JP6030927B2 - 基板作業システム、基板搬送装置および基板作業装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板作業システム、基板搬送装置および基板作業装置に関する。

従来、基板に対して作業を行う基板作業装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、基板に対して部品の実装（作業）を行う部品実装装置（基板作業装置）が開示されている。この部品実装装置は、基板搬送路をそれぞれ含む２つの作業装置と、２つの作業装置を覆うカバー部材と、２つの作業装置の間に互いの作業空間を分離するように着脱可能に配置された仕切り部材とを備えている。また、この部品実装装置では、カバー部材に設けられた開口を介して２つの基板搬送路と外部の装置（基板搬送装置）とで基板の受け渡しを行うように構成されている。

特開２０１０−２５１４５０号公報

しかしながら、上記特許文献１では、部品実装装置の基板搬送路を基板搬送装置の基板搬送部に接続して用いる場合において、基板搬送装置の基板搬送部の段取りを行う場合に、基板の受け渡しを行う開口を介して基板搬送装置側にアクセス可能な状態であるため、基板搬送装置の基板搬送部の段取り時に工具などの異物が部品実装装置に進入する場合があるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板搬送装置の基板搬送部の段取りを行う際に、基板搬送装置の基板搬送部側から開口を介して異物が基板作業装置に進入することを防止することが可能な基板作業システム、基板搬送装置および基板作業装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における基板作業システムは、基板に対して作業を行う基板作業装置と、基板を所定方向に搬送する第１基板搬送部と、第１基板搬送部に所定方向と直交する方向に隣接して配置されて基板を搬送する第２基板搬送部と、第１基板搬送部および第２基板搬送部を覆うとともに、第１基板搬送部の段取りを行う際に開放される開閉扉が設けられたカバー部材とを含み、基板作業装置に接続された、基板搬送装置と、基板作業装置および基板搬送装置を制御する制御装置とを備え、基板作業装置または基板搬送装置の少なくとも一方には、開閉扉を開放し第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置が設けられ、制御装置は、開閉扉が閉じた状態で、シャッター装置を開いた状態とし、開閉扉が開放された状態で、シャッター装置を閉じるとともに第１基板搬送部を停止させる制御を行うように構成されている。

この発明の第１の局面による基板作業システムでは、上記のように、基板作業装置または基板搬送装置の少なくとも一方に、第１基板搬送部の段取りを行う際に、基板搬送装置の第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置を設けることによって、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、シャッター装置により、基板搬送装置の第１基板搬送部側から開口を介して異物が基板作業装置に進入することを防止することができる。これにより、基板搬送装置の基板搬送部の段取りを行う際に、基板作業装置の動作を停止させる必要がないので、基板に対する作業の効率が低下するのを抑制することができる。

上記第１の局面による基板作業システムにおいて、好ましくは、制御装置は、開閉扉が開放された状態で、シャッター装置が開かれた状態の場合、基板作業装置および基板搬送装置のうち少なくとも一方を停止させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、開閉扉が開放されているにもかかわらず、シャッター装置が開かれたままの状態の場合に、基板作業装置または基板搬送装置の少なくとも一方が停止されるので、開口を介して基板搬送装置および基板作業装置の一方から他方に異物が進入した場合でも、基板作業装置または基板搬送装置が損傷するのを抑制することができる。

上記第１の局面による基板作業システムにおいて、好ましくは、基板作業装置は、基板を所定方向に搬送する第３基板搬送部と、第３基板搬送部に所定方向と直交する方向に隣接して配置されて基板を搬送する第４基板搬送部とを含み、第３基板搬送部は、シャッター装置を通じて第１基板搬送部と基板の受け渡しを行うとともに、シャッター装置とは別の場所で第２基板搬送部と基板の受け渡しを行うように構成されており、シャッター装置は、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置の第３基板搬送部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるように構成されている。このように構成すれば、シャッター装置が閉じている場合でも、基板作業装置の第３基板搬送部と、基板搬送装置の第２基板搬送部とで基板の受け渡しを行うことができるので、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取り中でも、第１基板搬送部側から第３基板搬送部側に異物が進入するのを防止しつつ、第３基板搬送部および第４基板搬送部を継続して動作させることができる。その結果、基板に対する作業の効率が低下するのを効果的に抑制することができる。

この発明の第２の局面における基板搬送装置は、基板に対して作業を行う基板作業装置に接続され、基板を所定方向に搬送する第１基板搬送部と、第１基板搬送部に所定方向と直交する方向に隣接して配置されて基板を搬送する第２基板搬送部と、第１基板搬送部および第２基板搬送部を覆うとともに、第１基板搬送部の段取りを行う際に開放される開閉扉が設けられたカバー部材と、開閉扉を開放し第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置と、制御装置とを備え、制御装置は、開閉扉が閉じた状態で、シャッター装置を開いた状態とし、開閉扉が開放された状態で、シャッター装置を閉じるとともに第１基板搬送部を停止させる制御を行うように構成されている。

この発明の第２の局面による基板搬送装置では、上記のように、第１基板搬送部の段取りを行う際に、基板搬送装置の第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置を設けることによって、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、シャッター装置により、基板搬送装置の第１基板搬送部側から開口を介して異物が基板作業装置に進入することを防止することが可能な基板搬送装置を提供することができる。これにより、基板搬送装置の基板搬送部の段取りを行う際に、基板作業装置の動作を停止させる必要がないので、基板に対する作業の効率が低下するのを抑制することができる。

上記第２の局面による基板搬送装置において、好ましくは、基板作業装置は、基板を所定方向に搬送する第３基板搬送部と、第３基板搬送部に所定方向と直交する方向に隣接して配置されて基板を搬送する第４基板搬送部とを含み、第２基板搬送部は、シャッター装置とは別の場所で第４基板搬送部と基板の受け渡しを行うように構成され、シャッター装置は、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置の第３基板搬送部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるように構成されている。このように構成すれば、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第２基板搬送部がシャッター装置とは別の場所で第４基板搬送部と基板の受け渡しを行うことができるので、基板に対する作業の効率が低下するのを容易に抑制することができる。

この場合、好ましくは、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第２基板搬送部は、シャッター装置とは別の場所で第４基板搬送部に加え、第３基板搬送部と基板の受け渡しを行うように構成されている。このように構成すれば、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第２基板搬送部がシャッター装置とは別の場所で第３基板搬送部および第４基板搬送部と基板の受け渡しを行うことができるので、基板に対する作業の効率が低下するのをより容易に抑制することができる。

上記第２の局面による基板搬送装置において、好ましくは、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から第２基板搬送部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように構成されている。このように構成すれば、第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から第２基板搬送部側に異物が進入するのを防止することができるので、第２基板搬送部の動作を停止させる必要がない。これにより、第２基板搬送部による基板の搬送作業の効率が低下するのを抑制することができる。

この発明の第３の局面における基板作業装置は、基板に対して作業を行うとともに、基板を所定方向に搬送する第１基板搬送部と、第１基板搬送部に所定方向と直交する方向に隣接して配置されて基板を搬送する第２基板搬送部と、第１基板搬送部および第２基板搬送部を覆うとともに、第１基板搬送部の段取りを行う際に開放される開閉扉が設けられたカバー部材とを含む基板搬送装置に接続された、基板作業部と、開閉扉を開放し基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置と、制御装置とを備え、制御装置は、開閉扉が閉じた状態で、シャッター装置を開いた状態とし、開閉扉が開放された状態で、シャッター装置を閉じるとともに第１基板搬送部を停止させる制御を行うように構成されている。

この発明の第３の局面による基板作業装置では、上記のように、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、基板搬送装置の第１基板搬送部側から基板作業部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置を設けることによって、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、シャッター装置により、基板搬送装置の第１基板搬送部側から開口を介して異物が進入することを防止することが可能な基板作業装置を提供することができる。これにより、基板搬送装置の基板搬送部の段取りを行う際に、基板作業装置の動作を停止させる必要がないので、基板に対する作業の効率が低下するのを抑制することができる。

本発明によれば、上記のように、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、基板搬送装置の第１基板搬送部側から開口を介して異物が基板作業装置に進入することを防止することができる。

本発明の一実施形態による基板作業システムを示した斜視図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムのバッファコンベアを示した斜視図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムのバッファコンベアの内部を示した斜視図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムの制御的な構成を示したブロック図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムのバッファコンベアの基板搬送部および印刷機の基板搬送部を示した平面図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムのバッファコンベアの内部を示した側面図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムのバッファコンベアの内部を示した正面図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムのバッファコンベアの基板搬送部の段取りを行う場合を説明するための平面図である。 本発明の一実施形態による基板作業システムの全体インターロック回路によるインターロック制御処理を説明するためのフローチャートである。 本発明の一実施形態の変形例による基板作業システムのバッファコンベアの基板搬送部および印刷機の基板搬送部を示した平面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

まず、図１〜図７を参照して、本発明の一実施形態による基板作業システム１００の構成について説明する。

本発明の一実施形態による基板作業システム１００は、図１に示すように、基板３を下流に搬出可能なバッファコンベア１と、印刷機２とを備えている。また、基板作業システム１００は、２つのレーンを有し、複数の基板３に対して並行して作業することが可能に構成されている。なお、バッファコンベア１は、本発明の「基板搬送装置」の一例であり、印刷機２は、本発明の「基板作業装置」の一例である。

バッファコンベア１は、上流側から受け取った基板３をＹ方向の位置を変化させて下流側に搬送することが可能な基板搬送装置である。この基板作業システム１００において、バッファコンベア１は、印刷機２の搬送方向下流（Ｘ１方向）側に配置されている。また、バッファコンベア１は、基板３を、搬送方向上流（Ｘ２方向）の印刷機２から受け取り、搬送方向下流（Ｘ１方向）の装置４（図５参照）に受け渡すように構成されている。また、バッファコンベア１は、デュアル搬送型の基板搬送装置である。また、バッファコンベア１は、図３に示すように、基台１０と、カバー部材１１（図２参照）と、２つの基板搬送部１２および１３と、一対のレール１４とを含む。なお、基板搬送部１２は、本発明の「第１基板搬送部」の一例であり、基板搬送部１３は、本発明の「第２基板搬送部」の一例である。

また、バッファコンベア１は、制御的な構成として、図４に示すように、全体インターロック回路１５と、バッファコンベアインターロック回路１５ａおよび１５ｂと、バッファコンベアモータ動力遮断機１６ａおよび１６ｂと、モータ１７ａおよび１７ｂと、扉スイッチ１１１ａおよび１１２ａと、シャッタースイッチ１１３ｂおよび１１５ｂとを含む。なお、バッファコンベアインターロック回路１５ａ、バッファコンベアモータ動力遮断機１６ａ、モータ１７ａ、扉スイッチ１１１ａ、および、シャッタースイッチ１１３ｂは、基板搬送部１２側に対応している。また、バッファコンベアインターロック回路１５ｂ、バッファコンベアモータ動力遮断機１６ｂ、モータ１７ｂ、扉スイッチ１１２ａ、および、シャッタースイッチ１１５ｂは、基板搬送部１３側に対応している。なお、全体インターロック回路１５は、本発明の「制御装置」の一例である。

カバー部材１１は、図１および図２に示すように、バッファコンベア１の上部に配置され、基板搬送部１２および１３を覆うように構成されている。つまり、カバー部材１１は、基板搬送部１２および１３が、外部に露出しないように設けられている。また、カバー部材１１は、上方カバー１１ａ、側方カバー１１ｂ、側方カバー１１ｃ（図７参照）、開閉扉１１１および１１２を含む。開閉扉１１１（１１２）は、図６に示すように、基板搬送部１２（１３）の上（Ｚ１）側に配置され、基板搬送部１２（１３）の段取りを行う際に開放されるように構成されている。なお、基板搬送部１２（１３）の段取りでは、搬送する基板３のチェック、基板３の抜き取りなどが行われる。また、開閉扉１１１（１１２）は、閉じている時に、扉スイッチ１１１ａ（１１２ａ）（図４参照）を押すように構成されている。つまり、扉スイッチ１１１ａ（１１２ａ）により開閉扉１１１（１１２）の開閉が検出される。

また、図２および図５に示すように、カバー部材１１の搬送方向上流（Ｘ２方向）側の側方カバー１１ｂには、搬入口１１３、１１４および１１５が形成されている。搬入口１１３は、基板搬送部１２（Ｙ１方向）側に配置され、搬入口１１５は、基板搬送部１３（Ｙ２方向）側に配置されている。搬入口１１４は、Ｙ方向において側方カバー１１ｂの略中央に配置されている。搬入口１１３から搬入された基板３は、基板搬送部１２に受け渡され、搬入口１１５から搬入された基板３は、基板搬送部１３に受け渡されるように構成されている。また、搬入口１１４から搬入された基板３は、基板搬送部１２または１３のいずれかに受け渡されるように構成されている。

ここで、本実施形態では、図２に示すように、搬入口１１３および１１５には、搬入口１１３および１１５を、それぞれ、開放および閉塞可能なシャッター装置１１３ａおよび１１５ａが設けられている。図２に示す例の場合、シャッター装置１１３ａは、開いている状態であり、シャッター装置１１５ａは、閉じた状態である。シャッター装置１１３ａ（１１５ａ）は、基板搬送部１２（１３）の動作時に基板３を搬入するために開くように構成されている。また、シャッター装置１１３ａ（１１５ａ）は、基板搬送部１２（１３）の段取り時などによる停止時に搬入口１１３（１１５）の開口隙間が無くなる（０ｍｍになる）ように閉じるように構成されている。また、シャッター装置１１３ａ（１１５ａ）は、閉じている時に、シャッタースイッチ１１３ｂ（１１５ｂ）（図４参照）を押すように構成されている。つまり、シャッタースイッチ１１３ｂ（１１５ｂ）によりシャッター装置１１３ａ（１１５ａ）の開閉が検出される。

また、図５に示すように、カバー部材１１の搬送方向下流（Ｘ１方向）側の側方カバー１１ｃのＹ方向における略中央に、搬出口１１６が形成されている。基板搬送部１２および１３により搬送された基板３は、搬出口１１６から搬出されるように構成されている。

基板搬送部１２は、基板搬送部１３のＹ１方向側に隣接して配置されている。また、基板搬送部１２は、図５に示すように、一対のレール１４に沿って基板３の搬送方向（Ｘ方向（本願の所定方向））と直交する方向（Ｙ方向）に移動可能に構成されている。具体的には、基板搬送部１２は、モータ１７ａ（図４参照）の駆動によりＹ方向に移動するように構成されている。また、基板搬送部１２は、図５に示すように、搬送方向上流（Ｘ２）側の印刷機２の基板搬送部２２から、搬入口１１３を介して基板３を受け取るように構成されている。また、基板搬送部１２は、受け取った基板３をＹ２方向に移動して、搬送方向下流（Ｘ１）側の装置４の前側レーン４ａまたは後側レーン４ｂに搬出口１１６を介して基板３を受け渡すように構成されている。また、本実施形態のバッファコンベア１では、基板搬送部１２をＹ２方向に移動して基板搬送部１３側まで乗り入れることが可能である。具体的には、搬送方向上流（Ｘ２）側の印刷機２の基板搬送部２３から、搬入口１１４を介して基板３を受け取り、Ｙ方向に移動して、搬送方向下流（Ｘ１）側の装置４の基板搬入部４ａまたは４ｂに搬出口１１６を介して基板３を受け渡すことが可能に構成されている。また、基板搬送部１２は、基板搬送部１３に対して干渉しない範囲でＹ方向に独立して移動することが可能に構成されている。

また、基板搬送部１２は、図３に示すように、モータ１７ａの駆動によりレール１４に沿ってＹ方向に移動するように構成されたプレート１２１と、プレート１２１上面に支柱を介して固定され、基板３をＸ１方向に搬送する一対のコンベア１２ａおよび１２ｂと、プレート１２１上面に固定された背面カバー１２２とを含む。基板搬送部１３側（Ｙ２方向側）のコンベア１２ａは、プレート１２１上に固定的に設置されている。一方、基板搬送部１３と反対側（Ｙ１方向側）のコンベア１２ｂは、プレート１２１上をＹ方向に移動可能に設置されている。これにより、基板３のＹ方向の長さに応じて一対のコンベア１２ａおよび１２ｂのＹ方向の幅を調整することが可能に構成されている。また、バッファコンベア１のＹ方向における中央側のコンベア１２ａを固定することにより、基板搬送部１２のＹ方向の移動量を小さくすることが可能である。その結果、基板３の搬送タクトを短縮することが可能である。

プレート１２１は、図３に示すように、一対のレール１４上に移動可能に配置されている。背面カバー１２２は、プレート１２１のＹ方向における基板搬送部１３側（Ｙ２方向側）に配置されている。つまり、背面カバー１２２は、基板搬送部１２側から基板搬送部１３側に通じる開口隙間の最大間隔Ｄ（図６および図７参照）が所定値（たとえば、６ｍｍ）以下となるように形成されている。具体的には、基板搬送部１２の段取りを行う際に、背面カバー１２２と、カバー部材１１の上方カバー１１ａとの開口隙間の最大間隔Ｄが所定値以下となるように構成されている。さらに、背面カバー１２２と、カバー部材１１の側方カバー１１ｂ、側方カバー１１ｃおよび基台１０とのそれぞれの開口隙間の最大間隔Ｄがそれぞれ所定値以下となるように構成されている。

基板搬送部１３は、基板搬送部１２のＹ２方向側に隣接して配置されている。また、基板搬送部１３は、基板搬送部１２と同様の構成であるので、説明を省略する。なお、基板搬送部１３のコンベア１３ａおよび１３ｂは、それぞれ、基板搬送部１２のコンベア１２ａおよび１２ｂに対応している。また、基板搬送部１３のプレート１３１および背面カバー１３２は、それぞれ、基板搬送部１２のプレート１２１および背面カバー１２２に対応している。そして、背面カバー１３２は、プレート１３１のＹ方向における基板搬送部１２側（Ｙ１方向側）すなわち中央側に配置されている。基板搬送部１２側（Ｙ１方向側）の中央側のコンベア１３ａは、プレート１３１上に固定的に設置されている。一方、基板搬送部１２と反対側（Ｙ２方向側）のコンベア１３ｂは、プレート１３１上をＹ方向に移動可能に設置されている。

なお、背面カバー１３２も背面カバー１２２と同様に構成されている。つまり、基板搬送部１３の段取りを行う際に、背面カバー１３２と、カバー部材１１の上方カバー１１ａとの開口隙間の最大間隔Ｄが所定値以下となるように構成されている。さらに、背面カバー１３２と、カバー部材１１の側方カバー１１ｂ、側方カバー１１ｃおよび基台１０とのそれぞれの開口隙間の最大間隔Ｄがそれぞれ所定値以下となるように構成されている。

全体インターロック回路１５（図４参照）は、バッファコンベア１および印刷機２の電力の供給を制御するように構成されている。具体的には、全体インターロック回路１５は、バッファコンベアインターロック回路１５ａおよびバッファコンベアモータ動力遮断機１６ａを介して、バッファコンベア１の基板搬送部１２のモータ１７ａの駆動のＯＮ／ＯＦＦを制御するように構成されている。また、全体インターロック回路１５は、バッファコンベアインターロック回路１５ｂおよびバッファコンベアモータ動力遮断機１６ｂを介して、バッファコンベア１の基板搬送部１３のモータ１７ｂの駆動のＯＮ／ＯＦＦを制御するように構成されている。また、全体インターロック回路１５は、印刷機インターロック回路２７ａおよび印刷機モータ動力遮断機２８ａを介して、印刷機２の基板搬送部２２のモータ２９ａ１（コンベアを駆動しコンベア上の基板３をＸ１方向に移動させる）、２９ａ２（基板搬送部２２をＹ方向に移動させる）および不図示のスキージの昇降やスキージの印刷移動のための各モータへの電力供給のＯＮ／ＯＦＦを制御するように構成されている。また、全体インターロック回路１５は、印刷機インターロック回路２７ｂおよび印刷機モータ動力遮断機２８ｂを介して、印刷機２の基板搬送部２３のモータ２９ｂ１（コンベアを駆動しコンベア上の基板３をＸ１方向に移動させる）、２９ｂ２（基板搬送部２３をＹ方向に移動させる）および不図示のスキージ装置におけるスキージの昇降やスキージの印刷移動のための各モータへの電力供給のＯＮ／ＯＦＦを制御するように構成されている。

また、全体インターロック回路１５は、バッファコンベア１の開閉扉１１１または１１２が開放された状態で、シャッター装置１１３ａまたは１１５ａが開かれた状態の場合、バッファコンベア１および印刷機２のうち少なくとも一方を停止（サーボＯＦＦ）させる制御を行うように構成されている。つまり、全体インターロック回路１５は、扉スイッチ１１１ａ、１１２ａ、シャッタースイッチ１１３ｂおよび１１５ｂの検出結果に基づいて、バッファコンベア１の基板搬送部１２、１３、印刷機２のスキージ装置の運行および基板搬送に関わるサーボのＯＮ／ＯＦＦを制御するように構成されている。

印刷機２は、基板３に対して作業を行うように構成されている。具体的には、印刷機２は、基板３の上面に半田ペーストをマスク印刷するように構成されている。また、印刷機２は、デュアル搬送型の印刷機である。また、印刷機２は、バッファコンベア１の搬送方向上流（Ｘ２）側に接続されている。また、印刷機２は、図１に示すように、カバー部材２１を備える。また、印刷機２は、図５に示すように、基板作業部として、基台２０上に配置された２つの基板搬送部２２および２３と、２つの印刷作業部２４および２５とを含む。印刷作業部２４および２５には、それぞれ、スクリーンマスクとスキージ装置（図示せず）が配置されている。これにより、２枚の基板３に対する搬送およびマスク印刷を並行して行うことが可能に構成されている。また、１枚の基板３を２つの印刷作業部により順次マスク印刷を行うことが可能に構成されている。なお、基板搬送部２２は、本発明の「第３基板搬送部」の一例であり、基板搬送部２３は、本発明の「第４基板搬送部」の一例である。

また、印刷機２は、制御的な構成として、図４に示すように、印刷機インターロック回路２７ａおよび２７ｂと、印刷機モータ動力遮断機２８ａおよび２８ｂと、モータ２９ａ１、２９ａ２、２９ｂ１、２９ｂ２およびその他のモータ類（図示せず）とを含む。なお、印刷機インターロック回路２７ａ、印刷機モータ動力遮断機２８ａ、モータ２９ａ１および２９ａ２は、基板搬送部２２側に対応している。また、印刷機インターロック回路２７ｂ、印刷機モータ動力遮断機２８ｂ、モータ２９ｂ１および２９ｂ２は、基板搬送部２３側に対応している。

カバー部材２１は、図１に示すように、印刷機２の上部に配置され、基板搬送部２２、２３、印刷作業部２４および２５を覆うように構成されている。つまり、カバー部材２１は、印刷作業部２４、２５、および基板作業部のＸ１側が外部に露出しないように設けられた下流側カバー部材２１ａと、基板作業部のＸ２側が外部に露出しないように設けられた上流側カバー部材２１ｂとで構成される。下流側カバー部材２１ａは、開閉扉２１１、２１２、下流側上方カバー２１ａ１、Ｘ２側の側方カバー２１ａ２、および、Ｘ１側の側方カバー２１ａ３を含む。上流側カバー部材２１ｂは、開閉扉２１３、２１４、上流側上方カバー２１ｂ１、および、Ｘ２側の側方カバー２１ｂ２を含む。開閉扉２１１（２１２）は、印刷作業部２４（２５）の上（Ｚ１）側に配置され、印刷作業部２４（２５）の段取りを行う際に開放されるように構成されている。開閉扉２１３（２１４）は、開閉扉２１１（２１２）のＸ２方向側に配置され、基板搬送部２２（２３）の段取りを行う際に開放されるように構成されている。なお、基板搬送部２２（２３）の段取りでは、バックアップピン（図示せず）の交換などが行われる。

また、図１および図５に示すように、カバー部材２１の搬送方向上流（Ｘ２方向）側となる上流側カバー部材２１ｂの側方カバー２１ｂ２には、搬入口２１５および２１６が形成されている。搬入口２１５は、基板搬送部２２（Ｙ１方向）側に配置され、搬入口２１６は、基板搬送部２３（Ｙ２方向）側に配置されている。搬入口２１５から搬入された作業前の基板３は、基板搬送部２２に受け渡され、搬入口２１６から搬入された作業前の基板３は、基板搬送部２３に受け渡されるように構成されている。

また、カバー部材２１の搬送方向下流（Ｘ１方向）側となる下流側カバー部材２１ａの側方カバー２１ａ３には、搬出口２１７が形成されている。基板搬送部２２および２３により搬送された作業後の基板３は、搬出口２１７から搬出されるように構成されている。また、搬出口２１７は、バッファコンベア１の搬入口１１３〜１１５に対向するように配置されている。

基板搬送部２２は、基板搬送部２３のＹ１方向側に隣接して配置されている。また、基板搬送部２２は、図５に示すように、一対のレール２６に沿って基板３の搬送方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に移動可能に構成されている。具体的には、基板搬送部２２は、モータ２９ａ（図４参照）の駆動によりＹ方向に移動するように構成されている。また、基板搬送部２２は、印刷を行った基板３を、搬送方向下流（Ｘ１）側のバッファコンベア１の基板搬送部１２または１３に搬出口２１７を介して受け渡すように構成されている。また、本実施形態の印刷機２では、基板搬送部２２をＹ２方向に移動して基台２０の中央部まで乗り入れることが可能である。また、基板搬送部２２は、基板搬送部２３に対して干渉しない範囲でＹ方向に独立して移動することが可能に構成されている。

また、基板搬送部２２は、図５に示すように、基板３をＸ１方向に搬送する一対のコンベア２２ａ、２２ｂ、および、一対のレール２６に沿ってＹ方向に移動可能に構成されているプレート２２１を含む。基板搬送部２３側（Ｙ２方向側）のコンベア２２ａは、プレート２２１上に固定的に設置されている。一方、基板搬送部２３と反対側（Ｙ１方向側）のコンベア２２ｂは、プレート２２１上をＹ方向に移動可能に設置されている。これにより、基板３のＹ方向の長さに応じて一対のコンベア２２ａおよび２２ｂのＹ方向の幅を調整することが可能に構成されている。また、印刷機２のＹ方向における中央側のコンベア２２ａを固定することにより、基板搬送部２２のＹ方向の移動量を小さくすることが可能である。その結果、基板３の搬送タクトを短縮することが可能である。

基板搬送部２３は、基板搬送部２２のＹ２方向側に隣接して配置されている。また、基板搬送部２３は、基板搬送部２２と同様の構成であるので、説明を省略する。なお、基板搬送部２３のコンベア２３ａおよび２３ｂは、それぞれ、基板搬送部２２のコンベア２２ａおよび２２ｂに対応している。また、基板搬送部２３のプレート２３１は、基板搬送部２２のプレート２２１に対応している。

印刷作業部２４は、印刷作業部２５のＹ１方向側に隣接して配置されている。また、印刷作業部２４は、Ｙ方向に移動可能に構成されている。これにより、基板搬送部２２により搬送される基板３および基板搬送部２３により搬送される基板３に対して作業（マスク印刷）を行うことが可能である。また、印刷作業部２４は、マスク印刷を行うスクリーンマスク（図示せず）、半田供給部（図示せず）、スキージ装置（図示せず）を主に備えている。

印刷作業部２５は、印刷作業部２４のＹ２方向側に隣接して配置されている。また、印刷作業部２５は、印刷作業部２４と同様の構成であるので、説明を省略する。

次に、図８を参照して、バッファコンベア１の基板搬送部１２の段取り時の動作について説明する。

図８に示すように、バッファコンベア１の基板搬送部１３、印刷機２の基板搬送部２２および２３を動作させながら、たとえば、バッファコンベア１の基板搬送部１２の段取りを行う場合、ユーザにより開閉扉１１１（図２参照）が開放される。この際、基板搬送部１２がＹ１方向側に配置されて、モータ１７ａの駆動がＯＦＦになり停止される。また、シャッター装置１１３ａが閉じた状態となる。

また、運転（動作）中のバッファコンベア１の基板搬送部１３は、基板搬送部１２に干渉しない範囲でＹ方向に移動可能に動作される。つまり、基板搬送部１３は、印刷機２のＹ方向中央部に移動した基板搬送部２２から、搬入口１１４を介して印刷作業部２４において印刷が終了した基板３を受け取り、装置４の前側レーン４ａまたは後側レーン４ｂに搬出口１１６を介して基板３を受け渡すとともに、印刷機２のＹ２方向端部に位置する基板搬送部２３から、搬入口１１５を介して印刷作業部２５において印刷が終了した基板３を受け取り、装置４の前側レーン４ａまたは後側レーン４ｂに搬出口１１６を介して基板３を受け渡すように動作する。この際、シャッター装置１１５ａは、開いた状態である。これにより、上流の印刷機２および下流の装置４を停止させることなく、基板搬送部１２の段取りを行うことが可能である。

また、ユーザにより開閉扉１１２（図２参照）が開放され、バッファコンベア１の基板搬送部１３の段取りを行う場合も同様である。基板搬送部１３がＹ２方向側に配置されて、モータ１７ｂの駆動がＯＦＦになり停止され、シャッター装置１１５ａが閉じた状態となる。印刷作業部２５において印刷が終了した基板３は、印刷機２のＹ方向中央部に移動した基板搬送部２３から、搬入口１１４を介して基板搬送部１２に受け渡された後、搬出口１１６を介して装置４の前側レーン４ａまたは後側レーン４ｂに受け渡される。印刷作業部２４において印刷が終了した基板３は、印刷機２のＹ１方向端部に位置する基板搬送部２２から、搬入口１１３を介して基板搬送部１２に受け渡された後、搬出口１１６を介して装置４の前側レーン４ａまたは後側レーン４ｂに受け渡される。この際、シャッター装置１１３ａは、開いた状態である。これにより、上流の印刷機２および下流の装置４を停止させることなく、基板搬送部１３の段取りを行うことが可能である。

次に、図９を参照して、本発明の一実施形態による基板作業システム１００の全体インターロック回路１５によるインターロック制御処理について説明する。この制御処理は、バッファコンベア１の運転中に継続的に行われている。

図９に示すステップＳ１において、サーボボタン（図示せず）が押されたか否か、または、サーボＯＮ状態か否かが判断される。つまり、サーボボタンが押され、バッファコンベア１の基板搬送部１２および１３に電力が供給され運転状態であるか否かが判断される。サーボボタンが押された、または、サーボＯＮ状態であれば、ステップＳ３に進み、サーボボタンが押されず、かつ、サーボＯＦＦ状態であれば、ステップＳ２に進む。ステップＳ２において、バッファコンベア１の電源がＯＦＦであるか否かが判断される。電源がＯＦＦであれば、インターロック制御処理が終了される。また、電源がＯＮであれば、ステップＳ１に戻る。

ステップＳ１において、サーボボタンが押された、または、サーボＯＮ状態であると判断されると、ステップＳ３において、印刷機２およびバッファコンベア１の状態は正常であるか否かが判断される。なお、正常の場合とは、何ら異常がなく、印刷機２およびバッファコンベア１が運転可能状態の場合である。正常でない場合とは、ユーザにより非常停止ボタン（図示せず）が押された場合や、印刷機２またはバッファコンベア１に異常がある状態の場合である。正常であれば、ステップＳ５に進み、正常でなければ、ステップＳ４に進む。

なお、正常に印刷動作および基板搬送が行われている場合には、開閉扉１１１および１１２は閉じられており、かつ、シャッター１１３ａおよび１１５ａは開の状態が維持されている。また、点検のため作業者が開閉扉１１１または１１２のいずれかを開放した時に、不図示の制御部が、開放された開閉扉とＹ方向において同じ側のシャッター１１３ａまたは１１５ａのいずれかを閉じるように制御する。これにより、印刷動作および基板搬送動作を、対応する状態に変化させることが可能である。また、ステップＳ３において正常でないとは、印刷機２およびバッファコンベア１を構成する各機器、各装置のいずれかに異常が発生して本来の動作が不能となり、正常な印刷および搬送ができない状態を言い、開閉扉１１１、１１２、シャッター１１３ａおよび１１５ａのそれぞれが開閉動作可能であれば、開閉状態には関係なく正常と判断される。

ステップＳ４において、印刷機２およびバッファコンベア１全体のサーボがＯＦＦにされて運転が停止される。その後、ステップＳ２に進む。ステップＳ３において正常であると判断されると、ステップＳ５において、バッファコンベア１のいずれかの開閉扉が開いているか否かが判断される。つまり、バッファコンベア１の基板搬送部の段取りを行うために開閉扉が開放されているか否かが判断される。開閉扉１１１および１１２の両方が閉じていればステップＳ１１に進み、開閉扉１１１または１１２のうち少なくとも一方が開いていれば、ステップＳ６に進む。

ステップＳ６において、開いている開閉扉が判断される。開閉扉１１１（図２参照）のみが開いていれば、ステップＳ７に進み、開閉扉１１２（図２参照）のみが開いていれば、ステップＳ８に進む。開閉扉１１１および１１２の両方が開いていれば、ステップＳ１２に進む。ステップＳ７において、シャッター１１３ａ（図２参照）が開いているか否かが判断される。つまり、バッファコンベア１のＹ１方向側の開閉扉１１１が開放された状態で、バッファコンベア１のＹ１方向側のシャッター１１３ａが開いているか否かが判断される。シャッター１１３ａが開いていれば、開閉扉１１１またはシャッター装置１１３ａに異常があると判断され、ステップＳ４に進み、印刷機２およびバッファコンベア１全体のサーボがＯＦＦにされて運転が停止される。シャッター１１３ａが閉じていれば、正常な段取り時の処理として、ステップＳ９に進む。

ステップＳ９において、バッファコンベア１の基板搬送部１２のサーボがＯＦＦ状態にされ、バッファコンベア１の基板搬送部１３および印刷機２のサーボのＯＮ状態が維持される。つまり、段取りを行う基板搬送部１２の運転が停止され、基板搬送部１３および印刷機２の運転が継続される。その後、ステップＳ１に戻る。

ステップＳ６において開閉扉１１２のみが開いていると判断されると、ステップＳ８において、シャッター１１５ａ（図２参照）が開いているか否かが判断される。つまり、バッファコンベア１のＹ２方向側の開閉扉１１２が開放された状態で、バッファコンベア１のＹ２方向側のシャッター１１５ａが開いているか否かが判断される。シャッター１１５ａが開いていれば、開閉扉１１２またはシャッター装置１１５ａに異常があると判断され、ステップＳ４に進み、印刷機２およびバッファコンベア１全体のサーボがＯＦＦにされて運転が停止される。シャッター１１５ａが閉じていれば、正常な段取り時の処理として、ステップＳ１０に進む。

ステップＳ１０において、バッファコンベア１の基板搬送部１３のサーボがＯＦＦ状態にされ、バッファコンベア１の基板搬送部１２および印刷機２のサーボのＯＮ状態が維持される。つまり、段取りを行う基板搬送部１３の運転が停止され、基板搬送部１２および印刷機２の運転が継続される。その後、ステップＳ１に戻る。

ステップＳ６において開閉扉１１１および１１２の両方が開いていると判断されると、ステップＳ１２において、バッファコンベア１の基板搬送部１２および１３のサーボがＯＦＦ状態にされ、印刷機２のサーボのＯＮ状態が維持される。つまり、基板搬送部１２および１３の運転が停止され、印刷機２の運転が継続される。

ステップＳ５において開閉扉１１１および１１２の両方が閉じていると判断されると、ステップＳ１１において、印刷機２およびバッファコンベア１全体のサーボのＯＮ状態が維持される。つまり、印刷機２およびバッファコンベア１の運転が継続される。その後、ステップＳ３に戻る。

本実施形態では、上記のように、バッファコンベア１に、基板搬送部１２の段取りを行う際に、バッファコンベア１の基板搬送部１２側から印刷機２側に通じる開口隙間が無くなる（０ｍｍになる）ように閉じるシャッター装置１１３ａを設けることによって、バッファコンベア１の基板搬送部１２の段取りを行う際に、シャッター装置１１３ａにより、バッファコンベア１の基板搬送部１２側から開口を介して異物が印刷機２に進入することを防止することができる。これにより、バッファコンベア１の基板搬送部１２の段取りを行う際に、印刷機２の動作を停止させる必要がないので、基板３に対するマスク印刷などの作業の効率が低下するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、印刷機２およびバッファコンベア１を制御する全体インターロック回路１５を、開閉扉１１１または１１２が開放された状態で、シャッター装置１１３ａまたは１１５ａが開かれた状態の場合印刷機２およびバッファコンベア１のうち少なくとも一方を停止させる制御を行うように構成する。これにより、シャッター装置１１３ａまたは１１５ａに動作異常がある場合に、印刷機２またはバッファコンベア１の少なくとも一方が停止されるので、開口を介してバッファコンベア１および印刷機２の一方から他方に異物が進入した場合でも、印刷機２またはバッファコンベア１が損傷するのを抑制することができる。なお、シャッター装置１１３ａまたは１１５ａに動作異常がある場合とは、点検のため作業者が開閉扉１１１または１１２のいずれかを開放した時に、不図示の制御部が開放された開閉扉とＹ方向において同じ側のシャッター１１３ａまたは１１５ａのいずれかを、閉動作するように制御したにも係らず、開閉扉１１１または１１２が開放されている状態において、シャッター装置１１３ａまたは１１５ａが開かれたままの状態の場合、あるいは、一旦閉じたシャッター装置１１３ａまたは１１５ａが再び開いてしまった場合などである。

また、本実施形態では、上記のように、基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１２側から基板搬送部１３側に通じる開口隙間の最大間隔Ｄが所定値（たとえば、６ｍｍ）以下となるように構成する。これにより、基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１２側から基板搬送部１３側に異物が進入するのを防止することができるので、基板搬送部１３の動作を停止させる必要がない。その結果、基板搬送部１３による基板３の搬送作業の効率が低下するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、印刷機２の基板搬送部２２を、シャッター装置１１３ａを通じてバッファコンベア１の基板搬送部１２と基板３の受け渡しを行うとともに、搬入口１１４を介してバッファコンベア１の基板搬送部１３と基板３の受け渡しを行うように構成し、シャッター装置１１３ａを、バッファコンベア１の基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１２側から印刷機２の基板搬送部２２側に通じる開口隙間が無くなるように閉じるように構成する。これにより、シャッター装置１１３ａが閉じている場合でも、印刷機２の基板搬送部２２と、バッファコンベア１の基板搬送部１３とで基板３の受け渡しを行うことができるので、バッファコンベア１の基板搬送部１２の段取り中でも、基板搬送部１２側から基板搬送部２２側に異物が進入するのを防止しつつ、基板搬送部２２および２３を継続して動作させることができる。その結果、基板３に対する作業の効率が低下するのを効果的に抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、バッファコンベア１の基板搬送部１３を、シャッター装置１１３ａとは別の場所で印刷機２の基板搬送部２３と基板３の受け渡しを行うように構成するとともに、シャッター装置１１３ａを、基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１２側から印刷機２の基板搬送部２２側に通じる開口隙間が無くなる（０ｍｍになる）ように閉じるように構成する。これにより、基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１３がシャッター装置１１３ａとは別の場所で印刷機２の基板搬送部２３と基板３の受け渡しを行うことができるので、基板３に対する作業の効率が低下するのを容易に抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１３を、シャッター装置１１３ａとは別の場所で印刷機２の基板搬送部２３に加え、基板搬送部２２と基板３の受け渡しを行うように構成する。これにより、基板搬送部１２の段取りを行う際に、基板搬送部１３がシャッター装置１１３ａとは別の場所で基板搬送部２２および基板搬送部２３と基板３の受け渡しを行うことができるので、基板３に対する作業の効率が低下するのをより容易に抑制することができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、本発明の基板作業装置の一例として、基板に対する半田印刷作業を行う印刷機を用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板に対して部品実装作業を行う表面実装機や、基板上の部品の検査作業を行う検査装置を、本発明の基板作業装置として用いてもよい。

また、上記実施形態では、基板搬送装置としてのバッファコンベアにシャッター装置を設ける構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図１０に示す変形例による基板作業システム２００のように、基板搬送装置（バッファコンベア１ａ）の第１基板搬送部（基板搬送部１２）の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間の最大値が所定値以下となるように閉じるシャッター装置を、基板作業装置（印刷機２ａ）側に設けてもよい。この場合、下流側カバー部材２１ａを構成するＸ２側の側方カバー２１ａ２のＹ１方向側にシャッター装置を含む搬出口２１８ａを配置し、側方カバー２１ａ２のＹ２方向側にシャッター装置を含む搬出口２１８ｃを配置してもよい。また、搬出口２１８ａおよび２１８ｃの間すなわち、側方カバー２１ａ２のＹ方向中央部に搬出口２１８ｂを配置してもよい。また、バッファコンベア１ａのカバー部材１１のＸ２方向側の側方カバー１１ｂに、搬出口２１８ａ〜２１８ｃに対向するようにＹ１側からＹ２側まで延びる１つの搬入口１１７を設けてもよい。

また、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間の最大値が所定値以下となるように閉じるシャッター装置を、基板作業装置および基板搬送装置の両方に設けてもよい。

また、上記実施形態では、シャッター装置を、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間が無くなる（０ｍｍになる）ように閉じるように構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、シャッター装置を、基板搬送装置の第１基板搬送部の段取りを行う際に、第１基板搬送部側から基板作業装置側に通じる開口隙間が所定値（たとえば、６ｍｍ）以下になるように閉じるように構成してもよい。

また、上記実施形態では、基板作業装置としての印刷機が、第３基板搬送部（基板搬送部２２）および第４基板搬送部（基板搬送部２３）を含む構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業装置が１つの基板搬送部を含む構成であってもよい。この場合、基板作業装置の１つの基板搬送部から、基板搬送装置の複数の基板搬送部に基板を分配して受け渡してもよい

また、上記実施形態では、基板作業装置としての印刷機が、基板搬送装置としてのバッファコンベアの搬送方向上流側に配置され、基板作業装置から基板搬送装置に基板を受け渡す構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板搬送装置が基板作業装置の搬送方向上流側に配置され、基板搬送装置から基板作業装置に基板を受け渡す構成であってもよい。

また、上記実施形態では、開閉扉が開放された状態で、シャッター装置が開かれた状態の場合、基板作業装置（印刷機）および基板搬送装置（バッファコンベア）の両方を停止させる制御を行う構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、開閉扉が開放された状態で、シャッター装置が開かれた状態の場合、基板作業装置および基板搬送装置のうち少なくとも一方を停止させる制御を行うように構成してもよい。

また、上記実施形態では、制御装置としての全体インターロック回路を基板搬送装置としてのバッファコンベアに設ける構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御装置を基板作業装置に設けてもよいし、基板搬送装置および基板作業装置以外の外部の装置に設けてもよい。

また、上記実施形態では、説明の便宜上、本発明の制御装置としての全体インターロック回路の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御装置の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

１、１ａ バッファコンベア（基板搬送装置）
２、２ａ 印刷機（基板作業装置）
３ 基板
１１ カバー部材
１２ 基板搬送部（第１基板搬送部）
１３ 基板搬送部（第２基板搬送部）
１５ 全体インターロック回路（制御装置）
２２ 基板搬送部（第３基板搬送部）
２３ 基板搬送部（第４基板搬送部）
１００、２００ 基板作業システム
１１１、１１２ 開閉扉
１１３ａ、１１５ａ シャッター装置

Claims (8)

1. 基板に対して作業を行う基板作業装置と、
   前記基板を所定方向に搬送する第１基板搬送部と、前記第１基板搬送部に前記所定方向と直交する方向に隣接して配置されて前記基板を搬送する第２基板搬送部と、前記第１基板搬送部および前記第２基板搬送部を覆うとともに、前記第１基板搬送部の段取りを行う際に開放される開閉扉が設けられたカバー部材とを含み、前記基板作業装置に接続された、基板搬送装置と、
   前記基板作業装置および前記基板搬送装置を制御する制御装置とを備え、
   前記基板作業装置または前記基板搬送装置の少なくとも一方には、前記開閉扉を開放し前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第１基板搬送部側から前記基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置が設けられ、
   前記制御装置は、前記開閉扉が閉じた状態で、前記シャッター装置を開いた状態とし、前記開閉扉が開放された状態で、前記シャッター装置を閉じるとともに前記第１基板搬送部を停止させる制御を行うように構成されている、基板作業システム。
2. 前記制御装置は、前記開閉扉が開放された状態で、前記シャッター装置が開かれた状態の場合、前記基板作業装置および前記基板搬送装置のうち少なくとも一方を停止させる制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板作業システム。
3. 前記基板作業装置は、前記基板を前記所定方向に搬送する第３基板搬送部と、前記第３基板搬送部に前記所定方向と直交する方向に隣接して配置されて前記基板を搬送する第４基板搬送部とを含み、
   前記第３基板搬送部は、前記シャッター装置を通じて前記第１基板搬送部と前記基板の受け渡しを行うとともに、前記シャッター装置とは別の場所で前記第２基板搬送部と前記基板の受け渡しを行うように構成されており、
   前記シャッター装置は、前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第１基板搬送部側から前記基板作業装置の前記第３基板搬送部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるように構成されている、請求項１または請求項２に記載の基板作業システム。
4. 基板に対して作業を行う基板作業装置に接続され、
   前記基板を所定方向に搬送する第１基板搬送部と、
   前記第１基板搬送部に前記所定方向と直交する方向に隣接して配置されて前記基板を搬送する第２基板搬送部と、
   前記第１基板搬送部および前記第２基板搬送部を覆うとともに、前記第１基板搬送部の段取りを行う際に開放される開閉扉が設けられたカバー部材と、
   前記開閉扉を開放し前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第１基板搬送部側から前記基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置と、
   制御装置とを備え、
   前記制御装置は、前記開閉扉が閉じた状態で、前記シャッター装置を開いた状態とし、前記開閉扉が開放された状態で、前記シャッター装置を閉じるとともに前記第１基板搬送部を停止させる制御を行うように構成されている、基板搬送装置。
5. 前記基板作業装置は、前記基板を前記所定方向に搬送する第３基板搬送部と、前記第３基板搬送部に前記所定方向と直交する方向に隣接して配置されて前記基板を搬送する第４基板搬送部とを含み、
   前記第２基板搬送部は、前記シャッター装置とは別の場所で前記第４基板搬送部と前記基板の受け渡しを行うように構成され、
   前記シャッター装置は、前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第１基板搬送部側から前記基板作業装置の前記第３基板搬送部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるように構成されている、請求項４に記載の基板搬送装置。
6. 前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第２基板搬送部は、前記シャッター装置とは別の場所で前記第４基板搬送部に加え、前記第３基板搬送部と前記基板の受け渡しを行うように構成されている、請求項５に記載の基板搬送装置。
7. 前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第１基板搬送部側から前記第２基板搬送部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように構成されている、請求項４〜６のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
8. 基板に対して作業を行うとともに、
   前記基板を所定方向に搬送する第１基板搬送部と、前記第１基板搬送部に前記所定方向と直交する方向に隣接して配置されて前記基板を搬送する第２基板搬送部と、前記第１基板搬送部および前記第２基板搬送部を覆うとともに、前記第１基板搬送部の段取りを行う際に開放される開閉扉が設けられたカバー部材とを含む基板搬送装置に接続された、基板作業部と、
   前記開閉扉を開放し前記基板搬送装置の前記第１基板搬送部の段取りを行う際に、前記第１基板搬送部側から前記基板作業部側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置と、
   制御装置とを備え、
   前記制御装置は、前記開閉扉が閉じた状態で、前記シャッター装置を開いた状態とし、前記開閉扉が開放された状態で、前記シャッター装置を閉じるとともに前記第１基板搬送部を停止させる制御を行うように構成されている、基板作業装置。

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