KR20140009716A - 터치 스크린 패널용 기판이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다양한 크기의 TSP Cell을 안정적으로 이송할 수 있도록 구조가 개선된 기판이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판이송장치는 일방향을 따라 서로 이격되며, 회전가능하게 설치되어 기판을 이송하는 복수의 이송롤러와, 이송롤러의 상측으로 돌출되며 이송롤러가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1가이드부재와, 이송롤러의 상측으로 돌출되며 이송롤러가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치되어 상기 제1가이드부재와 마주보는 복수의 제2가이드부재를 가지는 가이드유닛을 포함하며, 제1가이드부재 및 제2가이드부재 사이의 간격은 변경 가능하며, 제1가이드부재 및 제2가이드부재 사이의 간격이 기판의 폭 보다 넓게 벌어진 제1상태에서 기판이 상기 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이를 통해 이송되는 것을 특징으로 한다.

Description

터치 스크린 패널용 기판이송장치{Substrate transfer apparatus for touch screen panel}
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 TSP(Touch Screen Panel)용 글라스 또는 커버를 이송하는데 이용되는 기판이송장치에 관한 것이다.
Cell Type 의 Mobile용 TSP(Touch Screen Panel) 제작 공정 중 세정공정은 반송과 건조가 핵심일 정도로 공정 전체의 끼치는 영향이 크다. 특히, 반송 중에 Cell 의 이탈(Deviation)은 연속되는 공정들의 흐름상 막대한 리스크를 수반한다. 이를 해결하기 위하여, 기존의 기판이송장치를 TSP 이송에 적용해 보았으나, 다양한 크기의 TSP에 적용하는데 한계가 있었다.
구체적으로 설명하면, 기판을 이송하기 위한 종래의 장치로는, 공개특허 10-2012-0025360호 등이 제안된 바 있다. 종래의 기판이송장치를 첨부된 도 1(공개특허 10-2012-0025360호의 도 1)을 참조하여 설명하면, 복수의 회전롤러(12)가 일정 간격으로 이격되게 배치되고, 기판의 이탈을 방지하기 위한 가이드롤러(20)가 구비된다. 그리고, 기판(2)은 가이드롤러(20)에 가이드 되면서 이송된다.
하지만, 이와 같은 기판이송장치는 기판의 크기가 일정하게 정해진 sheet 타입의 기판의 이송에는 유용할 수 있으나, 기판의 크기가 매우 다양한 TSP(Touch Screen Panel) Cell의 이송에는 사용하기에 한계가 있다. 이는, Cell의 크기에 따라 가이드롤러 사이의 간격을 변경시키기 어려움이 있기 때문이다.
따라서, TSP에 적용할 수 있는 새로운 형태의 기판이송장치에 관한 개발이 요구되는 실정이다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 다양한 크기의 TSP Cell을 안정적으로 이송할 수 있도록 구조가 개선된 기판이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 기판이송장치는 일방향을 따라 서로 이격되며, 회전가능하게 설치되어 기판을 이송하는 복수의 이송롤러와, 상기 이송롤러의 상측으로 돌출되며 상기 이송롤러가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1가이드부재와, 상기 이송롤러의 상측으로 돌출되며 상기 이송롤러가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치되어 상기 제1가이드부재와 마주보는 복수의 제2가이드부재를 가지는 가이드유닛을 포함하며, 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재 사이의 간격은 변경 가능하며, 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재 사이의 간격이 상기 기판의 폭 보다 넓게 벌어진 제1상태에서 상기 기판이 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이를 통해 이송되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이로 상기 기판이 반입되는 시점에서 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이의 간격은 상기 제1상태 보다 더 넓으며, 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이로 상기 기판이 반입된 후 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이의 간격이 상기 제1상태로 좁혀지는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 상기 가이드유닛은 상기 기판이 이송되는 방향을 따라 복수로 배치되며, 상기 이송롤러로 공급된 기판은 상기 복수의 가이드유닛을 따라 이송되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 상기 기판의 이송상태를 감지하기 위한 센서를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 다양한 크기의 기판을 안전하고 효율적으로 이송할 수 있으며, 기판의 이송 중 또는 이송 후 기판을 올바르게 정렬할 수 있다.
도 1은 종래의 기판이송장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판이송장치의 개략적인 평면도이다.
도 4는 기판이 이송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치에 관하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 개략적인 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 기판이송장치의 개략적인 평면도이며, 도 4는 기판이 이송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판이송장치는 기판의 이송을 위한 것으로, 보다 구체적으로는 TSP Cell용 기판(글라스 또는 커버)을 이송하기 위한 것이다. 본 실시예에 따른 기판이송장치(100)는 이송롤러(110)와, 가이드유닛(140)과, 센서(150)를 포함한다.
이송롤러(110)는 복수로 구비되며, 일방향 즉 기판의 이송방향을 따라 서로 이격되게 배치된다. 각 이송롤러는 구동축에 연결되어 회전 가능하게 설치된다.
가이드유닛(140)은 기판의 이송시 기판의 이탈을 방지하고 정렬하기 위한 것이다. 본 실시예에 따른 가이드유닛은 제1가이드부재(120)와 제2가이드부재(130)를 포함한다. 제1가이드부재(120)는 복수로 구비되며, 이송롤러(110)가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치된다. 복수의 제1가이드부재(120)는 구동부재에 결합되어 좌우 방향으로 함께 이동 가능하며, 이송롤러(110)의 상측으로 돌출된다. 제2가이드부재(130)는 복수로 구비된다. 복수의 제2가이드부재(130)는 이송롤러(110)가 배치된 방향으로 서로 이격되어 제1가이드부재(120)와 서로 마주보게 배치된다. 복수의 제2가이드부재(130)는 구동부재에 결합되어 좌우 방향으로 함께 이동 가능하며, 이송롤러의 상측으로 돌출된다.
한편, 상술한 가이드유닛(140)은 복수로 구비되며, 기판의 이송방향 즉 도 3에서의 상하 방향으로 일렬로 배치된다. 그리고, 일렬로 배치된 복수의 가이드유닛(140)을 따라 기판이 이송된다. 이때, 기판의 이송구간 전체를 하나의 가이드유닛으로 설치하지 않고, 복수의 가이드유닛을 배치하는 것은, 각 가이드유닛 마다 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격을 제어함으로써, 이송구간에 따라 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격을 독립적으로 변경하기 위한 것이다.
또한, 한 번에 복수의 기판을 이송할 수 있도록 도 3에 도시된 바와 같이, 가이드유닛(140)은 기판의 이송방향과 직교하는 방향 즉 도 3의 가로 방향으로 복수개 배치된다. 본 실시예의 경우 4개의 가이드유닛(140)이 가로 방향으로 배치되며, 이에 따라 4개의 기판을 한 번에 이송할 수 있다.
센서(150)는 기판의 이송상태를 감지하기 위한 것이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 센서(150)는 기판의 이송경로 중간에 설치되는데, 이때 기판의 이송방향으로 배치된 가이드유닛(140)과 가이드유닛(140) 사이에 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 센서는 승강 가능하게 설치되며, 기판이 센서가 설치된 위치를 통과할 때에는 기판의 진로를 막지않도록 이송롤러의 하측으로 하강될 수 있다. 그리고, 센서는 기판과의 거리 또는 센서의 전방에 기판이 존재하는지 여부 등을 감지하며, 이를 통해 기판의 이송상태 즉 기판이 어느 구간에서 이송되는지를 감지한다. 이와 같은 센서로는 초음파 센서, 포토 센서, fiber 센서 등이 사용될 수 있다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 기판이송장치에서 기판이 이송되는 과정에 관하여 설명한다.
먼저, 도 4의 (A)에 도시된 바와 같이, 기판(g)이 이송롤러로 공급되어 입구측(즉, 기판이 반입되는 쪽) 가이드유닛 쪽으로 이송되면, 센서가 기판의 반입을 감지하며, 이에 따라 입구측 가이드유닛의 제1가이드부재(120)와 제2가이드부재(130) 사이의 간격 제1상태 보다 더 넓게 벌어진다. 이때, 제1상태는 도 4의 (C)에 나타난 바와 같이, 기판이 제1가이드부재(120)와 제2가이드부재(130) 사이로 완전히 반입된 상태에서 이송될 때, 제1가이드부재와 제2가이드부재가 벌어진 상태를 의미하며, 이 제1상태에서 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격을 기판의 폭 보다 더 넓게 제어한다.
그리고, 이와 같이 기판의 반입시 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격을 넓게 하는 이유는, 도 4의 (A)에 도시된 바와 같이 기판이 틀어진 상태에서 반입되더라도 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이로 기판이 원활하게 이송될 수 있도록 하기 위함이다.
이후, 기판이 어느 정도 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이로 반입되면, 도 4의 (B)에 도시된 바와 같이 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격이 좁아지고 이에 따라 기판이 올바른 자세로 정렬되게 된다. 이후, 도 4의 (C)에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격이 제1상태로 벌어지며, 기판을 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이를 통해 이송된다.
이때, 제1상태에서 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격이 기판의 폭 보다 조금 더 넓은 이유에 관하여 설명하면, 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격이 기판의 폭과 동일하면 기판이 이송되는 과정 중 기판의 측면이 제1가이드부재 및 제2가이드부재에 지속적으로 접촉되고, 이에 따른 충격에 의해 기판의 측면 부분이 파손될 우려가 있다. 하지만, 본 실시예의 경우에는 기판이 정상적으로 이송되는 제1상태에서 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격이 기판의 폭 보다 더 넓으므로, 기판의 측면이 제1가이드부재 또는 제2가이드부재에 지속적으로 접촉되는 것이 방지된다.
한편, 기판이 이송되는 과정 중, 기판으로 세정가스, 세정액 또는 CDA 등을 분사함으로 인해 기판의 자세가 틀어질 수도 있는데, 이때에도 제1가이드부재 및 제2가이드부재에 의해 기판의 자세가 과도하게 틀어지거나, 기판이 이송경로를 이탈하는 것이 방지된다.
나아가, 기판의 자세가 틀어지는 경우, 가이드유닛(기판이 통과하고 있는 가이드유닛)의 제1가이드부재(120)와 제2가이드부재(130) 사이의 간격이 도 4의 (B)에 도시된 바와 같이 좁혀졌다가 다시 제1위치로 벌어지면 기판이 다시 정렬되게 된다. 특히, 출구측(즉, 기판이 반출되는 쪽)에 배치된 가이드유닛을 기판이 통과할 때, 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이의 간격이 도 4의 (B)에 도시된 상태로 좁혀졌다가 다시 벌어지면, 기판이 올바른 자세로 정렬된 상태로 반출되게 된다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면 4개의 기판을 한번에 이송할 수 있다. 또한, 기판의 크기에 따라 제1가이드부재 및 제2가이드부재 사이의 간격을 변경함으로써, 다양한 크기의 기판을 이송할 수 있다.
또한, 기판의 이송시 기판이 가이드부재에 지속적으로 접촉되지 않으므로, 기판이 파손되는 것이 방지된다. 또한, 기판의 이송중 기판의 자세가 과도하게 틀어지거나 기판이 이탈되는 것이 방지되며, 나아가 기판이 반출될 때에 올바른 자세로 정렬된 상태에서 반출된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
예를 들어, 기판이송장치는 스토퍼(stopper)(도면 미도시)를 더 구비할 수 있다. 스토퍼는 기판이 반출되는 영역, 즉 출구측에 배치된다. 스토퍼는 이송롤러의 상측으로 돌출되는 위치와, 이송롤러의 하측으로 몰입되는 위치 사이에 승강 가능하게 설치되며, 제1가이드부재와 제2가이드부재 사이에 배치된다. 스토퍼의 승강시, 스토퍼가 기판의 이송경로를 막으며 이에 따라 이송롤러를 따라 이송되는 기판이 스토퍼에 의해 막혀 기판의 이송이 중단된다(즉, 기판이 스토퍼 위치에서 정지됨).
한편, 기판이송장치로 기판을 이송하다 보면, 기판 간에 이송거리의 격차가 발생하게 된다. 따라서, 후속장비로 한번에 복수의 기판을 이송하고자 하는 경우에는, 출구측에서 스토퍼로 기판의 이송을 차단하면, 복수의 기판이 출구측에서 기판의 이송방향을 따라 차례로 정렬(쌓이게 됨)되며, 이와 같이 기판을 정렬한 상태에서 후속장비로 복수의 기판을 동시에 이송할 수 있다.
100...기판이송장치 110...이송롤러
120...제1가이드부재 130...제2가이드부재
140...가이드유닛 150...센서

Claims (5)

  1. 일방향을 따라 서로 이격되며, 회전가능하게 설치되어 기판을 이송하는 복수의 이송롤러; 및
    상기 이송롤러의 상측으로 돌출되며 상기 이송롤러가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1가이드부재와, 상기 이송롤러의 상측으로 돌출되며 상기 이송롤러가 배치된 방향으로 서로 이격되게 배치되어 상기 제1가이드부재와 마주보는 복수의 제2가이드부재를 가지는 가이드유닛;을 포함하며,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재 사이의 간격은 변경 가능하며,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재 사이의 간격이 상기 기판의 폭 보다 넓게 벌어진 제1상태에서 상기 기판이 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이를 통해 이송되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이로 상기 기판이 반입되는 시점에서 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이의 간격은 상기 제1상태 보다 더 넓으며,
    상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이로 상기 기판이 반입된 후 상기 제1가이드부재와 상기 제2가이드부재 사이의 간격이 상기 제1상태로 좁혀지는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가이드유닛은 상기 기판이 이송되는 방향을 따라 복수로 배치되며,
    상기 이송롤러로 공급된 기판은 상기 복수의 가이드유닛을 따라 이송되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 이송상태를 감지하기 위한 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재 사이에 승강 가능하게 배치되며, 상기 이송롤러의 상측으로 승강시 상기 기판이 이송경로를 막아 상기 기판의 이송을 정지시키는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107618878A (zh) * 2017-09-05 2018-01-23 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板传送装置
KR102500323B1 (ko) * 2021-10-27 2023-02-16 주식회사 이에스엘 진공롤러유닛을 이용한 디스플레이 패널용 글라스 이송장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100592931B1 (ko) * 2004-07-02 2006-06-26 주식회사 파이컴 글라스 이송용 컨베이어 시스템
US7866185B2 (en) * 2006-11-15 2011-01-11 Corning Incorporated Glass handling and processing system
KR20100059402A (ko) * 2008-11-26 2010-06-04 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR101170985B1 (ko) * 2010-09-28 2012-08-08 (주) 에스에스피 정렬부재를 구비한 자재 이송 장치 및 이를 이용한 자재 이송 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107618878A (zh) * 2017-09-05 2018-01-23 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板传送装置
KR102500323B1 (ko) * 2021-10-27 2023-02-16 주식회사 이에스엘 진공롤러유닛을 이용한 디스플레이 패널용 글라스 이송장치

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