KR101530242B1

KR101530242B1 - 기판 작업 시스템, 기판 반송 장치, 및 기판 작업 장치

Info

Publication number: KR101530242B1
Application number: KR1020130138285A
Authority: KR
Inventors: 카즈유키 스가하라; 토시히코 오하타
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2012-11-15
Filing date: 2013-11-14
Publication date: 2015-06-22
Also published as: CN103826429A; US9120631B2; JP6030927B2; US20140131166A1; EP2734024A2; KR20140063450A; CN103826429B; EP2734024B1; JP2014099555A; EP2734024A3

Abstract

이 기판 작업 시스템은 기판에 대하여 작업을 행하는 기판 작업 장치와, 제 1 기판 반송부를 포함하고, 기판 작업 장치에 접속된 기판 반송 장치를 구비한다. 그리고, 기판 반송 장치에는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치가 설치되어 있다.

Description

기판 작업 시스템, 기판 반송 장치, 및 기판 작업 장치{BOARD WORKING SYSTEM, BOARD CONVEYING APPARATUS, AND BOARD WORKING APPARATUS}

본 발명은 기판 작업 시스템, 기판 반송 장치, 및 기판 작업 장치에 관한 것이다.

종래, 기판에 대하여 작업을 행하는 기판 작업 장치가 알려져 있다. 이러한 기판 작업 장치는, 예를 들면 일본 특허 공개 2010-251450호 공보에 개시되어 있다.

상기 일본 특허 공개 2010-251450호 공보에는 기판에 대하여 부품의 실장(작업)을 행하는 부품 실장 장치(기판 작업 장치)가 개시되어 있다. 이 부품 실장 장치는 기판 반송로를 각각 포함하는 2개의 작업 장치와, 2개의 작업 장치를 덮는 커버 부재와, 2개의 작업 장치 사이에 서로의 작업 공간을 분리하도록 착탈 가능하게 배치된 구획 부재를 구비하고 있다. 또한, 이 부품 실장 장치에서는 커버 부재에 형성된 개구를 통해 2개 기판 반송로와 외부의 장치(기판 반송 장치)에서 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있다.

그러나, 상기 일본 특허 공개 2010-251450호 공보에서는 부품 실장 장치의 기판 반송로를 기판 반송 장치의 기판 반송부에 접속해서 사용하는 경우에 있어서 기판 반송 장치의 기판 반송부의 셋업을 행할 경우에 기판의 운반을 행하는 개구를 통해 기판 반송 장치측에 액세스 가능한 상태이기 때문에 기판 반송 장치의 기판 반송부의 셋업 시에 공구 등의 이물이 부품 실장 장치로 진입하는 경우가 있다는 문제점이 있다.

이 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 이 발명의 하나의 목적은 기판 반송 장치의 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 반송 장치의 기판 반송부측으로부터 개구를 통해 이물이 기판 작업 장치로 진입하는 것을 방지하는 것이 가능한 기판 작업 시스템, 기판 반송 장치, 및 기판 작업 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서 이 발명의 제 1 국면에 있어서의 기판 작업 시스템은 기판에 대하여 작업을 행하는 기판 작업 장치와, 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 1 기판 반송부와, 제 1 기판 반송부에 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 기판을 반송하는 제 2 기판 반송부와, 제 1 기판 반송부 및 제 2 기판 반송부를 덮는 커버 부재를 포함하고, 기판 작업 장치에 접속된 기판 반송 장치를 구비하고, 기판 작업 장치 또는 기판 반송 장치 중 적어도 한쪽에는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치가 설치되어 있다.

이 발명의 제 1 국면에 의한 기판 작업 시스템에서는 상기한 바와 같이 기판 작업 장치 또는 기판 반송 장치 중 적어도 한쪽에 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 설치함으로써 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 셔터 장치에 의해 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 개구를 통해 이물이 기판 작업 장치로 진입하는 것을 방지할 수 있다. 이것에 의해 기판 반송 장치의 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 작업 장치의 동작을 정지시킬 필요가 없으므로 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 기판 작업 시스템에 있어서 바람직하게는 기판 작업 장치 및 기판 반송 장치를 제어하는 제어 장치를 더 구비하고, 기판 반송 장치의 커버 부재는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 개방되는 개폐 도어를 포함하고, 제어 장치는 개폐 도어가 개방된 상태에서 셔터 장치가 열린 상태인 경우 기판 작업 장치 및 기판 반송 장치 중 적어도 한쪽을 정지시키는 제어를 행하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 개폐 도어가 개방되어 있음에도 불구하고, 셔터 장치가 열린 채의 상태인 경우에 기판 작업 장치 또는 기판 반송 장치 중 적어도 한쪽이 정지되므로 개구를 통해 기판 반송 장치 및 기판 작업 장치의 한쪽으로부터 다른쪽으로 이물이 진입했을 경우에도 기판 작업 장치 또는 기판 반송 장치가 손상되는 것을 억제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 기판 작업 시스템에 있어서 바람직하게는 기판 작업 장치는 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 3 기판 반송부와, 제 3 기판 반송부에 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 기판을 반송하는 제 4 기판 반송부를 포함하고, 제 3 기판 반송부는 셔터 장치를 통해서 제 1 기판 반송부로 기판의 운반을 행함과 아울러 셔터 장치와는 별도의 장소에서 제 2 기판 반송부로 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있고, 셔터 장치는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치의 제 3 기판 반송부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 셔터 장치가 닫혀 있는 경우에도 기판 작업 장치 제 3 기판 반송부와, 기판 반송 장치의 제 2 기판 반송부에서 기판의 운반을 행할 수 있으므로 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업 중에도 제 1 기판 반송부측으로부터 제 3 기판 반송부측으로 이물이 진입하는 것을 방지하면서 제 3 기판 반송부 및 제 4 기판 반송부를 계속해서 동작시킬 수 있다. 그 결과, 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 2 기판 반송부는 셔터 장치와는 별도의 장소에서, 제 3 기판 반송부 및 제 4 기판 반송부와 각각 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 2 기판 반송부가 셔터 장치와는 별도의 장소에서 제 3 기판 반송부 및 제 4 기판 반송부의 양쪽으로 기판의 운반을 행할 수 있으므로 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 보다 용이하게 억제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 기판 작업 시스템에 있어서 바람직하게는 기판 반송 장치는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 제 2 기판 반송부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 제 2 기판 반송부측으로 이물이 진입하는 것을 방지할 수 있으므로 제 2 기판 반송부의 동작을 정지시킬 필요가 없다. 이것에 의해 제 2 기판 반송부에 의한 기판의 반송 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

이 발명의 제 2 국면에 있어서의 기판 반송 장치는 기판에 대하여 작업을 행하는 기판 작업 장치에 접속되어 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 1 기판 반송부와, 제 1 기판 반송부에 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 기판을 반송하는 제 2 기판 반송부와, 제 1 기판 반송부 및 제 2 기판 반송부를 덮는 커버 부재와, 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 구비한다.

이 발명의 제 2 국면에 의한 기판 반송 장치에서는 상기한 바와 같이 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 설치함으로써 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 셔터 장치에 의해 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 개구를 통해 이물이 기판 작업 장치로 진입하는 것을 방지하는 것이 가능한 기판 반송 장치를 제공할 수 있다. 이것에 의해 기판 반송 장치의 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 작업 장치의 동작을 정지시킬 필요가 없으므로 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

상기 제 2 국면에 의한 기판 반송 장치에 있어서, 바람직하게는 기판 작업 장치는 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 3 기판 반송부와, 제 3 기판 반송부에 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 기판을 반송하는 제 4 기판 반송부를 포함하고, 제 2 기판 반송부는 셔터 장치와는 별도의 장소에서 제 4 기판 반송부로 기판의 운반을 행하도록 구성되고, 셔터 장치는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치의 제 3 기판 반송부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 2 기판 반송부가 셔터 장치와는 별도의 장소에서 제 4 기판 반송부로 기판의 운반을 행할 수 있으므로 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 용이하게 억제할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 2 기판 반송부는 셔터 장치와는 별도의 장소에서 제 4 기판 반송부에 추가하여 제 3 기판 반송부로 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 2 기판 반송부가 셔터 장치와는 별도의 장소에서 제 3 기판 반송부 및 제 4 기판 반송부의 양쪽으로 기판의 운반을 행할 수 있으므로 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 보다 용이하게 억제할 수 있다.

상기 제 2 국면에 의한 기판 반송 장치에 있어서 바람직하게는 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 제 2 기판 반송부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 제 2 기판 반송부측으로 이물이 진입하는 것을 방지할 수 있으므로 제 2 기판 반송부의 동작을 정지시킬 필요가 없다. 이것에 의해 제 2 기판 반송부에 의한 기판의 반송 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

이 발명의 제 3 국면에 있어서의 기판 작업 장치는 기판에 대하여 작업을 행함과 아울러 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 1 기판 반송부와, 제 1 기판 반송부에 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 기판을 반송하는 제 2 기판 반송부와, 제 1 기판 반송부 및 제 2 기판 반송부를 덮는 커버 부재를 포함하는 기판 반송 장치에 접속된 기판 작업부와, 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 구비한다.

이 발명의 제 3 국면에 의한 기판 작업 장치에서는 상기한 바와 같이 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 설치함으로써 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 셔터 장치에 의해 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 개구를 통해 이물이 진입하는 것을 방지하는 것이 가능한 기판 작업 장치를 제공할 수 있다. 이것에 의해 기판 반송 장치의 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 작업 장치의 동작을 정지시킬 필요가 없으므로 기판에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 의하면 상기한 바와 같이 기판 반송 장치 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부측으로부터 개구를 통해 이물이 기판 작업 장치로 진입하는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어의 내부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 제어적인 구성을 나타낸 블록도이다.
도 5는 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어의 기판 반송부 및 인쇄기의 기판 반송부를 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어의 내부를 나타낸 정면도이다.
도 8은 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어의 기판 반송부의 셋업을 행할 경우를 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템의 전체 인터로크 회로에 의한 인터로크 제어 처리를 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 10은 본 발명의 일실시형태의 변형예에 의한 기판 작업 시스템의 버퍼 컨베이어의 기판 반송부 및 인쇄기의 기판 반송부를 나타낸 평면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

우선, 도 1~도 7을 참조해서 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템(100)의 구성에 대해서 설명한다.

본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템(100)은 도 1에 나타내는 바와 같이 기판(3)을 하류로 반출 가능한 버퍼 컨베이어(1)와, 인쇄기(2)를 구비하고 있다. 또한, 기판 작업 시스템(100)은 2개의 레인을 갖고, 복수의 기판(3)에 대하여 병행해서 작업하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 버퍼 컨베이어(1)는 본 발명의 「기판 반송 장치」의 일례이며, 인쇄기(2)는 본 발명의 「기판 작업 장치」의 일례이다.

버퍼 컨베이어(1)는 상류측으로부터 받은 기판(3)을 Y 방향의 위치를 변화시켜서 하류측으로 반송하는 것이 가능한 기판 반송 장치이다. 이 기판 작업 시스템(100)에 있어서 버퍼 컨베이어(1)는 인쇄기(2)의 반송 방향 하류(X 방향)측에 배치되어 있다. 또한, 버퍼 컨베이어(1)는 기판(3)을 반송 방향 상류(X2 방향)의 인쇄기(2)로부터 받아 반송 방향 하류(X1 방향)의 장치(4)(도 5 참조)로 운반하도록 구성되어 있다. 또한, 버퍼 컨베이어(1)는 듀얼 반송형의 기판 반송 장치이다. 또한, 버퍼 컨베이어(1)는 도 3에 나타내는 바와 같이 기대(10)와, 커버 부재(11)(도 2 참조)와, 2개의 기판 반송부(12 및 13)와, 한쌍의 레일(14)을 포함한다. 또한, 기판 반송부(12)는 본 발명의 「제 1 기판 반송부」의 일례이며, 기판 반송부(13)는 본 발명의 「제 2 기판 반송부」의 일례이다.

또한, 버퍼 컨베이어(1)는 제어적인 구성으로서 도 4에 나타내는 바와 같이 전체 인터로크 회로(15)와, 버퍼 컨베이어 인터로크 회로(15a 및 15b)와, 버퍼 컨베이어 모터 동력 차단기(16a 및 16b)와, 모터(17a 및 17b)와, 도어 스위치(111a 및 112a)와, 셔터 스위치(113b 및 115b)를 포함한다. 또한, 버퍼 컨베이어 인터로크 회로(15a), 버퍼 컨베이어 모터 동력 차단기(16a), 모터(17a), 도어 스위치(111a) 및 셔터 스위치(113b)는 기판 반송부(12)측에 대응하고 있다. 또한, 버퍼 컨베이어 인터로크 회로(15b), 버퍼 컨베이어 모터 동력 차단기(16b), 모터(17b), 도어 스위치(112a) 및 셔터 스위치(115b)는 기판 반송부(13)측에 대응하고 있다. 또한, 전체 인터로크 회로(15)는 본 발명의 「제어 장치」의 일례이다. 또한, 도어 스위치(111a 및 112a)는 각각 본 발명의 「도어 개폐 검지부」의 일례이며, 셔터 스위치(113b 및 115b)는 각각 본 발명의 「셔터 개폐 검지부」의 일례이다.

커버 부재(11)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 버퍼 컨베이어(1)의 상부에 배치되어 기판 반송부(12 및 13)를 덮도록 구성되어 있다. 즉, 커버 부재(11)는 기판 반송부(12 및 13)가 외부에 노출하지 않도록 설치되어 있다. 또한, 커버 부재(11)는 상방 커버(11a), 측방 커버(11b), 측방 커버(11c)(도 7 참조), 개폐 도어(111 및 112)를 포함한다. 개폐 도어[111(112)]는 도 6에 나타내는 바와 같이 기판 반송부[12(13)]의 상(Z1)측에 배치되어 기판 반송부[12(13)]의 셋업을 행할 때에 개방되도록 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부[12(13)]의 셋업에서는 반송하는 기판(3)의 체크, 기판(3)의 발취(拔取) 등이 행해진다. 또한, 개폐 도어[111(112)]는 닫혀 있을 때에 도어 스위치[111a(112a)](도 4 참조)를 누르도록 구성되어 있다. 즉, 도어 스위치[111a(112a)]에 의해 개폐 도어[111(112)]의 개폐가 검지된다.

또한, 도 2 및 도 5에 나타내는 바와 같이 커버 부재(11)의 반송 방향 상류(X2 방향)측의 측방 커버(11b)에는 반입구(113, 114 및 115)가 형성되어 있다. 반입구(113)는 기판 반송부(12)(Y1 방향)측에 배치되고, 반입구(115)는 기판 반송부(13)(Y2 방향)측에 배치되어 있다. 반입구(114)는 Y 방향에 있어서 측방 커버(11b)의 대략 중앙에 배치되어 있다. 반입구(113)로부터 반입된 기판(3)은 기판 반송부(12)로 운반되고, 반입구(115)로부터 반입된 기판(3)은 기판 반송부(13)로 운반되도록 구성되어 있다. 또한, 반입구(114)로부터 반입된 기판(3)은 기판 반송부(12 또는 13) 중 어느 하나로 운반되도록 구성되어 있다.

여기에서, 본 실시형태에서는 도 2에 나타내는 바와 같이 반입구(113 및 115)에는 반입구(113 및 115)를 각각 개방 및 폐색 가능한 셔터 장치(113a 및 115a)가 설치되어 있다. 도 2에 나타내는 예의 경우 셔터 장치(113a)는 열려 있는 상태이며, 셔터 장치(115a)는 닫힌 상태이다. 셔터 장치[113a(115a)]는 기판 반송부[12(13)]의 동작 시에 기판(3)을 반입하기 위해서 열리도록 구성되어 있다. 또한, 셔터 장치[113a(115a)]는 기판 반송부[12(13)]의 셋업 시 등에 의한 정지 시에 반입구[113(115)]의 개구 간극이 없어지도록(0㎜가 되도록) 닫도록 구성되어 있다. 또한, 셔터 장치[113a(115a)]는 닫혀 있을 때에 셔터 스위치[113b(115b)](도 4 참조)를 누르도록 구성되어 있다. 즉, 셔터 스위치[113b(115b)]에 의해 셔터 장치[113a(115a)]의 개폐가 검지된다.

또한, 도 5에 나타내는 바와 같이 커버 부재(11)의 반송 방향 하류(X1 방향)측의 측방 커버(11c)의 Y 방향에 있어서의 대략 중앙에 반출구(116)가 형성되어 있다. 기판 반송부(12 및 13)에 의해 반송된 기판(3)은 반출구(116)로부터 반출되도록 구성되어 있다.

기판 반송부(12)는 기판 반송부(13)의 Y1 방향측에 인접해서 배치되어 있다. 또한, 기판 반송부(12)는 도 5에 나타내는 바와 같이 한쌍의 레일(14)을 따라 기판(3)의 반송 방향[X 방향(본원의 소정 방향)]과 직교하는 방향(Y 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는 기판 반송부(12)는 모터(17a)(도 4 참조)의 구동에 의해 Y 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부(12)는 도 5에 나타내는 바와 같이 반송 방향 상류(X2)측의 인쇄기(2)의 기판 반송부(22)로부터 반입구(113)를 통해 기판(3)을 받도록 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부(12)는 받은 기판(3)을 Y2 방향으로 이동해서 반송 방향 하류(X1)측의 장치(4)의 앞측 레인(4a) 또는 후측 레인(4b)에 반출구(116)를 통해 기판(3)을 운반하도록 구성되어 있다. 또한, 본 실시형태의 버퍼 컨베이어(1)에서는 기판 반송부(12)를 Y2 방향으로 이동해서 기판 반송부(13)측까지 이동하는 것이 가능하다. 구체적으로는 반송 방향 상류(X2)측의 인쇄기(2)의 기판 반송부(23)로부터 반입구(114)를 통해 기판(3)을 받아 Y 방향으로 이동하고, 반송 방향 하류(X1)측의 장치(4)의 앞측 레인(4a) 또는 후측 레인(4b)에 반출구(116)를 통해 기판(3)을 운반하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부(12)는 기판 반송부(13)에 대하여 간섭하지 않는 범위에서 Y 방향으로 독립적으로 이동하는 것이 가능하게 구성되어 있다.

또한, 기판 반송부(12)는 도 3에 나타내는 바와 같이 모터(17a)의 구동에 의해 레일(14)을 따라 Y 방향으로 이동하도록 구성된 플레이트(121)와, 플레이트(121) 상면에 지주를 통해 고정되어 기판(3)을 X1 방향으로 반송하는 한쌍의 컨베이어(12a 및 12b)와, 플레이트(121) 상면에 고정된 배면 커버(122)를 포함한다. 기판 반송부(13)측(Y2 방향측)의 컨베이어(12a)는 플레이트(121) 상에 고정적으로 설치되어 있다. 한편, 기판 반송부(13)와 반대측(Y1 방향측)의 컨베이어(12b)는 플레이트(121) 위를 Y 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해 기판(3)의 Y 방향의 길이에 따라 한쌍의 컨베이어(12a 및 12b)의 Y 방향의 폭을 조정하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 버퍼 컨베이어(1)의 Y 방향에 있어서의 중앙측의 컨베이어(12a)를 고정함으로써 기판 반송부(12)의 Y 방향의 이동량을 작게 하는 것이 가능하다. 그 결과, 기판(3)의 반송 택트를 단축하는 것이 가능하다. 또한, 배면 커버(122)는 본 발명의 「구획 부재」의 일례이다.

플레이트(121)는 도 3에 나타내는 바와 같이 한쌍의 레일(14) 위에 이동 가능하게 배치되어 있다. 배면 커버(122)는 플레이트(121)의 Y 방향에 있어서의 기판 반송부(13)측(Y2 방향측)에 배치되어 있다. 즉, 배면 커버(122)는 기판 반송부(12)측으로부터 기판 반송부(13)측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격(D)(도 6 및 도 7참조)이 소정값(예를 들면, 6㎜) 이하가 되도록 형성되어 있다. 구체적으로는 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 배면 커버(122)와, 커버 부재(11)의 상방 커버(11a)의 개구 간극의 최대 간격(D)이 소정값 이하가 되도록 구성되어 있다. 또한, 배면 커버(122)와, 커버 부재(11)의 측방 커버(11b), 측방 커버(11c) 및 기대(10)의 각각의 개구 간극의 최대 간격(D)이 각각 소정값 이하가 되도록 구성되어 있다.

기판 반송부(13)는 기판 반송부(12)의 Y2 방향측에 인접해서 배치되어 있다. 또한, 기판 반송부(13)는 기판 반송부(12)와 마찬가지의 구성이므로 설명을 생략한다. 또한, 기판 반송부(13)의 컨베이어(13a 및 13b)는 각각 기판 반송부(12)의 컨베이어(12a 및 12b)에 대응하고 있다. 또한, 기판 반송부(13)의 플레이트(131) 및 배면 커버(132)는 각각 기판 반송부(12)의 플레이트(121) 및 배면 커버(122)에 대응하고 있다. 그리고, 배면 커버(132)는 플레이트(131)의 Y 방향에 있어서의 기판 반송부(12)측(Y1 방향측), 즉 중앙측에 배치되어 있다. 기판 반송부(12)측(Y1 방향측)의 중앙측의 컨베이어(13a)는 플레이트(131) 상에 고정적으로 설치되어 있다. 한편, 기판 반송부(12)와 반대측(Y2 방향측)의 컨베이어(13b)는 플레이트(131) 상을 Y 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 배면 커버(132)는 본 발명의 「구획 부재」의 일례이다.

또한, 배면 커버(132)도 배면 커버(122)와 마찬가지로 구성되어 있다. 즉, 기판 반송부(13)의 셋업을 행할 때에 배면 커버(132)와, 커버 부재(11)의 상방 커버(11a)의 개구 간극의 최대 간격(D)이 소정값 이하가 되도록 구성되어 있다. 또한, 배면 커버(132)와, 커버 부재(11)의 측방 커버(11b), 측방 커버(11c) 및 기대(10)의 각각의 개구 간극의 최대 간격(D)이 각각 소정값 이하가 되도록 구성되어 있다.

전체 인터로크 회로(15)(도 4 참조)는 버퍼 컨베이어(1) 및 인쇄기(2)의 전력의 공급을 제어하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 전체 인터로크 회로(15)는 버퍼 컨베이어 인터로크 회로(15a) 및 버퍼 컨베이어 모터 동력 차단기(16a)를 통해 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 모터(17a)의 구동의 ON/OFF를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 전체 인터로크 회로(15)는 버퍼 컨베이어 인터로크 회로(15b) 및 버퍼 컨베이어 모터 동력 차단기(16b)를 통해 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)의 모터(17b)의 구동의 ON/OFF를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 전체 인터로크 회로(15)는 인쇄기 인터로크 회로(27a) 및 인쇄기 모터 동력 차단기(28a)를 통해 인쇄기(2)의 기판 반송부(22)의 모터(29a1)[컨베이어를 구동하여 컨베이어 위의 기판(3)을 X1 방향으로 이동시킨다], 모터(29a2)[기판 반송부(22)를 Y 방향으로 이동시킨다] 및 도시 생략된 스퀴즈 장치에 있어서의 스퀴즈의 승강이나 스퀴즈의 인쇄 이동을 위한 각 모터로의 전력 공급의 ON/OFF를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 전체 인터로크 회로(15)는 인쇄기 인터로크 회로(27b) 및 인쇄기 모터 동력 차단기(28b)를 통해 인쇄기(2)의 기판 반송부(23)의 모터(29b1)[컨베이어를 구동하여 컨베이어 상의 기판(3)을 X1 방향으로 이동시킨다], 모터(29b2)[기판 반송부(23)를 Y 방향으로 이동시킨다] 및 도시 생략된 스퀴즈 장치에 있어서의 스퀴즈의 승강이나 스퀴즈의 인쇄 이동을 위한 각 모터로의 전력 공급의 ON/OFF를 제어하도록 구성되어 있다.

또한, 전체 인터로크 회로(15)는 버퍼 컨베이어(1)의 개폐 도어(111 또는 112)가 개방된 상태에서 셔터 장치(113a 또는 115a)가 열린 상태인 경우, 버퍼 컨베이어(1) 및 인쇄기(2) 중 적어도 한쪽을 정지(서보 OFF)시키는 제어를 행하도록 구성되어 있다. 즉, 전체 인터로크 회로(15)는 도어 스위치(111a, 112a), 셔터 스위치(113b 및 115b)의 검지 결과에 의거하여 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12, 13), 인쇄기(2)의 스퀴즈 장치의 운행 및 기판 반송에 관련된 서보의 ON/OFF를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 전체 인터로크 회로(15)는 개폐 도어(111 또는 112)가 개방된 상태에서 셔터 장치(113a 또는 115a)가 열린 상태인 경우, 버퍼 컨베이어(1) 및 인쇄기(2)에 각각 공급되는 전력을 제어해서 버퍼 컨베이어(1) 및 인쇄기(2) 중 적어도 한쪽을 정지시키는 제어를 행하도록 구성되어 있다.

인쇄기(2)는 기판(3)에 대하여 작업을 행하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 인쇄기(2)는 기판(3)의 상면에 땜납 페이스트를 마스크 인쇄하도록 구성되어 있다. 또한, 인쇄기(2)는 듀얼 반송형의 인쇄기이다. 또한, 인쇄기(2)는 버퍼 컨베이어(1)의 반송 방향 상류(X2)측에 접속되어 있다. 또한, 인쇄기(2)는 도 1에 나타내는 바와 같이 커버 부재(21)를 구비한다. 또한, 인쇄기(2)는 도 5에 나타내는 바와 같이 기판 작업부로서 기대(20) 상에 배치된 2개의 기판 반송부(22 및 23)와, 2개의 인쇄 작업부(24 및 25)를 포함한다. 인쇄 작업부(24 및 25)에는 각각 스크린 마스크와 스퀴즈 장치(도시 생략)가 배치되어 있다. 이것에 의해 2장의 기판(3)에 대한 반송 및 마스크 인쇄를 병행해서 행하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 1장의 기판(3)을 2개의 인쇄 작업부에 의해 순차 마스크 인쇄를 행하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부(22)는 본 발명의 「제 3 기판 반송부」의 일례이며, 기판 반송부(23)는 본 발명의 「제 4 기판 반송부」의 일례이다.

또한, 인쇄기(2)는 제어적인 구성으로서 도 4에 나타내는 바와 같이 인쇄기 인터로크 회로(27a 및 27b)와, 인쇄기 모터 동력 차단기(28a 및 28b)와, 모터(29a1, 29a2, 29b1, 29b2) 및 기타 모터류(도시 생략)를 포함한다. 또한, 인쇄기 인터로크 회로(27a), 인쇄기 모터 동력 차단기(28a), 모터(29a1 및 29a2)는 기판 반송부(22)측에 대응하고 있다. 또한, 인쇄기 인터로크 회로(27b), 인쇄기 모터 동력 차단기(28b), 모터(29b1 및 29b2)는 기판 반송부(23)측에 대응하고 있다.

커버 부재(21)는 도 1에 나타내는 바와 같이 인쇄기(2)의 상부에 배치되어 기판 반송부(22, 23), 인쇄 작업부(24 및 25)를 덮도록 구성되어 있다. 즉, 커버 부재(21)는 인쇄 작업부(24, 25) 및 기판 작업부의 X1측이 외부에 노출하지 않도록 설치된 하류측 커버 부재(21a)와, 기판 작업부(25)의 X2측이 외부에 노출하지 않도록 설치된 상류측 커버 부재(21b)로 구성된다. 하류측 커버 부재(21a)는 개폐 도어(211, 212), 하류측 상방 커버(21a1), X2측의 측방 커버(21a2) 및 X1 측의 측방 커버(21a3)를 포함한다. 상류측 커버 부재(21b)는 개폐 도어(213, 214), 상류측 상방 커버(21b1) 및 X2 측의 측방 커버(21b2)를 포함한다. 개폐 도어[211(212)]는 인쇄 작업부[24(25)]의 상(Z1)측에 배치되어 인쇄 작업부[24(25)]의 셋업을 행할 때에 개방되도록 구성되어 있다. 개폐 도어[213(214)]는 개폐 도어[211(212)]의 X2 방향측에 배치되어 기판 반송부[22(23)]의 셋업을 행할 때에 개방되도록 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부[22(23)]의 셋업에서는 백업 핀(도시 생략)의 교환 등이 행해진다.

또한, 도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이 커버 부재(21)의 반송 방향 상류(X2 방향)측이 되는 상류측 커버 부재(21b)의 측방 커버(21b2)에는 반입구(215 및 216)가 형성되어 있다. 반입구(215)는 기판 반송부(22)(Y1 방향)측에 배치되고, 반입구(216)는 기판 반송부(23)(Y2 방향)측에 배치되어 있다. 반입구(215)로부터 반입된 작업 전의 기판(3)은 기판 반송부(22)로 운반되고, 반입구(216)로부터 반입된 작업 전의 기판(3)은 기판 반송부(23)로 운반되도록 구성되어 있다.

또한, 커버 부재(21)의 반송 방향 하류(X1 방향)측이 되는 하류측 커버 부재(21a)의 측방 커버(21a3)에는 반출구(217)가 형성되어 있다. 기판 반송부(22 및 23)에 의해 반송된 작업 후의 기판(3)은 반출구(217)로부터 반출되도록 구성되어 있다. 또한, 반출구(217)는 버퍼 컨베이어(1)의 반입구(113~115)에 대향하도록 배치되어 있다.

기판 반송부(22)는 기판 반송부(23)의 Y1 방향측에 인접해서 배치되어 있다. 또한, 기판 반송부(22)는 도 5에 나타내는 바와 같이 한쌍의 레일(26)을 따라 기판(3)의 반송 방향(X 방향)과 직교하는 방향(Y 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는 기판 반송부(22)는 모터(29a2)(도 4 참조)의 구동에 의해 Y 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 또한, 기판 반송부(22)는 인쇄를 행한 기판(3)을 반송 방향 하류(X1)측의 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12 또는 13)에 반출구(217)를 통해 운반하도록 구성되어 있다. 또한, 본 실시형태의 인쇄기(2)에서는 기판 반송부(22)를 Y2 방향으로 이동해서 기대(20)의 중앙부까지 이동하는 것이 가능하다. 또한, 기판 반송부(22)는 기판 반송부(23)에 대하여 간섭하지 않는 범위에서 Y 방향으로 독립적으로 이동하는 것이 가능하게 구성되어 있다.

또한, 기판 반송부(22)는 도 5에 나타내는 바와 같이 기판(3)을 X1 방향으로 반송하는 한쌍의 컨베이어(22a, 22b) 및 한쌍의 레일(26)을 따라 Y 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있는 플레이트(221)를 포함한다. 기판 반송부(23)측(Y2 방향측)의 컨베이어(22a)는 플레이트(221) 상에 고정적으로 설치되어 있다. 한편, 기판 반송부(23)과 반대측(Y1 방향측)의 컨베이어(22b)는 플레이트(221) 상을 Y 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해 기판(3)의 Y 방향의 길이에 따라 한쌍의 컨베이어(22a 및 22b)의 Y 방향의 폭을 조정하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 인쇄기(2)의 Y 방향에 있어서의 중앙측의 컨베이어(22a)를 고정함으로써 기판 반송부(22)의 Y 방향의 이동량을 작게 하는 것이 가능하다. 그 결과, 기판(3)의 반송 택트를 단축하는 것이 가능하다.

기판 반송부(23)는 기판 반송부(22)의 Y2 방향측에 인접해서 배치되어 있다. 또한, 기판 반송부(23)는 기판 반송부(22)와 마찬가지의 구성이므로 설명을 생략한다. 또한, 기판 반송부(23)의 컨베이어(23a 및 23b)는 각각 기판 반송부(22)의 컨베이어(22a 및 22b)에 대응하고 있다. 또한, 기판 반송부(23)의 플레이트(231)는 기판 반송부(22)의 플레이트(221)에 대응하고 있다.

인쇄 작업부(24)는 인쇄 작업부(25)의 Y1 방향측에 인접해서 배치되어 있다. 또한, 인쇄 작업부(24)는 Y 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이것에 의해 기판 반송부(22)에 의해 반송되는 기판(3) 및 기판 반송부(23)에 의해 반송되는 기판(3)에 대하여 작업(마스크 인쇄)을 행하는 것이 가능하다. 또한, 인쇄 작업부(24)는 마스크 인쇄를 행하는 스크린 마스크(도시 생략), 땜납 공급부(도시 생략), 스퀴즈 장치(도시 생략)를 주로 구비하고 있다.

인쇄 작업부(25)는 인쇄 작업부(24)의 Y2 방향측에 인접해서 배치되어 있다. 또한, 인쇄 작업부(25)는 인쇄 작업부(24)와 마찬가지의 구성이므로 설명을 생략한다.

이어서, 도 8을 참조해서 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 셋업 시의 동작에 대해서 설명한다.

도 8에 나타내는 바와 같이 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13), 인쇄기(2)의 기판 반송부(22 및 23)를 동작시키면서 예를 들면 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 경우, 유저에 의해 개폐 도어(111)(도 2 참조)가 개방된다. 이때, 기판 반송부(12)가 Y1 방향측에 배치되고, 모터(17a)의 구동이 OFF가 되어 정지된다. 또한, 셔터 장치(113a)가 닫힌 상태가 된다.

또한, 운전(동작) 중의 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)는 기판 반송부(12)에 간섭하지 않는 범위에서 Y 방향으로 이동 가능하게 동작된다. 즉, 기판 반송부(13)는 인쇄기(2)의 Y 방향 중앙부로 이동한 기판 반송부(22)로부터 반입구(114)를 통해 인쇄 작업부(24)에 있어서 인쇄가 종료된 기판(3)을 받고, 장치(4)의 앞측 레인(4a) 또는 후측 레인(4b)에 반출구(116)를 통해 기판(3)을 운반함과 아울러 인쇄기(2)의 Y2 방향단부에 위치하는 기판 반송부(23)로부터 반입구(115)를 통해 인쇄 작업부(25)에 있어서 인쇄가 종료된 기판(3)을 받고, 장치(4)의 앞측 레인(4a) 또는 후측 레인(4b)에 반출구(116)를 통해 기판(3)을 운반하도록 동작한다. 이때, 셔터 장치(115a)는 열린 상태이다. 이것에 의해 상류의 인쇄기(2) 및 하류의 장치(4)를 정지시키는 일 없이 기판 반송부(12)의 셋업을 행하는 것이 가능하다.

또한, 유저에 의해 개폐 도어(112)(도 2 참조)가 개방되어 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)의 셋업을 행하는 경우도 마찬가지이다. 기판 반송부(13)가 Y2 방향측에 배치되고, 모터(17b)의 구동이 OFF가 되어 정지되어서 셔터 장치(115a)가 닫힌 상태가 된다. 인쇄 작업부(25)에 있어서 인쇄가 종료된 기판(3)은 인쇄기(2)의 Y 방향 중앙부로 이동한 기판 반송부(23)로부터 반입구(114)를 통해 기판 반송부(12)로 운반된 후 반출구(116)를 통해 장치(4)의 앞측 레인(4a) 또는 후측 레인(4b)으로 운반된다. 인쇄 작업부(24)에 있어서 인쇄가 종료된 기판(3)은 인쇄기(2)의 Y1 방향단부에 위치하는 기판 반송부(22)로부터 반입구(113)를 통해 기판 반송부(12)로 운반된 후 반출구(116)를 통해 장치(4)의 앞측 레인(4a) 또는 후측 레인(4b)으로 운반된다. 이때, 셔터 장치(113a)는 열린 상태이다. 이것에 의해 상류의 인쇄기(2) 및 하류의 장치(4)를 정지시키는 일 없이 기판 반송부(13)의 셋업을 행하는 것이 가능하다.

이어서, 도 9를 참조해서 본 발명의 일실시형태에 의한 기판 작업 시스템(100)의 전체 인터로크 회로(15)에 의한 인터로크 제어 처리에 대해서 설명한다. 이 제어 처리는 버퍼 컨베이어(1)의 운전 중에 계속적으로 행해지고 있다.

도 9에 나타내는 스텝 S1에 있어서 서보 버튼(도시 생략)이 눌렸는지의 여부 또는 서보 ON 상태인지의 여부가 판단된다. 즉, 서보 버튼이 눌려 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12 및 13)에 전력이 공급되어 운전 상태인지의 여부가 판단된다. 서보 버튼이 눌렸거나 또는 서보 ON 상태이면 스텝 S3으로 진행되고, 서보 버튼이 눌리지 않고, 또한 서보 OFF 상태이면 스텝 S2로 진행된다. 스텝 S2에 있어서 버퍼 컨베이어(1)의 전원이 OFF인지의 여부가 판단된다. 전원이 OFF이면 인터로크 제어 처리가 종료된다. 또한, 전원이 ON이면 스텝 S1로 리턴된다.

스텝 S1에 있어서 서보 버튼이 눌렸거나 또는 서보 ON 상태로 판단되면 스텝 S3에 있어서 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1)의 상태는 정상인지의 여부가 판단된다. 또한, 정상의 경우란 아무런 이상이 없이 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1)가 운전 가능 상태인 경우이다. 정상이 아닌 경우란 유저에 의해 비상 정지 버튼(도시 생략)이 눌렸을 경우나 인쇄기(2) 또는 버퍼 컨베이어(1)에 이상이 있는 상태인 경우이다. 정상이면 스텝 S5로 진행되고, 정상이 아니면 스텝 S4로 진행된다.

또한, 정상으로 인쇄 동작 및 기판 반송이 행해지고 있을 경우에는 개폐 도어(111 및 112)는 닫혀 있고, 또한 셔터 장치(113a 및 115a)는 열린 상태가 유지되어 있다. 또한, 점검을 위해서 작업자가 개폐 도어(111 또는 112) 중 어느 하나를 개방했을 때에 도시되지 않은 제어부가 개방된 개폐 도어와 Y 방향에 있어서 동일한 측의 셔터 장치(113a 또는 115a) 중 어느 하나를 닫도록 제어한다. 이것에 의해 인쇄 동작 및 기판 반송 동작을 대응하는 상태로 변화시키는 것이 가능하다. 또한, 스텝 S3에 있어서 정상이 아닌 것이란 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1)를 구성하는 각 기기, 각 장치 중 어느 하나에 이상이 발생해서 본래의 동작이 불능이 되어 정상인 인쇄 및 반송이 불가능한 상태를 말하고, 개폐 도어(111, 112), 셔터 장치(113a 및 115a)의 각각이 개폐 동작 가능하면 개폐 상태에는 관계없이 정상으로 판단된다.

스텝 S4에 있어서 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 전체의 서보가 OFF가 되어 운전이 정지된다. 그 후, 스텝 S2로 진행된다. 스텝 S3에 있어서 정상인 것으로 판단되면 스텝 S5에 있어서 버퍼 컨베이어(1) 중 어느 하나의 개폐 도어가 열려 있는지의 여부가 판단된다. 즉, 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부의 셋업을 행하기 위해서 개폐 도어가 개방되어 있는지의 여부가 판단된다. 개폐 도어(111 및 112)의 양쪽이 닫혀 있으면 스텝 S11로 진행되고, 개폐 도어(111 또는 112) 중 적어도 한쪽이 열려 있으면 스텝 S6으로 진행된다.

스텝 S6에 있어서 열려 있는 개폐 도어가 판단된다. 개폐 도어(111)(도 2 참조)만이 열려 있으면 스텝 S7로 진행되고, 개폐 도어(112)(도 2 참조)만이 열려 있으면 스텝 S8로 진행된다. 개폐 도어(111 및 112)의 양쪽이 열려 있으면 스텝 S12로 진행된다. 스텝 S7에 있어서 셔터 장치(113a)(도 2 참조)가 열려 있는지의 여부가 판단된다. 즉, 버퍼 컨베이어(1)의 Y1 방향측의 개폐 도어(111)가 개방된 상태에서 버퍼 컨베이어(1)의 Y1 방향측의 셔터 장치(113a)가 열려 있는지의 여부가 판단된다. 셔터 장치(113a)가 열려 있으면 개폐 도어(111) 또는 셔터 장치(113a)에 이상이 있다고 판단되어 스텝 S4로 진행되고, 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 전체의 서보가 OFF로 되어 운전이 정지된다. 셔터 장치(113a)가 닫혀 있으면 정상인 셋업 시의 처리로서 스텝 S9로 진행된다.

스텝 S9에 있어서 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 서보가 OFF 상태가 되고, 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13) 및 인쇄기(2)의 서보의 ON 상태가 유지된다. 즉, 셋업을 행하는 기판 반송부(12)의 운전이 정지되고, 기판 반송부(13) 및 인쇄기(2)의 운전이 계속된다. 그 후, 스텝 S1로 리턴된다.

스텝 S6에 있어서 개폐 도어(112)만이 열려 있다고 판단되면 스텝 S8에 있어서 셔터 장치(115a)(도 2 참조)가 열려 있는지의 여부가 판단된다. 즉, 버퍼 컨베이어(1)의 Y2 방향측의 개폐 도어(112)가 개방된 상태에서 버퍼 컨베이어(1)의 Y2 방향측의 셔터 장치(115a)가 열려 있는지의 여부가 판단된다. 셔터 장치(115a)가 열려 있으면 개폐 도어(112) 또는 셔터 장치(115a)에 이상이 있다고 판단되어 스텝 S4로 진행되고, 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 전체의 서보가 OFF가 되어서 운전이 정지된다. 셔터 장치(115a)가 닫혀 있으면 정상인 셋업 시의 처리로서 스텝 S10로 진행된다.

스텝 S10에 있어서 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)의 서보가 OFF 상태가 되고, 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12) 및 인쇄기(2)의 서보의 ON 상태가 유지된다. 즉, 셋업을 행하는 기판 반송부(13)의 운전이 정지되고, 기판 반송부(12) 및 인쇄기(2)의 운전이 계속된다. 그 후, 스텝 S1로 리턴된다.

스텝 S6에 있어서 개폐 도어(111 및 112)의 양쪽이 열려 있다고 판단되면 스텝 S12에 있어서 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12 및 13)의 서보가 OFF 상태가 되고, 인쇄기(2)의 서보의 ON 상태가 유지된다. 즉, 기판 반송부(12 및 13)의 운전이 정지되고, 인쇄기(2)의 운전이 계속된다.

스텝 S5에 있어서 개폐 도어(111 및 112)의 양쪽이 닫혀 있다고 판단되면 스텝 S11에 있어서 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 전체의 서보의 ON 상태가 유지된다. 즉, 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1)의 운전이 계속된다. 그 후, 스텝 S3으로 리턴된다.

본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 버퍼 컨베이어(1)에 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)측으로부터 인쇄기(2)측으로 통하는 개구 간극이 없어지도록(0㎜가 되도록) 닫는 셔터 장치(113a)를 설치함으로써 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 셔터 장치(113a)에 의해 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)측으로부터 개구를 통해 이물이 인쇄기(2)로 진입하는 것을 방지할 수 있다. 이것에 의해 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 인쇄기(2)의 동작을 정지시킬 필요가 없으므로 기판(3)에 대한 마스크 인쇄 등의 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 버퍼 컨베이어(1)에 셔터 장치[113a(115a)]의 개폐를 검지하는 셔터 스위치[113b(115b)]를 설치한다. 이것에 의해 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부[12(13)]의 셋업을 행할 때에 셔터 스위치[113b(115b)]에 의해 셔터 장치[113a(115a)]가 확실하게 닫혀 있는 것을 검지할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1)를 제어하는 전체 인터로크 회로(15)를 개폐 도어(111 또는 112)가 개방된 상태에서 셔터 장치(113a 또는 115a)가 열린 상태인 경우, 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 중 적어도 한쪽을 정지시키는 제어를 행하도록 구성한다. 이것에 의해 셔터 장치(113a 또는 115a)에 동작 이상이 있을 경우에 인쇄기(2) 또는 버퍼 컨베이어(1) 중 적어도 한쪽이 정지되므로 개구를 통해 버퍼 컨베이어(1) 및 인쇄기(2)의 한쪽으로부터 다른쪽으로 이물이 진입했을 경우에도 인쇄기(2) 또는 버퍼 컨베이어(1)가 손상되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 셔터 장치(113a 또는 115a)에 동작 이상이 있을 경우란 점검을 위해서 작업자가 개폐 도어(111 또는 112) 중 어느 하나를 개방했을 때에 도시되지 않은 제어부가 개방된 개폐 도어와 Y 방향에 있어서 동일한 측의 셔터 장치(113a 또는 115a) 중 어느 하나를 폐쇄 동작하도록 제어한 것에 관계없이 개폐 도어(111 또는 112)가 개방되어 있는 상태에 있어서 셔터 장치(113a 또는 115a)가 열린 채의 상태인 경우, 또는 일단 닫힌 셔터 장치(113a 또는 115a)가 다시 열려버린 경우 등이다.

또한, 본 실시형태에서는 버퍼 컨베이어(1)에 개폐 도어[111(112)]의 개폐를 검지하는 도어 스위치[111a(112a)]를 설치한다. 이것에 의해 셔터 장치[113a(115a)]가 열린 채의 상태에서 개폐 도어[111(112)]가 열린 경우에 개폐 도어[111(112)]가 열린 것을 확실하게 검지할 수 있으므로 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 중 적어도 한쪽을 확실하게 정지시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 전체 인터로크 회로(15)를 개폐 도어[111(112)]가 개방된 상태에서 셔터 장치[113a(115a)]가 열린 상태인 경우, 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1)에 각각 공급되는 전력을 제어해서 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 중 적어도 한쪽을 정지시키는 제어를 행하도록 구성한다. 이것에 의해 개폐 도어[111(112)]가 개방된 상태에서 셔터 장치[113a(115a)]가 열린 상태인 경우에 인쇄기(2) 및 버퍼 컨베이어(1) 중 적어도 한쪽에 공급되는 전력이 정지되므로 인쇄기(2) 또는 버퍼 컨베이어(1)의 동작을 확실하게 정지시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(12)측으로부터 기판 반송부(13)측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격(D)이 소정값(예를 들면, 6㎜) 이하가 되도록 구성한다. 이것에 의해 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(12)측으로부터 기판 반송부(13)측으로 이물이 진입하는 것을 방지할 수 있으므로 기판 반송부(13)의 동작을 정지시킬 필요가 없다. 그 결과, 기판 반송부(13)에 의한 기판(3)의 반송 작업의 효율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 버퍼 컨베이어(1)에 기판 반송부(12)측으로부터 기판 반송부(13)측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격(D)이 소정값(예를 들면, 6㎜) 이하가 되도록 기판 반송부(12)의 기판 반송부(13)측에 배면 커버(122)를 설치한다. 이것에 의해, 배면 커버(122)에 의해 기판 반송부(12)측으로부터 기판 반송부(13)측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격(D)을 용이하게 소정값(예를 들면, 6㎜) 이하로 할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 인쇄기(2)의 기판 반송부(22)를 셔터 장치(113a)를 통해서 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)와 기판(3)의 운반을 행함과 아울러 반입구(114)를 통해 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)와 기판(3)의 운반을 행하도록 구성하고, 셔터 장치(113a)를 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(12)측으로부터 인쇄기(2)의 기판 반송부(22)측으로 통하는 개구 간극이 없어지도록 닫도록 구성한다. 이것에 의해 셔터 장치(113a)가 닫혀 있는 경우에도 인쇄기(2)의 기판 반송부(22)와 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)에서 기판(3)의 운반을 행할 수 있으므로 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(12)의 셋업 중에도 기판 반송부(12)측으로부터 기판 반송부(22)측으로 이물이 진입하는 것을 방지하면서 기판 반송부(22 및 23)를 계속해서 동작시킬 수 있다. 그 결과, 기판(3)에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 버퍼 컨베이어(1)의 기판 반송부(13)를 셔터 장치(113a)와는 별도의 장소에서 인쇄기(2)의 기판 반송부(23)과 기판(3)의 운반을 행하도록 구성함과 아울러 셔터 장치(113a)를 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(12)측으로부터 인쇄기(2)의 기판 반송부(22)측으로 통하는 개구 간극이 없어지도록(0㎜가 되도록) 닫도록 구성한다. 이것에 의해 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(13)가 셔터 장치(113a)와는 별도의 장소에서 인쇄기(2)의 기판 반송부(23)와 기판(3)의 운반을 행할 수 있으므로 기판(3)에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 용이하게 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 상기한 바와 같이 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(13)를 셔터 장치(113a)와는 별도의 장소에서 인쇄기(2)의 기판 반송부(23)에 추가하여 기판 반송부(22)와 기판(3)의 운반을 행하도록 구성한다. 이것에 의해 기판 반송부(12)의 셋업을 행할 때에 기판 반송부(13)가 셔터 장치(113a)와는 별도의 장소에서 기판 반송부(22) 및 기판 반송부(23)의 양쪽으로 기판(3)의 운반을 행할 수 있으므로 기판(3)에 대한 작업의 효율이 저하되는 것을 보다 용이하게 억제할 수 있다.

또한, 이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아닌 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시형태의 설명이 아니라 특허청구범위에 의해 나타내어지고, 또한 특허청구범위에서 균등의 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는 본 발명의 기판 작업 장치의 일례로서 기판에 대한 땜납 인쇄 작업을 행하는 인쇄기를 사용하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기판에 대하여 부품 실장 작업을 행하는 표면 실장기나, 기판 상의 부품의 검사 작업을 행하는 검사 장치를 본 발명의 기판 작업 장치로서 사용해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 기판 반송 장치로서의 버퍼 컨베이어에 셔터 장치를 설치하는 구성의 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 도 10에 나타내는 변형예에 의한 기판 작업 시스템(200)과 같이 기판 반송 장치[버퍼 컨베이어(1a)]의 제 1 기판 반송부[기판 반송부(12)]의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 기판 작업 장치[인쇄기(2a)]측에 설치해도 좋다. 이 경우, 하류측 커버 부재(21a)를 구성하는 X2측의 측방 커버(21a2)의 Y1 방향측에 셔터 장치를 포함하는 반출구(218a)를 배치하고, 측방 커버(21a2)의 Y2 방향측에 셔터 장치를 포함하는 반출구(218c)를 배치해도 좋다. 또한, 반출구(218a 및 218c)의 사이, 즉 측방 커버(21a2)의 Y 방향 중앙부에 반출구(218b)를 배치해도 좋다. 또한, 버퍼 컨베이어(1a)의 커버 부재(11)의 X2 방향측의 측방 커버(11b)에 반출구(218a~218c)에 대향하도록 Y1측으로부터 Y2측까지 연장되는 1개의 반입구(117)를 설치해도 좋다.

또한, 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치를 기판 작업 장치 및 기판 반송 장치의 양쪽에 설치해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 셔터 장치를 기판 반송 장치의 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극이 없어지도록(0㎜가 되도록) 닫도록 구성하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 셔터 장치를 기판 반송 장치 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 제 1 기판 반송부측으로부터 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극이 소정값(예를 들면, 6㎜) 이하가 되도록 닫도록 구성해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 기판 작업 장치로서의 인쇄기가 제 3 기판 반송부[기판 반송부(22)] 및 제 4 기판 반송부[기판 반송부(23)]를 포함하는 구성의 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 기판 작업 장치가 1개의 기판 반송부를 포함하는 구성이어도 좋다. 이 경우, 기판 작업 장치 1개의 기판 반송부로부터 기판 반송 장치의 복수의 기판 반송부에 기판을 분배해서 운반해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 기판 작업 장치로서의 인쇄기가 기판 반송 장치로서의 버퍼 컨베이어의 반송 방향 상류측에 배치되어 기판 작업 장치로부터 기판 반송 장치에 기판을 운반하는 구성의 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 기판 반송 장치가 기판 작업 장치의 반송 방향 상류측에 배치되어 기판 반송 장치로부터 기판 작업 장치에 기판을 운반하는 구성이어도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 개폐 도어가 개방된 상태에서 셔터 장치가 열린 상태인 경우, 기판 작업 장치(인쇄기) 및 기판 반송 장치(버퍼 컨베이어)의 양쪽을 정지시키는 제어를 행하는 구성의 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 개폐 도어가 개방된 상태에서 셔터 장치가 열린 상태인 경우, 기판 작업 장치 및 기판 반송 장치 중 적어도 한쪽을 정지시키는 제어를 행하도록 구성해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 제어 장치로서의 전체 인터로크 회로를 기판 반송 장치로서의 버퍼 컨베이어에 설치하는 구성의 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 제어 장치를 기판 작업 장치에 설치해도 좋고, 기판 반송 장치 및 기판 작업 장치 이외의 외부의 장치에 설치해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 설명의 편의상 본 발명의 제어 장치로서의 전체 인터로크 회로의 처리 동작을 처리 플로우에 따라 순서대로 처리를 행하는 플로우 구동형의 플로우 차트를 사용해서 설명했지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 제어 장치의 처리 동작을 이벤트 단위로 처리를 실행하는 이벤트 구동형(이벤트 드리븐형)의 처리에 의해 행해도 좋다. 이 경우, 완전한 이벤트 구동형으로 행해도 좋고, 이벤트 구동 및 플로우 구동을 조합해서 행해도 좋다.

Claims

기판에 대하여 작업을 행하는 기판 작업 장치와,
상기 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 1 기판 반송부와, 상기 제 1 기판 반송부에 상기 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 상기 기판을 반송하는 제 2 기판 반송부와, 상기 제 1 기판 반송부 및 상기 제 2 기판 반송부를 덮음과 아울러 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 개방되는 개폐 도어가 설치된 커버 부재를 포함하고, 상기 기판 작업 장치에 접속된 기판 반송 장치와,
상기 기판 작업 장치 및 상기 기판 반송 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 기판 작업 장치 또는 상기 기판 반송 장치 중 적어도 한쪽에는 상기 개폐 도어를 개방하여 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 1 기판 반 송부측으로부터 상기 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치가 설치되어,
상기 제어 장치는 상기 개폐 도어가 닫힌 상태에서 상기 셔터 장치를 열린 상태로 하고, 상기 개폐 도어가 개방된 상태에서 상기 셔터 장치를 닫음과 아울러 상기 제 1 기판 반송부를 정지시키는 제어를 행하도록 구성되는 기판 작업 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 제어 장치는 상기 개폐 도어가 개방된 상태에서 상기 셔터 장치가 닫히지 않고 열린 채의 상태인 경우, 상기 제 1 기판 반송부에 추가하여 상기 기판 작업 장치를 정지시키는 제어를 행하도록 구성되는 기판 작업 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 기판 작업 장치는 상기 기판을 상기 소정 방향으로 반송하는 제 3 기판 반송부와, 상기 제 3 기판 반송부에 상기 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 상기 기판을 반송하는 제 4 기판 반송부를 포함하고,
상기 제 3 기판 반송부는 상기 셔터 장치를 통해 상기 제 1 기판 반송부와 상기 기판의 운반을 행함과 아울러 상기 셔터 장치와는 별도의 장소에서 상기 제 2 기판 반송부와 상기 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있고,
상기 제어 장치는 상기 개폐 도어가 개방된 상태에서 상기 셔터 장치가 닫힌 상태인 경우 상기 제 3 기판 반송부와 상기 제 2 기판 반송부의 상기 기판의 운반을 상기 셔터 장치와는 별도의 장소에서 행하고, 상기 개폐 도어가 개방된 상태에서 상기 셔터 장치가 닫히지 않고 열린 채의 상태인 경우 상기 제 1 기판 반송부에 추가하여 상기 기판 작업 장치를 정지시키는 제어를 행하도록 구성되는 기판 작업 시스템.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 2 기판 반송부는 상기 셔터 장치와는 별도의 장소에서 상기 제 3 기판 반송부 및 상기 제 4 기판 반송부와 각각 상기 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 작업 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 기판 반송 장치는 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 1 기판 반송부측으로부터 상기 제 2 기판 반송부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 작업 시스템.
기판에 대하여 작업을 행하는 기판 작업 장치에 접속되어 상기 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 1 기판 반송부와,
상기 제 1 기판 반송부에 상기 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 상기 기판을 반송하는 제 2 기판 반송부와,
상기 제 1 기판 반송부 및 상기 제 2 기판 반송부를 덮음과 아울러 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 개방되는 개폐 도어가 설치된 커버 부재와,
상기 개폐 도어를 개방하여 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 1 기판 반송부측으로부터 상기 기판 작업 장치측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치와,
상기 제 1 기판 반송부, 상기 제 2 기판 반송부 및 상기 셔터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 제어 장치는 상기 개폐 도어가 닫힌 상태에서 상기 셔터 장치를 열린 상태로 하고, 상기 개폐 도어가 개방된 상태에서 상기 셔터 장치를 닫음과 아울러 상기 제 1 기판 반송부를 정지시키는 제어를 행하도록 구성되는 기판 반송 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 기판 작업 장치는 상기 기판을 상기 소정 방향으로 반송하는 제 3 기판 반송부와, 상기 제 3 기판 반송부에 상기 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 상기 기판을 반송하는 제 4 기판 반송부를 포함하고,
상기 제 2 기판 반송부는 상기 셔터 장치와는 별도의 장소에서 상기 제 4 기판 반송부와 상기 기판의 운반을 행하도록 구성되고,
상기 셔터 장치는 상기 제 1 기판 반송부측으로부터 상기 기판 작업 장치의 상기 제 3 기판 반송부측으로 통하는 개구가 설치되는 기판 반송 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 2 기판 반송부는 상기 셔터 장치와는 별도의 장소에서 상기 제 4 기판 반송부에 추가하여 상기 제 3 기판 반송부와 상기 기판의 운반을 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 1 기판 반송부측으로부터 상기 제 2 기판 반송부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
기판에 대하여 작업을 행함과 아울러 상기 기판을 소정 방향으로 반송하는 제 1 기판 반송부와, 상기 제 1 기판 반송부에 상기 소정 방향과 직교하는 방향으로 인접해서 배치되어서 상기 기판을 반송하는 제 2 기판 반송부와, 상기 제 1 기판 반송부 및 상기 제 2 기판 반송부를 덮음과 아울러 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 개방되는 개폐 도어가 설치된 커버 부재를 포함하는 기판 반송 장치에 접속된 기판 작업부와,
상기 개폐 도어를 개방하여 상기 기판 반송 장치의 상기 제 1 기판 반송부의 셋업을 행할 때에 상기 제 1 기판 반송부측으로부터 상기 기판 작업부측으로 통하는 개구 간극의 최대 간격이 소정값 이하가 되도록 닫는 셔터 장치와,
상기 기판 작업부 및 상기 셔터 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 제어 장치는 상기 개폐 도어가 닫힌 상태에서 상기 셔터 장치를 열린 상태로 하고, 상기 개폐 도어가 개방된 상태에서 상기 셔터 장치를 닫도록 구성되는 기판 작업 장치.