버(190)에 접하는 일측벽에 제 1개구(210a)가 형성되고, 공정챔버(170)에 접하는 타측벽에 제 2개구(210c)가 형성된다. 이에, 플렉시블 기판(S)은 버퍼챔버(190)로부터 게이트 몸체(210)를 관통하여 공정챔버(170)까지 이송될 수 있다.
그리고 게이트(230)는 게이트 몸체(210)의 내측에서 승강될 수 있다. 여기서, 게이트(230)는 게이트 몸체(210) 외측에 배치된 게이트 승강유닛(240)에 의해 승강될 수 있으며, 승강에 따라 출입구(211)가 개폐되도록 할 수 있다. 여기서, 게이트 밸브(200)는 개폐부(231)와 게이트 완충부(233)로 이루어질 수 있다.
먼저, 개폐부(231)는 게이트 승강유닛(240)에 의해 승강되는 격벽형태로 마련되어 출입구(211)를 개폐할 수 있다. 그리고 게이트 완충부(233)는 개폐부(231)로부터 돌출 형성될 수 있다. 여기서, 게이트 완충부(233)는 플렉시블 기판(S)의 이송방향을 향해 평판 형태로 돌출되어 공정챔버(170)에 인접하는 게이트 몸체(210)의 내측벽으로부터 돌출 형성된 완충 플레이트(213)에 접할 수 있다. 이에, 게이트 완충부(233)는 게이트(230)가 출입구를 폐쇄함에 따라 게이트(230)로 전해지는 충격이 완화되도록 할 수 있다.
즉, 출입구(211)가 개방된 상태일 경우, 게이트 완충부(233)는 완충 플레이트(213)의 상측에 배치된다. 그리고 개폐부(231)가 하강하여 출입구(211)를 폐쇄할 경우, 게이트 완충부(233)는 완충 플레이트(213)의 상부면에 접촉될 수 있다. 이에, 게이트 완충부(233)는 게이트(230)가 하강될 경우, 게이트(230)의 하중을 완충 플레이트(213)로 분사시켜 개폐부(231)로 전해지는 충격을 완화시킬 수 있다.
그리고 게이트 완충부(233)의 하부면에는 실링부재(233a)가 배치될 수 있다. 여기서, 실링부재(233a)는 개폐부(231)가 출입구(211)를 폐쇄할 경우, 공정챔버(170)의 기밀이 유비되도록 한다. 즉, 실링부재(233a)는 공정챔버(170)의 기밀이 게이트 완충부(233)와 완충 플레이트(213) 사이를 통해 유출되는 것을 방지한다.
다만, 본 실시예서는 게이트 완충부(233)의 하부면에만 실링부재가 배치되는 것을 도시하고 있으나, 실링부재(233a)는 복수 개로 구비되어 완충 플레이트(213)의 상부면과 게이트 완충부(233)의 하부면에 각각 배치되도록 구비될 수 있다.
한편, 개폐부(231)의 하단에는 실링부(250)가 배치된다. 실링부(250)는 개폐부(231)가 출입구(211)를 폐쇄할 경우, 개폐부(231)와 게이트 몸체(210)의 내측 바닥면 사이를 실링하여 공정챔버(170)의 기밀이 유지되도록 할 수 있다.
그리고 완충부(270)는 실링부(250)에 마주하도록 게이트 몸체(210)의 내측 바닥면에 지지된다. 여기서, 완충부(270)는 게이트(230)가 출입구(211)를 개폐할 경우, 실링부(250)와 완충부(270) 사이에 배치된 플렉시블 기판(S)으로 인가되는 충격을 완화시킬 수 있다. 이러한 완충부(270)는 실링부(250)보다 낮은 경성을 갖는 재질로 마련될 수 있으며, 제 1 및 제 2완충부재(271, 273)로 이루어질 수 있다.
먼저, 제 1완충부재(271)는 게이트 몸체(210)의 내측 바닥면에 삽입 지지될 수 있다. 그리고 제 2완충부재(273)는 실링부(250)에 대응되도록 제 1완충부재(271)에 삽입되어 지지될 수 있다. 여기서, 제 1완충부재(271)의 면적은 제 2완충부재(273)의 면적보다 넓게 구비되어 상단이 출입구(211) 상에 노출된 상태일 수 있다.
그리고 제 2완충부재(273)는 제 1완충부재(271)보다 낮은 경성과 낮은 점성을 갖는 재질로 마련될 수 있다. 이에, 게이트(230)가 폐쇄될 때 제 2완충부재(271)는 실링부에 의해 제 1완충부재(271) 측으로 함몰되며, 개폐부(231)의 하단으로부터 플렉시블 기판(S)으로 전해지는 충격을 완화시킬 수 있다. 더불어, 제 1완충부재(271)는 함몰된 제 2완충부재(273)에 의해 출입구(211) 상에 노출된 일영역이 상측을 향해 돌출될 수 있다. 따라서 출입구(211)가 폐쇄된 상태에서 개폐부(231)에 의해 절곡된 플렉시블 기판(S)의 절곡 영역으로는 제 1완충부재(271)가 돌출되어 플렉시블 기판(S)의 절곡 영역으로 인가되는 충격이 완화되도록 할 수 있다.
한편, 이러한 제 1 및 제 2완충부재(271, 273)는 상호 이종재질의 러버로 마련될 수 있으나, 이는 본 실시예를 설명하기 위한 실시예이며, 제 1 및 제 2완충부재(271, 273)의 재질은 변경될 수 있다.
한편, 게이트 제어유닛(290)은 게이트(230)의 이송을 제어하여 출입구(211)가 개폐되도록 한다. 특히, 게이트 제어유닛(290)은 게이트(230)가 폐쇄됨에 따라 플렉시블 기판(S)이 가압되는 가압시점에 게이트(230)의 폐쇄가 정지되도록 할 수 있다.
여기서, 게이트 제어유닛(290)은 센서(291) 및 제어부(293)를 포함할 수 있다.
먼저, 센서(291)는 게이트(230)에 배치될 수 있다. 여기서, 센서(291)는 게이트(230)와 플렉시블 기판(S) 간의 거리 변화를 센싱한다. 예를 들어, 센서(291)는 게이트(230) 저면에 인접하게 배치될 수 있고, 게이트(230)의 승강에 따라 게이트(230) 저면과 플렉시블 기판(S) 사이의 거리 변화를 센싱할 수 있다. 여기서, 센서(291)는 레이저 센서로 마련될 수 있으나, 이는 본 실시예를 설명하기 위한 하나의 실시예로 센서의 종류는 한정하지 않는다.
그리고 제어부(293)는 센서(291)로부터 제공되는 신호를 기반으로 게이트(230)의 폐쇄가 기설정된 위치에서 정지되도록 할 수 있다. 즉, 제어부(293)는 게이트(230)와 플렉시블 기판(S)의 이격 거리의 변화가 기설정된 범위 내에 도달할 경우, 게이트(230) 저면의 실링부(250)와 플렉시블 기판(S)이 접촉되었음을 인지하여 플렉시블 기판(S)의 가압시점을 판단한다. 그리고 제어부(293)는 게이트 승강유닛(240)을 제어하여 게이트(230) 폐쇄의 진행이 기설정된 위치 즉, 실링부(250)에 의해 플렉시블 기판(S)이 가압되는 가압시점에 정지되도록 할 수 있다.
이에, 제어부(293)는 출입구(211) 상에 배치된 플렉시블 기판(S)이 기판에 대한 공정 또는 장비의 유지보수 시 출입구(211) 차단으로 인해 파손 또는 훼손될 수 있는 문제점을 해결할 수 있는 이점이 있다.
다시 1을 참조하면, 이송챔버(150)의 내부에는 기판 공급부(110)로부터 기판 회수부(130)에 이르기까지 플렉시블 기판(S)을 원활하게 이송시키기 위한 아이들롤러(181), 로드셀(183) 및 장력조절롤러(185)가 배치될 수 있다.
먼저, 아이들롤러(181)는 기판 공급부(110)로부터 기판 회수부(130)의 사이에 적어도 하나로 마련되어 플렉시블 기판(S)의 이송경로를 형성한다. 그리고 로드셀(183)은 아이들롤러(181)의 회전축에 설치되어, 아이들롤러(181)의 회전축에 전달되는 압력 및 플렉시블 기판(S)의 장력을 조절할 수 있다.
또한, 장력조절롤러(185)는 기판 공급부(110)로부터 기판 회수부(130)에 이르기까지 적어도 하나로 마련될 수 있다. 예를 들어, 장력조절롤러(185)는 이송챔버(150)의 입구 측과, 이송챔버(150)의 출구 측에 각각 마련될 수 있다. 이러한 장력조절롤러(185)는 로드셀(183)에 감지되는 플렉시블 기판(S)의 장력을 기반으로 공정챔버(170)로 출입되는 플렉시블 기판(S)의 공급 및 회수가 평행하게 이루어지도록 할 수 있다. 여기서, 장력조절롤러(185)는 플렉시블 기판(S)이 접촉되는 표면이 실리콘 처리되어 회전수 조절에 따라 플렉시블 기판(S)의 장력이 조절되도록 할 수 있다.
한편, 도 1에서 아이들롤러(181)는 기판 공급롤(111)과 버퍼챔버(190)의 사이에 2개, 버퍼챔버(190)와 기판 회수부(130) 사이에 1개 배치되고, 장력조절롤러(185)는 이송챔버(150)의 입구와 출구 측에 각각 배치되는 것을 도시하고 있지만, 아이들롤러(181) 및 장력조절롤러(185)의 개수가 본 발명의 권리범위를 한정하는 것으로 이해되어서는 안될 것이다.
한편, 상술된 바와 같이, 플렉시블 기판(S)의 표면에는 이미 소정의 패턴이 형성되고, 플렉시블 기판(S)은 배리어 필름(B1)이 점착된 롤 형태로 제공되기 때문에 플렉시블 기판(S)에는 습기가 잔류할 수 있다.
따라서 기판 공급롤(111)과 제 1버퍼챔버(191) 사이에는 플렉시블 기판(S)에 잔류하는 습기를 제거하기 위해 플렉시블 기판(S)을 건조시키는 건조유닛(187)이 배치될 수 있다. 그리고 건조유닛(187)과 제 1버퍼챔버(191) 사이에는 건조유닛(187)을 거친 플렉시블 기판(S)을 히팅시켜 플렉시블 기판(S)의 온도를 안정화시키는 히팅유닛(189)이 설치될 수 있다.
다만, 도 1에서 건조유닛(187)과 히팅유닛(189)은 기판 공급롤(111)과 제 1버퍼챔버(191)의 사이에 각각 단수로 마련되는 것을 도시하고 있지만, 건조유닛(187)과 히팅유닛(189)은 기판 공급롤(111)과 제 1버퍼챔버(191)의 사이, 제 2버퍼챔버(193)와 기판 회수롤(131) 사이에서 플렉시블 기판(S)의 온도 및 표면 상태에 따라 얼마든지 추가로 설치될 수 있을 것이다.
그리고 기판 공급롤(111)로부터 플렉시블 기판(S)이 권출되는 측과, 기판 회수롤(131)을 향해 플렉시블 기판(S)이 권취되는 측에는 엔드 포지션 컨트롤러(120)가 설치될 수 있다. 여기서, 엔드 포지션 컨트롤러(120)는 플렉시블 기판(S)의 장력이 유지된 상태에서 기판 공급롤(111)로부터 풀려나오게 하고, 장력조절롤러(185)에 의해 조절된 플렉시블 기판(S)의 장력이 유지되는 상태로 기판 회수롤(131)에 감기도록 할 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동에 대하여 이하 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 5는 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 나타낸 순서도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 플렉시블 기판(S)은 이송챔버(150)로부터 공정챔버(170)로의 이송 또는 공정챔버(170)로부터 이송챔버(150)로의 이송을 위해 게이트 밸브(200) 내측에서 이송되고 있는 상태일 수 있다.
이때, 플렉시블 기판(S)에 대한 공정 또는 장비의 유지보수를 위해 게이트 밸브(200)는 출입구(211)를 폐쇄할 수 있다. 여기서, 게이트 밸브(200)는 플렉시블 기판(S)이 실링부(250)에 의해 가압되는 가압시점을 판단하여 게이트(230)의 폐쇄가 정지되도록 할 수 있다.
보다 구체적으로, 게이트 몸체(210)의 출입구(211)로는 플렉시블 기판(S)이 반입된다(S100). 여기서, 공정 또는 장비의 유지보수에 따라 출입구(211) 폐쇄가 요구될 경우, 제어부(293)는 게이트 승강유닛(240)을 제어하여 게이트(230)를 출입구(211)를 향해 이송시킨다(S200).
이때, 센서(291)는 게이트(230)와 함께 이송되며 게이트(230)와 플렉시블 기판(S)의 거리 변화를 센싱한다. 여기서, 제어부(293)는 센서(291)와 플렉시블 기판(S)의 거리 변화가 기설정된 범위 안에 도달하면, 실링부(250)와 플렉시블 기판(S)이 접촉되었음을 인지하여 게이트(230)가 완충부(270)를 향해 더 이상 이송되는 것을 정지시킬 수 있다(S300).
이하, 다른 실시예에 따른 게이트 밸브에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 다만, 상술된 구성요소에 대해서는 상세한 설명을 생략하고, 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.
도 6은 다른 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 나타낸 구성도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 다른 실시예에 따른 게이트 밸브(200)는 센서(291)가 게이트 몸체(210)에 배치될 수 있다. 센서(291)는 센서(291)와 플렉시블 기판(S) 간의 거리 변화를 센싱한다. 여기서, 센서(291)는 게이트(230)에 마주하도록 게이트 몸체(210)의 내측면에 지지될 수 있다. 센서(291)는 게이트(230)의 이송에 따라 게이트(230) 저면의 실링부(250)와 플렉시블 기판(S)의 접촉에 의한 센서(291)와 플렉시블 기판(S)의 거리 변화를 센싱할 수 있다.
즉, 센서(291)는 센서(291)와 플렉시블 기판(S)의 최초 거리를 인지한다. 이후, 게이트(230)가 폐쇄됨에 따라 게이트(230)와 플렉시블 기판(S)의 접촉에 의해 플렉시블 기판(S)에는 밴딩이 발생되고, 센서(291)는 플렉시블 기판(S)의 밴딩에 따른 센서(291)와 플렉시블 기판(S) 사이의 거리 변화를 기반으로 플렉시블 기판(S)의 가압시점을 판단한다.
그리고 제어부(293)는 센서(291)로부터 제공되는 신호를 기반으로 게이트(230)의 폐쇄가 정지되도록 할 수 있다. 즉, 제어부(293)는 실링부(250)와 플렉시블 기판(S)의 접촉에 의한 센서(291)와 플렉시블 기판(S)의 거리 변화로 플렉시블 기판(S)의 가압시점을 판단하여, 게이트 승강유닛(240)의 제어에 따라 게이트(230) 폐쇄의 진행이 정지되도록 한다.
이에, 제어부(293)는 출입구(211) 상에 배치된 플렉시블 기판(S)이 기판에 대한 공정 또는 장비의 유지보수 시 출입구(211) 차단으로 인해 파손 또는 훼손될 수 있는 문제점을 해결할 수 있는 이점이 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
100 : 플렉시블 기판 처리장치 110 : 기판 공급부
130 : 기판 회수부 150 : 이송챔버
170 : 공정챔버 190 : 버퍼챔버
200 : 게이트 밸브 210 : 게이트 몸체
230 : 게이트 250 : 실링부
270 : 완충부 290 : 게이트 제어유닛

Claims (27)

  1. 롤투롤 방식으로 처리되는 플렉시블 기판이 출입되는 출입구가 형성되는 게이트 몸체;
    상기 게이트 몸체 내측에서 이송되며 상기 출입구를 개폐하는 게이트; 및
    상기 플렉시블 기판이 상기 출입구에 배치된 상태에서 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 게이트 제어유닛을 포함하고,
    상기 게이트 제어유닛은
    상기 플렉시블 기판의 가압시점을 센싱하는 센서 및
    상기 센서와 연동되며, 가압시점에 상기 게이트의 폐쇄를 정지시켜 상기 기판으로 인가되는 충격을 완화시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트에 배치되어 상기 게이트 저면과 상기 플렉시블 기판 간의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고,
    상기 제어부는 상기 가압시점에 따라 기설정된 위치에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 센서와 상기 플렉시블 기판의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고,
    상기 제어부는 상기 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트와의 접촉에 따라 발생되는 상기 플렉시블 기판의 밴딩을 기반으로 거리 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트의 일단에 배치되는 실링부; 및
    상기 실링부에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 출입구에 배치된 상기 플렉시블 기판으로 인가되는 충격이 완화되도록 하는 완충부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 실링부는 상기 완충부보다 높은 경성을 갖는 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 완충부는
    상기 게이트 몸체의 내측 바닥면에 지지되는 제 1완충부재 및
    상기 실링부에 대응되도록 상기 제 1완충부재에 삽입 지지되는 제 2완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2완충부재는
    상기 제 1완충부재보다 낮은 경성과 낮은 점성을 갖는 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1완충부재의 면적은
    상기 제 2완충부재의 면적보다 넓게 마련되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트는 상기 게이트 몸체 내측에서 승강되며 상기 출입구를 개폐하는 개폐부 및 상기 개폐부로부터 돌출되는 게이트 완충부를 포함하고,
    상기 개폐부가 상기 출입구를 폐쇄함에 따라, 상기 게이트 완충부는 상기 게이트 몸체의 내측에 배치된 완충 플레이트에 접하여 상기 개폐부로 인가되는 충격이 완화되도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  12. (a) 롤투롤 방식으로 처리되는 플렉시블 기판이 게이트 몸체의 출입구로 반입되는 단계;
    (b) 상기 게이트 몸체 내측에 배치된 게이트가 상기 출입구를 향해 이송되는 단계; 및
    (c) 상기 플렉시블 기판이 상기 출입구에 배치된 상태에서 상기 게이트가 이송됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에 게이트 제어유닛이 상기 게이트의 이송을 정지시키는 단계를 포함하고,
    상기 (c) 단계는
    상기 플렉시블 기판의 가압시점이 센서에 의해 센싱되는 센싱단계 및
    상기 센서에 연동되는 제어부가 상기 가압시점에서 상기 게이트의 이송을 정지시키는 게이트 정지단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어방법.
  13. 삭제
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트에 배치되고,
    상기 센싱단계는 상기 게이트 저면과 상기 플렉시블 기판 간의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고,
    상기 게이트 정지단계는 상기 가압시점에 따라 기설정된 위치에서 상기 게이트의 이송을 정지시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어방법.
  15. 제 12항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되고,
    상기 센싱단계는 상기 센서와 상기 플렉시블 기판 간의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고,
    상기 게이트 정지단계는 상기 플렉시블 기판이 밴딩되는 시점에 상기 게이트의 이송을 정지시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 센싱단계는 상기 게이트와의 접촉에 따라 발생되는 상기 플렉시블 기판의 밴딩을 기반으로 거리 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어방법.
  17. 롤투롤 방식으로 처리되는 플렉시블 기판이 출입되는 챔버;
    상기 챔버의 일측에 배치되어 상기 챔버로 상기 플렉시블 기판이 출입되는 출입구를 형성하는 게이트 몸체;
    상기 게이트 몸체 내측에서 이송되며 상기 출입구를 개폐하는 게이트; 및
    상기 플렉시블 기판이 상기 출입구에 배치된 상태에서 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 플렉시블 기판이 가압되는 가압시점에 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 게이트 제어유닛을 포함하고,
    상기 게이트 제어유닛은
    상기 플렉시블 기판의 가압시점을 센싱하는 센서 및
    상기 센서와 연동되며, 가압시점에 상기 게이트의 폐쇄를 정지시켜 상기 기판으로 인가되는 충격을 완화시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  18. 삭제
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트에 배치되어 상기 게이트 저면과 상기 플렉시블 기판 간의 거를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고,
    상기 제어부는 상기 가압시점에 따라 기설정된 위치에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  20. 제 17항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 센서와 상기 플렉시블 기판의 거리 변화를 측정하여 상기 가압시점을 판단하고
    상기 제어부는 상기 가압시점에서 상기 게이트의 폐쇄를 정지시키는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 센서는 상기 게이트와의 접촉에 따라 발생되는 상기 플렉시블 기판의 밴딩을 기반으로 거리 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  22. 제 17항에 있어서,
    상기 게이트의 일단에 배치되는 실링부; 및
    상기 실링부에 마주하도록 상기 게이트 몸체의 내측면에 지지되어 상기 게이트가 폐쇄됨에 따라 상기 출입구에 배치된 상기 플렉시블 기판으로 인가되는 충격이 완화되도록 하는 완충부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 실링부는 상기 완충부보다 높은 경성을 갖는 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  24. 제 22항에 있어서,
    상기 완충부는
    상기 게이트 몸체의 내측 바닥면에 지지되는 제 1완충부재 및
    상기 실링부에 대응되도록 상기 제 1완충부재에 삽입 지지되는 제 2완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  25. 제 24항에 있어서,
    상기 제 2완충부재는
    상기 제 1완충부재보다 낮은 경성과 낮은 점성을 갖는 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  26. 제 24항에 있어서,
    상기 제 1완충부재의 면적은
    제 2완충부재의 면적보다 넓게 마련되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
  27. 제 17항에 있어서,
    상기 게이트는 상기 게이트 몸체 내측에서 승강되며 상기 출입구를 개폐하는 개폐부 및 상기 개폐부로부터 돌출되는 게이트 완충부를 포함하고,
    상기 개폐부가 상기 출입구를 폐쇄함에 따라 상기 게이트 완충부는 상기 게이트 몸체의 내측에 배치된 완충 플레이트에 접하여 상기 개폐부로 인가되는 충격이 완화되도록 하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 처리장치.
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